JPS6188914A - 鏡面肌仕上げ管の製造方法 - Google Patents
鏡面肌仕上げ管の製造方法Info
- Publication number
- JPS6188914A JPS6188914A JP21228284A JP21228284A JPS6188914A JP S6188914 A JPS6188914 A JP S6188914A JP 21228284 A JP21228284 A JP 21228284A JP 21228284 A JP21228284 A JP 21228284A JP S6188914 A JPS6188914 A JP S6188914A
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- JP
- Japan
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- tube
- heat treatment
- synthetic resin
- resin lubricant
- cooling
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は爆発性ガス、有拾性ガス等の特殊なガスを通ず
るための鏡面肌仕止げ管の製造方法に関する、 弔ｒ 東、前述のような特殊なガスを通ずるための管は
例えば半導体機器の製造設備乙に多用されている、これ
らに使用される管は素管を所定寸法まで前処理により成
形した後、管に化成皮膜潤滑、す々わち管の内外面にシ
ュウ酸塩の化成皮膜を形成させた後引抜伸管加工し、次
いでローラーハース炉、ノ々レル炉等の酸化性熱処理を
施し、作製されていた。従って化成皮）１％γ閏清によ
り管の地金と化学反応により化成皮膜を形成するため官
の表面が荒れて伸管加工によっても光σ（がでず、さら
に熱処理によって重化スケールが発生し、酸洗により脱
スケールする際にもイを内外面が荒れ、前述の特殊ガス
を通ずる場合、管内面に不純物が付着し易い問題があっ
た。
るための鏡面肌仕止げ管の製造方法に関する、 弔ｒ 東、前述のような特殊なガスを通ずるための管は
例えば半導体機器の製造設備乙に多用されている、これ
らに使用される管は素管を所定寸法まで前処理により成
形した後、管に化成皮膜潤滑、す々わち管の内外面にシ
ュウ酸塩の化成皮膜を形成させた後引抜伸管加工し、次
いでローラーハース炉、ノ々レル炉等の酸化性熱処理を
施し、作製されていた。従って化成皮）１％γ閏清によ
り管の地金と化学反応により化成皮膜を形成するため官
の表面が荒れて伸管加工によっても光σ（がでず、さら
に熱処理によって重化スケールが発生し、酸洗により脱
スケールする際にもイを内外面が荒れ、前述の特殊ガス
を通ずる場合、管内面に不純物が付着し易い問題があっ
た。
さらシこはこのような従来管では継手の個所からガスが
漏れるおそれもあるものであった。従って、従来は土述
のようにして成形しり管の内外面、特に内面を研摩加工
して鏡面仕上げを行っており、研摩工程を別途必要とし
、非能力であるとともに鏡面仕上げそのものが精度を要
する繁雑な作業である欠点を有するものであった。
漏れるおそれもあるものであった。従って、従来は土述
のようにして成形しり管の内外面、特に内面を研摩加工
して鏡面仕上げを行っており、研摩工程を別途必要とし
、非能力であるとともに鏡面仕上げそのものが精度を要
する繁雑な作業である欠点を有するものであった。
本発明は研摩加工笛を要せずに内外面鏡面仕上げされた
鏡面肌仕止げ管の製造方法を提供することを目的とする
。
鏡面肌仕止げ管の製造方法を提供することを目的とする
。
すなわち、本発明の要点は素管を所定寸法までｉ１Ｊ処
理したｉｆを油剤および合成樹脂潤滑剤を付着させて引
抜伸管加工をし、その後光輝熱処理工程冷する工程を１
回もしくは複数回繰返すことにある。
理したｉｆを油剤および合成樹脂潤滑剤を付着させて引
抜伸管加工をし、その後光輝熱処理工程冷する工程を１
回もしくは複数回繰返すことにある。
以下に本発明の一例を添付のフローシートにより説明す
る。素管としてはステンレス鋼管。
る。素管としてはステンレス鋼管。
インコネル、インコロイ等のニッケルクロム鉄合金官、
あるいはチタン當等が適用される。工程２から工程１６
までは前処理工程であり、この前処理工程により素管を
ある程度の粗寸法にまで圧延伸官および引抜伸管にして
おく。そのためには会場に応じて工程９〜１６を複数回
繰返してもよい。々お、この前処理時の伸管工程前には
通常の化成皮膜潤滑処理を施せばよい。
あるいはチタン當等が適用される。工程２から工程１６
までは前処理工程であり、この前処理工程により素管を
ある程度の粗寸法にまで圧延伸官および引抜伸管にして
おく。そのためには会場に応じて工程９〜１６を複数回
繰返してもよい。々お、この前処理時の伸管工程前には
通常の化成皮膜潤滑処理を施せばよい。
前処理工程の終った管は次いで口付後油剤および合成樹
脂潤滑剤を付着させる。ここで、この工程１８の具体的
−例を示せば次のようである。
脂潤滑剤を付着させる。ここで、この工程１８の具体的
−例を示せば次のようである。
表−１
なお、上記の例は単に油剤および合成樹脂潤滑剤の一例
を示したものであり、要はこれら油剤および潤滑剤が管
と化学反応せず、管肌を荒さないものであれば特に制限
は々い。油剤および潤滑剤の付着（工程１８）が終った
管は引抜伸管（工程１９）し、次いで工程２０〜２３を
経た後、光輝熱処理される（工程２４）。この光輝熱処
理工程は管（通常は複数本）を無酸化性ガス、例えば水
素またはアンモニア分解ガス等の雰囲気とされた芯管内
に入れ、この芯管を囲繞するｉｌＩ′ｌ（処理炉により
管を熱処理すること等からなる。次の急冷工程は熱処理
炉から出た芯管を冷却水で強制的に冷却し、一定時間内
に４５０℃以下にまで管を冷却する。その後熱処理企を
矯正する（工程２６）ことによりメイン工程が終了する
。この工程１７〜２６のメイン工程は必要に応じ複数回
行ってもよい。添付のフローシート図１ではこのメイン
工程を２回繰返した例を示している。このメイン工程後
、製品切断、端面加工を施した後、酋の内外面、特に内
＝ｒを例えば硝をン２０壬＠液で不動態化処理し、耐食
性を付与する。その後、管は水洗、乾憚゛、検査のち製
品として充放する。
を示したものであり、要はこれら油剤および潤滑剤が管
と化学反応せず、管肌を荒さないものであれば特に制限
は々い。油剤および潤滑剤の付着（工程１８）が終った
管は引抜伸管（工程１９）し、次いで工程２０〜２３を
経た後、光輝熱処理される（工程２４）。この光輝熱処
理工程は管（通常は複数本）を無酸化性ガス、例えば水
素またはアンモニア分解ガス等の雰囲気とされた芯管内
に入れ、この芯管を囲繞するｉｌＩ′ｌ（処理炉により
管を熱処理すること等からなる。次の急冷工程は熱処理
炉から出た芯管を冷却水で強制的に冷却し、一定時間内
に４５０℃以下にまで管を冷却する。その後熱処理企を
矯正する（工程２６）ことによりメイン工程が終了する
。この工程１７〜２６のメイン工程は必要に応じ複数回
行ってもよい。添付のフローシート図１ではこのメイン
工程を２回繰返した例を示している。このメイン工程後
、製品切断、端面加工を施した後、酋の内外面、特に内
＝ｒを例えば硝をン２０壬＠液で不動態化処理し、耐食
性を付与する。その後、管は水洗、乾憚゛、検査のち製
品として充放する。
以上のような本発明によれば、油剤および合成樹脂潤滑
剤を用いるため管との反応が起こらず、また熱処理とし
て光輝熱処理を採用するとともに無耐゛化雰囲気中で急
冷するため管表面に１４・化スケール等も生じず、極め
て滑らかな光沢面を有する・Ｕが得られ、しかも馨゛端
面も滑らかであるためこれら管を接続する揚台にも継手
部からのガスの？ハ洩が防止され、特殊なガスを通じる
のに最適な鏡面肌仕止げ管が得られ、その幼果は大きい
。
剤を用いるため管との反応が起こらず、また熱処理とし
て光輝熱処理を採用するとともに無耐゛化雰囲気中で急
冷するため管表面に１４・化スケール等も生じず、極め
て滑らかな光沢面を有する・Ｕが得られ、しかも馨゛端
面も滑らかであるためこれら管を接続する揚台にも継手
部からのガスの？ハ洩が防止され、特殊なガスを通じる
のに最適な鏡面肌仕止げ管が得られ、その幼果は大きい
。
以下に実施（／′ＩＩを示す。
実施例
素管として外径４３．０ｏｎ、内径３５．０肌 肉厚４
．０胴の８０８３１６ 曾を図面に示すフローシート
に従って処理した。
．０胴の８０８３１６ 曾を図面に示すフローシート
に従って処理した。
工程２〜１６までの前処理により外径１８６７℃。
内径１５．５ ｒａｎ、 肉厚１６間の管を得、これ
を表−】に示す油剤および合ｂｙ樹脂潤滑剤により潤滑
して引抜き、外径１６ｒｒｍ、 内仔１３団、肉厚１５
圏の管とし、工程２０〜２３を経て光輝熱処理炉によす
１１・ｎｏ℃で熱処理し、その後、無ｆｊｌ化雰囲気の
壕ま４５０′Ｃまで急冷した。このメイン工程を２回本
゛仁返し、最終的に外径】２，７ヴ、内径１０１咽、肉
厚１．３間、長さ４０００簡の管を得。
を表−】に示す油剤および合ｂｙ樹脂潤滑剤により潤滑
して引抜き、外径１６ｒｒｍ、 内仔１３団、肉厚１５
圏の管とし、工程２０〜２３を経て光輝熱処理炉によす
１１・ｎｏ℃で熱処理し、その後、無ｆｊｌ化雰囲気の
壕ま４５０′Ｃまで急冷した。このメイン工程を２回本
゛仁返し、最終的に外径】２，７ヴ、内径１０１咽、肉
厚１．３間、長さ４０００簡の管を得。
その後、後処理をしてＩ’を面版仕上は管を得た。
比較のため従来法により、同一の素管を同一寸法まで引
抜きした省を製造し、本発明によった管とその表面粗さ
につき検討した。その結果太発明管の外面粗さは３μｍ
程度、内面粗さは２μｍ程度であったのに対し、従来管
では外面粗さは】３μｍ程度、内面粗さは１５μｍ程度
でめった。
抜きした省を製造し、本発明によった管とその表面粗さ
につき検討した。その結果太発明管の外面粗さは３μｍ
程度、内面粗さは２μｍ程度であったのに対し、従来管
では外面粗さは】３μｍ程度、内面粗さは１５μｍ程度
でめった。
図面は本発明方法を実施する場合の一例を示すフローシ
ートである５
ートである５
Claims (1)
- １、素管を所定寸法まで前処理工程により成形した後、
管内外面に油剤および合成樹脂潤滑剤を付着させ、これ
を引抜加工により所定寸法管とし、前記油剤および合成
樹脂潤滑剤を有機溶剤により脱脂し、乾燥後、無酸化性
雰囲気とした芯管内を通過させる間に光輝熱処理し、炉
内を通過後の管を炉外にまで延びた前記芯管の周囲に冷
水を供給することにより管を４５０℃以下まで急冷し、
しかる後に芯管から取り出すことからなる油剤および合
成樹脂潤滑剤を付着し引抜加工後、光輝熱処理する工程
を１回もしくは複数回繰返した後、管内面を不動態処理
し、その後水洗、乾燥等の後処理を施すことを特徴とす
る鏡面肌仕止げ管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21228284A JPS6188914A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 鏡面肌仕上げ管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21228284A JPS6188914A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 鏡面肌仕上げ管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188914A true JPS6188914A (ja) | 1986-05-07 |
Family
ID=16620016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21228284A Pending JPS6188914A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 鏡面肌仕上げ管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6188914A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995028239A1 (fr) * | 1994-04-14 | 1995-10-26 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Tube en acier inoxydable a surface interieure tres lisse et recuit blanc et procede de fabrication de ce dernier |
| JP2005264883A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Usui Kokusai Sangyo Kaisha Ltd | 高圧燃料蓄圧容器の継手構造 |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP21228284A patent/JPS6188914A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995028239A1 (fr) * | 1994-04-14 | 1995-10-26 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Tube en acier inoxydable a surface interieure tres lisse et recuit blanc et procede de fabrication de ce dernier |
| US6029714A (en) * | 1994-04-14 | 2000-02-29 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Stainless steel pipe of bright annealing finish type, having highly-smoothed inner surface and method for producing the same |
| JP2005264883A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Usui Kokusai Sangyo Kaisha Ltd | 高圧燃料蓄圧容器の継手構造 |
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