JPS6175127U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6175127U JPS6175127U JP15846084U JP15846084U JPS6175127U JP S6175127 U JPS6175127 U JP S6175127U JP 15846084 U JP15846084 U JP 15846084U JP 15846084 U JP15846084 U JP 15846084U JP S6175127 U JPS6175127 U JP S6175127U
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- JP
- Japan
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Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本機能を適用したシステムの構成図、
第２図は本機能の動作フロー図を示す。 １……試料台、２……マガジン、３……試料、
４……原点検出器、５……リフト機構、６……ボ
ールネジ、７……モータ、８……ロータリエンコ
ーダ、９……パルス信号、１０……リセツト信号
、１１……カウンタ、１２……着脱機構。
第２図は本機能の動作フロー図を示す。 １……試料台、２……マガジン、３……試料、
４……原点検出器、５……リフト機構、６……ボ
ールネジ、７……モータ、８……ロータリエンコ
ーダ、９……パルス信号、１０……リセツト信号
、１１……カウンタ、１２……着脱機構。
Claims (1)
- 試料を搭載する試料台、この試料台上へもしく
は、この試料台から前記試料を着脱する着脱機構
この着脱機構により着脱する試料を複数枚収納で
きるマガジン、該マガジンを上下に移動し、前マ
ガジン内の複数枚の試料のうち１枚を着脱位置に
位置決めできるリフト機構、このリフト機構の位
置を測定する測長器、本測定器の原点となる原点
検出器より成るものにおいて、一定回数以上、リ
フト機構が動作すると、自動的に、原点検出器に
より、原点を再検出する機能を設けたことを特徴
とする試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15846084U JPS6175127U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15846084U JPS6175127U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6175127U true JPS6175127U (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=30716439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15846084U Pending JPS6175127U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6175127U (ja) |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP15846084U patent/JPS6175127U/ja active Pending
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