JPS62140735U - - Google Patents

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JPS62140735U
JPS62140735U JP2868186U JP2868186U JPS62140735U JP S62140735 U JPS62140735 U JP S62140735U JP 2868186 U JP2868186 U JP 2868186U JP 2868186 U JP2868186 U JP 2868186U JP S62140735 U JPS62140735 U JP S62140735U
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JP
Japan
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light
plate
handling
optical fiber
handling plate
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JP2868186U
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Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案の実施例を示し、第１図は搬送装置
の正面図、第２図は同平面図、第３図はハンドリ
ングプレートの正面図、第４図は搬送装置の動作
を示す平面図、第５図は同側面図である。 ４…ハンドリングプレート、６…光フアイバ、
７…投光素子、８…受光素子、１０…板状物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 板状物をハンドリングプレート上に載置して搬
    送する搬送装置のハンドリング用センサであつて
    、該ハンドリングプレート上の端部に２本の光フ
    アイバの先端部を該ハンドリングプレート面と並
    行に配設し、該光フアイバの末端に受光素子と投
    光素子を各々接続し、該ハンドリングプレート上
    の板状物のエツジ部に投光用の光フアイバから投
    光し、受光用の光フアイバでその反射光を受ける
    ように構成したハンドリング用センサ。
JP2868186U 1986-02-27 1986-02-27 Pending JPS62140735U (ja)

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JP2868186U JPS62140735U (ja) 1986-02-27 1986-02-27

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JP2868186U JPS62140735U (ja) 1986-02-27 1986-02-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62140735U true JPS62140735U (ja) 1987-09-05

Family

ID=30831874

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2868186U Pending JPS62140735U (ja) 1986-02-27 1986-02-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62140735U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03159233A (ja) * 1989-11-17 1991-07-09 Tokyo Electron Ltd 熱処理炉装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03159233A (ja) * 1989-11-17 1991-07-09 Tokyo Electron Ltd 熱処理炉装置

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