JPS62124634A - Focus detector - Google Patents

Focus detector

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Publication number
JPS62124634A
JPS62124634A JP26366485A JP26366485A JPS62124634A JP S62124634 A JPS62124634 A JP S62124634A JP 26366485 A JP26366485 A JP 26366485A JP 26366485 A JP26366485 A JP 26366485A JP S62124634 A JPS62124634 A JP S62124634A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
collimator lens
light source
critical angle
lens
Prior art date
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Pending
Application number
JP26366485A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akitake Kobayashi
章兵 小林
Toru Musha
武者 徹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP26366485A priority Critical patent/JPS62124634A/en
Publication of JPS62124634A publication Critical patent/JPS62124634A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To minimize the length of an optical path and to scale down a detector by arranging a beam splitter between a light source and a collimator lens and disposing a critical angle prism on a reciprocating optical path between the collimator lens and an objective one. CONSTITUTION:The critical angle prism 5 and the polarization beam splitter 2 are arranged on the reciprocating optical paths between the collimator lens 4 and the objective lens 7 and the space between the light source 1 and the collimator lens 4, respectively. Simultaneously a photodetector 9 is arranged away from the conjugate position of the light source 1 with respect to the collimator lens 4. Then the flux from the light source 1 is irradiated on an object through the beam splitter 2, the collimate lens 4, the critical angle prism 5 and the objective lens 7, and the photodetector 9 is so constituted to receive the reflected light through the objective lens 7, the critical angle lens 5, the collimator lens 4 and the beam splitter 2. Thus the length of the optical path can be minimized to reduce the number of parts, whereby the detector can be scaled down.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばビデオディスク、コンパクトディス
ク、光学式データディスク等の光学式記録媒体上に記録
ビームまたは再生ビームを正しく焦点を結ぶように集束
して投射させるための焦点検出装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention focuses a recording beam or a reproduction beam onto an optical recording medium such as a video disc, a compact disc, an optical data disc, etc. so that it is focused correctly. The present invention relates to a focus detection device for projecting images.

(従来の技術) 従来の焦点検出装置として、例えば特開昭59−201
238号公報に記載されたような臨界角方式のものがあ
る。この焦点検出装置においては、第5図に示すように
、半導体レーザ21からの直線偏光した光をコリメータ
レンズ22により平行光束として偏光ビームスプリッタ
23に入射させてその偏光膜24を透過させ、その透過
光を反射プリズム25にJ:り直角に全反射させた後に
波長板26を経て対物レンズ27に導いて光デイスク上
にスポット状に投射する。光ディスクでの反射光は、偏
光ビームスプリッタ23までは往路と同じ光路をたどっ
て偏光膜24に入射させるが、復路においては芝波長板
26の作用によりその偏光方向が往路の偏光方向に対し
て直交するため、偏光膜24で全ての戻り光が反射する
。この偏光膜24で反射される光ディスクからの戻り光
を臨界角プリズム28を経て光検出器29で受光する。
(Prior art) As a conventional focus detection device, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-201
There is a critical angle method as described in Japanese Patent No. 238. In this focus detection device, as shown in FIG. 5, linearly polarized light from a semiconductor laser 21 is made incident on a polarizing beam splitter 23 as a parallel beam by a collimator lens 22, and transmitted through the polarizing film 24. After the light is totally reflected by the reflecting prism 25 at right angles, it is guided to the objective lens 27 via the wavelength plate 26 and projected onto the optical disk in the form of a spot. The reflected light from the optical disk follows the same optical path as the outgoing path until it reaches the polarizing beam splitter 23 and enters the polarizing film 24, but on the returning path, the polarization direction is perpendicular to the polarizing direction of the outgoing path due to the action of the grass wave plate 26. Therefore, all the returning light is reflected by the polarizing film 24. The return light from the optical disk reflected by the polarizing film 24 passes through the critical angle prism 28 and is received by the photodetector 29.

臨界角プリズム28は、光ディスクからの戻り光のある
光線、例えば中心光線に対する入射角がほぼ臨界角とな
るように設定した反射面28aを有し、この反射面28
aで戻り光を反射させて光検出器29に入射させている
。また、光検出器29は光ディスクのラジアル方向およ
びタンジエンシャル方向にそれぞれ2分した4つの受光
領1i1i 29a〜29dを有し、これら受光領td
29a〜29dの出力に基いてデータ信号、フォーカス
エラー信号およびラジアルエラー信号を得ている。
The critical angle prism 28 has a reflective surface 28a that is set so that the incident angle with respect to a returning light ray from the optical disk, for example, the central ray, is approximately a critical angle.
The returned light is reflected at point a and made incident on the photodetector 29. Further, the photodetector 29 has four light receiving areas 1i1i 29a to 29d divided into two in the radial direction and tangential direction of the optical disc, and these light receiving areas td
A data signal, a focus error signal, and a radial error signal are obtained based on the outputs of 29a to 29d.

すなわち、第5図において、対物レンズ27が光ディス
クに対して合焦状態にあるときは、臨界角プリズム28
に入射する光ディスクからの戻り光は平行光束となり、
その反射面28aに対する入射角は全ての光線について
ほぼ臨界角どなるから、第6図Aに示すように全ての光
線が全反射して光検出器29の4つの受光領域29a〜
29dに一様に入射Jる。これに対し、合焦状態からず
れて臨界角プリズム28に入射する戻り光が第6図Bに
示すように収束光あるいは第6図Cに示すように発散光
になると、反射面28aに対する戻り光の入射角はその
光軸を通る入射面ど直交する面を境として一方の側では
臨界角よりも大きく、他方の側ではそれよりも小さくな
るから、光検出器29上でタンジエンシャル方向に明暗
が生じる。この光検出器29上でのタンジエンシャル方
向の明暗は、反射面28aにおける戻り光の光軸を通る
入射面と直交する面を境とり−る両側の光線の入射角の
関係が、収束光と発散光との場合で逆転するから、第6
図BおよびCではその明暗が逆転する。したがって、受
光領域29a〜29dの各出力をa、b、cおよびdと
すると、(a 十b ) −(c +d )によりフォ
ーカスエラー信号を得ることができる。なお、ラジアル
エラー信号は(a 十c ) −(b +d >により
、またデータ信号は(a +b +c +d )により
それぞれ得ることができる。
That is, in FIG. 5, when the objective lens 27 is in focus on the optical disc, the critical angle prism 28
The return light from the optical disk that enters becomes a parallel beam of light,
Since the angle of incidence on the reflecting surface 28a is approximately the critical angle for all the light rays, all the light rays are totally reflected as shown in FIG.
29d is uniformly incident on J. On the other hand, if the returned light that deviates from the focused state and enters the critical angle prism 28 becomes convergent light as shown in FIG. 6B or divergent light as shown in FIG. 6C, the returned light toward the reflective surface 28a becomes The incident angle of is greater than the critical angle on one side of the plane orthogonal to the plane of incidence passing through the optical axis, and smaller on the other side. Light and darkness occur. The brightness and darkness in the tangential direction on the photodetector 29 is determined by the relationship between the incident angles of the light rays on both sides of the plane perpendicular to the plane of incidence passing through the optical axis of the returned light on the reflective surface 28a. Since it is reversed in the case of divergent light and divergent light, the sixth
In Figures B and C, the brightness is reversed. Therefore, if the respective outputs of the light receiving areas 29a to 29d are a, b, c, and d, a focus error signal can be obtained by (a + b) - (c + d). Note that the radial error signal can be obtained by (a + c) - (b + d >), and the data signal can be obtained by (a + b + c + d).

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上述した従来の焦点検出装置にあっては
、偏光ビームスプリッタ23をコリメータレンズ22と
反射プリズム25との間に配置しているため、これらの
間隔を長く必要とするとバに、光ディスクでの反射光を
偏光ビームスプリッタ23で半導体レーザ21から光デ
ィスクまでの光路から分離した後、臨界角プリズム28
を経て光検出器29に入射させているため、偏光ビーム
スプリッタ23と光検出器29との間隔が長くなる。こ
のようなことから、装置全体が大形になるという問題が
ある。
(Problems to be Solved by the Invention) However, in the conventional focus detection device described above, since the polarizing beam splitter 23 is disposed between the collimator lens 22 and the reflecting prism 25, the distance between them is If the optical disc is required for a long time, the reflected light from the optical disc is separated from the optical path from the semiconductor laser 21 to the optical disc by the polarizing beam splitter 23, and then the critical angle prism 28
Since the light is made incident on the photodetector 29 through the polarization beam splitter 23 and the photodetector 29, the distance between the polarization beam splitter 23 and the photodetector 29 becomes long. For this reason, there is a problem that the entire device becomes large.

この発明は、このような従来の問題点に着目してなされ
たもので、装置全体を小形にできるよう適切に構成した
焦点検出装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of these conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a focus detection device suitably configured so that the entire device can be made compact.

〔問題点を解決するための手段および作用〕上記目的を
達成するため、この発明では臨界角プリズムをコリメー
タレンズと対物レンズとの間の往復光路中に、ビームス
プリッタを光源とコリメータレンズとの間にそれぞれ配
置すると共に、光検出器をコリメータレンズに関して光
源と共役な位置からずらして配置して、光源からの光束
をビームスプリッタ、コリメータレンズ、臨界角プリズ
ムおよび対物レンズを経て被照射物体に照射し、その反
射光を対物レンズ、臨界角プリズム、コリメータレンズ
およびビームスプリッタを経て光検出器で受光覆る。
[Means and effects for solving the problem] In order to achieve the above object, the present invention includes a critical angle prism in the reciprocating optical path between the collimator lens and the objective lens, and a beam splitter between the light source and the collimator lens. The photodetector is placed at a position that is conjugate with the light source with respect to the collimator lens, and the light beam from the light source passes through the beam splitter, the collimator lens, the critical angle prism, and the objective lens and irradiates the object to be irradiated. The reflected light is received by a photodetector after passing through an objective lens, a critical angle prism, a collimator lens, and a beam splitter.

〔実施例〕〔Example〕

第1図はこの発明の一実施例を示すものである。 FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.

この実施例では、半導体レーザ等の光源1からの飛散光
束を偏光ビームスプリッタ2に入射させてその偏光膜3
を透過させ、その透過光をコリメータレンズ4により平
行光束として臨界角プリズム5に88光で入射させる。
In this embodiment, a scattered light beam from a light source 1 such as a semiconductor laser is incident on a polarizing beam splitter 2 and its polarizing film 3
The transmitted light is made into a parallel light beam by the collimator lens 4 and is incident on the critical angle prism 5 as 88 lights.

この臨界角プリズム5に入射した光を、その反射面5a
で反射させて3波長板6を経て対物レンズ7により光デ
イスク8上にスポット状に投射する。光ディスク8での
反射光は偏光ビームスプリッタ2までは往路と同じ光路
をたどって偏光膜3に入射させるが、復路においてはハ
波長板6の作用によりその偏光方向が往路の偏光方向と
直交してP偏光となるため、偏光膜3で反射する。この
偏光膜3で反射される光ディスク8からの戻り光を光検
出器9で受光する。
The light incident on this critical angle prism 5 is reflected by its reflecting surface 5a.
The light is reflected by the three-wavelength plate 6 and projected onto the optical disk 8 by the objective lens 7 in the form of a spot. The reflected light from the optical disk 8 follows the same optical path as the outgoing path up to the polarizing beam splitter 2 and is incident on the polarizing film 3, but on the returning path, the direction of polarization is perpendicular to the polarizing direction of the outgoing path due to the action of the wavelength plate 6. Since it becomes P-polarized light, it is reflected by the polarizing film 3. A photodetector 9 receives the return light from the optical disk 8 that is reflected by the polarizing film 3 .

嘔光ビームスプリッタ2は、その偏光膜3における透過
率および反射率の入射角度依存性を小さく抑えたものを
用いる。
The optical beam splitter 2 used is one in which the dependence of the transmittance and reflectance of the polarizing film 3 on the angle of incidence is kept small.

また、臨界角プリズム5は、その頂角を入射光束と射出
光束とがほぼ90°の角度を成すように設定すると共に
、その反射面5aは光束の中心光線に対して入射角がほ
ぼ臨界角となるように設定する。この実施例では、更に
、反射面5aに入射角がほぼ臨界角で入射するS偏光に
対しては反射増加、P偏光に対しては反射防止となる光
学薄膜5bを」−ティングして、第2図に示すようにS
偏光に対してはほぼ全反射させ、P(li光に対しては
臨界角以下の入射角でその反射率を急激に減少させる。
Further, the critical angle prism 5 has its apex angle set so that the incident light beam and the outgoing light beam form an angle of approximately 90°, and the reflective surface 5a has an incident angle approximately at a critical angle with respect to the central ray of the light beam. Set it so that In this embodiment, an optical thin film 5b is further provided to increase the reflection of S-polarized light that is incident on the reflective surface 5a at an approximately critical angle, and to prevent reflection of P-polarized light. As shown in Figure 2, S
Polarized light is almost totally reflected, and the reflectance of P(li light is rapidly reduced at an incident angle below the critical angle).

このような光学薄膜5bは、例えば臨界角プリズム5よ
り屈折率が低い材料と、高い材料との2種類の]−ティ
ング材料を反射面5a上に、屈折率が高−低−高・・・
−低一高という順序でr+dcosθ−λ/4を満たず
厚みで積層することにより構成することができる。ここ
で、nはコーティング材料の屈折率、dはコーティング
材料の厚さ、θはコーティング材料中の屈折角、λは光
の波長を表わす。
Such an optical thin film 5b is made by using two types of materials, one with a lower refractive index and the other with a higher refractive index than the critical angle prism 5, on the reflective surface 5a, so that the refractive index is high, low, high...
It can be constructed by stacking layers in the order of -low and high to a thickness that does not satisfy r+dcosθ-λ/4. Here, n is the refractive index of the coating material, d is the thickness of the coating material, θ is the refraction angle in the coating material, and λ is the wavelength of light.

また、光検出器9は、第3図に示すように、光ディスク
8のラジアル方向およびタンジエンシャル方向にそれぞ
れ2分割した4つの受光領域98〜9dをもって構成し
、コリメータレンズ4に関して光源1と共役な位置より
も偏光ビームスプリッタ2側に配置する。このようにし
て、光ディスク8からの戻り光を適当な直径を有するビ
ームとして光検出器9に入射させる。
Further, as shown in FIG. 3, the photodetector 9 is configured with four light receiving areas 98 to 9d divided into two in the radial direction and tangential direction of the optical disc 8, and is conjugate with the light source 1 with respect to the collimator lens 4. It is placed closer to the polarizing beam splitter 2 than the other position. In this way, the returned light from the optical disk 8 is made to enter the photodetector 9 as a beam having an appropriate diameter.

上記構成において、コリメータレンズ4を経て臨界角プ
リズム5に入射するS偏光の光束は、臨界角プリズム5
の反射面5aにコーティングした光学薄膜5bがS偏光
に対しては反射増加膜として作用するで、その反射面5
aでほぼ全反射される。また、臨界角プリズム5にP偏
光で入射する光ディスク8からの戻り光は、光学薄膜5
bがP偏光に対しては反射防止膜として作用するので、
反射面5aに臨界角以上の入射角で入射する光線は全反
射されるが、臨界角より少し小さい入射角で入射する光
線は第2図に示したようにその反射率が急激に減少する
。したがって、光検出器9で受光される戻り光は、対物
レンズ7の光ディスク8に対する焦点状態に応じて第6
図A〜Cにおいて説明したと同様に変化するので、その
受光領域98〜9dの出力から同様にしてフォーカスエ
ラー信号を得ることができると共に、データ信号および
ラジアルエラー信号を得ることかできる。
In the above configuration, the S-polarized light beam entering the critical angle prism 5 via the collimator lens 4 is
The optical thin film 5b coated on the reflective surface 5a acts as a reflection increasing film for S-polarized light.
It is almost totally reflected at a. Further, the return light from the optical disk 8 that enters the critical angle prism 5 as P-polarized light is transmitted through the optical thin film 5.
Since b acts as an antireflection film for P-polarized light,
Light rays incident on the reflective surface 5a at an incident angle equal to or greater than the critical angle are totally reflected, but light rays incident at an incident angle slightly smaller than the critical angle have their reflectance rapidly reduced as shown in FIG. Therefore, the return light received by the photodetector 9 is adjusted to the sixth position depending on the focal state of the objective lens 7 with respect to the optical disk 8.
Since the changes occur in the same manner as explained in FIGS. A to C, a focus error signal, as well as a data signal and a radial error signal, can be obtained in the same manner from the outputs of the light receiving areas 98 to 9d.

第4図はこの発明の他の実施例を示すものである。この
実施例は、第1図に示す構成において、光?I11と光
検出器9との配置を交換して、光源1からの光束を偏光
ど一ムスプリツタ2の偏光膜3で反射させてコリメータ
レンズ4により平行光束とし、光ディスク8からの戻り
光を偏光膜3を透過させて光検出器9に入射させるよう
にした点が異なるもので、その他の構成は第1図と同様
である。なお、光検出器9はコリメータレンズ4に関し
て光源1と共役な位置からずらして配置して、戻り光が
適当なスポットとして入射するようにする。この実施例
においても、上述した実施例と同様にして光検出器9の
出力に基いてフォーカスエラー信号を得ることができる
FIG. 4 shows another embodiment of the invention. In this embodiment, in the configuration shown in FIG. By exchanging the arrangement of I11 and photodetector 9, the light beam from the light source 1 is reflected by the polarizing film 3 of the polarization splitter 2 and made into a parallel light beam by the collimator lens 4, and the returned light from the optical disc 8 is reflected by the polarizing film 3 of the polarization splitter 2. The difference is that the light beam 3 is transmitted and incident on the photodetector 9, and the other configurations are the same as in FIG. Note that the photodetector 9 is arranged with respect to the collimator lens 4 away from a position conjugate with the light source 1 so that the returned light is incident as a suitable spot. In this embodiment as well, a focus error signal can be obtained based on the output of the photodetector 9 in the same manner as in the above-described embodiment.

なお、この発明は一卜述した実施例にのみ限定されるも
のではなく、幾多の変形または変更が可能である。例え
ば、光学薄膜5bを省くこともできるし、偏光ビームス
プリッタ2に代えてハーフミラ−を用いることもできる
。また、上述した実施例では直線偏光した光を用いるよ
うにしたが、偏光特性を持たない光を用いることもでき
る。この場合には、光学薄膜5])およびに波長板6を
省くことかできると共に、偏光ビームスプリッタ2に代
えてハーフミラ−を用いることができる。更に、光検出
器9はフォーカスエラー信号検出専用として2分割の受
光領域をもって構成することができると共に、これをコ
リメータレンズに関して光源と共役な位置よりも遠方に
配置することもできる。
It should be noted that the present invention is not limited to the embodiments just described, and numerous modifications and changes are possible. For example, the optical thin film 5b can be omitted, or a half mirror can be used in place of the polarizing beam splitter 2. Furthermore, although linearly polarized light is used in the above-described embodiments, it is also possible to use light that does not have polarization characteristics. In this case, the optical thin film 5) and the wavelength plate 6 can be omitted, and a half mirror can be used in place of the polarizing beam splitter 2. Further, the photodetector 9 can be configured to have a two-divided light receiving area exclusively for detecting focus error signals, and it can also be placed farther away than the position conjugate with the light source with respect to the collimator lens.

(発明の効果) 以上述べたように、この発明においては、光源とコリメ
ータレンズとの間にビームスプリッタを配置すると共に
、臨界角プリズムをコリメータレンズと対物レンズとの
間のキ↑復光路中に配置したので、光路長を必要最小限
にすることができ、したがって装置全体を小形にできる
。また、臨界角プリズムは従来例で必要どされた反射プ
リズムの作用も兼ねるのC゛、部品点数を削減でき、こ
れにより簡単かつ安価にできる。更に、光検出器をコリ
メータレンズの収束側に配置覆るので、その受光面積を
小さくでき、したがって一層小形にできる。また、上)
ホした実施例では、臨界角プリズム5の反射面5aに往
路の光束に対しては反射増加、復路の光束に対しては反
04防止となる光学薄膜5bを設けたので、焦点状態を
Jzり高感度で検出できる。
(Effects of the Invention) As described above, in this invention, a beam splitter is disposed between the light source and the collimator lens, and a critical angle prism is placed in the optical return path between the collimator lens and the objective lens. Because of this arrangement, the optical path length can be minimized, and the entire device can therefore be made smaller. Furthermore, the critical angle prism also functions as a reflecting prism, which was required in the conventional example, so the number of parts can be reduced, which makes it simple and inexpensive. Furthermore, since the photodetector is disposed on the convergence side of the collimator lens, its light-receiving area can be reduced, and the device can therefore be made even more compact. Also, above)
In the embodiment described above, an optical thin film 5b is provided on the reflective surface 5a of the critical angle prism 5, which increases the reflection of the outgoing light beam and prevents the incoming light beam from reflecting. Can be detected with high sensitivity.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図、第2図および第3図はこの発明の一実施例を示
す図、 第4図はこの発明の他の実施例を示す図、第5図および
第6図A〜Cは従来の技術を示す図である。 1・・・光源      2・・・偏光ビームスプリッ
タ3・・・偏光膜      4・・・コリメータレン
ズ5・・・臨界角プリズム 5a・・・反射面5b・・
・光学薄膜    6・・・k波長板7・・・対物レン
ズ   8・・・光ディスク9・・・光検出器    
98〜9d・・・受光領域特許出願人   オリンパス
光学T業株式会社第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 手  続  補  正  書 昭和61年1月22日 特許庁長官  宇  賀  道  部  殿1、事件の
表示 昭和60年特許願第263664号 2、発明の名称 焦点検出装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 (087)オリンパス光学工業株式会社4、代理人 5、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄1
、明細書第7頁第18行の「P偏光」を「S偏光」(こ
訂正する。 2、同第7頁第20行と第8頁第1行の間に下記を加入
する。 「 なお、第1図では図面を簡略化するため偏光ビーム
スプリッタ2の反射方向を、本来の紙面に垂直方向から
紙面内に90°回転して画いである。」 8、同第11頁第7行の「用いることもできる。」の次
に「なお、ハーフミラ−を用いる場合には、偏光ビーム
スプリッタを用いる場合のように、その反射方向が第1
図において紙面に対して垂直方向に限られるという制限
がなくなる。」を加入する。
1, 2, and 3 are views showing one embodiment of the present invention, FIG. 4 is a view showing another embodiment of the present invention, and FIGS. 5 and 6 A to C are views showing the conventional It is a figure showing a technique. 1... Light source 2... Polarizing beam splitter 3... Polarizing film 4... Collimator lens 5... Critical angle prism 5a... Reflecting surface 5b...
・Optical thin film 6...K wavelength plate 7...Objective lens 8...Optical disk 9...Photodetector
98-9d... Light-receiving area patent applicant Olympus Optical T Gyo Co., Ltd. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Procedures Amendment Written by the Commissioner of the Japan Patent Office January 22, 1986 Michibe Uga 1, Display of the case Patent Application No. 263664 of 1985 2, Name of the invention Focus detection device 3, Person making the amendment Relationship to the case Patent applicant (087) Olympus Optical Industry Co., Ltd. 4, Agent Person 5, subject of amendment: “Detailed description of the invention” column 1 of the specification
, "P-polarized light" on page 7, line 18 of the specification is corrected as "S-polarized light." 2. The following is added between page 7, line 20 and page 8, line 1 of the same specification. , In order to simplify the drawing, the reflection direction of the polarizing beam splitter 2 is rotated 90 degrees into the paper from the original direction perpendicular to the paper in order to simplify the drawing.'' 8, page 11, line 7 Next to "Can also be used.", "When using a half mirror, the direction of reflection is the first one, like when using a polarizing beam splitter."
In the drawing, there is no longer a restriction that the direction is perpendicular to the plane of the paper. ” to join.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、光源と、 この光源からの光束を平行光束にするコリ メータレンズと、 このコリメータレンズからの光束を被照射 物体にスポットとして照射する対物レンズと、前記コリ
メータレンズおよび対物レンズ間に配置され、前記コリ
メータレンズからの光束を前記対物レンズに導くと共に
、前記対物レンズで集光される前記被照射物体での反射
光束を前記コリメータレンズに導くよう、光束中のある
光線に対して入射角がほぼ臨界角となるように設定した
反射面を有する臨界角プリズムと、 前記光源およびコリメータレンズ間に配置され、前記光
源からの光束を前記コリメータレンズに導くと共に、前
記臨界角プリズムの反射面で反射され前記コリメータレ
ンズを経て射出される前記被照射物体からの反射光束を
前記光源からの光束とは異なる方向に分離するビームス
プリッタと、 このビームスプリッタから射出される前記被照射物体で
の反射光束を受光するように、前記コリメータレンズに
関して前記光源と共役な位置からずらして配置した光検
出器とを具えて成る焦点検出装置。 2、前記臨界角プリズムの反射面に、S偏光に対しては
反射増加、P偏光に対しては反射防止となる光学薄膜を
コーティングし、該反射面に前記光源からの光束をS偏
光で入射させると共に、前記被照射物体での反射光束を
P偏光で入射させるよう構成したことを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の焦点検出装置。
[Claims] 1. A light source, a collimator lens that converts the light beam from the light source into a parallel light beam, an objective lens that irradiates the light beam from the collimator lens as a spot onto an irradiated object, and the collimator lens and the objective lens. is arranged between the collimator lenses and guides the light flux from the collimator lens to the objective lens, and guides the light flux reflected by the irradiated object that is focused by the objective lens to the collimator lens. a critical angle prism having a reflecting surface set such that the incident angle is approximately the critical angle; and a critical angle prism disposed between the light source and the collimator lens, which guides the light flux from the light source to the collimator lens and a beam splitter that separates a reflected light beam from the irradiated object that is reflected by a reflective surface and exits through the collimator lens into a direction different from a light beam from the light source; a photodetector disposed at a position shifted from a position conjugate with the light source with respect to the collimator lens so as to receive a reflected light beam of the light source. 2. The reflective surface of the critical angle prism is coated with an optical thin film that increases reflection for S-polarized light and prevents reflection for P-polarized light, and the light beam from the light source is incident on the reflective surface as S-polarized light. 2. The focus detection device according to claim 1, wherein the focus detection device is configured to cause the reflected light beam from the irradiated object to be incident as P-polarized light.
JP26366485A 1985-11-26 1985-11-26 Focus detector Pending JPS62124634A (en)

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