JPS6193540A - 電子顕微鏡像記録再生方法 - Google Patents
電子顕微鏡像記録再生方法Info
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- JPS6193540A JPS6193540A JP21468184A JP21468184A JPS6193540A JP S6193540 A JPS6193540 A JP S6193540A JP 21468184 A JP21468184 A JP 21468184A JP 21468184 A JP21468184 A JP 21468184A JP S6193540 A JPS6193540 A JP S6193540A
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- electron microscope
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging ; Apparatus specially adapted therefor, e.g. cameras, TV-cameras, photographic equipment, exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e.g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2012—Measuring radiation intensity with scintillation detectors using stimulable phosphors, e.g. stimulable phosphor sheets
- G01T1/2014—Reading out of stimulable sheets, e.g. latent image
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は電子顕微鏡像の記録再生方法に関するものであ
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした電子
顕微鏡像の記録再生方法に関するものである。
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした電子
顕微鏡像の記録再生方法に関するものである。
（発明の技術的背景および先行技術）
従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの装態平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの装態平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
したが 。
って投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試料の拡
大像（散乱像）が観察され、また上記装態平面を投影す
れば拡大された試料の回折パターンが観察される。なお
対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズをへ置して
おけば、この中間レンズの焦点距離調節により、上述の
拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随意に得られ
る。
大像（散乱像）が観察され、また上記装態平面を投影す
れば拡大された試料の回折パターンが観察される。なお
対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズをへ置して
おけば、この中間レンズの焦点距離調節により、上述の
拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随意に得られ
る。
上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、一括して透過電子線像と称するンを観察する
ため従来は二股に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子Ｍ像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して感度が低い上用像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、画
像の鮮鋭度が低い上１画像に歪みが生じやすいという問
題がある。
ン（以下、一括して透過電子線像と称するンを観察する
ため従来は二股に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子Ｍ像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して感度が低い上用像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、画
像の鮮鋭度が低い上１画像に歪みが生じやすいという問
題がある。
また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、９度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、９度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。
（発明の目的）
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、電子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、し
かも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する
電気信号が直接得られる電子顕微鏡像記録再生方法を提
供することを目的とするものである。
、電子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、し
かも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する
電気信号が直接得られる電子顕微鏡像記録再生方法を提
供することを目的とするものである。
（発明の構成）
本発明の電子顕微鏡像記録再生方法は、電子線エネルギ
ーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで前２次元センサに光照射
あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを光とし
て放出させ、この放出光を充電的に検出して試料の透過
電子線像を再生するようにし、電子顕微鏡のピント条件
を少しずつ変えて上記蓄積記録を複数回行ない、次いで
上記放出光の検出を行なってそれによって得られた電気
信号から再生した複数のピント合わせ用画像を観察して
上記ピント条件のうちの好ましい条件を選択することを
特徴とするものである。
ーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで前２次元センサに光照射
あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを光とし
て放出させ、この放出光を充電的に検出して試料の透過
電子線像を再生するようにし、電子顕微鏡のピント条件
を少しずつ変えて上記蓄積記録を複数回行ない、次いで
上記放出光の検出を行なってそれによって得られた電気
信号から再生した複数のピント合わせ用画像を観察して
上記ピント条件のうちの好ましい条件を選択することを
特徴とするものである。
上記２次元センサとして具体的には、例えば特開昭５５
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、周５５−１
６．３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０
４６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に
好適に用いられうる。
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、周５５−１
６．３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０
４６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に
好適に用いられうる。
すなわち、ある種の螢光体に電子線等の放射線を照射す
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その後その螢光体に可視光等の励起光を照射す
るか又は加熱すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢
光体が螢光（輝尽発光又は熱螢光）を示す。このような
性質を示す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体
シートとは、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積
性螢光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性螢光体シートとなりうる。
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その後その螢光体に可視光等の励起光を照射す
るか又は加熱すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢
光体が螢光（輝尽発光又は熱螢光）を示す。このような
性質を示す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体
シートとは、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積
性螢光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性螢光体シートとなりうる。
また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。この熱螢
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体く熱螢光
体）からなるシート状の記録体であり、その製造法は上
記蓄積性螢光体シートと同様である。
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。この熱螢
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体く熱螢光
体）からなるシート状の記録体であり、その製造法は上
記蓄積性螢光体シートと同様である。
電子顕微鏡の結像面に上記蓄積性螢光体シートを配置し
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡像を蓄積記
録したならば、このシートを可視等の励起光で走査する
か掃引加熱して螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に読
み取れば、透過電子線像に対応する電気信号が得られる
。こうして得られた電気的画像信号を用いれば、ＣＲＴ
等のディスプレイに電子顕微鏡像を表示させることもで
きるし、あるいはハードコピーとして永久記録すするこ
ともできるし、さらには上記画像信号を一旦磁気テープ
、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させておくこともで
きる。
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡像を蓄積記
録したならば、このシートを可視等の励起光で走査する
か掃引加熱して螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に読
み取れば、透過電子線像に対応する電気信号が得られる
。こうして得られた電気的画像信号を用いれば、ＣＲＴ
等のディスプレイに電子顕微鏡像を表示させることもで
きるし、あるいはハードコピーとして永久記録すするこ
ともできるし、さらには上記画像信号を一旦磁気テープ
、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させておくこともで
きる。
本発明の電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性
螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記
録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録す
ることが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露
光量を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる
。また本発明方法においては電子顕微鏡像に階調処理、
周波数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易に
なり、また前述したような回折パターンの処理や、３次
元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気
信号をコンピュータに入力することにより、従来に比べ
極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。
螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記
録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録す
ることが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露
光量を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる
。また本発明方法においては電子顕微鏡像に階調処理、
周波数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易に
なり、また前述したような回折パターンの処理や、３次
元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気
信号をコンピュータに入力することにより、従来に比べ
極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。
そして本発明方法においては前述の通り、ピント合わせ
用の画像も２次元センサを利用して再生するようにして
いるから、このピント合わせの際に試料に照射する電子
線量も低減可能である。
用の画像も２次元センサを利用して再生するようにして
いるから、このピント合わせの際に試料に照射する電子
線量も低減可能である。
本発明において利用される蓄積性螢光体シートに用いら
れる輝尽性螢光体の例としては、米国特許第３，８５９
，５２７号明細書に記載されているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ
５ＳｒＳ：Ｅｕ。
れる輝尽性螢光体の例としては、米国特許第３，８５９
，５２７号明細書に記載されているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ
５ＳｒＳ：Ｅｕ。
Ｓｍ、Ｔｈ０ｚ ： Ｅｒ、およびＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ
、３ｍなどの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−
１２１４２号公報に記載されているＺｎＳ：、Ｃｕ、Ｐ
ｂ、ＢａＯ−ＸＡｌ２Ｏ３：Ｅｕ［ただし、０．８≦Ｘ
≦１０１、および、Ｍ”０−ＸＳ！Ｏｚ ：Ａ［ただ
し、Ｍ２＋はＭＱ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ１Ｃｄ、または３
ａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐｂ１Ｔ１２
．、Ｂ１１またはＭｎであり、Ｘは、０．５≦Ｘ≦２．
５である］などの組成式で表わされる螢光体。
、３ｍなどの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−
１２１４２号公報に記載されているＺｎＳ：、Ｃｕ、Ｐ
ｂ、ＢａＯ−ＸＡｌ２Ｏ３：Ｅｕ［ただし、０．８≦Ｘ
≦１０１、および、Ｍ”０−ＸＳ！Ｏｚ ：Ａ［ただ
し、Ｍ２＋はＭＱ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ１Ｃｄ、または３
ａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐｂ１Ｔ１２
．、Ｂ１１またはＭｎであり、Ｘは、０．５≦Ｘ≦２．
５である］などの組成式で表わされる螢光体。
特開昭５５−１２１４３号公報に記載されている（Ｂａ
ｌ−Ｘ−）／ 、 ＭＱｘ 、 ＣａＸ） ＦＸ ：
ａＥＩＪ２＋［ただし、ＸはＣ９ＪおよびＢｒのうちの
少なくとも一つで、Ｘおよびｙは、Ｑ＜ｘ＋ｙ≦０．６
、かつＸｙ≠Ｏであり、ａは、１０″６≦ａ≦５×１０
−２である］の組成式で表わされる螢光体、特開昭５５
−１２１４４号公報に記載されているＬｎＯＸ：ｘＡ［
ただし、しｎはＬａ、Ｙ、Ｇｄ、およびｌｕのうちの少
なくとも一つ、ＸはＣ免および３ｒのうちの少なくとも
一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちの少なくとも一つ、そ
して、Ｘは、Ｇ≦Ｘ＜０．１である］の組成式で表わさ
れる螢光体、 特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−ｘ 、Ｍｘ ］ ＦＸ ： ｙＡ［ただし、Ｍｌは
ＭＯ，Ｃａ、３ｒ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくと
も一つ、Ｘは（４，８ｒ、および１のうチノ少なくとも
一つ、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ
、’Ｎｄ、Ｙｂ、およびＥｒのうらの少なくとも一つ、
そしてＸは、０≦Ｘ≦０．６、ｙは、Ｏ≦ｙ≦０．２で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されているＭ
ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、Ｍ ＩｔＢａ、Ｃａ
、Ｓｒ、ＭＣＩ、Ｚｎ、およびＣｄ（７）うちノ少なく
とも一種、ＡはＢｅｏ、ＭＣｌ０．ＣａＯ，ｓｒｏ、Ｂ
ａｄ、ｚｎｏ、Ａ９Ｊｚ ０３、Ｙ２０３．Ｌａ２０３
．ｆｒｉｚ Ｏ３，Ｓ！Ｏｚ、Ｔ！Ｑ、Ｏｚ 、Ｚｒ０
ｚ 、ＧｅＯ２，５ｎ０２、Ｎｂｚ Ｏｓ 、Ｔａ２０
５ 、およびＴｈ０ｚのうちの少なくとも一種、ｌｎは
ＥＵ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、 Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ１
Ｙｂ、Ｅｒ、Ｓｍ、およびＧｄのうちの少なくとも一種
、ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５×１０″５≦Ｘ≦０．
５、およびＯ＜ｙ≦０．２である］の組成式で表わされ
る螢光体、 特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されている（Ｂ
ａｔ−ｙ 、Ｍ”ｘ ）Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ：
ｙＥｕ、ｚＡ ［ただし、ＭＴＬはベリリウム、マグネ
シウム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカ
ドミウムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、お
よび沃素のうちの少なくとも一種、Ａはジルコニウムお
よびスカンジウムのうちの少なくとも一種であり、ａ、
ｘ、ｙ、および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ
≦Ｘ≦１．１０”≦ｙ≦２Ｘ１０−１、および０＜ｚ≦
１０−２ｒある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−ｙ 、 Ｍｘ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙＥｕ
、ｚＢ［ただし、Ｍｌはへリリウム、マグネシウム、カ
ルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムの
うちの少なくとも一種、×は塩素、臭素、および沃素の
うちの少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、及びＺはそ
れぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ≦Ｘ≦１．１０″［ｉ
≦ｙ≦２Ｘ１０−１．およびＱ＜ｚ≦１０°１である１
の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ 、 ＭＩｒＸ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙ
Ｅｕ、ＺＡ［ただし、Ｎ１ はベリリウム、マグネシ
ウム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカド
ミウムのうらの少なくとも一種、ＸはＦＡ素、臭素、お
よび沃素のうちの少なくとも一種、Ａは砒素および硅素
のうちの少なくとも一種であり、ａ、Ｘ、ｙ、および２
はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．１０″
＋Ｉ≦ｙ≦２×１０°！、および○〈Ｚ≦５Ｘ１０−’
である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢ
ａ ｌ−Ｘ Ｍｘ／ｚ ＬＸ／２ Ｆ Ｘ ： ’ｌ’
Ｅ ｕ ２＋［ただし、Ｍは、Ｌ ｉ、Ｎａ、に、Ｒ
ｂ、およびＣ５からなる群より選ばれる少なくとも一種
のアルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ
、Ｐｒ。
ｌ−Ｘ−）／ 、 ＭＱｘ 、 ＣａＸ） ＦＸ ：
ａＥＩＪ２＋［ただし、ＸはＣ９ＪおよびＢｒのうちの
少なくとも一つで、Ｘおよびｙは、Ｑ＜ｘ＋ｙ≦０．６
、かつＸｙ≠Ｏであり、ａは、１０″６≦ａ≦５×１０
−２である］の組成式で表わされる螢光体、特開昭５５
−１２１４４号公報に記載されているＬｎＯＸ：ｘＡ［
ただし、しｎはＬａ、Ｙ、Ｇｄ、およびｌｕのうちの少
なくとも一つ、ＸはＣ免および３ｒのうちの少なくとも
一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちの少なくとも一つ、そ
して、Ｘは、Ｇ≦Ｘ＜０．１である］の組成式で表わさ
れる螢光体、 特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−ｘ 、Ｍｘ ］ ＦＸ ： ｙＡ［ただし、Ｍｌは
ＭＯ，Ｃａ、３ｒ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくと
も一つ、Ｘは（４，８ｒ、および１のうチノ少なくとも
一つ、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ
、’Ｎｄ、Ｙｂ、およびＥｒのうらの少なくとも一つ、
そしてＸは、０≦Ｘ≦０．６、ｙは、Ｏ≦ｙ≦０．２で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されているＭ
ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、Ｍ ＩｔＢａ、Ｃａ
、Ｓｒ、ＭＣＩ、Ｚｎ、およびＣｄ（７）うちノ少なく
とも一種、ＡはＢｅｏ、ＭＣｌ０．ＣａＯ，ｓｒｏ、Ｂ
ａｄ、ｚｎｏ、Ａ９Ｊｚ ０３、Ｙ２０３．Ｌａ２０３
．ｆｒｉｚ Ｏ３，Ｓ！Ｏｚ、Ｔ！Ｑ、Ｏｚ 、Ｚｒ０
ｚ 、ＧｅＯ２，５ｎ０２、Ｎｂｚ Ｏｓ 、Ｔａ２０
５ 、およびＴｈ０ｚのうちの少なくとも一種、ｌｎは
ＥＵ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、 Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ１
Ｙｂ、Ｅｒ、Ｓｍ、およびＧｄのうちの少なくとも一種
、ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５×１０″５≦Ｘ≦０．
５、およびＯ＜ｙ≦０．２である］の組成式で表わされ
る螢光体、 特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されている（Ｂ
ａｔ−ｙ 、Ｍ”ｘ ）Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ：
ｙＥｕ、ｚＡ ［ただし、ＭＴＬはベリリウム、マグネ
シウム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカ
ドミウムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、お
よび沃素のうちの少なくとも一種、Ａはジルコニウムお
よびスカンジウムのうちの少なくとも一種であり、ａ、
ｘ、ｙ、および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ
≦Ｘ≦１．１０”≦ｙ≦２Ｘ１０−１、および０＜ｚ≦
１０−２ｒある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−ｙ 、 Ｍｘ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙＥｕ
、ｚＢ［ただし、Ｍｌはへリリウム、マグネシウム、カ
ルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムの
うちの少なくとも一種、×は塩素、臭素、および沃素の
うちの少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、及びＺはそ
れぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ≦Ｘ≦１．１０″［ｉ
≦ｙ≦２Ｘ１０−１．およびＱ＜ｚ≦１０°１である１
の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ 、 ＭＩｒＸ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙ
Ｅｕ、ＺＡ［ただし、Ｎ１ はベリリウム、マグネシ
ウム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカド
ミウムのうらの少なくとも一種、ＸはＦＡ素、臭素、お
よび沃素のうちの少なくとも一種、Ａは砒素および硅素
のうちの少なくとも一種であり、ａ、Ｘ、ｙ、および２
はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．１０″
＋Ｉ≦ｙ≦２×１０°！、および○〈Ｚ≦５Ｘ１０−’
である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢ
ａ ｌ−Ｘ Ｍｘ／ｚ ＬＸ／２ Ｆ Ｘ ： ’ｌ’
Ｅ ｕ ２＋［ただし、Ｍは、Ｌ ｉ、Ｎａ、に、Ｒ
ｂ、およびＣ５からなる群より選ばれる少なくとも一種
のアルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ
、Ｐｒ。
Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、’Ｈｏ、Ｅｒ、
Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａ９．、、Ｇａ、 Ｉｎ、および
Ｔ９Ｊからなる群より選ばれる少なくとも一種の三価金
属を表わし；Ｘは、Ｃ！２．．３ｒ、およびＩからなる
群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わし；そ
して、Ｘは１０−’≦Ｘ≦０．５、ｙはＯくｙ≦０．１
である１組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ−ｘＡ ： ｌ！／Ｅｕ” ［ただし、Ｘは、Ｃ９Ｊ
、Ｂｒ、および１からなる群より選ばれる少なくとも一
種のハロゲンであり；Ａは、テトラフルオロボウ酸化合
物の焼成物であり；そして、Ｘは１０″６≦Ｘ≦ｏ、ｉ
、ｙはｏ＜ｙ≦０．１である］の組成式で表わされる螢
光体、 特開昭５９−４７２８９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ −ｘＡ ： ｙＥｕ２＋［ただし、Ｘは、Ｃ見、３
ｒ、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサ
フルオロチタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸
の一価もしくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化
合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物で
あり：そして、Ｘは１Ｏ−ＩＩ≦Ｘ≦０．１、ｙはｏ＜
ｙ≦０．１である１の組成式で表わされる螢光体、特開
昭５９−５６４７９号公報に記載されていＢａＦＸ−Ｘ
ＮａＸ’ ：ａＥｕ２＋［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一
種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜ｘ≦２、およびＯ
＜ａ≦０．２ｒある〕の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭｒＬ
ＦＸ・ｘＮａＸ’ ： ＶＥｕ２＋：ｚ Ａ ［た
だし、ＭＬは、Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；Ｘ
およびＸ′は、それぞれＣ９，、，３ｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；
Ａは、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ１Ｆｅ、ＣＯｌおよびＮｉより選
ばれる少なくとも一種の遷移金属であり；そして、Ｘは
Ｑ＜ｘ≦２、ｙはＯ＜ｙ≦０．２、および２はＱ＜ｚ≦
１０−’である］の組成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２００号公報に記載さ
れているＭＸ ＦＸ −ａＭ” Ｘ’ −ｂＭ”■ Ｘ”２ −ｃ Ｍ Ｘ”’ ３ −ｘ
Ａ：ｙＥｕ’ ［ｌＩＣだし、Ｍｌは３ａ、 Ｓｒ
、およびＣａからなる群より選ばれる少なくとも一種の
アルカリ土類金属であり、ＭＩ はＬｉ、Ｎａ、に、Ｒ
ｂ、およヒＯ８からなる群より選ばれる少なくとも一種
のアルカリ金属であり、Ｍ″ はＢｅおよびＭＣＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属であり；
ＭＩＩＩは／ｌ、Ｇａ、Ｉｎ、およＴｊ、■９．からな
る群より選ばれる少なくとも一種の三価金属であり；Ａ
は金属酸化物であり；ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり：
ｘ’、ｘ”、およびＸ″′は、Ｆ１Ｃ９Ｊ、８ｒ１およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；そして、ａはＯ≦ａ≦２、ｂは、０≦ｂ≦１０
″２、ＣはＯ≦Ｃ≦１０４、かつａ＋ｂ＋Ｃ≧１０”ｒ
あり；ＸはＱ＜ｘ≦０．５、ｙはＯ＜ｙ≦０，２である
１の組成式で表わされる螢光体、 特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載された ＭＴＬ Ｘｚ −ａＭ’ Ｘ’ ２ ：Ｘ Ｅｕ２
＋［ただし、ＭＩＬは３ａ、 ＳｒおよびＣａからなる
群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であ
り；ＸおよびＸ′はＣ９Ｊ、Ｂｒおよび■からなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のハロゲンであって、かつｘ
ｆ−ｘ’であり；そしてａは０．１≦ａ≦１０．０の範
囲の数値であり、Ｘは０＜Ｘ≦０．２の範囲の数値であ
る］なる組成式で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａ９．、、Ｇａ、 Ｉｎ、および
Ｔ９Ｊからなる群より選ばれる少なくとも一種の三価金
属を表わし；Ｘは、Ｃ！２．．３ｒ、およびＩからなる
群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わし；そ
して、Ｘは１０−’≦Ｘ≦０．５、ｙはＯくｙ≦０．１
である１組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ−ｘＡ ： ｌ！／Ｅｕ” ［ただし、Ｘは、Ｃ９Ｊ
、Ｂｒ、および１からなる群より選ばれる少なくとも一
種のハロゲンであり；Ａは、テトラフルオロボウ酸化合
物の焼成物であり；そして、Ｘは１０″６≦Ｘ≦ｏ、ｉ
、ｙはｏ＜ｙ≦０．１である］の組成式で表わされる螢
光体、 特開昭５９−４７２８９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ −ｘＡ ： ｙＥｕ２＋［ただし、Ｘは、Ｃ見、３
ｒ、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサ
フルオロチタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸
の一価もしくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化
合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物で
あり：そして、Ｘは１Ｏ−ＩＩ≦Ｘ≦０．１、ｙはｏ＜
ｙ≦０．１である１の組成式で表わされる螢光体、特開
昭５９−５６４７９号公報に記載されていＢａＦＸ−Ｘ
ＮａＸ’ ：ａＥｕ２＋［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一
種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜ｘ≦２、およびＯ
＜ａ≦０．２ｒある〕の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭｒＬ
ＦＸ・ｘＮａＸ’ ： ＶＥｕ２＋：ｚ Ａ ［た
だし、ＭＬは、Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；Ｘ
およびＸ′は、それぞれＣ９，、，３ｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；
Ａは、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ１Ｆｅ、ＣＯｌおよびＮｉより選
ばれる少なくとも一種の遷移金属であり；そして、Ｘは
Ｑ＜ｘ≦２、ｙはＯ＜ｙ≦０．２、および２はＱ＜ｚ≦
１０−’である］の組成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２００号公報に記載さ
れているＭＸ ＦＸ −ａＭ” Ｘ’ −ｂＭ”■ Ｘ”２ −ｃ Ｍ Ｘ”’ ３ −ｘ
Ａ：ｙＥｕ’ ［ｌＩＣだし、Ｍｌは３ａ、 Ｓｒ
、およびＣａからなる群より選ばれる少なくとも一種の
アルカリ土類金属であり、ＭＩ はＬｉ、Ｎａ、に、Ｒ
ｂ、およヒＯ８からなる群より選ばれる少なくとも一種
のアルカリ金属であり、Ｍ″ はＢｅおよびＭＣＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属であり；
ＭＩＩＩは／ｌ、Ｇａ、Ｉｎ、およＴｊ、■９．からな
る群より選ばれる少なくとも一種の三価金属であり；Ａ
は金属酸化物であり；ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり：
ｘ’、ｘ”、およびＸ″′は、Ｆ１Ｃ９Ｊ、８ｒ１およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；そして、ａはＯ≦ａ≦２、ｂは、０≦ｂ≦１０
″２、ＣはＯ≦Ｃ≦１０４、かつａ＋ｂ＋Ｃ≧１０”ｒ
あり；ＸはＱ＜ｘ≦０．５、ｙはＯ＜ｙ≦０，２である
１の組成式で表わされる螢光体、 特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載された ＭＴＬ Ｘｚ −ａＭ’ Ｘ’ ２ ：Ｘ Ｅｕ２
＋［ただし、ＭＩＬは３ａ、 ＳｒおよびＣａからなる
群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であ
り；ＸおよびＸ′はＣ９Ｊ、Ｂｒおよび■からなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のハロゲンであって、かつｘ
ｆ−ｘ’であり；そしてａは０．１≦ａ≦１０．０の範
囲の数値であり、Ｘは０＜Ｘ≦０．２の範囲の数値であ
る］なる組成式で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
ただし、本発明に用いられる輝尽性螢光体は上述の螢光
体に限られるものではなく、放射線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
体に限られるものではなく、放射線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
また好ましく使用し得る熱螢光体としてはＮａ５Ｏａ
、Ｍｎ５Ｏａ 、Ｃａ５Ｏａ 、５ｒＳＯａ、３ａＳＯ
ｔ等の硫酸化合物にＭＬＩ、ＤＶ、Ｔｍ等の微量の添加
物を少なくとも一種添加した化合物が挙げられる。
、Ｍｎ５Ｏａ 、Ｃａ５Ｏａ 、５ｒＳＯａ、３ａＳＯ
ｔ等の硫酸化合物にＭＬＩ、ＤＶ、Ｔｍ等の微量の添加
物を少なくとも一種添加した化合物が挙げられる。
これらの螢光体シートは保護層や、光反射性もしくは光
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で６色されていてもよい。
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で６色されていてもよい。
（実施態様）
以下、図面を参照して本発明の実施態様を詳細に説明す
る６ 第１図は、本発明の一実施態様方法を実施する電子顕微
鏡像記録再生装置の大略を示すものである。
る６ 第１図は、本発明の一実施態様方法を実施する電子顕微
鏡像記録再生装置の大略を示すものである。
この電子顕微鏡像記録再生装置１は、通常の電子顕微鏡
の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電子顕微鏡像の露光
時（記録時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属す
るように配置された２次元センサとしての蓄積性螢光体
シート１０、このシート１０を真空状態に置いたまま励
起光で走査する励起手段、および前記シート１０から放
出される輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からな
る記録・読取部１ｂを設けてなるものである。この鏡体
部１ａ及び記録・読取部１ｂの一部（図中ハツチングで
示した枠の内部）は、電子顕微鏡の稼動中、周知の手段
によって真空状態に保持される。
の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電子顕微鏡像の露光
時（記録時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属す
るように配置された２次元センサとしての蓄積性螢光体
シート１０、このシート１０を真空状態に置いたまま励
起光で走査する励起手段、および前記シート１０から放
出される輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からな
る記録・読取部１ｂを設けてなるものである。この鏡体
部１ａ及び記録・読取部１ｂの一部（図中ハツチングで
示した枠の内部）は、電子顕微鏡の稼動中、周知の手段
によって真空状態に保持される。
鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃
３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レ
ンズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料
台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投
影レンズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試
料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折
され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大
散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影
される（図中の８ｂ）。
３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レ
ンズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料
台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投
影レンズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試
料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折
され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大
散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影
される（図中の８ｂ）。
一方、記録・読取部１ｂは、円筒形の駆動ローラ１０１
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、＠ｅ−Ｊｌ
ｅレーザ、半導体レーザ等の励起光源１１とこの励起光
源１１から射出される励起光ビーム１１ａをシート１０
の幅方向に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向
器１２とからなる励起手段、及び励起光ビーム１１ａに
よってシート１０から放出される輝尽発光光を集光する
集光体１４の射出端面に設けられ、上記輝尽発光光を励
起光を取り除くフィルターを介して受光し光電変換して
電気信号に変えるフォトマル等の光電変換器１５からな
る検出手段を有している。
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、＠ｅ−Ｊｌ
ｅレーザ、半導体レーザ等の励起光源１１とこの励起光
源１１から射出される励起光ビーム１１ａをシート１０
の幅方向に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向
器１２とからなる励起手段、及び励起光ビーム１１ａに
よってシート１０から放出される輝尽発光光を集光する
集光体１４の射出端面に設けられ、上記輝尽発光光を励
起光を取り除くフィルターを介して受光し光電変換して
電気信号に変えるフォトマル等の光電変換器１５からな
る検出手段を有している。
蓄積性螢光体シート１０は可撓性に富むエンドレスベル
ト状の支持体の表面に、前述のような蓄積性螢光体の層
を積層して形成されたものである。
ト状の支持体の表面に、前述のような蓄積性螢光体の層
を積層して形成されたものである。
このシート１０は駆動ローラ１０１と従動ローラ１０２
の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せず）によって回
転される駆動ローラ１０１により矢印六方向に回転可能
である。
の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せず）によって回
転される駆動ローラ１０１により矢印六方向に回転可能
である。
本実施態様では、エンドレスベルト状の蓄積性螢光体シ
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置しであるが、集光体１４をその端部が器壁をつら
ぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換器１
５を真空系外に設置することができる。
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置しであるが、集光体１４をその端部が器壁をつら
ぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換器１
５を真空系外に設置することができる。
鏡体部１ａと記録・読取部１ｂの間に設けられているシ
ャッター（図示せず）を開くと、記録箇所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に、
試料の拡大散乱像８ｂを担持する電子線エネルギーが蓄
積される。次いでシート１ｏのこの部分は駆動ローラ１
０１の回転により記録箇所外へ移動されるとともに、未
露光の部分が記録１所に送られる。
ャッター（図示せず）を開くと、記録箇所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に、
試料の拡大散乱像８ｂを担持する電子線エネルギーが蓄
積される。次いでシート１ｏのこの部分は駆動ローラ１
０１の回転により記録箇所外へ移動されるとともに、未
露光の部分が記録１所に送られる。
次いでこの未露光の部分に新たに画像記録を行なう際、
電子顕微鏡オペレータは、電子顕微鏡のピント合わせツ
マミ３０を微ｍ操作して、新たにシート１０に記録され
る拡大散乱像８ｂのピント状態を、前回の記録における
のとは少し異ならせる。なお周知のようにこのピント合
わせツマミ３０は、対物レンズ６の電場を変化させてそ
の焦点距離を変動させるものである。こうしてシート１
０に少しづつピントを変えた複数の拡大散乱像８ｂが記
録される。なお電子顕微鏡オペレータは、各画像記録に
おいてピント合わせツマミ３０をどのように設定したか
（ピント条件）を、記録あるいは記憶しておく。
電子顕微鏡オペレータは、電子顕微鏡のピント合わせツ
マミ３０を微ｍ操作して、新たにシート１０に記録され
る拡大散乱像８ｂのピント状態を、前回の記録における
のとは少し異ならせる。なお周知のようにこのピント合
わせツマミ３０は、対物レンズ６の電場を変化させてそ
の焦点距離を変動させるものである。こうしてシート１
０に少しづつピントを変えた複数の拡大散乱像８ｂが記
録される。なお電子顕微鏡オペレータは、各画像記録に
おいてピント合わせツマミ３０をどのように設定したか
（ピント条件）を、記録あるいは記憶しておく。
また、上記のシート１０に対する複数回の蓄積記録は、
結像面の全面にわたって行なう必要はない。例えば前記
のシャッターの開放面積を制限するなどの方法により、
電子線照射面積を狭くして行なうようにしてもよく、こ
うすればピント条件設定のための読取面積が狭くなるた
め操作時間を短縮できる。
結像面の全面にわたって行なう必要はない。例えば前記
のシャッターの開放面積を制限するなどの方法により、
電子線照射面積を狭くして行なうようにしてもよく、こ
うすればピント条件設定のための読取面積が狭くなるた
め操作時間を短縮できる。
次いでシート１０のこの複数回の蓄積記録がされた部分
は駆動ローラ１０１の回転により読取箇所へ移動される
。本実施態様では真空系の外部において前記のように偏
向された励起光ビーム１１ａを、鉛ガラスなどの透光性
の壁部材１９ａを通してシート１０に入射させ、このビ
ーム１１ａにより該シート１０をその幅方向に主走査す
る一方、このシート１０を駆動ローラ１０１によって幅
方向とは直角の方向（矢印六方向）へ移動させることに
より、このシート１０を副走査する。この励起光照射に
よって蓄積性螢光体シート１０から発生する輝尽発光光
は、集光体１４の入射端面（シート１０に向けられた端
面）から集光体１４内に入射し、この中を全反射によっ
て進み、集光体１４の射出端面に接続された光電変換器
１５で受光され、輝尽発光光口が光電的に読み取られる
。
は駆動ローラ１０１の回転により読取箇所へ移動される
。本実施態様では真空系の外部において前記のように偏
向された励起光ビーム１１ａを、鉛ガラスなどの透光性
の壁部材１９ａを通してシート１０に入射させ、このビ
ーム１１ａにより該シート１０をその幅方向に主走査す
る一方、このシート１０を駆動ローラ１０１によって幅
方向とは直角の方向（矢印六方向）へ移動させることに
より、このシート１０を副走査する。この励起光照射に
よって蓄積性螢光体シート１０から発生する輝尽発光光
は、集光体１４の入射端面（シート１０に向けられた端
面）から集光体１４内に入射し、この中を全反射によっ
て進み、集光体１４の射出端面に接続された光電変換器
１５で受光され、輝尽発光光口が光電的に読み取られる
。
上記読み取りの終了後、駆動ローラ１０１を駆動させて
、蓄積性螢光体シート１０の画像記録部分を消去ゾーン
２０に送る。この消去ゾーン２０では、真空系外に設け
られた螢光灯等の消去用光源２１から放出される消去光
が、透光性の壁部材１９ｂを通して前記シート１０に照
射される。この消去用光Ｉｔ！２１は蓄積性螢光体シー
ト１０に、該螢光体の励起波長領域に含まれる光を照射
することにより、この蓄積性螢光体シート１０の螢光体
層に蓄積されている残像や、シート１０の螢光体中に不
純物として含まれている２′Ｌ″Ｒａなどの放射性元素
によるノイズを放出させるものであり、例えば特開昭５
６−１１３９２号に示されているようなタングステンラ
ンプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、キセノンフラッ
シュランプあるいはレーザ光源等が任意に選択使用され
得る。
、蓄積性螢光体シート１０の画像記録部分を消去ゾーン
２０に送る。この消去ゾーン２０では、真空系外に設け
られた螢光灯等の消去用光源２１から放出される消去光
が、透光性の壁部材１９ｂを通して前記シート１０に照
射される。この消去用光Ｉｔ！２１は蓄積性螢光体シー
ト１０に、該螢光体の励起波長領域に含まれる光を照射
することにより、この蓄積性螢光体シート１０の螢光体
層に蓄積されている残像や、シート１０の螢光体中に不
純物として含まれている２′Ｌ″Ｒａなどの放射性元素
によるノイズを放出させるものであり、例えば特開昭５
６−１１３９２号に示されているようなタングステンラ
ンプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、キセノンフラッ
シュランプあるいはレーザ光源等が任意に選択使用され
得る。
こうして残像やノイズが消去されたシート１０の画像記
録部分は前記記録部に送られ、そこで前述のようにして
再度拡大散乱像８ｂがシート１０に蓄積記録される。な
おシート１０が十分に長い場合には、画像読取りのため
に該シート１０が所定長さだけ送られた際、シート１０
の記録可能な部分が記録部に送られて来るので、次回の
画像記録はこの部分に行なえばよく、したがって１０の
画像記録の度にシート１０を一巡させる必要はない。
録部分は前記記録部に送られ、そこで前述のようにして
再度拡大散乱像８ｂがシート１０に蓄積記録される。な
おシート１０が十分に長い場合には、画像読取りのため
に該シート１０が所定長さだけ送られた際、シート１０
の記録可能な部分が記録部に送られて来るので、次回の
画像記録はこの部分に行なえばよく、したがって１０の
画像記録の度にシート１０を一巡させる必要はない。
前記輝尽発光光を光電変換器１５によって読み取って得
られた電気信号は、画像処理回路１６に伝えられ必要な
画像処理が施された上、画像再生装置へ送られる。この
再生装置は、ＣＲＴ等のディスプレイ１７でもよいし、
また第３図に示されるように、感光フィルムに光走査記
録を行なう記録装置５０でもよい。以下、この第３図の
光走査記録装置５０により画像再生する場合について説
明する。
られた電気信号は、画像処理回路１６に伝えられ必要な
画像処理が施された上、画像再生装置へ送られる。この
再生装置は、ＣＲＴ等のディスプレイ１７でもよいし、
また第３図に示されるように、感光フィルムに光走査記
録を行なう記録装置５０でもよい。以下、この第３図の
光走査記録装置５０により画像再生する場合について説
明する。
ｉ光フィルム３５を第３図に矢印Ｙで示す副走査方向に
移動させるとともに、記録光としてのレーザビーム３１
を感光フィルム３５上において矢印×方向に主走査させ
、該レーザビーム３１を信号供給回路３２からの画像信
号に基づいてＡ１０変調器３３により変調することによ
り、感光フィルム３５上に可視像を形成する。上記変調
用画像信号として、前述の画像処理回路１６から出力さ
れた信号を用いれば、シート１０に蓄積記録された前記
拡大散乱像８ｂが感光フィルム３５に再生される。
移動させるとともに、記録光としてのレーザビーム３１
を感光フィルム３５上において矢印×方向に主走査させ
、該レーザビーム３１を信号供給回路３２からの画像信
号に基づいてＡ１０変調器３３により変調することによ
り、感光フィルム３５上に可視像を形成する。上記変調
用画像信号として、前述の画像処理回路１６から出力さ
れた信号を用いれば、シート１０に蓄積記録された前記
拡大散乱像８ｂが感光フィルム３５に再生される。
本発明方法においては、上記感光フィルム３５に拡大散
乱像８ｂの最終出力画像を再生する前に、感光フィルム
３５を用いて、該拡大散乱像８ｂのピント合わせ用画像
を複数枚作成する。あるいは一枚の感光フィルム上に複
数のピント合せ用画像を並べて出力させてもよい。
乱像８ｂの最終出力画像を再生する前に、感光フィルム
３５を用いて、該拡大散乱像８ｂのピント合わせ用画像
を複数枚作成する。あるいは一枚の感光フィルム上に複
数のピント合せ用画像を並べて出力させてもよい。
このようにして複数の、それぞれピント状態が少しづつ
異なった拡大散乱＠８ｂが再生される。
異なった拡大散乱＠８ｂが再生される。
電子顕微鏡オペレータはこれら複数のピント合わせ用画
像を比較観察し、ピントが最も正確に合っている画像を
選択する。この画像が拡大散乱＠８ｂの全体を表示して
いるときは、これを最終出力画像とすることもできる。
像を比較観察し、ピントが最も正確に合っている画像を
選択する。この画像が拡大散乱＠８ｂの全体を表示して
いるときは、これを最終出力画像とすることもできる。
しかし、好ましくはピント合せ用画像は拡大散乱像８ｂ
の一部を記録ざせて（ｑられるので、ピントが最も正確
に合っている画像を選択したのち、最終出力画像を得る
ために拡大散乱像８ｂをシート１ｏに記録し、その像を
読み取って、次いで感光フィルム３５に再生するが、こ
の記録の際にピント合わせツマミ３ｏは、上記選択され
た画像を記録したときの状態と同様にセットされる。こ
うして画像記録を行なえば、感光フィルム３５に再生さ
れた最終出力画像において拡大散乱像８ｂは、上記選択
されたピント合わせ用画像におけるのと同様に、ピント
が正確に合っているものとなる。なお、このピント条件
の記録と最終出力画像を得るための拡大散乱像８ｂの露
光時のピントのセットは、電子顕微鏡に記録装置を設け
てオペレーターが指示したピント条件に自助的にセット
されるようにしてもよい。
の一部を記録ざせて（ｑられるので、ピントが最も正確
に合っている画像を選択したのち、最終出力画像を得る
ために拡大散乱像８ｂをシート１ｏに記録し、その像を
読み取って、次いで感光フィルム３５に再生するが、こ
の記録の際にピント合わせツマミ３ｏは、上記選択され
た画像を記録したときの状態と同様にセットされる。こ
うして画像記録を行なえば、感光フィルム３５に再生さ
れた最終出力画像において拡大散乱像８ｂは、上記選択
されたピント合わせ用画像におけるのと同様に、ピント
が正確に合っているものとなる。なお、このピント条件
の記録と最終出力画像を得るための拡大散乱像８ｂの露
光時のピントのセットは、電子顕微鏡に記録装置を設け
てオペレーターが指示したピント条件に自助的にセット
されるようにしてもよい。
上述の最終出力画像は前記ＣＲＴ等のディスプレイ１７
に再生されてもよいし、あるいは後に再生するために、
その信号を磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体１８
に記憶させておいてもよい。
に再生されてもよいし、あるいは後に再生するために、
その信号を磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体１８
に記憶させておいてもよい。
なお上記ピント合わせ用画像をＣＲＴ等のディスプレイ
１７に再生する場合には、各ピント合わせ用画像を担持
する信号を−Ｈ磁気ディスク等に記憶させ、そこから信
号を読み出して画像再生するのが好ましい。そのように
すれば、各ピント合わせ用画像を順不同に何回も繰り返
して再生することができ、各画像のピント状態の比較が
しやすくなる。
１７に再生する場合には、各ピント合わせ用画像を担持
する信号を−Ｈ磁気ディスク等に記憶させ、そこから信
号を読み出して画像再生するのが好ましい。そのように
すれば、各ピント合わせ用画像を順不同に何回も繰り返
して再生することができ、各画像のピント状態の比較が
しやすくなる。
また拡大散乱像８ｂの記録部と読取部との間に適当な遮
光シャッター等を設けておけば、ピント合わせ用画像の
読取りと同時に、次の画像の記録を行なうことも可能に
なる。また上記のようなエンドレスベルト状の蓄積性螢
光体シート１０を用いずに、所定サイズの１枚の蓄積性
螢光体シートを記録部と読取部との間で往復搬送して、
画像記録、読取りを交互に行なうようにしてもよいし、
さらにはこのような蓄積性螢光体シートを１枚あるいは
複数枚エンドレスベルト等の搬送手段に固定して、循環
使用するようにしてもよい。これらの場合、ピントを変
えた複数の画像を１枚の蓄積性螢光体シートに分割して
蓄積記録してもよい。
光シャッター等を設けておけば、ピント合わせ用画像の
読取りと同時に、次の画像の記録を行なうことも可能に
なる。また上記のようなエンドレスベルト状の蓄積性螢
光体シート１０を用いずに、所定サイズの１枚の蓄積性
螢光体シートを記録部と読取部との間で往復搬送して、
画像記録、読取りを交互に行なうようにしてもよいし、
さらにはこのような蓄積性螢光体シートを１枚あるいは
複数枚エンドレスベルト等の搬送手段に固定して、循環
使用するようにしてもよい。これらの場合、ピントを変
えた複数の画像を１枚の蓄積性螢光体シートに分割して
蓄積記録してもよい。
またピント合わせ用画像は、最終出力画像と同サイズに
出力する必要はなく、最終出力画像の画像域内の一部分
について励起光照則、および輝尽発光光検出を行ない、
その一部分のみの画像を出力するようにしてもよい。そ
うずればこのピント合わせ用画像の再生に要する時間が
短縮され、ピント合わせ作業の能率が向上する。その他
、ピント合わせ用画像の再生時に、最終出力画像の再生
におけるよりも大きい画素単位で画像読取りを行なうよ
うにしても、上記と同じ効果が得られる。
出力する必要はなく、最終出力画像の画像域内の一部分
について励起光照則、および輝尽発光光検出を行ない、
その一部分のみの画像を出力するようにしてもよい。そ
うずればこのピント合わせ用画像の再生に要する時間が
短縮され、ピント合わせ作業の能率が向上する。その他
、ピント合わせ用画像の再生時に、最終出力画像の再生
におけるよりも大きい画素単位で画像読取りを行なうよ
うにしても、上記と同じ効果が得られる。
さらにシート１０からピント合わせ用画像を読み取った
後、次のピント合わせ用画像を該シート１０に蓄積記録
するために、このシート１０に前述のような消去光を逐
一照射することは必ずしも必要ではない。すなわち、ピ
ント合わせ用画像の読取信号を記憶手段に記憶しておけ
ば、次にこのピント合わせ用画像が記録されたシート１
０の同一部分に新規のピント合わせ用画像を重ねて蓄積
記録しても、次の画像読取り時に上記読取信号を差し引
くように演算処理を行なうことにより、上記新規のピン
ト合わせ用画像のみを抽出して再生することができる。
後、次のピント合わせ用画像を該シート１０に蓄積記録
するために、このシート１０に前述のような消去光を逐
一照射することは必ずしも必要ではない。すなわち、ピ
ント合わせ用画像の読取信号を記憶手段に記憶しておけ
ば、次にこのピント合わせ用画像が記録されたシート１
０の同一部分に新規のピント合わせ用画像を重ねて蓄積
記録しても、次の画像読取り時に上記読取信号を差し引
くように演算処理を行なうことにより、上記新規のピン
ト合わせ用画像のみを抽出して再生することができる。
また以上説明したピント合わせ用画像は、単に拡大散乱
像８ｂのピント合わせに利用するのみならず、最終出力
画像の視野範囲を決定するために利用することもできる
。
像８ｂのピント合わせに利用するのみならず、最終出力
画像の視野範囲を決定するために利用することもできる
。
また鏡体部１ａの試料８と電子銃３の間にシャッターを
設け、撮影・時以外は電子線を遮断するようにすれば、
試料８の損傷が更に防止される。
設け、撮影・時以外は電子線を遮断するようにすれば、
試料８の損傷が更に防止される。
以上透過電子線による試料８の拡大散乱像を記録再生す
る実施態様について説明したが、本発明は、前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第２図は試料８の回折パターン８Ｃを記録する
様子を示すもの−である。本実施態様において電子顕微
Ｈ４０は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レ
ンズ４１を備えたものが使用され、対物レンズ７の後熟
平面に形成された試料８の回折パターン８Ｃは、上記後
熟平面に焦点を合わせた中間レンズ４１および投影レン
ズ７により、結像面９に拡大投影される。この場合にも
上記結像面９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シー
ト１０を配置すれば、該シート１０に透過電子線２によ
る上記回折パターン８Ｃの拡大像が蓄積記録される。こ
の蓄積記録された回折パターン８Ｃは、前記第１図で説
明したのと全く同様にして読取り可能であり、その読取
り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピーとし
て再生したりすることができる。
る実施態様について説明したが、本発明は、前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第２図は試料８の回折パターン８Ｃを記録する
様子を示すもの−である。本実施態様において電子顕微
Ｈ４０は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レ
ンズ４１を備えたものが使用され、対物レンズ７の後熟
平面に形成された試料８の回折パターン８Ｃは、上記後
熟平面に焦点を合わせた中間レンズ４１および投影レン
ズ７により、結像面９に拡大投影される。この場合にも
上記結像面９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シー
ト１０を配置すれば、該シート１０に透過電子線２によ
る上記回折パターン８Ｃの拡大像が蓄積記録される。こ
の蓄積記録された回折パターン８Ｃは、前記第１図で説
明したのと全く同様にして読取り可能であり、その読取
り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピーとし
て再生したりすることができる。
更に記録条件の変動による影響をなくしあるいは観察性
の優れた電子顕微鏡像を得るためには、蓄積性螢光体シ
ート１０に蓄積記録した透過電子線像（拡大散乱像ある
いは拡大回折パターン）の記録状態、試料の性状、ある
いは記録方法等によって決定される記録パターンを試料
観察のための可視像の出力に先立って把握し、この把握
した蓄積記録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調
節し、あるいは適当な信号処理を施すことが好ましい。
の優れた電子顕微鏡像を得るためには、蓄積性螢光体シ
ート１０に蓄積記録した透過電子線像（拡大散乱像ある
いは拡大回折パターン）の記録状態、試料の性状、ある
いは記録方法等によって決定される記録パターンを試料
観察のための可視像の出力に先立って把握し、この把握
した蓄積記録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調
節し、あるいは適当な信号処理を施すことが好ましい。
また、記録パターンのコントラストに応じて分解能が最
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を１ｑるために要求さ
れる。
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を１ｑるために要求さ
れる。
このように可視像の出力に先立って蓄積性螢光体シート
１０の蓄積記録情報を把握する方法として、例えば特開
昭５８−８９２４５号に示されているような方法が使用
可能である。すなわち試料８の観察のための可視像を得
る読取り操作（本読み）の際に照射すべき励起光のエネ
ルギーよりも低いエネルギーの励起光を用いて、前記本
読みに先立って予め蓄積性螢光体シート１０に蓄積記録
されている蓄積記録情報を把握するための読取り操作（
先読み）を行ない、シート１０の蓄積記録情報を把握し
、しかる後に本読みを行なって、前記先読み情報に基づ
いて読取ゲインを適当に調節し、収録スケールファクタ
ーを決定し、あるいは適当な信号処理を施すことができ
る。
１０の蓄積記録情報を把握する方法として、例えば特開
昭５８−８９２４５号に示されているような方法が使用
可能である。すなわち試料８の観察のための可視像を得
る読取り操作（本読み）の際に照射すべき励起光のエネ
ルギーよりも低いエネルギーの励起光を用いて、前記本
読みに先立って予め蓄積性螢光体シート１０に蓄積記録
されている蓄積記録情報を把握するための読取り操作（
先読み）を行ない、シート１０の蓄積記録情報を把握し
、しかる後に本読みを行なって、前記先読み情報に基づ
いて読取ゲインを適当に調節し、収録スケールファクタ
ーを決定し、あるいは適当な信号処理を施すことができ
る。
また上記のように読取ゲインあるいは収録スケ−シフ１
クターを適当に調節し、あるいは適当な信号処理を施す
ためには、上記のような先読みを行なう他、前述したピ
ント合わせ用画像をＣＲＴ等のディスプレイ１７に再生
する場合には、このディスプレイ１７を見ながら対話形
式で適゛当な読取ゲイン、収録スケールファクター、あ
るいは信号処理条件を予め決定しておき、Ｒ線出力画像
の再生時に、この予め決定しておいた読取ゲイン、収録
スケ−シフ１クターあるいは信号処理条件に基づいて画
像読取り、信号処理を行なうようにしてもよい。
クターを適当に調節し、あるいは適当な信号処理を施す
ためには、上記のような先読みを行なう他、前述したピ
ント合わせ用画像をＣＲＴ等のディスプレイ１７に再生
する場合には、このディスプレイ１７を見ながら対話形
式で適゛当な読取ゲイン、収録スケールファクター、あ
るいは信号処理条件を予め決定しておき、Ｒ線出力画像
の再生時に、この予め決定しておいた読取ゲイン、収録
スケ−シフ１クターあるいは信号処理条件に基づいて画
像読取り、信号処理を行なうようにしてもよい。
また蓄積性螢光体シート１０から放出された輝尽発光光
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォトマルを用いる他に、光導電体あるいはフォトダ
イオードなどの固体光電変換素子を用いることもできる
（特願昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２２７
号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−２
１９３１４号の各明ａ古、および特開昭５８−１２１８
７４号公報参照）。この場合には、多数の固体光電変換
素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シート
１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１０
に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電読
取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったラインセ
ンサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一個
の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表面
に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォトマルを用いる他に、光導電体あるいはフォトダ
イオードなどの固体光電変換素子を用いることもできる
（特願昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２２７
号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−２
１９３１４号の各明ａ古、および特開昭５８−１２１８
７４号公報参照）。この場合には、多数の固体光電変換
素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シート
１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１０
に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電読
取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったラインセ
ンサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一個
の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表面
に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
上記の場合の読取用励起光源としては、レーザ等のよう
な゛点光源のほかに、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導
体レーザ等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源が用
いられてもよい。このような装置を用いて読取りを行な
うことにより、蓄積性螢光体シート１０から放出される
輝尽発光光の損失を防ぐと同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理によって時系列化されるために、読
取速度を速くすることが可能である。
な゛点光源のほかに、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導
体レーザ等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源が用
いられてもよい。このような装置を用いて読取りを行な
うことにより、蓄積性螢光体シート１０から放出される
輝尽発光光の損失を防ぐと同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理によって時系列化されるために、読
取速度を速くすることが可能である。
また、以上述べた蓄積性螢光体シート１０に代えて熱螢
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱螢光
体シートを走査ずればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱螢光
体シートを走査ずればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。
また蓄積性螢光体シート１０等の２次元センサを、真空
状態内に置いたまま画像読取りを行なうことは必ずしも
必要ではなく、電子顕ｗＩ鏡像蓄積記録後、真空状態を
破壊して２次元センサを取り出し、電子顕微鏡とは別個
に設けた読取装置を用いて画像読取りを行なってもよい
。しかし前記実施態様におけるように、電子線像結像面
と共通の真空系内で２次元センサを循環して使用すれば
、従来のフィルム法のように真空を破壊してフィルム交
換等を行なう必要がなく、連続的に多数の県影を行なう
ことが可能になる。
状態内に置いたまま画像読取りを行なうことは必ずしも
必要ではなく、電子顕ｗＩ鏡像蓄積記録後、真空状態を
破壊して２次元センサを取り出し、電子顕微鏡とは別個
に設けた読取装置を用いて画像読取りを行なってもよい
。しかし前記実施態様におけるように、電子線像結像面
と共通の真空系内で２次元センサを循環して使用すれば
、従来のフィルム法のように真空を破壊してフィルム交
換等を行なう必要がなく、連続的に多数の県影を行なう
ことが可能になる。
（発明の効果）
以上詳細に説明した通り本発明方法によれば、蓄積性螢
光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録
するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録する
ことが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光
量を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。
光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録
するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録する
ことが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光
量を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。
また記録画像を高感度で即時に再生画像をＣＲＴ等に表
示することができるので、この再生画像を電子顕微鏡の
フォーカス調整用モニタ画像として利用すれば明瞭なモ
ニタ画像が得られ、従来不可能であった低電子線露光量
でのフォーカス調整が可能になる。
示することができるので、この再生画像を電子顕微鏡の
フォーカス調整用モニタ画像として利用すれば明瞭なモ
ニタ画像が得られ、従来不可能であった低電子線露光量
でのフォーカス調整が可能になる。
しかも本発明方法においては電子顕微鏡像が電気信号と
して読み取られるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波
数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり
、また前述したような回折パターンの処理や、３次元像
の再構成１画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号
をコンピュータに入力することにより、従来に比べ極め
て簡単かつ迅速に行なえるようになる。
して読み取られるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波
数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり
、また前述したような回折パターンの処理や、３次元像
の再構成１画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号
をコンピュータに入力することにより、従来に比べ極め
て簡単かつ迅速に行なえるようになる。
さらに、電子顕微鏡像を蓄積記録する２次元センサは、
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像を再生で
きる。
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像を再生で
きる。
また本発明方法においては、電子顕微鏡像のピント合わ
せ用画像も蓄積性螢光体シート等の２次元センサに蓄積
記録するようにしたから、ピント合わせのために試料に
照射する電子綴針も著しく低減でき、試料損傷防止の効
果が極めて大きい。
せ用画像も蓄積性螢光体シート等の２次元センサに蓄積
記録するようにしたから、ピント合わせのために試料に
照射する電子綴針も著しく低減でき、試料損傷防止の効
果が極めて大きい。
第１図は本発明の第１実施態様方法を実施する装置を示
す概略図、 第２図は本発明の第２実施態様方法が適用される電子、
顕微鏡の一部を示す概略図、 第３図は本発明方法において用いられる画像再生装置の
一例を示す概略図である。 １．４０・・・電子顕微鏡 ２・・・電子線９・・・
電子顕微鏡像面像面 １０・・・蓄積性螢光体シート １１・・・励起光源 、１１ａ・・・励起光ビーム １２・・・光偏向器１
４・・・集光体 １５・・・光電変換器１７
・・・ディスプレイ ３０・・・ピント合わせツマミ ３１・・・レーザビーム ３２・・・信号供給回路
３３・・・変調器 ３５・−・感光フィルム
５０・・・光走査記録装置 図面の浄書（内容に変１！なＬｋ 第１図 ”／ｂ 第３図 、旬 手続補正書（方式） ％式％ ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 昭和６０年１月９日 （発送日 昭和６０年１月２９日
）６、補正により増加する発明の数 な し帽帽
手続補正書 特許庁長官 殿 昭和６０年２月
１２日特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微ａ像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４６代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄８、
補正の内容 １）明細書第６頁第１７行 １次いで前」を「次いで前記」と訂正する。 ２）同第８頁第１６行 １可視」を「可視光」と訂正する。 ３）＠第１５頁第１６行 「されてい」を「されている」と訂正する。 ４）同第１８頁第１０行 ｒＮａＪをｒＮａｚＪと訂正する。 ５）同頁第１２行 ｒＭｕＪをｒＭｎＪと訂正する。 ６）同第１９頁第１行 ＮＪを削除する。 ７）同頁第１〜８行 「電子顕微鏡」を「電子顕微鏡１」と訂正する。 （自発）手続ネ…正書 特許庁長官 殿 昭和６０年８
月６日適 １、事件の表示 特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し
−、８、補正の内容 １）明細書第７頁第１５行 Ｕ励起光を照射するか又は加熱するとＪを「励起光を照
射すると」と訂正する。 ２）同第２７頁第１５行 「もよい。」の後に［また、この最終出力画像はその画
像サイズが、前記結像面９のサイズ（すなわち２次元セ
ンサへの蓄積記録面積）よりも大きく設定され、結像面
９上における画面サイズよりも拡大して再生されるのが
好ましい。 第２図の如き画像走査記録装置にて拡大した画像を出力
するためには、その走査線密度を蓄積性螢光体シート１
０から画像情報を得る際の読み取り走査線密度より粗に
すればよい。本発明のような小サイズの蓄積性螢光体シ
ートから充分な画像情報を得るには読み取り走査線線密
度は１０ビクセル／ｍｍ以上、特に１５ビクセル／ｍｍ
〜１００ビクセル／ｍｍの範囲に設定するのが好ましい
が、再生像記録のための走査線密度はこれよりも粗とし
、好ましくは５ビクセル／ｍｍ〜２０ビクセル／ｍｍの
範囲において使用した読み取り走査線密度よりも粗い走
査線密度を選択すれば、画質の低下なく拡大再生像を得
ることができる。」を挿入する。 （自発）手続ネ甫正書 特許庁長官 殿 昭和６０年９月
１９日特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 はうらいやピル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（ばか１名）５、
補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の瀾８、
補正の内容 （自 発）手続ネ甫正書 特許庁長官 殿 昭和６１年１
月８６１、事件の表示 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し８、補
正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 ２）明細書第７頁第１行 「ピント条件」の後に「および／または視野範囲」を挿
入する。 ３）同第７頁第４行、同第９頁第１９〜２０行、同第１
０頁第１行、同第３６頁第１９〜２０行、同第３７頁第
１〜２行「ピント合わせ」の後に［および／または視野
探し］を挿入する。 ４）同第７頁第５〜６行 「好ましい条件」の後に「および／または上記視野範囲
のうちの所望の範囲」を挿入する。 ５）同第３０頁第５〜６行 「最終出力画像の視野範囲を決定するために利用するこ
ともできる。」を［＠終出力画像の視野範囲を決定する
ため（視野探し）に利用することもできる。視野探しの
場合には前記再生画像を観察し、試料８を少しずつ動か
すか、あるいは電子線２を試料面に照射する位置を少し
ずつ変えて、所望の視野範囲の拡大散乱像ＢｂＳ得られ
るようにすればよい。なお、視野探しに際しては最終出
力画像の画像域相当の全体の画像を再生して行なう必要
がある。」と訂正する。 ６）同第３６頁第３．５行 「フォーカス調整」の後に［および／または視野探し」
を挿入する。 特許請求の範囲 （１） 電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、
試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで
前記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積
されたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光
電的に検出する電子顕微鏡像記録再生方法において、電
子顕微鏡のピント条件および／または視野範囲を少しず
つ変えて前記蓄積記録を複数回行ない、次いで前記放出
光の検出を行なってそれによって得られた電気信号から
再生した複数のピント合わせおよび／または視野探し用
画像を観察して前記ピント条件のうちの好ましい条件お
よび／または前記視野範囲のうちの所望の範囲を選択す
ることを特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 （２） 前記放出光の検出を、前記２次元センサを真空
状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （３） 前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを
用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線
を真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積性螢光体シー
トを励起光又は熱線で走査して螢光を放出させ、この放
出された螢光を光電的に検出することを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録
再生方法。 （４） 前記ピント合わせ用画像を得るための前記放出
光の検出を、前記最終出力画像の画像域内の一部分につ
いて行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から
第３項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （５） 前記ピント合わせおよび／または視野探し用画
像を得るための前記放出光の検出を、前記最終出力画像
を得るための放出光の検出におけるよりも大きい画素単
位で行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から
第３−項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法
。 （６） 前記ピント条件のうちの好ましい条件および／
または前記視野範囲のうちの所望の範囲の選択を最終出
力画像を得るための２次元センサへの電子線の蓄積記録
に先立って行ない、この蓄積記録の際に前記選択された
ピント条件および／または視野範囲を設定することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録
再生方法。
す概略図、 第２図は本発明の第２実施態様方法が適用される電子、
顕微鏡の一部を示す概略図、 第３図は本発明方法において用いられる画像再生装置の
一例を示す概略図である。 １．４０・・・電子顕微鏡 ２・・・電子線９・・・
電子顕微鏡像面像面 １０・・・蓄積性螢光体シート １１・・・励起光源 、１１ａ・・・励起光ビーム １２・・・光偏向器１
４・・・集光体 １５・・・光電変換器１７
・・・ディスプレイ ３０・・・ピント合わせツマミ ３１・・・レーザビーム ３２・・・信号供給回路
３３・・・変調器 ３５・−・感光フィルム
５０・・・光走査記録装置 図面の浄書（内容に変１！なＬｋ 第１図 ”／ｂ 第３図 、旬 手続補正書（方式） ％式％ ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 昭和６０年１月９日 （発送日 昭和６０年１月２９日
）６、補正により増加する発明の数 な し帽帽
手続補正書 特許庁長官 殿 昭和６０年２月
１２日特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微ａ像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４６代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄８、
補正の内容 １）明細書第６頁第１７行 １次いで前」を「次いで前記」と訂正する。 ２）同第８頁第１６行 １可視」を「可視光」と訂正する。 ３）＠第１５頁第１６行 「されてい」を「されている」と訂正する。 ４）同第１８頁第１０行 ｒＮａＪをｒＮａｚＪと訂正する。 ５）同頁第１２行 ｒＭｕＪをｒＭｎＪと訂正する。 ６）同第１９頁第１行 ＮＪを削除する。 ７）同頁第１〜８行 「電子顕微鏡」を「電子顕微鏡１」と訂正する。 （自発）手続ネ…正書 特許庁長官 殿 昭和６０年８
月６日適 １、事件の表示 特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し
−、８、補正の内容 １）明細書第７頁第１５行 Ｕ励起光を照射するか又は加熱するとＪを「励起光を照
射すると」と訂正する。 ２）同第２７頁第１５行 「もよい。」の後に［また、この最終出力画像はその画
像サイズが、前記結像面９のサイズ（すなわち２次元セ
ンサへの蓄積記録面積）よりも大きく設定され、結像面
９上における画面サイズよりも拡大して再生されるのが
好ましい。 第２図の如き画像走査記録装置にて拡大した画像を出力
するためには、その走査線密度を蓄積性螢光体シート１
０から画像情報を得る際の読み取り走査線密度より粗に
すればよい。本発明のような小サイズの蓄積性螢光体シ
ートから充分な画像情報を得るには読み取り走査線線密
度は１０ビクセル／ｍｍ以上、特に１５ビクセル／ｍｍ
〜１００ビクセル／ｍｍの範囲に設定するのが好ましい
が、再生像記録のための走査線密度はこれよりも粗とし
、好ましくは５ビクセル／ｍｍ〜２０ビクセル／ｍｍの
範囲において使用した読み取り走査線密度よりも粗い走
査線密度を選択すれば、画質の低下なく拡大再生像を得
ることができる。」を挿入する。 （自発）手続ネ甫正書 特許庁長官 殿 昭和６０年９月
１９日特願昭５９−２１４６８１号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 はうらいやピル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（ばか１名）５、
補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の瀾８、
補正の内容 （自 発）手続ネ甫正書 特許庁長官 殿 昭和６１年１
月８６１、事件の表示 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し８、補
正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 ２）明細書第７頁第１行 「ピント条件」の後に「および／または視野範囲」を挿
入する。 ３）同第７頁第４行、同第９頁第１９〜２０行、同第１
０頁第１行、同第３６頁第１９〜２０行、同第３７頁第
１〜２行「ピント合わせ」の後に［および／または視野
探し］を挿入する。 ４）同第７頁第５〜６行 「好ましい条件」の後に「および／または上記視野範囲
のうちの所望の範囲」を挿入する。 ５）同第３０頁第５〜６行 「最終出力画像の視野範囲を決定するために利用するこ
ともできる。」を［＠終出力画像の視野範囲を決定する
ため（視野探し）に利用することもできる。視野探しの
場合には前記再生画像を観察し、試料８を少しずつ動か
すか、あるいは電子線２を試料面に照射する位置を少し
ずつ変えて、所望の視野範囲の拡大散乱像ＢｂＳ得られ
るようにすればよい。なお、視野探しに際しては最終出
力画像の画像域相当の全体の画像を再生して行なう必要
がある。」と訂正する。 ６）同第３６頁第３．５行 「フォーカス調整」の後に［および／または視野探し」
を挿入する。 特許請求の範囲 （１） 電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、
試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで
前記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積
されたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光
電的に検出する電子顕微鏡像記録再生方法において、電
子顕微鏡のピント条件および／または視野範囲を少しず
つ変えて前記蓄積記録を複数回行ない、次いで前記放出
光の検出を行なってそれによって得られた電気信号から
再生した複数のピント合わせおよび／または視野探し用
画像を観察して前記ピント条件のうちの好ましい条件お
よび／または前記視野範囲のうちの所望の範囲を選択す
ることを特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 （２） 前記放出光の検出を、前記２次元センサを真空
状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （３） 前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを
用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線
を真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積性螢光体シー
トを励起光又は熱線で走査して螢光を放出させ、この放
出された螢光を光電的に検出することを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録
再生方法。 （４） 前記ピント合わせ用画像を得るための前記放出
光の検出を、前記最終出力画像の画像域内の一部分につ
いて行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から
第３項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （５） 前記ピント合わせおよび／または視野探し用画
像を得るための前記放出光の検出を、前記最終出力画像
を得るための放出光の検出におけるよりも大きい画素単
位で行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から
第３−項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法
。 （６） 前記ピント条件のうちの好ましい条件および／
または前記視野範囲のうちの所望の範囲の選択を最終出
力画像を得るための２次元センサへの電子線の蓄積記録
に先立って行ない、この蓄積記録の際に前記選択された
ピント条件および／または視野範囲を設定することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録
再生方法。
Claims (6)
- （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
的に検出する電子顕微鏡像記録再生方法において、電子
顕微鏡のピント条件を少しずつ変えて前記蓄積記録を複
数回行ない、次いで前記放出光の検出を行なってそれに
よって得られた電気信号から再生した複数のピント合わ
せ用画像を観察して前記ピント条件のうちの好ましい条
件を選択することを特徴とする電子顕微鏡像記録再生方
法。 - （２）前記放出光の検出を、前記２次元センサを真空状
態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 - （３）前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを用
い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積性螢光体シート
を励起光又は熱線で走査して螢光を放出させ、この放出
された螢光を光電的に検出することを特徴とする特許請
求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録再
生方法。 - （４）前記ピント合わせ用画像を得るための前記放出光
の検出を、前記最終出力画像の画像域内の一部分につい
て行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
３項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 - （５）前記ピント合わせ用画像を得るための前記放出光
の検出を、前記最終出力画像を得るための放出光の検出
におけるよりも大きい画素単位で行なうことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項から第４項いずれか１項記載の
電子顕微鏡像記録再生方法。 - （６）前記ピント条件のうちの好ましい条件の選択を最
終出力画像を得るための２次元センサへの電子線の蓄積
記録に先立って行ない、この蓄積記録の際に前記選択さ
れたピント条件を設定することを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214681A JPH0616394B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
| US06/786,080 US4651220A (en) | 1984-10-12 | 1985-10-10 | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope |
| EP85112938A EP0177973B1 (en) | 1984-10-12 | 1985-10-11 | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope |
| DE3587771T DE3587771T2 (de) | 1984-10-12 | 1985-10-11 | Aufnahme- und Wiedergabeverfahren von erzeugten Bildern mittels eines Elektronenmikroskops. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214681A JPH0616394B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193540A true JPS6193540A (ja) | 1986-05-12 |
| JPH0616394B2 JPH0616394B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16659816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214681A Expired - Lifetime JPH0616394B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616394B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008163600A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Nippon Steel & Sumikin Metal Products Co Ltd | パネル脱着容易なフェンス |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831684A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
| JPS4922574A (ja) * | 1972-06-26 | 1974-02-28 | ||
| JPS58122500A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
-
1984
- 1984-10-12 JP JP59214681A patent/JPH0616394B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831684A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
| JPS4922574A (ja) * | 1972-06-26 | 1974-02-28 | ||
| JPS58122500A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008163600A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Nippon Steel & Sumikin Metal Products Co Ltd | パネル脱着容易なフェンス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0616394B2 (ja) | 1994-03-02 |
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