JPS62107055A - Surface treatment of iron alloy material - Google Patents

Surface treatment of iron alloy material

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JPS62107055A
JPS62107055A JP24692085A JP24692085A JPS62107055A JP S62107055 A JPS62107055 A JP S62107055A JP 24692085 A JP24692085 A JP 24692085A JP 24692085 A JP24692085 A JP 24692085A JP S62107055 A JPS62107055 A JP S62107055A
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hafnium
iron alloy
alloy material
treatment
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新井 透
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藤田 浩紀
Junji Endo
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Yoshihiko Sugimoto
義彦 杉本
Yukio Oota
幸夫 太田
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  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a surface layer having excellent adhesiveness by subjecting an iron alloy material subjected to a nitriding treatment and hafnium material to a low-temp. heating treatment by using a treating agent consisting of the chloride, fluoride, etc., of specific metals to diffuse hafnium into the surface of the iron alloy. CONSTITUTION:A round bar test piece (6mm diameter and 30mm length) is subjected to the salt bath nitriding treatment. A vessel contg. the treating agent is heated to form a fused salt bath. After the powder of hafnium is added into such salt bath, the bar test piece is immersed therein and is subjected to the heating treatment at <=700 deg.C and is then taken out to form the carbonitride layer of hafnium on the surface of the bar test piece. >=1 kinds are selected from the respective groups of the chloride, fluoride, borofluoride, oxide, bromide, etc., of alkali metals or alkaline earth metals, and halogenated ammonium salt are selected as the treating material. The dense layer of which the surface layer has the high adhesiveness to the base material is thus formed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金型、治工具類及び機械部品などの鉄合金材
料の表面にハフニウム(Hf)の窒化物あるいは炭窒化
物層を形成せしめる表面処理方法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention forms a hafnium (Hf) nitride or carbonitride layer on the surface of iron alloy materials such as molds, jigs, and machine parts. This invention relates to a surface treatment method.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

鉄合金材料の表面にハフニウムの炭化物、窒化物または
炭窒化物から成る表面層を被覆すると。
When the surface of an iron alloy material is coated with a surface layer consisting of hafnium carbide, nitride, or carbonitride.

鉄合金材料の耐摩耗性、耐焼付性、耐酸化性、耐食性な
どの諸性質が改善されることはよく知られている。この
表面層を被覆する方法について、近年多くの提案がなさ
れている。例えば、ハフニウムのハロゲン化物などを利
用してプラズマCVD(化学的気相蒸着法)などにより
鉄合金材料表面にハフニウムの炭窒化物から成る表面層
を形成しようとする方法が提案されている(例えば、特
開昭55−65357号、特開昭55−164072号
)。これらの方法では、鉄のAc1変態点である約70
0℃以下の温度域で処理するため、鉄合金材料の母材に
熱による歪みを与えることな(表面層を形成することが
できるものの、形成された表面層のつきまわり性や密着
性が良好なものを得ることは難しい。
It is well known that various properties of iron alloy materials, such as wear resistance, seizure resistance, oxidation resistance, and corrosion resistance, are improved. Many proposals have been made in recent years regarding methods of coating this surface layer. For example, a method has been proposed in which a surface layer consisting of hafnium carbonitride is formed on the surface of an iron alloy material by plasma CVD (chemical vapor deposition) using hafnium halide, etc. (e.g. , JP-A-55-65357, JP-A-55-164072). In these methods, the Ac1 transformation point of iron is approximately 70
Since the treatment is carried out at a temperature below 0°C, it does not cause heat distortion to the base material of the iron alloy material (although a surface layer can be formed, the formed surface layer has good throwing power and adhesion). It's difficult to get things.

また、処理工程が複雑で、装置が高価である。また、水
素中あるいは減圧中で実施しなければならないので能率
も悪い。
Furthermore, the processing steps are complicated and the equipment is expensive. In addition, efficiency is poor because it must be carried out in hydrogen or reduced pressure.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

本発明は、上記従来の問題点を解消して、きわめて簡単
な装置で、能率よく、低温での加熱処理により、母材に
歪みを発生させることなく、鉄合金材料に母材との密着
性の優れたハフニウムの窒化物取いは炭窒化物から成る
表面層を形成する方法を提供しようとするものである。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and achieves high adhesion of iron alloy materials to the base material by efficient heat treatment at low temperatures using extremely simple equipment, without causing distortion to the base material. The superior hafnium nitride removal process seeks to provide a method for forming a carbonitride surface layer.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、鉄合金材料の表面に鉄・窒素または鉄・炭素
・窒素の窒化物層を形成させる窒化処理を施した後、該
鉄合金材料と、ハフニウム材料と。
The present invention applies nitriding treatment to form a nitride layer of iron/nitrogen or iron/carbon/nitrogen on the surface of the iron alloy material, and then combines the iron alloy material with the hafnium material.

アルカリ金属またはアルカリ土類金属の塩化物。Chlorides of alkali metals or alkaline earth metals.

ホウ弗化物、弗化物、酸化物、臭化物、ヨウ化物。Borofluoride, fluoride, oxide, bromide, iodide.

炭酸塩、硝酸塩、硼酸塩のうちの1種または2種以上、
または/およびハロゲン化アンモニウム塩。
One or more of carbonates, nitrates, borates,
or/and ammonium halide salts.

金属ハロゲン化物の一方または双方から成る処理剤とを
共存せしめて、700℃以下において加熱処理し、ハフ
ニウムを上記鉄合金材料表面に拡散せしめることにより
、鉄合金材料表面にハフニウムの窒化物あるいは炭窒化
物から成る表面層を形成せしめることを特徴とする鉄合
金材料の表面処理方法である。
Hafnium nitride or carbonitride is formed on the surface of the iron alloy material by heat treatment at 700°C or lower in the presence of a treatment agent consisting of one or both of the metal halides and diffusing hafnium onto the surface of the iron alloy material. This is a method for surface treatment of iron alloy materials, which is characterized by forming a surface layer made of metal.

本発明において、鉄合金材料はハフニウムの窒化物ある
いは炭窒化物層を表面に形成する被処理材である。該鉄
合金材料としては、炭素を含むもの2例えば炭素鋼2合
金鋼、鋳鉄、焼結合金等でもよく、また純鉄のような炭
素を極くわずかしか含まないものでもよい。また、鉄合
金材料中の炭素含有量が多ければ、それだけ形成される
ハフニウムの炭窒化物層中の炭素量も増える。そのため
形成される表面層の炭素量を増やす目的で、窒化処理に
先立って、浸炭処理等により表面部の炭素含有量を増加
させてもよ(、窒化処理中に浸炭させてもよい。なお、
工業用純鉄を被処理材とする場合には、母材中に含有さ
れる極く微量の炭素がハフニウムの炭窒化物層に入る。
In the present invention, the iron alloy material is a material to be treated on which a hafnium nitride or carbonitride layer is formed. The iron alloy material may be one containing carbon, such as carbon steel, two alloy steel, cast iron, or a sintered alloy, or it may be one containing very little carbon, such as pure iron. Furthermore, the greater the carbon content in the iron alloy material, the greater the amount of carbon in the hafnium carbonitride layer formed. Therefore, in order to increase the amount of carbon in the surface layer that is formed, the carbon content of the surface layer may be increased by carburizing or the like prior to nitriding (or carburizing may be carried out during nitriding.
When industrial pure iron is used as the material to be treated, a very small amount of carbon contained in the base material enters the hafnium carbonitride layer.

窒化処理とは、鉄合金材料の表面に窒素(N)を拡散さ
せ、窒化物層を形成するものである。この窒化物層は、
鉄と窒素とが反応した鉄の窒化物あるいは鉄と窒素と母
材中の炭素とが反応した鉄の炭窒化物かび成る。なお、
該窒化物層の直下には窒素の鉄への固溶体層(拡散層)
が形成されている。そして、この鉄合金材料をハフニウ
ム材料と共に加熱処理することにより窒化物層にハフニ
ウムが拡散し、ハフニウムと上記窒化物層中の鉄との置
換反応が起こる。この際、窒化物層が鉄の炭窒化物層の
場合にはハフニウムの炭窒化物から成る表面層が形成さ
れ、また窒化物層が鉄の窒化物層の場合にはハフニウム
の窒化物から成る表面層が形成される。該窒化処理した
鉄合金材料に形成させ得る表面層の最大厚さは、窒化物
層の層厚さと同じであり、従って表面層の厚さは窒化処
理によって規定される。
The nitriding process is to diffuse nitrogen (N) onto the surface of an iron alloy material to form a nitride layer. This nitride layer is
It consists of iron nitride, which is the reaction between iron and nitrogen, or iron carbonitride, which is the reaction between iron, nitrogen, and carbon in the base material. In addition,
Directly below the nitride layer is a solid solution layer (diffusion layer) of nitrogen in iron.
is formed. Then, by heat-treating this iron alloy material together with the hafnium material, hafnium diffuses into the nitride layer, and a substitution reaction between hafnium and iron in the nitride layer occurs. At this time, if the nitride layer is an iron carbonitride layer, a surface layer consisting of hafnium carbonitride is formed, and if the nitride layer is an iron nitride layer, a surface layer consisting of hafnium nitride is formed. A surface layer is formed. The maximum thickness of the surface layer that can be formed on the nitrided iron alloy material is the same as the layer thickness of the nitride layer, and therefore the thickness of the surface layer is determined by the nitriding treatment.

窒化処理の方法としては、ガス窒化、ガス軟窒化、塩浴
軟窒化、グロー放電窒化など如何なる方法でもよい。窒
化物層の窒化濃度は高い方が望ましく、また窒化物層厚
さは深い方が望ましいが。
Any method such as gas nitriding, gas soft nitriding, salt bath soft nitriding, glow discharge nitriding, etc. may be used as the nitriding method. It is desirable that the nitride concentration of the nitride layer be high, and that the nitride layer be thick.

最も望ましいのは窒化物層厚さが3〜15μmの範囲で
ある。窒化物層厚さが浅すぎると形成されるハフニウム
の窒化物あるいは炭窒化物層の厚さが薄くなり、一方深
すぎると鉄合金材料の靭性が低下するおそれがある。
Most preferably, the nitride layer thickness is in the range of 3 to 15 μm. If the nitride layer thickness is too shallow, the hafnium nitride or carbonitride layer formed will be thin, while if it is too deep, the toughness of the iron alloy material may decrease.

鉄合金材料に上記窒化処理を施した後、該鉄合金材料と
ハフニウム材料とを共存させて加熱処理する。
After the iron alloy material is subjected to the nitriding treatment described above, the iron alloy material and the hafnium material are allowed to coexist and heat treated.

この加熱処理は、鉄合金材料の表面にハフニウムを拡散
させて、その窒化物あるいは炭窒化物から成る表面層を
形成するものである。
This heat treatment diffuses hafnium onto the surface of the iron alloy material to form a surface layer made of its nitride or carbonitride.

上記ハフニウム材料とは、鉄合金材料の表面に拡散させ
るハフニウムを供給するものであり、ハフニウムを含む
金属あるいはハフニウム化合物等を用いる。該金属とし
ては、ハフニウム金属やその合金が挙げられる。上記化
合物としては、1lfC14゜HfBr4等の塩化物、
臭化物等が挙げられる。しかして、これらハフニウム材
料は、これらのうち1種または2種以上を用いるが、ハ
フニウム金属を用いるのが最も実用的である。
The above-mentioned hafnium material supplies hafnium to be diffused onto the surface of the iron alloy material, and uses a metal containing hafnium, a hafnium compound, or the like. Examples of the metal include hafnium metal and alloys thereof. The above-mentioned compounds include chlorides such as 1lfC14°HfBr4,
Examples include bromides. Although one or more of these hafnium materials are used, it is most practical to use hafnium metal.

また、前記処理剤は、ハフニウムが鉄合金材料の表面に
拡散する媒介となる働きを有している。
Further, the treatment agent has the function of acting as a medium for hafnium to diffuse onto the surface of the iron alloy material.

該処理剤としては、アルカリ金属またはアルカリ土類金
属の塩化物、弗化物、ホウ弗化物、酸化物。
Examples of the treatment agent include chlorides, fluorides, boron fluorides, and oxides of alkali metals or alkaline earth metals.

臭化物、ヨウ化物、炭酸塩、硝酸塩、硼酸塩のうちの1
種または2種以上から成るアルカリ金属またはアルカリ
土類金属の化合物、または/およびハロゲン化アンモニ
ウム塩、金属ハロゲン化物の一方または双方から成るも
のであり、加熱処理方法によって適宜選択して使用する
One of bromide, iodide, carbonate, nitrate, or borate
It consists of one or both of an alkali metal or alkaline earth metal compound consisting of a species or two or more kinds, and/or an ammonium halide salt and a metal halide, and is appropriately selected and used depending on the heat treatment method.

例えば、上記アルカリ金属またはアルカリ土類金属の化
合物としては、 NaC1、CaCl 21 L iC
l + NaF + KF 。
For example, the alkali metal or alkaline earth metal compounds include NaCl, CaCl 21 LiC
l + NaF + KF.

LiF、 KBF4. NazCO3,LiCO3,K
CO3,NaN0z、 NazO等が挙げられ、これら
のうちの1種または2種以上を使用する。また、ハロゲ
ン化アンモニウム塩としては、 NH4Cl、 Nt(
nBr+ N1)4.r 、 N1)41等が挙げられ
、金属ハロゲン化物としては、Crl z + CrB
r3 + VCI 3 + T iF a 。
LiF, KBF4. NazCO3, LiCO3, K
Examples include CO3, NaN0z, NazO, etc., and one or more of these are used. In addition, halogenated ammonium salts include NH4Cl, Nt(
nBr+ N1)4. r , N1)41, etc., and metal halides include Crl z + CrB
r3 + VCI3 + T iFa.

TiBra+ FeCl3等が挙げられ、これらのうち
の1種または2種以上を使用する。
Examples include TiBra+FeCl3, and one or more of these may be used.

しかして、前記処理剤としては、上記アルカリ金属また
はアルカリ土類金属の化合物のみ、あるいはハロゲン化
アンモニウム塩、金属ハロゲン化物の一方または双方の
みを使用してもよく、更に。
Therefore, as the treatment agent, only the alkali metal or alkaline earth metal compound, or only one or both of the ammonium halide salt and the metal halide may be used.

上記アルカリ金属またはアルカリ土類金属の化合物とハ
ロゲン化アンモニウム塩、金属ハロゲン化物の一方また
は双方との両者を使用してもよい。
The above-mentioned alkali metal or alkaline earth metal compound and one or both of an ammonium halide salt and a metal halide may be used.

なおTiやCrを含む化合物を使用する場合には、1)
fと同時にTi、 Crが含まれた表面層が形成される
可能性がある。
Note that when using a compound containing Ti or Cr, 1)
There is a possibility that a surface layer containing Ti and Cr is formed simultaneously with f.

また、処理剤としてl1fC14等のハフニウムのハロ
ゲン化物を使用する場合、前記ハフニウム材料として兼
用することもできる。
Further, when a hafnium halide such as l1fC14 is used as a processing agent, it can also be used as the hafnium material.

加熱処理方法としては、処理温度においてこれら処理剤
が溶融状態にあるか固体状態にあるかによって、溶融塩
浸漬法、溶融塩電解法、粉末法等がある。また、該粉末
法には、埋設法、ペースト法、非接触法、流動層法があ
る。
Heat treatment methods include a molten salt immersion method, a molten salt electrolysis method, a powder method, and the like, depending on whether the processing agent is in a molten state or a solid state at the treatment temperature. Further, the powder method includes an embedding method, a paste method, a non-contact method, and a fluidized bed method.

以下、これらにつき説明する。These will be explained below.

上記溶融塩浸漬法とは、前記処理剤を溶融して溶融塩浴
を形成し、該溶融塩浴にハフニウム材料と鉄合金材料と
を浸漬するものである。この方決で用いる処理剤は、前
記処理剤のうちのアルカリ金属またはアルカリ土類金属
の塩化物、弗化物。
The molten salt immersion method is a method in which the treatment agent is melted to form a molten salt bath, and the hafnium material and the iron alloy material are immersed in the molten salt bath. The processing agent used in this method is a chloride or fluoride of an alkali metal or alkaline earth metal among the processing agents.

ホウ弗化物、炭酸塩、硝酸塩、酸化物、硼酸塩の1種ま
たは2種以上、または/および加熱処理温度以下の温度
で溶融し蒸発しない金属ハロゲン化物を使用する。なお
、溶融状態を良好にするため。
One or more of borofluorides, carbonates, nitrates, oxides, borates, and/or metal halides that do not melt and evaporate at temperatures below the heat treatment temperature are used. In addition, in order to improve the melting state.

NaClとCaC1zとの組合わせのように2種類以上
の上記化合物を使用するのが望ましい。更に溶融塩浴の
粘性を調節するなどの口約のためにAhO:i+ZrO
2等の酸化物やNaCN等のシアン化合物等を添加して
もよい。
It is desirable to use two or more of the above compounds, such as a combination of NaCl and CaClz. Furthermore, for reasons such as adjusting the viscosity of the molten salt bath, AhO:i+ZrO
An oxide such as No. 2 or a cyanide compound such as NaCN may be added.

上記溶融塩浴にハフニウム材料を浸漬するのは。The hafnium material is immersed in the molten salt bath.

溶融浴塩中にハフニウムを溶入させるためである。This is to dissolve hafnium into the molten bath salt.

ハフニウム材料を浸漬する手段としては、該材料を粉末
状(好ましくは200メツシユ以下)または薄板状で溶
融浴に添加する方法あるいは棒状または板状の該材料を
陽極として溶融浴中に浸漬して電解しハフニウムを陽極
溶解させる方法等がある。上記陽極溶解によりハフニウ
ムを溶入する場合には、ハフニウムが迅速に溶入して作
業能率を向上させることができ、しかも未溶解のハフニ
ウム材料が浴底に堆積することはないという点で有利で
ある。なお、この場合の陰極としては溶融塩浴の容器ま
たは他に挿入した導電性物質を使用する。陽極溶解する
ときの陽極電流密度は、これを大きくすれば溶入速度は
大きくなるが、電解しなくても溶入することから考えて
も、比較的低い電流密度で充分である。実用上は0.1
〜0.8 A / crAが適当である。
The method of immersing the hafnium material is to add the material in powder form (preferably 200 meshes or less) or thin plate form to a molten bath, or to electrolyze by immersing the material in the form of a rod or plate in a molten bath as an anode. There are methods such as anodic dissolution of hafnium. Introducing hafnium by anodic melting is advantageous in that hafnium can be infused quickly and work efficiency can be improved, and undissolved hafnium material does not accumulate at the bottom of the bath. be. In this case, as the cathode, a conductive substance inserted into a molten salt bath container or elsewhere is used. If the anode current density during anodic melting is increased, the infiltration rate will increase, but considering that infiltration occurs even without electrolysis, a relatively low current density is sufficient. Practically 0.1
~0.8 A/crA is suitable.

浴中に溶入したハフニウムは鉄合金材料の前記窒化処理
により形成された窒化物層表面に拡散してハフニウムの
窒化物あるいは炭窒化物層を形成する。
The hafnium dissolved in the bath diffuses onto the surface of the nitride layer formed by the nitriding treatment of the iron alloy material to form a hafnium nitride or carbonitride layer.

なお、溶融塩浴の容器としては黒鉛や鋼などが用いられ
るが、実用上は鋼で充分である。
Note that graphite, steel, or the like is used as the container for the molten salt bath, but steel is sufficient for practical use.

また、前記溶融塩電解法とは、処理剤を溶融せしめた浴
にハフニウム材料を浸漬しハフニウムを溶入せしめた状
態で、該溶融塩浴に鉄合金材料を陰極として浸漬し、電
解処理を行うものである。
In addition, the molten salt electrolysis method is a method in which a hafnium material is immersed in a bath in which a treatment agent is melted, and in a state in which hafnium is infused, an iron alloy material is immersed in the molten salt bath as a cathode, and electrolytic treatment is performed. It is something.

なおこの場合、陽極として浴の容器または別に挿入した
導電性物質を用いる。
In this case, the bath container or a separately inserted conductive substance is used as the anode.

処理剤としては、上記溶融塩浸漬法と同様なものを使用
し、該処理剤を溶融した浴にハフニウム材料を浸漬して
ハフニウムを溶入する手段も前記溶融塩浸漬法と同様な
方法でよい。また処理剤の溶融塩浴にハフニウム材料を
陽極、鉄合金材料を陰極として浸漬し電解処理を行うこ
ともできる。
As the treatment agent, the same one as in the molten salt immersion method may be used, and the means for infiltrating hafnium by immersing the hafnium material in a bath containing the treatment agent may also be the same as in the molten salt immersion method. . Alternatively, electrolytic treatment can be performed by immersing the hafnium material as an anode and the iron alloy material as a cathode in a molten salt bath of a treatment agent.

この場合、ハフニウムの陽極溶解と表面層の形成とを同
時に行うことができるというメリットがある。
In this case, there is an advantage that the anodic dissolution of hafnium and the formation of the surface layer can be performed simultaneously.

また、鉄合金材料を浸漬して電解処理を行う陰極電流密
度は2A/cut以下、実用的には0.05〜1、OA
/cotが適当である。
In addition, the cathode current density for electrolytic treatment by immersing the iron alloy material is 2A/cut or less, practically 0.05-1, OA
/cot is appropriate.

なお、上記溶融塩浸漬法、溶融塩電解法とも大気雰囲気
あるいは保護ガス(Nz、Ar等)中いずれにても処理
が可能である。
Incidentally, both the molten salt immersion method and the molten salt electrolysis method described above can be carried out either in the air atmosphere or in a protective gas (Nz, Ar, etc.).

次に、前記粉末法とは、前記処理剤とハフニウム材料と
の混合粉末及び鉄合金材料を共存させ。
Next, the powder method involves coexisting the processing agent with a mixed powder of a hafnium material and an iron alloy material.

加熱するものである。It is heated.

該粉末法において、処理剤とハフニウム材料との混合粉
末及び鉄合金材料を共存させる方法としては次のものが
ある。即ち、埋設法と一般に言われている鉄合金材料を
上記混合粉末中に埋めこむ方法、ペースト法と一般に言
われている鉄合金材料の表面に上記混合粉末を被覆する
方法、非接触法と一般に言われている一定の空間内に鉄
合金材料と上記混合粉末とを非接触状態で配置する方法
In the powder method, the following methods can be used to coexist a mixed powder of a processing agent and a hafnium material and an iron alloy material. In other words, there are two methods: embedding the iron alloy material in the mixed powder, which is generally called the embedding method, coating the surface of the iron alloy material with the mixed powder, which is generally called the paste method, and the non-contact method, which is generally called the paste method. A method of arranging the iron alloy material and the above mixed powder in a non-contact state within a certain space.

及び流動層法と一般に言われている上記混合粉末を流動
状態として流動層を形成し該流動層に鉄合金材料を挿入
する方法がある。
There is also a method generally called the fluidized bed method, in which the mixed powder is brought into a fluidized state to form a fluidized bed, and an iron alloy material is inserted into the fluidized bed.

上記粉末法で用いる処理剤は、アルカリ金属またはアル
カリ土類金属の塩化物1弗化物、臭化物。
The processing agent used in the powder method is an alkali metal or alkaline earth metal chloride monofluoride or bromide.

ヨウ化物、ホウ弗化物のうちの1種または2種以上、ま
たは/およびハロゲン化アンモニウム塩。
One or more of iodides, boron fluorides, and/or ammonium halide salts.

金属ハロゲン化物の−方または双方から成るものである
。なお、粉末法の中でも流動層の場合には。
It consists of metal halides or both. In addition, in the case of fluidized bed among powder methods.

上記金属ハロゲン化物は、加熱処理温度以下の温度で昇
華または蒸発するもの(VCI:++FeCl3.Ti
F4.VF:l+ TiBra等)を使用する。これは
、加熱処理温度以下の温度で昇華または蒸発しない金属
ハロゲン化物を使用すると、処理剤から発生しハフニウ
ムの拡散の働きに寄与するガスの発生量が少なく生成す
る層の厚”さが薄くなるためである。
The metal halide mentioned above is one that sublimes or evaporates at a temperature below the heat treatment temperature (VCI: ++FeCl3.Ti
F4. VF: l+ TiBra, etc.) is used. This is because when metal halides that do not sublimate or evaporate at temperatures below the heat treatment temperature are used, the amount of gas generated from the processing agent that contributes to the diffusion of hafnium is reduced, resulting in a thinner layer. It's for a reason.

処理剤とハフニウム材料との配合割合は、ハフニウム材
料に対して0.5〜20重量%(以下重量%を%とする
)の処理剤が含まれる範囲が望ましい。この範囲外であ
ると連続的にハフニウムの窒化物あるいは炭窒化物から
成る表面層を形成することが困難になり、またこの範囲
の中心に近づくと、連続的な表面層形成が容易になる傾
向にある。
The mixing ratio of the processing agent and the hafnium material is preferably in a range in which the processing agent is contained in an amount of 0.5 to 20% by weight (hereinafter referred to as % by weight) relative to the hafnium material. Outside this range, it becomes difficult to continuously form a surface layer consisting of hafnium nitride or carbonitride, and as you approach the center of this range, it tends to become easier to form a continuous surface layer. It is in.

また処理剤とハフニウム材料との混合粉末の粒度は、埋
設法、ペースト法、非接触法を実施する場合JISlk
lOOのフルイ通過程度でよい。これより粗くとも細か
くとも特に大きな影響はない。
In addition, the particle size of the mixed powder of the treatment agent and hafnium material should be determined according to JISlk when using the burial method, paste method, or non-contact method.
It is sufficient to pass through a sieve of 1OO. Whether it is coarser or finer than this, there is no particular effect.

また、流動層法を実施する場合60〜350メツシユの
粒度の範囲のものが好ましい。60メツシユより粗いと
混合粉末を流動化させるために多量のガスを必要とし、
しかも表面層形成が進みにくい。逆に350メツシユよ
゛り細かくなると混合粉末が浮遊しやすくなり、取り扱
いが困難になる。
Further, when carrying out a fluidized bed method, particles having a particle size in the range of 60 to 350 mesh are preferred. If it is coarser than 60 mesh, a large amount of gas is required to fluidize the mixed powder,
Moreover, surface layer formation is difficult to proceed. On the other hand, when the mesh is finer than 350 mesh, the mixed powder tends to float and becomes difficult to handle.

混合粉末には、上記処理剤とハフニウム材料以外に添加
剤を加えることができる。たとえばペースト法を実施す
る場合デキストリン、水ガラス等の粘着剤を添加するこ
とができる。また、処理剤の種類によっては加熱処理中
に固化しやすい傾向のものもある。この場合にはアルミ
ナ(Alz(h)等の不活性粉末を添加することができ
る。更にハフニウム材料と処理剤の組合わせによっては
表面層形成効果の乏しい組合わせもある。かかる場合に
は従来活性剤として公知のハロゲン化物を添加し。
Additives can be added to the mixed powder in addition to the above-mentioned processing agent and hafnium material. For example, when carrying out a paste method, an adhesive such as dextrin or water glass can be added. Additionally, some types of processing agents tend to solidify easily during heat treatment. In this case, inert powder such as alumina (Alz(h)) can be added.Furthermore, some combinations of hafnium materials and processing agents have poor surface layer formation effects.In such cases, conventional active A known halide is added as an agent.

表面層形成効果を高めることができる。これらの添加物
の添加量は、目的に応じて任意に選択することができる
The effect of forming a surface layer can be enhanced. The amount of these additives added can be arbitrarily selected depending on the purpose.

以下に、上記した粉末法の具体例である埋設法。Below, the embedding method is a specific example of the powder method described above.

ペースト法、非接触法及び流動層法について詳しく説明
する。
The paste method, non-contact method, and fluidized bed method will be explained in detail.

埋設法では、一定の容器に処理剤とハフニウム材料との
混合粉末を入れ、その粉末中に被処理剤たる鉄合金材料
を埋めこみ3大気下の加熱炉あるいは雰囲気炉に容器を
入れ、容器ごと鉄合金材料を加熱する方法である。なお
、容器の開口部に外気の侵入を防止するためアルミナ等
の不活性粉末あるいは鉄−ボロン粉末等の金属粉末の層
を設けることがある。
In the burying method, a mixed powder of a treatment agent and a hafnium material is placed in a certain container, and the iron alloy material to be treated is buried in the powder.3 The container is placed in a heating furnace or atmosphere furnace in the atmosphere, and the entire container is filled with iron. This is a method of heating alloy materials. Note that a layer of inert powder such as alumina or metal powder such as iron-boron powder may be provided at the opening of the container to prevent outside air from entering.

ペースト法とは、混合粉末に例えばデキストリン水溶液
、グリセリン、水ガラス、エチレングリコールとアルコ
ール等の粘着剤を添加し、混合粉末をペースト化して使
用するものである。この混合粉末のペーストは、鉄合金
材料の表面に通常1)1以上の厚さで被覆される。ペー
ストを被覆された鉄合金材料は2通常容器に入れられて
加熱炉で加熱される。雰囲気は大気中でよいが非酸化性
雰囲気下ではペーストの被覆層を薄くすることができる
。また、このペースト法では、ペーストの被覆された表
面部のみに表面層が形成されるため鉄合金材料の任意の
一部表面部のみに表面層を形成することができる。
The paste method is a method in which an adhesive such as an aqueous dextrin solution, glycerin, water glass, ethylene glycol, and alcohol is added to a mixed powder to form a paste. The paste of this mixed powder is usually coated on the surface of the iron alloy material to a thickness of 1) or more. The paste-coated iron alloy material is usually placed in a container and heated in a heating furnace. The atmosphere may be air, but the paste coating layer can be made thinner in a non-oxidizing atmosphere. Furthermore, in this paste method, since the surface layer is formed only on the surface portion covered with the paste, it is possible to form the surface layer only on an arbitrary part of the surface portion of the iron alloy material.

非接触法とは、一定の密閉空間中に鉄合金材料と混合粉
末を共存させるものである。具体的には容器の開口部近
くに混合粉末を配置して外気の侵入を防止し、容器中の
混合粉末と接触しない位置に鉄合金材料を配置する方法
で加熱処理を実施する。この方法は、鉄合金材料と混合
粉末とが接触していないため作業上の利点がある。
The non-contact method involves making the iron alloy material and the mixed powder coexist in a certain closed space. Specifically, the heat treatment is performed by placing the mixed powder near the opening of the container to prevent outside air from entering, and placing the iron alloy material at a position where it does not come into contact with the mixed powder in the container. This method has operational advantages because there is no contact between the iron alloy material and the mixed powder.

流動層法とは、流動層式炉を用いるものであり。The fluidized bed method uses a fluidized bed furnace.

混合粉末が流動中に固まりとなるのを防ぐためのアルミ
ナ等の耐火物を上記混合粉末に添加した粉末と鉄合金材
料とを上記炉中に配置し、更に流動化ガスを導入して粉
末が流動化した流動層状態にするものである。この方法
で加熱処理を実施するときわめて平滑な表面層を得るこ
とができ、さらに流動層の温度分布が均一であるので1
均一な厚さの表面層を形成することができる。流動化ガ
スとしては、アルゴンガス等の不活性ガスや窒素ガス等
の非酸化性ガスを使用することができる。また流動化ガ
スの流速は流動層中で50cm/分以上とするのが9表
面層に粉末の付着がなく望ましい。
A refractory material such as alumina is added to the mixed powder to prevent the mixed powder from forming a lump during fluidization, and the iron alloy material and the powder are placed in the furnace, and a fluidizing gas is introduced to form the powder. This creates a fluidized bed state. When heat treatment is performed using this method, an extremely smooth surface layer can be obtained, and the temperature distribution of the fluidized bed is uniform, so
A surface layer of uniform thickness can be formed. As the fluidizing gas, an inert gas such as argon gas or a non-oxidizing gas such as nitrogen gas can be used. Further, it is desirable that the flow rate of the fluidizing gas be 50 cm/min or more in the fluidized bed to prevent powder from adhering to the surface layer.

ガス圧としては、取り扱い上0.5〜2kg / ca
!の範囲がよい。
Gas pressure is 0.5 to 2 kg/ca for handling purposes.
! A range of is good.

以上のような加熱処理の加熱温度は700℃以下とする
。700℃以下の温度域で処理することにより鉄合金材
料の母材が歪みを受けにくくなる。
The heating temperature of the above heat treatment is 700° C. or lower. By processing in a temperature range of 700° C. or lower, the base material of the iron alloy material becomes less susceptible to distortion.

また、その下限温度としては450℃とするのが望まし
い。450℃より低温で加熱処理を施した場合2ハフニ
ウムの窒化物あるいは炭窒化物から成る表面層の形成速
度は非常に遅い。実用上はダイス鋼の高温焼戻し温度、
構造用鋼の焼戻し温度の520〜600℃が望ましい。
Further, it is desirable that the lower limit temperature is 450°C. When heat treatment is performed at a temperature lower than 450° C., the rate of formation of a surface layer consisting of dihafnium nitride or carbonitride is very slow. In practice, the high temperature tempering temperature of die steel,
A temperature of 520 to 600°C, which is the tempering temperature of structural steel, is desirable.

加熱処理の処理時間が長くなれば表面層中のハフニウム
含有量が増加する。このため処理時間は所望とするハフ
ニウム含有量により定まるが、1〜50時間の範囲で選
ばれる。
As the heat treatment time increases, the hafnium content in the surface layer increases. Therefore, the treatment time is determined depending on the desired hafnium content, and is selected within the range of 1 to 50 hours.

また、形成する表面層の厚さは3〜15μm程度が実用
的である。
Further, the practical thickness of the surface layer to be formed is about 3 to 15 μm.

〔作用〕[Effect]

本発明によるハフニウムの窒化物あるいは炭窒化物から
成る表面層の形成機構は明確ではないが。
The formation mechanism of the surface layer made of hafnium nitride or carbonitride according to the present invention is not clear.

本発明者らがマイクロアナライザ分析や処理時間と厚さ
の関係などから判断すると、以下のようになっていると
考えられる。なお、以下の説明はハフニウムの炭窒化物
層を形成する機構についてである(以下のm、n、o、
pはそれぞれ数字を表す)。
Judging by the inventors from microanalyzer analysis and the relationship between processing time and thickness, the following is believed to be the case. The following explanation is about the mechanism of forming a hafnium carbonitride layer (the following m, n, o,
p represents a number).

まず、被処理材である鉄合金材料に窒化処理を施すこと
により、外部から供給される窒素(N)が鉄合金材料の
表面部の鉄(Fe)及び炭素(C)と反応してF e 
m (C+ N ) fiの形で窒化物層が形成される
。また、この窒化物層の直下には、窒素の固溶体(Fe
−Nの形)も形成される。
First, by performing nitriding treatment on the iron alloy material to be treated, nitrogen (N) supplied from the outside reacts with iron (Fe) and carbon (C) on the surface of the iron alloy material, resulting in Fe
A nitride layer is formed in the form m (C+N) fi. Further, directly below this nitride layer, a solid solution of nitrogen (Fe
-N shape) is also formed.

その後、鉄合金材料に加熱処理を施すことにより、上記
窒化物層に外部からのハフニウム(Hf)が拡散する。
Thereafter, by subjecting the iron alloy material to heat treatment, hafnium (Hf) from the outside is diffused into the nitride layer.

この拡散はpes+(c、N)nのFeとIlfとが置
換する反応であり、窒化物層は(Hf 、 Fe)。(
C,N)9に変化する。そしてPeJClN)n層がす
べて()If、Fe)o(C,N) 、に変化するとそ
れ以上(Hf、Fe)o(C1N) p層の成長はない
。なお+ atr + Fe) O(CI N) 1)
層においては表面はどIlfが多く、母材に近いほどF
eが多い傾向にある。従って条件によっては表面部のF
e量は著しく小さく 、 Hf、(C,N)pと表示す
るのが妥当な場合もある。
This diffusion is a reaction in which Fe in pes+(c,N)n is substituted with Ilf, and the nitride layer is (Hf, Fe). (
C, N) changes to 9. When all of the PeJClN)n layer changes to ()If,Fe)o(C,N), there is no further growth of the (Hf,Fe)o(C1N)p layer. Note + atr + Fe) O(CI N) 1)
In the layer, the surface has more Ilf, and the closer it is to the base metal, the more F
There tends to be a lot of e. Therefore, depending on the conditions, the surface F
The amount of e is so small that it may be appropriate to express it as Hf, (C,N)p.

従って、形成される表面層の厚さは最初の窒化処理によ
り形成される窒化物層の厚さと同じである。そのため、
窒化処理の条件によって表面層の最大層厚さを規定する
ことができる。また、すべてのPen CC+ N) 
n層が(Hf 、 Fe) 。(C9N) pに変化す
るまでの間は表面側に(Hf、Pe)。(C9N)p層
、母材側にFew(CIN)n層の存在する二層から成
る表面層が存在している。そしてこの表面層の厚さは最
初のFew(C1N)n層の厚さにほぼ等しい。
Therefore, the thickness of the surface layer formed is the same as the thickness of the nitride layer formed by the initial nitriding process. Therefore,
The maximum layer thickness of the surface layer can be determined by the conditions of the nitriding treatment. Also, all Pen CC+ N)
The n layer is (Hf, Fe). (C9N) (Hf, Pe) on the surface side until it changes to p. There is a surface layer consisting of two layers: a (C9N) p layer and a Few (CIN) n layer on the base material side. The thickness of this surface layer is approximately equal to the thickness of the initial Few(C1N)n layer.

また、ハフニウムの窒化物から成る表面層を形成する場
合についても1表面層形成機構は上記と同様である。
Furthermore, in the case of forming a surface layer made of hafnium nitride, the mechanism for forming one surface layer is the same as described above.

これは本発明方法が700℃以下という低温で加熱処理
を行っているためであり、このような機構での、したが
ってこのような処理時間−厚さ関係を持つ表面層の形成
はこれまで知られていない。
This is because the method of the present invention performs heat treatment at a low temperature of 700°C or less, and the formation of a surface layer using this mechanism and thus having such a treatment time-thickness relationship has not been known so far. Not yet.

本発明方法では、実施例1の第1図に表されるように加
熱処理を550″Cで行った場合(曲線A)の表面層厚
さくFeJClN) n層の厚さと(Hf、Fe)。
In the method of the present invention, as shown in FIG. 1 of Example 1, when the heat treatment is performed at 550''C (curve A), the surface layer thickness (FeJClN) and the n layer thickness (Hf, Fe) are determined.

(C,N)p層厚さの合計厚さ)は加熱処理時間には影
響されていない。それに対して1000℃のような高温
で加熱処理を行った場合(曲線Sl)には加熱処理時間
が長くなれば一般の拡散処理と同じく表面層厚さも増加
している。
The total thickness of the (C,N)p layer thickness) was not affected by the heat treatment time. On the other hand, when heat treatment is performed at a high temperature such as 1000° C. (curve Sl), as the heat treatment time becomes longer, the surface layer thickness also increases as in general diffusion treatment.

なお実用上には鉄・炭素・窒素の窒化物層を全部(Hf
、Re)。(C,N)p層に変えてしまう必要はない。
In addition, in practical use, all iron, carbon, and nitrogen nitride layers (Hf
,Re). There is no need to change it to a (C,N)p layer.

2つの層の共存する状態でも、全部が(Iff、Fe)
Even in the state where two layers coexist, all (Iff, Fe)
.

(C,N)p層に変わった状態でもよい(鉄・窒素の窒
化物層をハフニウムの窒化物から成る表面層に変える場
合についても同様)。
The state may be changed to a (C,N)p layer (the same applies to the case where the iron/nitrogen nitride layer is changed to a surface layer made of hafnium nitride).

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、鉄・窒素あるいは鉄・炭素・窒素の窒
化物層を形成後、前記特定の処理剤を用い、700℃以
下という低温においてハフニウムの拡散処理を行うので
、低温において、鉄合金材料にハフニウムの窒化物ある
いは炭窒化物から成る優れた表面層を形成することがで
きる。
According to the present invention, after forming an iron-nitrogen or iron-carbon-nitrogen nitride layer, hafnium diffusion treatment is performed at a low temperature of 700°C or less using the above-mentioned specific treatment agent. An excellent surface layer of hafnium nitride or carbonitride can be formed on the material.

また、低温で鉄合金材料を加熱するため、材料の母材に
歪みが発生しにくい。更に低温処理による操作性が良好
であり、多大のエネルギーを必要としない。
Additionally, since the iron alloy material is heated at a low temperature, distortion is less likely to occur in the base material of the material. Furthermore, it has good operability due to low temperature treatment and does not require a large amount of energy.

5また1本発明による層は拡散によって形成されるため
、低温で処理するにもかかわらず、拡散反応のないPV
Dによる炭化物層、窒化物層の場合と異なり母材との密
着性に優れ、緻密な表面層を形成することができる。ま
た、形成された層の厚さは実用上十分なものである。
5. Also, since the layer according to the present invention is formed by diffusion, it is possible to form PV without any diffusion reaction even though it is processed at low temperature.
Unlike the carbide layer and nitride layer formed by D, it has excellent adhesion to the base material and can form a dense surface layer. Moreover, the thickness of the formed layer is practically sufficient.

また2本発明のハフニウムの窒化物または炭窒化物から
成る表面層を形成する方法では、窒化処理を行わないで
ハフニウムの炭化物層を形成する方法に比べて非常に短
時間で層を形成することができる。
In addition, the method of forming a surface layer made of hafnium nitride or carbonitride of the present invention can form a layer in a much shorter time than the method of forming a hafnium carbide layer without nitriding. I can do it.

〔実施例〕〔Example〕

以下2本発明の詳細な説明する。なお%は重量%を意味
する。
Two aspects of the present invention will be described in detail below. Note that % means weight %.

実施例1゜ 直径61m、長さ30鶴のJIS−3KH51丸棒試片
丸棒子0℃の塩浴中に2時間浸漬して塩浴窒化処理を施
した。次にCaC1z 52モル%とNaC148モル
%との混合物の入った耐熱鋼容器を大気中の電気炉にて
加熱して550℃の溶融塩浴を形成シ、更に浴中に一2
00メツシュのハフニウム金属粉末を上記溶融塩浴に対
して20%添加した。
Example 1 A JIS-3KH51 round bar specimen having a diameter of 61 m and a length of 30 mm was immersed in a salt bath at 0° C. for 2 hours to undergo salt bath nitriding treatment. Next, a heat-resistant steel container containing a mixture of 52 mol% of CaC1z and 148 mol% of NaC was heated in an electric furnace in the atmosphere to form a molten salt bath at 550°C.
00 mesh hafnium metal powder was added at 20% to the molten salt bath.

この550℃の溶融塩浴に上記窒化処理した試片を1〜
25時間浸漬後、取り出して油冷した。付着浴剤を洗滌
除去後、断面を研磨して、断面組織の観察により表面に
形成された層の厚さを測定した。その結果を第1図の曲
線Aに示す。なお、第1図の横軸は浸漬時間の1z2乗
でとっである。
The nitrided specimens were placed in this 550°C molten salt bath.
After soaking for 25 hours, it was taken out and cooled in oil. After washing off the adhering bath agent, the cross section was polished and the thickness of the layer formed on the surface was measured by observing the cross-sectional structure. The results are shown in curve A in FIG. Note that the horizontal axis in FIG. 1 is the 1z square of the immersion time.

この曲線Aにおいて浸漬時間0時の厚さとは最初の窒化
処理により形成された窒化物層の厚さであり、lhr以
降の厚さは該窒化物層とハフニウムの炭窒化物層との合
計厚さく全表面層の厚さ)である(なお、ハフニウムの
炭窒化物層のみの厚さを曲線Bに示す。)。全表面層の
厚さは、処理時間が異なってもほとんど同じであり、約
3μmであった。
In this curve A, the thickness at immersion time 0 is the thickness of the nitride layer formed by the first nitriding treatment, and the thickness after lhr is the total thickness of the nitride layer and the hafnium carbonitride layer. (The thickness of only the hafnium carbonitride layer is shown in curve B.) The thickness of the total surface layer was almost the same for different treatment times and was approximately 3 μm.

なお、8時間浸漬処理して形成された表面層の断面組織
の顕微鏡写真(倍率400倍)を第2図に示す。該表面
層は表面の滑らかな層であり、しかも層と母材との境界
は複雑に入り組み、密着性に優れた被覆層である。また
、X線マイクロアナライザーによる分析では第3図に示
すように表面層中にはHfとともにNとCとが認められ
た。表面からの分析結果によると、約50%のilfが
存在した。更にX線回折ではHfNに相当する回折線が
認められた。このことより形成された表面層は、(Hf
In addition, a micrograph (magnification: 400 times) of the cross-sectional structure of the surface layer formed by immersion treatment for 8 hours is shown in FIG. The surface layer is a layer with a smooth surface, and the boundary between the layer and the base material is complicated, making it a coating layer with excellent adhesion. Further, in analysis using an X-ray microanalyzer, N and C were found in the surface layer along with Hf, as shown in FIG. Analysis from the surface showed that about 50% ilf was present. Furthermore, in X-ray diffraction, a diffraction line corresponding to HfN was observed. The surface layer formed by this is (Hf
.

Fe) (N、 C)から成るハフニウムの炭窒化物層
であることが確かめられた。
It was confirmed that it was a hafnium carbonitride layer consisting of Fe) (N, C).

また、比較のため、上記と同じ処理で窒化されたJIS
−3KH51試片を、1025℃に加熱された上記と同
様な溶融塩浴に浸漬して、処理したところ、第1図の曲
線S1に示される厚さのハフニウムの炭窒化物層が形成
された。この比較例で明らかなように、浸漬時間が長(
なるにつれて層j7さは厚くなっているが1本発明では
浸漬時間が長くなっても全表面層厚さは厚くならない。
Also, for comparison, JIS nitrided by the same process as above.
-3KH51 specimens were immersed in a molten salt bath heated to 1025°C and treated, resulting in the formation of a hafnium carbonitride layer with the thickness shown by curve S1 in Figure 1. . As is clear from this comparative example, the immersion time is long (
However, in the present invention, the total surface layer thickness does not increase even if the immersion time becomes longer.

従って1本発明の炭窒化物層の形成機構は比較例の筒易
処理の場合の形成機構と異なっていることが明らかにな
った。
Therefore, it has become clear that the formation mechanism of the carbonitride layer of the present invention is different from that of the comparative example of the Tsutsuyoshi treatment.

実施例2゜ 実施例1と同様にしてJIS−345C試片(直径7n
n、長さ50mm)を塩浴窒化処理した。
Example 2゜A JIS-345C specimen (diameter 7n) was prepared in the same manner as in Example 1.
n, length 50 mm) was subjected to salt bath nitriding treatment.

次に実施例1と同様の組成のCaC1z + NaC1
の溶融塩浴を調製し、更にこの浴中に一200メツシュ
のハフニウム金属粉末を上記溶融塩浴に対して20%添
加した。この溶融塩浴を500℃にして上記試片を浴に
1〜16時間浸漬し、その後浴中より取り出し油冷した
Next, CaC1z + NaC1 having the same composition as in Example 1
A molten salt bath was prepared, and 1,200 mesh of hafnium metal powder was added in an amount of 20% based on the molten salt bath. The molten salt bath was heated to 500° C. and the specimen was immersed in the bath for 1 to 16 hours, and then taken out from the bath and cooled in oil.

形成された表面層は浸漬時間にかかわらずほとんど同じ
層厚さ、同じ組織の層が形成された。−例として4時間
の浸漬で処理された試片を調べたところ、第4図の表面
層の断面組織の顕微鏡写真(倍率1000倍)に示すよ
うに層厚さ約6μmの表面層が形成されていた。X線回
折や第5図に示すXvAマイクロアナライザー分析の結
果よりこの表面層は、  (Iff、 Fe) (N、
C)より成るハフニウムの炭窒化物層であること力9′
僅かめられた。
The surface layer formed had almost the same thickness and texture regardless of the immersion time. - As an example, when we examined a sample treated by 4-hour immersion, we found that a surface layer with a thickness of approximately 6 μm was formed, as shown in the micrograph of the cross-sectional structure of the surface layer (1000x magnification) in Figure 4. was. According to the results of X-ray diffraction and XvA microanalyzer analysis shown in Figure 5, this surface layer consists of (Iff, Fe) (N,
C) a hafnium carbonitride layer consisting of force 9'
It was slighted.

実施例3. − 直径8龍×長さ351)の工業用純鉄試片(炭素含有量
0.03%以下)を550’C,4時間の条件でイオン
窒化処理した。
Example 3. - An industrial pure iron specimen (carbon content 0.03% or less) measuring 8 mm in diameter and 351 mm in length was subjected to ion nitriding treatment at 550'C for 4 hours.

次に、実施例1と同様な組成のCaCl2+NaCl 
+ハフニウム金属溶融塩浴を調製した。この浴を600
℃にして、浴中に上記試片を8時間浸漬し。
Next, CaCl2 + NaCl with the same composition as in Example 1
+A hafnium metal molten salt bath was prepared. 600 yen for this bath
℃ and immersed the specimen in the bath for 8 hours.

その後浴から取り出し油冷した。Thereafter, it was taken out of the bath and cooled in oil.

形成された表面層は、第6図の断面組織の顕微鏡写真(
倍率400倍)に示すように層厚さがイオン窒化処理し
た時の窒化物層の厚さと同じ約IOμmであった。また
、第7図のX線マイクロアナライザー分析結果より表面
層には約40%のHfの他NとCとが認められた。また
、X線回折の結果からは、HfNの回折線が認められ、
形成された表面層は、 (Hf、Fe)(C,N)より
成るハフニウムの炭窒化物層であることが確認された。
The formed surface layer can be seen in the micrograph of the cross-sectional structure shown in Figure 6 (
As shown in the graph (magnification: 400 times), the layer thickness was about IO μm, which is the same as the thickness of the nitride layer when subjected to ion nitriding. Furthermore, from the results of the X-ray microanalyzer analysis shown in FIG. 7, about 40% of Hf as well as N and C were observed in the surface layer. In addition, from the results of X-ray diffraction, diffraction lines of HfN were observed,
The formed surface layer was confirmed to be a hafnium carbonitride layer consisting of (Hf, Fe) (C, N).

実施例4゜ 外径φlO鶴、内径φ6鶴、長さ25鶴の円筒形JIS
−348C試片を570℃、6時間でガス軟窒化処理し
た。
Example 4゜ Cylindrical JIS with outer diameter φ10, inner diameter φ6, length 25
The -348C specimen was subjected to gas nitrocarburizing treatment at 570°C for 6 hours.

次に、実施例1と同様の組成のCaCl2+NaC1の
溶融塩浴を調製し、更にこの浴中に上記溶融塩浴に対し
て3%のA1)a3粉末(−320メツシユ)と20%
のハフニウム金属粉末(−200メツシユ)を添加した
。この溶融塩浴を550℃にして。
Next, a molten salt bath of CaCl2 + NaCl with the same composition as in Example 1 was prepared, and in this bath, 3% A1) a3 powder (-320 mesh) and 20%
of hafnium metal powder (-200 mesh) was added. The molten salt bath was brought to 550°C.

上記試片を9時間と25時間それぞれ浸漬し、その後浴
中より取り出し油冷した。
The specimens were immersed for 9 hours and 25 hours, respectively, and then taken out of the bath and cooled in oil.

これら2種類の試片について真円度を測定したところ、
すべてほとんど同じ真円度であり、試片の上部と下部と
も約7μmと小さかった。なお比較のため溶融塩浴への
浸漬温度を850℃(浸漬時間は4時間)にした場合の
試片では真円度は約20μmであり1本発明で処理した
試片に比べて約3倍も大きかった。
When we measured the roundness of these two types of specimens, we found that
They all had almost the same roundness, and both the upper and lower parts of the specimen were as small as about 7 μm. For comparison, the circularity of the specimen when immersed in a molten salt bath at a temperature of 850°C (immersion time: 4 hours) was approximately 20 μm, which is approximately three times that of the specimen treated with the present invention. It was also big.

本発明で処理(浸漬温度550℃、浸漬時間9時間)し
た試片を切断して表面層を観察したところ、形成された
表面層は、厚さ約8μmであり。
When the sample treated according to the present invention (immersion temperature: 550° C., immersion time: 9 hours) was cut and the surface layer was observed, the formed surface layer was approximately 8 μm thick.

また、X線回折とX線マイクロアナライザーにより分析
したところ該層は、ハフニウムの炭窒化物層であること
が確かめられた。
Furthermore, analysis using X-ray diffraction and an X-ray microanalyzer confirmed that the layer was a carbonitride layer of hafnium.

実施例5゜ JIS−3KDII試片(直径6鶴、長さ30■麿)を
550℃、3時間の条件でイオン窒化処理・した。
Example 5 A JIS-3KDII specimen (diameter: 6 mm, length: 30 mm) was subjected to ion nitriding treatment at 550° C. for 3 hours.

次に実施例1と同様の組成のCaCl2+NaC1の溶
融塩浴を黒鉛容器中で調製し、更にこの浴の中央に40
龍×35鶴×3鶴の板状のハフニウム金属を挿入し、こ
れを陽極、黒鉛容器を陰極として。
Next, a molten salt bath of CaCl2 + NaCl with the same composition as in Example 1 was prepared in a graphite container, and a
Insert a plate-shaped hafnium metal plate consisting of a dragon x 35 cranes x 3 cranes, and use this as the anode and the graphite container as the cathode.

0.8A/calの陽極電流密度で約17時間通電した
Electricity was applied for about 17 hours at an anode current density of 0.8 A/cal.

このハフニウムの陽極溶解処理によってハフニウム金属
板の重量減から計算して塩浴量全体に対して約7%のハ
フニウムが浴中に溶入された。この溶融塩浴中に上記試
片を550℃で9時間浸漬した後、取り出し油冷した。
By this anodic dissolution treatment of hafnium, about 7% of hafnium was dissolved into the bath based on the total amount of the salt bath, calculated from the weight loss of the hafnium metal plate. The specimen was immersed in this molten salt bath at 550° C. for 9 hours, then taken out and cooled in oil.

処理された試片を切断して表面層を観察したところ、形
成された表面層は第8図の断面組織の顕微鏡写真(倍率
400倍)に示されるように厚さ約5μmであった。ま
た、X%1マイクロアナライザー分析で調べたところ2
表面層中には、IlfとNの他にCも認められ3表面層
は、ハフニウムの炭窒化物層であることが確かめられた
When the treated specimen was cut and the surface layer was observed, the thickness of the formed surface layer was approximately 5 μm, as shown in the micrograph of the cross-sectional structure in FIG. 8 (400x magnification). In addition, when investigated by X%1 microanalyzer analysis, 2
In addition to Ilf and N, C was also observed in the surface layer, and the third surface layer was confirmed to be a hafnium carbonitride layer.

実施例6゜ 直径約7mmX長さ501)のJIS−345Cの試片
を570°c、  1時間塩浴窒化処理した。
Example 6 A JIS-345C specimen measuring approximately 7 mm in diameter and 50 mm in length was nitrided in a salt bath at 570°C for 1 hour.

次に、KP50モル%とLiF50モル%の混合物の入
った黒鉛容器を大気中の電気炉にて580℃に加熱して
溶融塩浴を調製し、更にこの浴に一100メツシュのハ
フニウム金属粉末を溶融塩浴に対して25%添加した。
Next, a graphite container containing a mixture of 50 mol% KP and 50 mol% LiF was heated to 580°C in an electric furnace in the atmosphere to prepare a molten salt bath, and 1100 mesh hafnium metal powder was added to this bath. 25% was added to the molten salt bath.

この580℃の浴に上記窒化処理した試片を浸漬してこ
れを陰極、黒鉛容器を陽極として陰極電流密度0.05
A/己で8時間通電して電解を行った。
The nitrided specimen was immersed in this 580°C bath, and the cathode current density was 0.05 using this as a cathode and the graphite container as an anode.
A/I performed electrolysis by applying electricity myself for 8 hours.

試片を浴から取り出し油冷して、形成された表面層を断
面組織観察およびX線マイクロアナライザーにより分析
したところ1表面層は、厚さ約6μmであり、(訂、 
Fe) (C,N)より成ることが確かめられた。また
表面からの分析結果では約45%のHfの他に、NとC
が確認された。
The specimen was taken out of the bath and cooled in oil, and the formed surface layer was analyzed by cross-sectional microstructure observation and an X-ray microanalyzer.The surface layer 1 was approximately 6 μm thick.
It was confirmed that it consists of Fe) (C,N). In addition, analysis results from the surface show that in addition to approximately 45% Hf, N and C
was confirmed.

実施例7゜ 実施例1と同様にしてJIS・5KH51試片を塩浴窒
化処理した。
Example 7 A JIS 5KH51 specimen was subjected to salt bath nitriding treatment in the same manner as in Example 1.

次に、 LtzCO345%、に、Co、 25%、 
NazCO330%の混合物の入った耐熱鋼容器を大気
中の雰囲気炉にて550℃に加熱して溶融塩浴を調製し
、更にこの浴に一200メソシュのハフニウム金属粉末
を溶融塩浴に対して30%添加した。この浴を十分に攪
拌した後、この550℃の浴に上記試片を4時間浸漬保
持した。
Next, LtzCO3 45%, Co, 25%,
A heat-resistant steel container containing a mixture of 30% NazCO3 is heated to 550°C in an atmospheric furnace to prepare a molten salt bath, and 1200 mesosh of hafnium metal powder is added to the bath at 30% of the molten salt bath. % added. After thoroughly stirring this bath, the specimen was kept immersed in this 550° C. bath for 4 hours.

試片を浴から取り出し油冷して、形成された表面層を断
面組織観察およびX線マイクロアナライザーにより分析
したところ1表面層は、厚さ約4μmであり、該層には
、約40%のHfの他にNとCとが認められた。また、
X線回折で調べたところ、)lfNの回折線とよく一致
し、従って表面層は。
The sample was taken out of the bath and cooled in oil, and the formed surface layer was analyzed by cross-sectional structure observation and an X-ray microanalyzer. The first surface layer was about 4 μm thick, and the layer contained about 40% of the surface layer. In addition to Hf, N and C were recognized. Also,
When examined by X-ray diffraction, the diffraction lines matched well with those of )lfN, and therefore the surface layer was.

(Iff 、 Fe) (C,N)より成ることが確か
められた。
It was confirmed that it consists of (Iff, Fe) (C, N).

実施例8゜ 直径8鶴×長さ30龍のJIS−3K4試片を570℃
,150分の条件でガス軟窒化処理した。
Example 8 A JIS-3K4 specimen of 8 cranes in diameter x 30 dragons in length was heated to 570℃.
, 150 minutes.

次に、ステンレス鋼容器に入れた一100メツシュのハ
フニウム金属90%と硼フッ化カリウム(KBF4.)
 10%からなる混合粉末に上記試片を埋設した。更に
酸化防止のため混合粉末の上に一100メツシュのフェ
ロボロン粉末を3〜4Nの厚さで被覆した。これを容器
ごと大気炉で600℃。
Next, 1100 mesh of hafnium metal 90% and potassium borofluoride (KBF4.) were placed in a stainless steel container.
The above sample was embedded in a mixed powder consisting of 10%. Further, to prevent oxidation, the mixed powder was coated with 1100 mesh of ferroboron powder to a thickness of 3 to 4N. The whole container was heated to 600℃ in an atmospheric furnace.

16時間加熱した。容器を炉から取り出して空冷後、粉
末中から試片を取り出した。
Heated for 16 hours. The container was taken out of the furnace and cooled in air, and then a test piece was taken out from the powder.

試片に形成された表面層をX線マイクロアナライザーで
分析したところ1表面層中にIffとN、  Cとが認
められ2表面からの分析結果では約20%のHfが認め
られ、この層は、ハフニウムの炭窒化物層であることが
確かめられた。
When the surface layer formed on the specimen was analyzed using an X-ray microanalyzer, Iff, N, and C were found in the first surface layer, and approximately 20% Hf was found in the analysis results from the second surface, indicating that this layer was , which was confirmed to be a carbonitride layer of hafnium.

実施例9゜ Al2O2(−80メソシユ)60%、ハフニウム金属
(−1OOメソシユ)38.8%、 NIl、CI(−
80メツシユ)1.2%から成る混合粉末を流動層炉内
に入れ、炉の下部より導入したアルゴンガス(炉内での
流速200cm/分、炉導入口での圧力1.5kg /
 cnl )で上記混合粉末を流動状態にした。この流
動層炉内に実施例1と同様に塩浴窒化処理したJIS・
SK4棒(直径7龍、長さ50■l)を装入し600℃
で8時間加熱処理した。
Example 9 Al2O2 (-80 mesos) 60%, hafnium metal (-100 mesos) 38.8%, NIl, CI (-
A mixed powder consisting of 1.2% (80 mesh) was placed in a fluidized bed furnace, and argon gas was introduced from the bottom of the furnace (flow rate in the furnace was 200 cm/min, pressure at the furnace inlet was 1.5 kg/min).
cnl) to bring the mixed powder into a fluid state. In this fluidized bed furnace, JIS
Charge SK4 rod (diameter 7mm, length 50μl) and heat to 600℃.
The mixture was heat-treated for 8 hours.

形成された表面層をX線マイクロアナライザーで分析し
たところ1表面層はHfとN、Cから成っており2表面
分析では約25%のIlfが検出され。
When the formed surface layer was analyzed with an X-ray microanalyzer, the first surface layer was composed of Hf, N, and C, and the second surface analysis detected about 25% Ilf.

ハフニウムの炭窒化物層であることが確かめられた。It was confirmed that it was a carbonitride layer of hafnium.

実施例10゜ 直径6.5mm、長さ401重のJIS・5KH51試
片を実施例1と同様にして塩浴窒化処理した。
Example 1 A JIS 5KH51 specimen with a diameter of 6.5 mm and a length of 401 layers was subjected to salt bath nitriding treatment in the same manner as in Example 1.

次に、 CaC1z 52モル%とNaC148モル%
の混合物を耐熱鋼容器に入れ、大気中の電気炉にて57
0℃に加熱して溶融塩浴を調製し、更にこの浴に一20
0メツシュのハフニウム金属粉末を溶融塩浴全量に対し
て25%添加した。この570℃の浴に上記試片を8時
間浸漬した後、取り出し油冷した。
Next, 52 mol% of CaC1z and 148 mol% of NaC
The mixture was placed in a heat-resistant steel container and heated in an electric furnace in the atmosphere for 57
Prepare a molten salt bath by heating to 0°C, and add 120% to this bath.
0 mesh hafnium metal powder was added in an amount of 25% based on the total amount of the molten salt bath. After the specimen was immersed in this 570° C. bath for 8 hours, it was taken out and cooled in oil.

形成された表面層をX線回折およびX線マイクロアナラ
イザー分析で調べたところ1表面層は(Iff 、 F
e) (C,N)より成るハフニウムの炭窒化物層であ
ることが確かめられた。
When the formed surface layer was examined by X-ray diffraction and X-ray microanalyzer analysis, one surface layer was (Iff, F
e) It was confirmed that it was a hafnium carbonitride layer consisting of (C,N).

次に上記ハフニウム炭窒化物被覆試片(試料阻C)につ
いて、ガス浸炭焼入れされたJIS−3CM415を相
手材としてファビリー試験機により乾式、荷重400k
g、回転数30Orpm、摩耗速度Q、1m/sec、
試験時間4 minの条件で摩擦試験を実施した。また
比較のため、上記の窒化処理も加熱処理も施していない
JIS−5KH51試片(試料ms 2)と窒化処理の
み施した5KH51試片(試料Nl53)についても摩
擦試験を実施した。
Next, the above hafnium carbonitride-coated specimen (sample C) was dry-tested using a Fabry tester using gas carburized and quenched JIS-3CM415 as a mating material under a load of 400 k.
g, rotation speed 30Orpm, wear rate Q, 1m/sec,
A friction test was conducted under the condition that the test time was 4 min. For comparison, a friction test was also conducted on a JIS-5KH51 specimen (sample ms2) that had not been subjected to the above-mentioned nitriding treatment or heat treatment, and a 5KH51 specimen that had been subjected to only nitriding treatment (sample Nl53).

上記の摩擦試験の結果を表に示す。また、試料患S2.
S3では焼付傷が鮮明に発生していたのに対して、試料
NICでは、小さな損傷が認められたにすぎなかった。
The results of the above friction test are shown in the table. In addition, sample disease S2.
In S3, there were clear burn-in scratches, whereas in sample NIC, only small damage was observed.

このことより2本発明により形成した表面層は、比較例
のものに比して、耐摩耗性や耐焼付性の点において優れ
ていることが分かる。
From this, it can be seen that the surface layer formed according to the present invention is superior in terms of wear resistance and seizure resistance as compared to that of the comparative example.

table

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は実施例1において形成された表面層の層厚さの
浸漬時間に対する変化を示す図、第2図。 第4図、第6図、第8図はそれぞれ実施例1,2゜3.
5において本発明の処理により形成された表面層の断面
組織を示す顕微鏡写真、第3図、第5図、第7図はそれ
ぞれ実施例1.2.3において本発明により処理された
鉄合金材料の表面部のX線マイクロアナライザー分析結
果を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing changes in the layer thickness of the surface layer formed in Example 1 with respect to immersion time, and FIG. FIGS. 4, 6, and 8 show Examples 1, 2, and 3, respectively.
5 shows a micrograph showing the cross-sectional structure of the surface layer formed by the treatment of the present invention, and FIGS. 3, 5, and 7 show the iron alloy material treated according to the present invention in Example 1.2.3, respectively. It is a figure which shows the X-ray microanalyzer analysis result of the surface part of.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)鉄合金材料の表面に鉄・窒素または鉄・炭素・窒
素の窒化物層を形成させる窒化処理を施した後、該鉄合
金材料と、ハフニウム材料と、アルカリ金属またはアル
カリ土類金属の塩化物、弗化物、ホウ弗化物、酸化物、
臭化物、ヨウ化物、炭酸塩、硝酸塩、硼酸塩のうちの1
種または2種以上、または/およびハロゲン化アンモニ
ウム塩、金属ハロゲン化物の一方または双方から成る処
理剤とを共存せしめて、700℃以下において加熱処理
し、ハフニウムを上記鉄合金材料表面に拡散せしめるこ
とにより、鉄合金材料表面にハフニウムの窒化物あるい
は炭窒化物から成る表面層を形成せしめることを特徴と
する鉄合金材料の表面処理方法。
(1) After performing nitriding treatment to form an iron/nitrogen or iron/carbon/nitrogen nitride layer on the surface of the iron alloy material, the iron alloy material, hafnium material, and alkali metal or alkaline earth metal Chloride, fluoride, boron fluoride, oxide,
One of bromide, iodide, carbonate, nitrate, or borate
heat-treating at 700° C. or lower to diffuse hafnium onto the surface of the above-mentioned iron alloy material. A method for surface treatment of an iron alloy material, characterized in that a surface layer consisting of hafnium nitride or carbonitride is formed on the surface of the iron alloy material.
(2)上記ハフニウム材料は、ハフニウム金属、ハフニ
ウム合金、ハフニウム化合物の1種または2種以上から
成る特許請求の範囲第(1)項記載の鉄合金材料の表面
処理方法。
(2) The method for surface treatment of an iron alloy material according to claim (1), wherein the hafnium material comprises one or more of hafnium metal, hafnium alloy, and hafnium compound.
(3)上記加熱処理は、上記処理剤を溶融せしめた溶融
塩浴中にハフニウム材料と鉄合金材料とを浸漬すること
により行う特許請求の範囲第(1)項記載の鉄合金材料
の表面処理方法。
(3) The heat treatment is performed by immersing the hafnium material and the iron alloy material in a molten salt bath in which the treatment agent is melted. Surface treatment of the iron alloy material according to claim (1) Method.
(4)上記加熱処理は、上記処理剤を溶融せしめると共
に、ハフニウム材料を浸漬した溶融塩浴中で鉄合金材料
を陰極とし、電解処理により行う特許請求の範囲第(1
)項記載の鉄合金材料の表面処理方法。
(4) The heat treatment is performed by melting the treatment agent and electrolytically treating the iron alloy material as a cathode in a molten salt bath in which the hafnium material is immersed.
) The method for surface treatment of iron alloy materials described in section 2.
(5)上記加熱処理は、上記処理剤とハフニウム材料と
の混合粉末中に鉄合金材料を埋設することにより行う特
許請求の範囲第(1)項記載の鉄合金材料の表面処理方
法。
(5) The method for surface treatment of an iron alloy material according to claim (1), wherein the heat treatment is performed by embedding the iron alloy material in a mixed powder of the treatment agent and the hafnium material.
(6)上記加熱処理は、上記処理剤とハフニウム材料と
の混合粉末のペーストを鉄合金材料に塗布した状態にお
いて行う特許請求の範囲第(1)項記載の鉄合金材料の
表面処理方法。
(6) The method for surface treatment of an iron alloy material according to claim (1), wherein the heat treatment is performed while a paste of a mixed powder of the treatment agent and the hafnium material is applied to the iron alloy material.
(7)上記加熱処理は、上記処理剤とハフニウム材料と
の混合粉末と鉄合金材料とを一定空間内に非接触状態で
配置することにより行う特許請求の範囲第(1)項記載
の鉄合金材料の表面処理方法。
(7) The iron alloy according to claim (1), wherein the heat treatment is performed by placing the mixed powder of the treatment agent and hafnium material and the iron alloy material in a fixed space in a non-contact state. Material surface treatment method.
(8)上記加熱処理は、上記処理剤とハフニウム材料と
の混合粉末を流動状態にしてその中に鉄合金材料を入れ
ることにより行う特許請求の範囲第(1)項記載の鉄合
金材料の表面処理方法。
(8) The heat treatment is performed on the surface of the iron alloy material according to claim (1), which is performed by making a mixed powder of the treatment agent and the hafnium material into a fluid state and placing the iron alloy material therein. Processing method.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005098095A1 (en) * 2004-04-06 2005-10-20 Iox Co., Ltd. Method for preparing multi-component alloy onto substrate by molten salt electrolysis

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WO2005098095A1 (en) * 2004-04-06 2005-10-20 Iox Co., Ltd. Method for preparing multi-component alloy onto substrate by molten salt electrolysis

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