JPS62112388A - Laser beam converging device - Google Patents
Laser beam converging deviceInfo
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- JPS62112388A JPS62112388A JP25315285A JP25315285A JPS62112388A JP S62112388 A JPS62112388 A JP S62112388A JP 25315285 A JP25315285 A JP 25315285A JP 25315285 A JP25315285 A JP 25315285A JP S62112388 A JPS62112388 A JP S62112388A
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザのビームエネルギヲ、集光レンズを用い
て集束し、補助ガスと共に被加工物に照射することによ
り、切断・穴あけ・スクライビング・溶接等の加工を行
なわせることを目的としたレーザ加工装置に関するもの
である。[Detailed Description of the Invention] Industrial Field of Application The present invention focuses the laser beam energy using a condensing lens and irradiates the workpiece together with an auxiliary gas to perform cutting, drilling, scribing, welding, etc. This invention relates to a laser processing device for the purpose of processing.
従来の技術
従来のレーザ加工装置におけるレーザ集光部の一例を第
２図に示す。発振器より出力されたビーム１は、反射鏡
２で方向を変えた後、レンズ３により波長オーダのスポ
ット４に集束される。2. Description of the Related Art An example of a laser focusing section in a conventional laser processing apparatus is shown in FIG. A beam 1 output from an oscillator is changed in direction by a reflecting mirror 2 and then focused by a lens 3 onto a spot 4 on the order of a wavelength.
このスポット４の有する高密度のエネルギを、ワーク５
に照射すると共に、加工目的て応じた一定圧力の補助ガ
スｅをノズル７より、ビーム１と同軸に吹き付けること
により、加工能率の向上、レンズ３の冷却、ワーク５よ
りの飛散物がレンズ３に付着するのを防止すると共に、
切断・穴あけ加工等の際のドロス８を除去する。。The high-density energy of this spot 4 is transferred to the workpiece 5.
At the same time, by spraying an auxiliary gas e at a constant pressure according to the processing purpose coaxially with the beam 1 from the nozzle 7, processing efficiency is improved, the lens 3 is cooled, and debris from the workpiece 5 is removed from the lens 3. In addition to preventing adhesion,
To remove dross 8 during cutting, drilling, etc. .
ノズル７は上述の如く、最もワーク６に近い構成部品で
あるため、耐熱性、レーザに対する耐光性等の高い材料
であることが要求され、加工用レーザとして最も一般的
なＣＯ２レーザにおいては、通常、銅が用いられる。As mentioned above, the nozzle 7 is the component closest to the workpiece 6, so it is required to be made of a material with high heat resistance and light resistance to laser light. , copper is used.
またノズル７の加工精度は、特に先端部付近の形状・寸
法が直接ワーク５の加工品質、補助ガス６の消費量等に
関連するため初期精度を長期間保持されることが重要と
なる。第３図に従来構造のノズル７の先端部加工の一例
を示す。穴径を確保し、補助ガス６の流れを整えるため
、穴径に応じた、一定長さのストレート部９を有してい
る。Furthermore, it is important that the machining accuracy of the nozzle 7 is maintained for a long period of time, especially since the shape and dimensions near the tip are directly related to the machining quality of the workpiece 5, the amount of consumption of the auxiliary gas 6, and the like. FIG. 3 shows an example of machining of the tip of a nozzle 7 having a conventional structure. In order to secure the hole diameter and adjust the flow of the auxiliary gas 6, a straight portion 9 of a constant length is provided according to the hole diameter.
発明が解決しようとする問題点
しかるに、従来構造においては、加工性能に直接かかわ
るノズル７の先端部かワーク５と近接（一般には数耐以
下）していることに起因する問題点が多く存在していた
。具体例としては、ノズル高さ調整時、もしくけ加工中
のワーク５のそり、ワーク溶隔物の吹き上がり等により
、ノズル７とワーク６とが軽い接触を起こし、軟質材で
ある銅製のノズル７が摩耗・損傷を受け、第４図に示す
様にノズル穴先端形状がそこなわれ°Ｃしまう様なケー
スがあげられる。第４図（ａ）のような片べり、第４図
（ｂ）のような全体が均一に摩耗する場合、いずれもノ
ズルとしての機能は十分に果たされず、再製作が必要と
なり無駄が多い。Problems to be Solved by the Invention However, in the conventional structure, there are many problems caused by the fact that the tip of the nozzle 7, which directly affects machining performance, is in close proximity to the workpiece 5 (generally for several hours or less). was. As a specific example, when adjusting the nozzle height, if the nozzle 7 and the workpiece 6 come into slight contact due to warping of the workpiece 5 during the machining process, blowing up of the workpiece, etc., and the nozzle is made of a soft copper material. There is a case where the nozzle hole 7 is worn out or damaged and the shape of the nozzle hole tip is damaged as shown in Fig. 4. If one side of the nozzle is worn out as shown in FIG. 4(a), or the entire nozzle wears out uniformly as shown in FIG. 4(b), the function of the nozzle is not fully fulfilled, and remanufacturing is required, resulting in a lot of waste.
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明のレーザ加工装置は
ノズル先端より０．２ｍｍ以上突出したりング状もしく
け突起状の交換可能なノズル先端保護装置をノズルに取
付けてなるものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the laser processing device of the present invention is equipped with a replaceable nozzle tip protection device that protrudes from the nozzle tip by 0.2 mm or more or has a ring-like or wedge-shaped protrusion on the nozzle. That's what happens.
作 用
上記構成によシ、ワークのそうが生じていてもワークと
接触するのはノズル先端保護装置であり、ノズル先端保
護装置が摩耗するだ（づで１７−りの損傷を防止するこ
とができる。Effect With the above configuration, even if the workpiece is damaged, it is the nozzle tip protection device that comes into contact with the workpiece, and the nozzle tip protection device will wear out. can.
実施例
第１図を参照して、本発明における〜実施例を説明する
。Embodiments Embodiments of the present invention will be described with reference to FIG.
第１図（ａ）においてノズル７先端に、交換可能な、例
えばネジ込み構造の保護リング１０が設けである。保護
リング１ｏけ、ノズル７先端より寸法Ａだけ突出してお
り、ノズル７先端がワーク５に直接接触しないようにな
っている。保護リング１０の寸法Ａ、Ｂ等は使用するレ
ンズの焦点距離、加工目的等によシ変更する。ノズル保
護という点よりみれば寸法Ａは大きい方が望ましいが、
ワークとノズル先端との間隔より制限を受けるため、０
．２〜２朋の間で設定することが望ましい。In FIG. 1(a), a replaceable protective ring 10 of, for example, screw-in structure is provided at the tip of the nozzle 7. As shown in FIG. The protective ring 1o protrudes from the tip of the nozzle 7 by a dimension A, so that the tip of the nozzle 7 does not come into direct contact with the workpiece 5. The dimensions A, B, etc. of the protective ring 10 vary depending on the focal length of the lens used, the processing purpose, etc. From the point of view of nozzle protection, it is desirable that dimension A is larger, but
0 because it is limited by the distance between the workpiece and the nozzle tip.
．． It is desirable to set it between 2 and 2.
保護リング１０の材質としては、アルミニウム。The material of the protective ring 10 is aluminum.
黄銅等が適描である。Brass etc. are suitable.
なお、加工目的、たとえばセラミックのスクライビング
のように、ワークからのはね返りがノズルに直接影響を
与える様な加工の場合においては、第１図（ａ）のよう
にノズル穴先端がチャンバーの如く包まれた構造だと目
づまシ等の俗書を引き起こす危険性が考えられる。In addition, for processing purposes such as ceramic scribing, where the splash from the work directly affects the nozzle, the tip of the nozzle hole is wrapped like a chamber as shown in Figure 1 (a). If the structure is similar, there is a risk that it will lead to slang such as "mezumashi".
このような場合には第」図０））に示すように、ノズル
穴周辺を開放構造とするのがよい。第１図（ｂ）におい
ては、ベース１１周上に数ケ所配された調整ネジ１２に
より、寸法Ａの設定を調整可能としている。In such a case, it is preferable to have an open structure around the nozzle hole, as shown in Figure 0). In FIG. 1(b), the setting of the dimension A can be adjusted using several adjusting screws 12 arranged around the base 11.
第１図（ａ） 、 （ｂ）いずれの構造においても、ノ
ズル先端部のワークとの接触による損傷が未然に防止さ
れるため、ストレート部９の寸法は長期間の使用におい
ても保証され、したがって加工性能の安定化が図れる。In either structure shown in FIGS. 1(a) and 1(b), damage caused by contact of the nozzle tip with the workpiece is prevented, so the dimensions of the straight part 9 are guaranteed even during long-term use, and therefore Machining performance can be stabilized.
また、これら保護部が使用不能となるまで損傷した場合
は、保護部のみ新品と交換すればよく、従来のよってノ
ズル全体を交換する場合に比べ、ランニングコストの低
減につながる。Furthermore, if these protective parts are damaged to the point that they are unusable, only the protective parts need to be replaced with new ones, leading to lower running costs compared to the conventional case of replacing the entire nozzle.
発明の効果
以上のように、本発明による効果としては以下の点があ
げられる。Effects of the Invention As described above, the effects of the present invention include the following points.
■ ノズル先端形状が保護されるため、加工性能が長期
安定する。■ Machining performance is stable over a long period of time because the nozzle tip shape is protected.
■ ノズル先端部のダメージを受ける頻度が大幅に低減
されるため、高価なノズルの交換時期が延長される。損
傷時においても、先端の保護部のみの交換ですみ、消耗
品としてのノズルの寿命が大幅に延びる。■ The frequency of damage to the nozzle tip is greatly reduced, extending the time it takes to replace expensive nozzles. Even in the event of damage, only the protective part at the tip needs to be replaced, greatly extending the life of the nozzle as a consumable item.
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の実施例におりるレ
ーザ集光装置のノズル部の断面図、第２図は従来のしの
損傷状態を示す断面図である。
１− ビーム、３・・・レンズ、７・・ノズル、１ｏ・
・ 保護リング、１１・・−・ベース、１２・・・調整
ネジ９゜
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はプ＼１名ｆ
Ｏ゛−ラ王！マ・ｐン１′
イｆ−へ一芙
ｆ２−ｉ・）マキジ
（α）
ｈ
〈ムFIGS. 1(a) and 1(b) are cross-sectional views of a nozzle portion of a laser condensing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a damaged state of a conventional laser condenser. 1- Beam, 3... Lens, 7... Nozzle, 1o...
・Protective ring, 11...Base, 12...Adjustment screw 9゜Name of agent: Patent attorney Satoshi Nakao (Male)
O゛-ra king! Ma.
Claims (1)
光レンズを具備し、前記集光レンズと被加工物の間に前
記集光レンズにより集光されたレーザビームと同軸に、
前記被加工物に補助ガスを吹きつけるノズルを取付け、
かつ前記ノズルの先端部より０．２ｍｍ以上突出したリ
ング状もしくは突起状の交換可能なノズル先端保護装置
を前記ノズルに取付けたレーザ集光装置。A condenser lens for condensing a laser beam output from a laser oscillator is provided, coaxially with the laser beam condensed by the condenser lens between the condenser lens and the workpiece,
Installing a nozzle that blows auxiliary gas onto the workpiece,
and a laser condensing device in which a replaceable nozzle tip protection device in the form of a ring or a protrusion that protrudes from the tip of the nozzle by 0.2 mm or more is attached to the nozzle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25315285A JPS62112388A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Laser beam converging device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25315285A JPS62112388A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Laser beam converging device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62112388A true JPS62112388A (en) | 1987-05-23 |
Family
ID=17247244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25315285A Pending JPS62112388A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Laser beam converging device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62112388A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017139486A (en) * | 2017-04-04 | 2017-08-10 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Purge nozzle unit, load port, and stocker |
| JP2020074422A (en) * | 2020-01-07 | 2020-05-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Purge nozzle unit and load port |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP25315285A patent/JPS62112388A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017139486A (en) * | 2017-04-04 | 2017-08-10 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Purge nozzle unit, load port, and stocker |
| JP2020074422A (en) * | 2020-01-07 | 2020-05-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Purge nozzle unit and load port |
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