JPS6214553U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6214553U JPS6214553U JP10565785U JP10565785U JPS6214553U JP S6214553 U JPS6214553 U JP S6214553U JP 10565785 U JP10565785 U JP 10565785U JP 10565785 U JP10565785 U JP 10565785U JP S6214553 U JPS6214553 U JP S6214553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedometer
- flexible portion
- cantilever
- silicon substrate
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measurement Of Distances Traversed On The Ground (AREA)
Description
第１図はこの考案にかかる万歩計のカンチレバ
ー構造の一実施例を示す斜視図、第２図は同じく
縦断面図、第３図は他の実施例を示す斜視図であ
る。 １はカンチレバー、１ａは可撓部、２はシリコ
ン基板、４は応力検出エレメント。なお、図中、
同一符号は同一または相当部分を示す。
ー構造の一実施例を示す斜視図、第２図は同じく
縦断面図、第３図は他の実施例を示す斜視図であ
る。 １はカンチレバー、１ａは可撓部、２はシリコ
ン基板、４は応力検出エレメント。なお、図中、
同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 可撓部を有するカンチレバーと上記可撓部に設
けられた応力検出エレメントとを歩数測定部とす
る万歩計において、上記カンチレバーの上記可撓
部を、シリコン基板をエツチングすることによつ
て得られる、少くとも一部で上記シリコン基板に
連続する屈曲状の帯状部としたことを特徴とする
万歩計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10565785U JPS6214553U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10565785U JPS6214553U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214553U true JPS6214553U (ja) | 1987-01-28 |
Family
ID=30980296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10565785U Pending JPS6214553U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214553U (ja) |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP10565785U patent/JPS6214553U/ja active Pending