JPS6197390U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6197390U JPS6197390U JP18340084U JP18340084U JPS6197390U JP S6197390 U JPS6197390 U JP S6197390U JP 18340084 U JP18340084 U JP 18340084U JP 18340084 U JP18340084 U JP 18340084U JP S6197390 U JPS6197390 U JP S6197390U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center
- stage
- substrate
- spring means
- bearing block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係るオートローデイング型レ
ーザトリマ用載物台の一実施例の平面図である。 １，２……ベアリングブロツク、１ａ，２ａ…
…ベアリング、３……クロスローラガイド、４…
…クランク、５……スプリング。
ーザトリマ用載物台の一実施例の平面図である。 １，２……ベアリングブロツク、１ａ，２ａ…
…ベアリング、３……クロスローラガイド、４…
…クランク、５……スプリング。
Claims (1)
- 基板が載置される載物台と、夫々前記載物台の
四側に配され、載物台のガイドに沿つて中心方向
上に往復動自在に配された４個のベアリングブロ
ツクと、前記各ベアリングブロツクを中心方向に
付勢するバネ手段と、夫々対向するベアリングブ
ロツクどうしを前記中心方向に対称に移動するよ
う規制して連結し、前記スプリングにより中心方
向へ移動される前記各ベアリングブロツクを、前
記基板の四側に当接させ、前記基板を位置決めさ
せる一対のクランク機構とより構成してなるオー
トローデイング型レーザトリマ用載物台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18340084U JPS6197390U (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18340084U JPS6197390U (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197390U true JPS6197390U (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=30740905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18340084U Pending JPS6197390U (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197390U (ja) |
-
1984
- 1984-12-03 JP JP18340084U patent/JPS6197390U/ja active Pending