JPS62127603A - 相対位置計測修正方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明ははめ合い関係にある部材間の相対位置を計測し
、はめ合いの有無を確認すると共に、はめ合い可能の位
置に両者を位置決めすべくする相対位置計測修正方法装
置に関する。

〔発明の背景〕

近年、エレクトロニクス技術の重度化に伴ない組立製品
の筒密度化篩精度化が進められつつある。

それにつれ製品のクリーン化が必要となってき、その防
塵対策が避けられない問題となってきている。こうした
背景のもとに表面を傷つける事なく発塵の心配もない非
接触計測及び非接触はめ合い技術が要求されてきた。

従来技術においては非接触にて形状あるいは位置を検出
することは可能であってもその装置構成は非常に複雑に
なるという欠点があった。例えば、特公昭５１−４３３
９１号に記載のようにレーザーの反射光を検出し、その
強度変化よシ測定物の位置及び形状を非接触にて測定す
るものがあるが、焦点合わせ機構が複雑になることや反
射光を検出するため光照射面表面粗さがかなり良くなけ
ればならない等の問題があった。

又、特公昭５２−１９９７１号や特開昭５７−１０４８
０７号に記載のように走査された光を物体に照射し物体
エツジを測定するものもあるが走査機構が高性能を要す
る事、複雑な事、高価な事等の欠点があった。

さらに、これら従来技術は事前に非接触にて形状あるい
は位置を検出することは可能であるものの、穴と軸との
非接触でのはめ合い過程においてリアルタイムで非接触
状態を検出することは不可能であった。このためはめ合
い過程で接触していない事を確認することができなかっ
た。

〔発明の目的〕

本発明は前記欠点等を解決するもので、その目的は、は
め合い関係にある任意形状の部材間の間隙部を自動的に
計測すると共に、はめ合いの有無およびはめ合い位置に
前記部材を高精度自動位置決めして、微少間隙の部材の
高精度はめ合いを可能とする相対位置計測修正方法と装
置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は上記目的を達成するため、はめ合い過程で一方
向から光を照射しこれが両者のすき間から漏れる所を反
対側で受像し、その像が両者が非接触位置関係にある場
合は両者の隙間の明るい部分がリング状になる事から、
その有無を検出することによシ両者の相対位置関係を認
識すると共に、認識した像の穴重心及び軸重心をはめ合
い中心とした時のそれぞれの中心位置から両者の相対位
置及びそのずれ量を計測し、位置修正するようにした相
対位置計測修正方法と装置とを特徴としたものであるが
、実施例を説明する前に本発明の詳細な説明を第１６図
ないし第２２図によシ説明する。

第１６図において吸着ハンド５によって位置を保たれて
いるはめ合い部材たる磁気ディスク円板２をディスク装
置ベース６に取り付けられたはめ合い部材のディスク装
置スピンドル３に非接触にて挿入するのに次の様な原理
を用いる。中に光源もしくは光の伝達要素の納められた
投光装置４から第１６図に示す様に光窓１７を通してデ
ィスク装置スピンドル３に光を照射してやるとディスク
装置スピンドル３あるいは磁気ディスク円板２及びディ
頁 スフ装置スピンドル３に遮ぎられた箇所及びそうでない
箇所とで上部に備わったＴＶ右カメラに第１７図に示す
日食の様な像として現われる符号７は磁気ディスク円板
２による影の像、符号８はディスク装置スピンドル３に
よる影の像を示し、第１７図はそれぞれの中心がかなシ
ずれているため右上部から漏れ出る光が極端に多く左下
部では磁気ディスク円板２が光を遮断してしまっている
状態を示している。そこで第１７図において軸の非接触
挿入を可能とするためには、図中矢印で示す方向にディ
スク装置スピンドル３あるいは磁気ディスク円板２の位
置調整を行う必要がある。第１８図はわずかに位置調整
を行った後非接触挿入可能となった場合の映像図である
。なお本図は便宜的に視野を穴周辺部に丸くとっている
。この図から光の漏れる空間が軸周囲全体にあることか
ら非接触挿入可能なことがわかる。この様に明るい像の
部分かりング状であれば軸と穴とは非接触ではめ合い可
能であシ、リング状になっていないならば非接触はめ合
いが不可能であることが判定できる。

この様に像が接触非接触かを判定するリング状画像の有
無は次の様なアルゴリズムによって求まる。第１９図は
取り込んだ画像をＴＶ右カメラの画素によりメツシュ分
割してその各水平走査線の明暗点の集合パターンを認識
判別し、その画像のリング状の有無を調べるだめの集合
パターン分類図である。第１９図の様にＴＶ右カメラよ
シ取り込まれた画像を各画素によシメッシュ状に分割し
個々のメツシュの明暗を検出する。そのメツシュを上下
に走査判別し任意の明点を始点としてそれに隣接するメ
ツシュの明点を捜し続け、各水平走査線について明暗点
の集合として取り込む。

今、集合パターンは次の３つに分類できる。

集合Ａ＝（暗・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・暗）　　・・・・・・・・・（１式）
集合Ｂ＝１暗・・・暗、明・・・明、暗・・・暗）　　
・・・・・・・・・（２式）集合Ｃ＝１暗・・・暗、明
・・・明、Ｘ・・・Ｘ、明・・・明、暗・・・暗）・・
・・・・・・・・・・（３式） （但しＸ・・・Ｘは、明暗混合並びでも良い）尚集合Ｂ
は集合Ｃの特殊な場合に他ならない。

ここで、各水平走査線の明暗点集合パターンを頁 上記の様に分類、上部から下部へと並べると、その集合
並びは第４図の様な非接触状態である時（Ａ・・・Ａ、
Ｂ・・・Ｂ、Ｃ・・・Ｃ，Ｂ・・・Ｂ、Ａ・・・Ａ）・
・・・・・（Ａ式）％式％ 円に限らず一般のはめ合いにおいて非接触にて挿入可能
な場合の集合並びは上の形をとる。

そしてそれ以外の出力並びの場合、はめ合いを行うこと
はできない。この方式は円板外の他の多角形や穴のあい
た形状の軸と穴のはめ合いに関しても適用することがで
き広い応用性を持つ。

第勿図はその一例を示す。図の（ａ）及び（Ｃ）は集合
並びが上記並びを満たすためはめ合い可能であシ、（ｂ
）及び（ｄ）は満たすことがないためはめ合い不可能で
ある。

さらにその相対位置及びはめ合いを行う場合の位置補正
量と補正方向は次の様にして求める事ができる。

今、ＴＶカメラ１よシ取り込まれた画像が第１７図の様
であった場合明部と暗部の境界は２本の円弧で示される
。

２本の円弧を元にそれぞれの中心（はめ合い中心）を０
．０′とおけば両者の相対位置を求めることができる。

また補正の方向はＯ′からＯの方向であり、位置の補正
量は０．０′間の距離として求められる。

はめ合い可能とするには上記の値をもとに移動すればよ
い。もし再度観測した後リング状画像を得ることがなけ
れば再度同様の操作を繰り返すことによりはめ合い可能
状態に位置修正できる。又、他の形状を示す軸及び穴で
もはめ合い中心さえ求めることができれば上記方法によ
シはめ合い可能にすることができる。

以上の原理を用いた装置の相対位置計測およびその位置
修正のアルゴリズムを第２１図によシ説明する。

カメラレンズ系、光電変換器、スキャン機構等により画
像取込が行われ、この画像を黒白の明暗を表示するｌ又
は０の二値化し、メモリ機能に画像データを展開する。

該データから前記の集合分離手段、および集合並び判別
手段によシ相対位置検出およびはめ合い状態の認識を行
う。はめ合い可能（ＹＥＳ）ならば漏れ光の幅を検出し
てその幅を減じる様に移動方向、量等を求め、はめ合い
部９　□ 材を支持するＸＹテーブルを微動せしめ、はめ合い可能
になるまで位置修正を行う。なお更に高精度はめ合いを
要する場合には、はめ合い中心を算出し、その中心位置
に両者を合致すべく移動量、方向を求め、前記ＸＹテー
ブルを微動せしめ、微動修正を行う。またはめ合い不可
能（ＮＯ）の場合には光幅を平均化すべくその移動量、
方向を求めて前記ＸＹテーブルを移動修正するが、不可
の場合ははめ合い不可情報を表示する（図示せず）。

第２２図は第２１図のアルゴリズムを詳説したフローチ
ャートである。

カメラレンズの画像をスキャン、光電変化して画像取込
し、前記の如くｌ又はＯの２値化をする。

２値化ＹＥＳの場合は高精度はめ合いのためのエツジ部
分のエツジデータを求める。

ＮＯの場合は更に戻る。エツジデータＹＥＳの場合には
更に穴データを求めメモリ記憶する（Ａメモリ）。穴デ
ータが求められない場合（ＮＯ）の場合にはその状態で
メモリを記憶させる（Ｂメモリ）。

次に走査を行ない前記の如く集合分離、集合並びＯ に判別し、はめ合いの可能性をチェックする。

ＹＥＳの場合は更に高精度化■に進む。ＮＯの場合は任
意穴データと軸データの距離（間隙）を計算し、最短距
離を求め、これを光幅とした時の光幅の最大箇所を記憶
し、これを各エツジで行った後、前記光幅に基づき光幅
ベクトルを作って記憶し図の■に進む。■は光幅ベクト
ルから合成ベクトルを形成し、移動量、方向を算出し、
Ｘ成分、Ｘ成分を求め、ＸＹテーブル微動信号を発生せ
しめてこれを微動せしめて完了する。■は高精度化の場
合にのみ用いられるフローチャートで、まずはめ合い可
能を判定し、ＹＥＳならばエツジデータ読出し、穴およ
び軸の断面−次モーメントを求めて重心を出し、移動量
、方向を算出して、ＹＹ軸を微動せしめて微動終了する
。

以上の原理によシ２部品の相対位置を計測・修正し、は
め合いを行うことができる。

ただし、以上の原理においてＴＶカメラで広い視野の穴
及び軸の相対位置及びはめ合いを知る場合、ＴＶカメラ
の画素数が限られていると全体を見た時画素の関係上画
像の分解能が粗くなシ、漏れ光幅が非常に狭かった場合
その光は′ｖｖカメラ内センサでとらえる事ができず検
出できないことが起る。特に磁気ディスク装置の円板と
軸とのはめ合いの様に広い視野を必要とし穴と軸のはめ
合い公差の小さなものに対してのはめ合い状態を知る場
合、特に漏れ光の有無を正確にとらえる必要があるため
上記の点を考慮する必要がある。このため本発明の装置
は完全体を見ることをせず、穴の周辺のみを調べて光の
漏れ具合を検出する方式を採用している。このため第１
５図に示す如き複数のＴＶ右カメラａを用いる手段もあ
るが、高価となると共に、大きなスペースを必要とする
ため本発明では採用していない。

〔発明の実施例〕 以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。

第１図および第２図において、はめ合い部材のディスク
装置スピンドル３と磁気ディスク円板２とが相対位置に
配置される。本実施例ではディスク装置スピンドル３は
固定側に保持され、磁気ディスク円板２は吸着ハンドル
５の一端側に吸着される。また吸着ハンドル５はＸＹ方
向（磁気ディスク円板２の平面座標）に移動可能なＸＹ
テーブル（又はＸＹスタンド）　１６に固定される。

投光手段としてはディスク装置スピンドル３のまわシに
配置され、中心に向って光を照射する複数個投光装置４
から形成される。

認識手段はＴＶ右カメラ１これに固定される中空円筒枠
体たるアーム１５、ハーフミラ−１３およびミラー１４
で構成される光学系、該光学系をＴＶ右カメラの中心軸
を中心に回転させるモータ１１．ギ−？１２．　し７ｊ
：９．７−ム１５に固定されランプを内蔵する光透過型
スケール１０等とから構成される。

ここで１゛ｖカメラ１は投光装置４にょシディスク装置
スピンドル３と磁気ディスク円板２の間隙から洩れてく
る光を検出するものであシ、光学系はディスク装置３と
磁気ディスク円板２の周辺のみ間隙部を拡大して検出す
るためのもので、ＴＶ右カメラの中心軸まわシに回転し
て検出されるべく形成される。レンズ９はＴＶ右カメラ
の焦点が磁頁 気ディスク円板２とディスク装置スピンドル３とのはめ
合い部にのみ絞るべく設けられるものである。また光透
過型スケール１ｏは一種のポインタの役割をもたすもの
で、回転する前記光学系の回転誤差が生じた場合にも、
画像位置を認識できるようにするためのものであシ、ス
ケール画像もはめ合い状況の画像と共にＴＶ右カメラに
取り込られる。第３図はＴＶ右カメラに取り込まれた画
像（本実施例では円周上の６点の画像が示されている）
を示すものでディスク装置スピンドル３と磁気ディスク
円板２との間隙像３ｏと光透過型スケール１０　（以下
スクールｌｏという）が映される。

ＴＶ右カメラによる画像は後に説明するアルゴリズムに
基づき制御手段６ｏにょ多処理され、はめ合いの有無認
識および上部間隙を平均化してはめ合を可能にするため
の磁気ディスク円板２の移動量、方向等を求めＸＹステ
ージ１６に移動指令を与へるべくしている。

次に円周上６点で映像した間隙像（９）による処理方法
について説明する。

一−−−１−先−−−−−頁 なお円周上６点の画像は不連続でエツジ全体の情報を得
ることができないが、円形部材間のはめ合いの場合の如
く、形状推定が可能な場合や、複数個の計測データでは
め合い状態が知られる場合にはこれで十分であシ、短時
間で処理できる利点がある。しかし６点による画像デー
タは前記の原理説明に基づく集合並び分類による判別方
法が使用できず、以下の如きアルゴリズムに基づき処理
されることになる。しかし’ＩＶカメラ１が取り込んだ
画像をさらに大きなメモリ空間に取り込むならば、その
メモリ空間を一つの視界と考えることができ、前記の集
合１分類が適用される。

第６図においてカメラレンズ系・光電変換器・スキャン
機構によ多構成され、画像手段よシ像の検出を行ない、
二値化してメモリにそのデータを展開する。これをｎ点
計測して同様の処理を行った後、穴及び軸のデータから
光幅を検出し最先幅の広い箇所をそれぞれの点において
調べ、そのデータを基に移動すべき量及び方向を算出し
ＸＹテーブルではめ合い可能となるまで微動させる。は
め合い可能となった後、高精度はめ合いを行う場合には
はめ合い中心を穴及び軸のエツジデータよ）算出し、両
者のはめ合い中心を一致させる様に微動位置決めする。

第７図は第６図のアルゴリズムを詳述したフローチャー
トである。この概要を説明すると次の如くなる。

画像取込光電変換を走査毎に行いその信号を二値化して
穴データ軸データの抽出しながらメモリ上へ各データを
記憶させてゆく。この操作をｎ点検出した後、任意の穴
データ軸データの距離を計算しながら最短距離を求めそ
れを光幅とした時の光幅の最大箇所を記憶しその蓋及び
方向をもつ光幅ベクトルを各計測点において算出しそれ
ぞれのベクトルから位置修正のだめの仮想光幅ベクトル
を合成して、その量及び方向からＸ成分Ｙ成分を求めＸ
Ｙテーブルで微動を行う。

さらに、はめ合いを高精度で行う場合にはエツジデータ
よシ穴及び軸の断面−次モーメント及び重心点を算出し
て両者のはめ合い中心よシ求めた□１　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　特開昭６２−’４２７８０３
　（５）移動量と方向とから移動すべきＸ成分Ｙ成分を
求めＸＹテーブルが微動させてやることにする。

次に前記アルゴリズムおよびフローチャートをより解シ
易くするための補助説明を記載する。

６箇所で取り込まれた画素データはそれぞれの視野別に
２値化処理されメモリマツプへ記憶される。その時スケ
ールの値も同時に読み取るため各画素データの座標も同
時に認識可能である。本方法は前述した様に物体エツジ
すべてを像として取り込むわけではない為位置検出に十
分なデータ量を取れない場合あくまで推定してやらなけ
ればならない。例えばはめ合い中心がそれぞれの各エツ
ジゲータで作られた図形の重心点と等しいと仮定した時
その重心点を算出位置を求める。磁気ディスク円板とス
ピンドルの様にほとんど真円に近い形状の穴及び軸にお
いてはこの方法を用い多点エツジデータを利用して重心
点を算出する事によシそれぞれのはめ合い中心を高精度
に求めてやる事ができる。

又、万一はめ合い可能状態にする過程においてはめ合い
中心が求まっている場合は移動量及び移動方向がわかる
ので問題ないが、前記中心が求まらない場合は次の操作
を行う。

第５図（ａ）に示す如く光幅をベクトルで求め、ａ。

ｂ、　ｃ、　ｄとする。これを第５図（ｂ）の如くまと
めベクトル図を作る。次に、第５図（Ｃ）に示す如く、
第→　　　　ａ＋ｂ ５図（ｂ）のベクトルを合成し’＝Ｃ（’Ｌニ４）十ｄ
）／２を求める。すなわち光幅をベクトル化する。合成
ベクトルＬの大きさと方向に位置修正することによシ、
間隙が平均化される。この時点でなお補正が必要であれ
ば再度同様の操作を繰シ返せば良い。

また重心点算出法によるはめ合い中心計測法を並用する
ことによシ、よシ高精度の位置修正が可能となる。

第４図は前記の操作終了後、はめ合い可能となった映像
図を示す。

本実施例において６点計測したが、計測点数（ｎ）は多
ければ多い程多くの情報を取り込むことかでき、高精度
の位置修正が可能となる。

また本実施例で認識手段にＴＶカメラ１を用いＴ　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　−−−−−−−−−
−−−−１たが、これに限らず同様の効果が得られるラ
インセンサでも構わない。

また本実施例では投光手段と認識手段が被検出物を挾ん
で配設されたが、同一側に設けられても構わない。この
場合その判別処理は前記処理の光の明暗に関する負論理
形をとることになる。

第８図は本発明の他の実施例を示すもので、第２図同−
符号のものは同−物又は同一機能の物を示す。

光学系のバフミラー１３およびミラー１４にリニアアク
チュエータ１８が連結され、被検出物の形状に対応して
光学系の位置を変え視野を拡大するようにしている。リ
ニアアクチュエータ１８の付設によ＃）、レンズ９およ
び光透過型スケール１０にはりニアアクチュエータ１９
が連結される。勿論ＩＪ　ニアアクチュエータ１８．１
９をサーボ制御することにょシ自動化が可能となる。第
９図ないし第１４図は本実施例の応用例である。

第９図は本実施例の位置修正装置１００を位置精度の高
くないスカラ型ロボッ）７０の先端に取付け、精密なは
め合い組立を行うようにしたものである。

符号２２はめ合い部材たる軸部品、符号２３ははめ合い
部材たる穴部品を表示するウスカラ型ロボット７０によ
シ、粗位置決めをした後、本実施例１００により精密位
置決めをし、粗ロボットを精密ロボットとして機能せし
めることができる。

第１０図は上下駆動ユニット２９を有する組立装置に本
実施例の認識手段の一部の位置検出部２０を連結せしめ
、組立ステーション２１側にＸＹスタンド１６を設けた
ものである。ディスク装置スピンドル３はＸＹスタンド
１６に載置され、位置検出部２０と対峙する位置に搬送
される。位置検出部２０には磁気ディスク円板２が保持
される。

第１１図は組立ステーション２１上に本実施例１００を
載置し穴部品２３を保持した状態で位置に搬送し、吸着
ハンド４５に保持される軸部品２２とはめ合うように形
成されたものである。

第１０図および第１１図に示すものは、いづれも組立ス
テーション２１側にＸＹステンド１６が設けられておシ
、重量物の場合に高精度のはめ合い修正が可能となる。

第１２図は直交型組立装置に本実施例１００ヲ付設した
ものである。組立ハンド５０には本実施例１００が取付
けられ、穴部品２３を吸着保持する。一方、組立装置の
直交型ロボット５３の構成部品として組立ハンド団およ
び５１が動作制御され、組立ハンド５１には姿勢制御機
構５２が連結され、軸部品２２ヲ把持する。直交型ロボ
ット５３によ９２本の組立ノ・ンド団、５１を同時に移
動せしめ、軸部品２２と穴部品、２３のはめ合いを行う
。組立ハンドが２本（５０，５１）あるため時間短縮が
計れると共に、姿勢制御機構５２によシ予め姿勢修正す
るため、高精度、かつ迅速なはめ合い位置修正が可能と
なる。

第１３図は本実施例１００をロボットに付設した組立装
置したもので、穴部品２５．２６の同心位置決め組立を
行うためのものである。穴部品２６を光窓２４に移送し
、本実施例１００に把持された穴部品２５を軸部品２６
上に中心位置決めして載置するものである。

第１４図は位置決め位置マーク４０の記されている光透
過型部品２７．２８の相対位置合わせを行うもので、本
実施例１００は組立装置の上下駆動ユニット器に取付け
られ、光透過型部品ｎを把持し、光窓２４上に配置され
る。光透過型部品詔とマーク合せして位置決めするもの
である。

〔発明の考案〕

以上の説明によって明らかな如く、本発明によれば、被
検出物の相対位ｔ’を直接認識手段でもって非接触にて
検出できるためその形状を損うことがなく相対位置を測
定できる。本実施例の様な穴と軸を非接触にてはめ合う
場合においては接触によって生ずる発温及び形状変化等
を解消できるので従来この様な要因によって生じていた
製品への悪影響も除去でき製品性能向上に顕著な効果が
得られる。

又、従来の方式においては形状あるいは位置の情報を得
る挙れできるが、はめ合い等の非接触組立が可能か否か
を知ることはできなかつ友。しかし本発明によればその
情報をも取〕入れることができる上線め合い中心が一致
していないならばその補正量を認識した像よシ算出して
微動調整させることによシはめ合いを可能にすることが
できること、又、その補正量も認識した像の画素数をよ
シ多く取り入れることによって高精度化できることなど
はめ合い性能向上に著しい効果が得られる。

さらに装置の構成が単純でコンパクト可能であシ、安価
に製作され、信頼性を向上し得る効果が上げられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の斜視図、第２図は本発明実施
例の正面断面図、第３図は実施例による間隙部の映像を
示す説明図、第４図は扛め合い修正後の第３図と同様の
映像の説明図、第５図（ａ）ないしくｂ）は光幅のベク
トル解析を説明する説明図、第６図は本実施例の計測、
修正のアルゴリズム、第７図は第６図のフローチャート
、第８図は本発明の他の、実施例の正面断面図、−第９
図ないし第１４図は本実施例の応用例を示す斜視、・図
、第１５図は複数のＴＶカメラを用いた認識手段を説明
する斜視図、第１６口拡本発明の原理説明のための斜視
図、第１７図、第１８図は計測時における穴と軸とのは
め合い映像を示す平面図、第１９図は取り込んだ画像の
走査線上の明暗点とその集合分類を示す説明図、第２０
図（Ｃ）ないしくｄ）ははめ合い部品の保合状態を示す
説明図、第２１図は本発明の原理説明のアルゴリズム、
第２２図は＠２１図の７０−チャートである。 １１１ａ・・・ＴＶ左カメラ２・・・磁気ディスク円板
、３・・・ディスク装置スピンドル、４・・・投光装置
、５゜４５・・・吸着ハンド、６・・・ディスク装置ベ
ース、７・・・磁気ディスク円板による影の像、８・・
・ディスク装置スピンドルによる影の像、９・・・レン
ズ％１０・・・光透過型スケール、１１・・・サーボモ
ータ、■・・・ギヤ、１３・・・ハーフミラ、１４・・
・ミラー、１５・・・アーム、１６・・・ＸＹテーブル
（ＸＹスタンド）、１７．２４・・・光窓、１８゜１９
・・・ＩＪ　ニアアクチュエータ、加・・・位置検出ｉ
、２１・・・組立ステーション、２２．２６・・・軸部
品、２３．２５・・・穴部品、２７．２８・・・光透過
型部品、２９・・・上下駆動ユニット、加・・・間隙像
、梱・・・位置ス′−り、５０．５１・・・組立ハンド
、５２・・・姿勢制御機構、詔・・・直交型ロボット、
　６０・・・制御手段、　７０・・・スカラ型ロボット
、１００・・・位置修正装置。 代理人　弁理士　秋　本　正　実 ＄ｔ　　口 第　２図 第　３図 第４−　聞 第　５肥 （α） （ｂ＞　　　　　　　　　　　　（Ｃ）〃 第　８　図 竿　り　匣 俤　７２　図 第　７３　図 第　／４　図 第　７５　図 第　／Δ　図 茅　／７　図 第　７３　図 第　／タ　昭 」− 察２０　図 （α）（ｂ） （Ｃ）（ｃＬ） 塔 ２２図 手続祁１正書（方式） 昭和６１年３月４日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、はめ合い関係にある部材の間隙部又は間隙部のｎ箇
   所に投光し、漏洩する光を認識し、認識データを明暗を
   表示する二値化変化し、漏洩光で表示される間隙値を平
   均化すべく前記はめ合い部材を相互移動せしめて両者の
   相対位置修正をする相対位置計測修正方法。 ２、はめ合い関係にある部材に投光する投光手段と、前
   記部材間の間隙部から漏洩する光を認識する認識手段と
   、該認識手段に取り込まれた認識データを基にして、前
   記間隙を平均化する方向、移動量等を演算し、前記部材
   間位置を相対移動せしめる制御手段とを設けることを特
   徴とする相対位置計測装置。