JPS617025U - 半導体熱処理用炉芯管 - Google Patents

半導体熱処理用炉芯管

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JPS617025U
JPS617025U JP9040484U JP9040484U JPS617025U JP S617025 U JPS617025 U JP S617025U JP 9040484 U JP9040484 U JP 9040484U JP 9040484 U JP9040484 U JP 9040484U JP S617025 U JPS617025 U JP S617025U
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JP
Japan
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heat treatment
semiconductor heat
furnace tube
furnace core
core tube
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Pending
Application number
JP9040484U
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English (en)
Inventor
修 堀籠
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の１実施例の半導体熱処理用炉芯管を
使って、炉壁の汚れを除く方法を説明する断面図である
。 第２図は、ヒーターが内部に入っている石英蓋であり、
先端には、純水を噴出することができるノズルがついて
いる。 １・・・・・・炉芯管にあけた穴、２・曲・ヒーター、
３・・・・・・石英蓋、４・・・・・・排出口、５・・
・・・・ノズル（ガスを噴出）、６・・・・・・ノズル
（純水を噴出）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 炉芯管の入口付近の管壁に開孔を有し、かつ該開孔の周
    囲にヒーターを有することを特徴とする半導体熱処理用
    炉芯管。
JP9040484U 1984-06-18 1984-06-18 半導体熱処理用炉芯管 Pending JPS617025U (ja)

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JP9040484U JPS617025U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 半導体熱処理用炉芯管

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JP9040484U JPS617025U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 半導体熱処理用炉芯管

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JPS617025U true JPS617025U (ja) 1986-01-16

Family

ID=30645362

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JP9040484U Pending JPS617025U (ja) 1984-06-18 1984-06-18 半導体熱処理用炉芯管

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