JPS6169895U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6169895U JPS6169895U JP15344884U JP15344884U JPS6169895U JP S6169895 U JPS6169895 U JP S6169895U JP 15344884 U JP15344884 U JP 15344884U JP 15344884 U JP15344884 U JP 15344884U JP S6169895 U JPS6169895 U JP S6169895U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor devices
- inclined chute
- tube
- process tube
- recovery device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図
ａは従来の半導体装置自動収納回収装置を示す正
面図、ｂは同平面図、第３図ａは工程用チユーブ
の概略図、ｂは同底面図、ｃは側面図である。 １…工程用チユーブ、２ａ，２ｂ…チユーブス
トツカー、３ａ，３ｂ…チユーブプツシヤー、４
…傾斜シユート、５ａ，５ｂ…ガイドプレート、
６…位置規制用ストツパ、｛７…エアシリンダー
、８…検出プレート｝（正逆反転検出機構）。
ａは従来の半導体装置自動収納回収装置を示す正
面図、ｂは同平面図、第３図ａは工程用チユーブ
の概略図、ｂは同底面図、ｃは側面図である。 １…工程用チユーブ、２ａ，２ｂ…チユーブス
トツカー、３ａ，３ｂ…チユーブプツシヤー、４
…傾斜シユート、５ａ，５ｂ…ガイドプレート、
６…位置規制用ストツパ、｛７…エアシリンダー
、８…検出プレート｝（正逆反転検出機構）。
Claims (1)
- 半導体装置を列状に収納させる空の工程用チユ
ーブをチユーブストツカより１本ずつ取出し、こ
れを傾斜シユートに対して一定姿勢でセツトし、
傾斜シユート内の半導体装置を工程用チユーブに
詰め込む半導体装置自動収納回収装置において、
工程用チユーブ内の一端に片寄つた位置に設けら
れた半導体装置の位置規制用ストツパの傾斜シユ
ートに対する位置を検知し、工程用チユーブの向
きが正しいかどうかを判定する正逆反転検出機構
を備えたことを特徴とする半導体装置自動収納回
収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344884U JPS6169895U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15344884U JPS6169895U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6169895U true JPS6169895U (ja) | 1986-05-13 |
Family
ID=30711467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15344884U Pending JPS6169895U (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6169895U (ja) |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP15344884U patent/JPS6169895U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6169895U (ja) | ||
| JPH01167381U (ja) | ||
| JPS5867853U (ja) | クリ−ルへのパツケ−ジ供給装置 | |
| JPS59196010U (ja) | 田植機の苗供給装置 | |
| JPS62113154U (ja) | ||
| JPH01168883U (ja) | ||
| JPH0367441U (ja) | ||
| JPH02144152U (ja) | ||
| JPS61157537U (ja) | ||
| JPH0420232U (ja) | ||
| JPS5897839U (ja) | ボンデイング装置におけるパツケ−ジ移送装置 | |
| JPH01165700U (ja) | ||
| JPH0260246U (ja) | ||
| JPS60170773U (ja) | 試料ラツク送り機構 | |
| JPS6159398U (ja) | ||
| JPS63133909U (ja) | ||
| JPS63151426U (ja) | ||
| JPS61153740U (ja) | ||
| JPS6447045U (ja) | ||
| JPH0428499U (ja) | ||
| JPS58159204U (ja) | カ−トン供給装置 | |
| JPS58138167U (ja) | 硬貨放出装置 | |
| JPH0225853U (ja) | ||
| JPH0458537U (ja) | ||
| JPS61135810U (ja) |