JPS615453U - 表面分析用グロ−放電分光分析装置 - Google Patents

表面分析用グロ−放電分光分析装置

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JPS615453U
JPS615453U JP8897084U JP8897084U JPS615453U JP S615453 U JPS615453 U JP S615453U JP 8897084 U JP8897084 U JP 8897084U JP 8897084 U JP8897084 U JP 8897084U JP S615453 U JPS615453 U JP S615453U
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JP
Japan
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glow discharge
surface analysis
hollow
sample
open end
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Pending
Application number
JP8897084U
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English (en)
Inventor
泰子 古主
輝雄 岡野
Original Assignee
川崎製鉄株式会社
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Publication date
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  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は、本考案の第１実施例を示す、表面分析用グロ
ー放電分光分析装置の概略縦断面図、第２図及び第３図
は、それぞれ本考案の他の実施例を示す、第１図と同様
の縦断面図、第４図Ａ，Ｂ， Ｃは、第１図の実施例装
置を用いて分光分析を行った結果を、従来装置を用いて
行った結果と比較して示す線図、第５図は、従来の表面
分析用グロー放電分光分析装置の一例を示す概略縦断面
図、第６図Ａ， Ｂは、上記従来装置を用いた場合の放
電面の断面プロファイルを示した線図である。 １０・・・窓体、１２・・・試料、１４・・・アノード
体、１６・・・カソード体、１８・・・中空部、２゜０
・・・Ａｒガス導入管、３０．３０Ａ，３０Ｂ・・・リ
ング帯。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 開口端が窓体によってシールされ、且つ他の開口端が試
    料と対峙された中空のアノード体と、開口端が前記試料
    によってシールされ、且つ前記アノード体に絶縁及びシ
    ールされた状態で取付けられた中空のカソード体と、 前記窓体、試料、アノード体、及びカソード体とで形成
    された中空部を、所定圧力分布のガス雰囲気に調整可能
    な圧力調整手段と、 を備えた表面分析用グロー放電分光分析装置において、 前記アノード体の中空内周面に、前記試料と対峙される
    前記他の開口端の内径よりも小径となるリング帯を、突
    出形成したことを特徴とす−る表面分析用グロー放電分
    光分析装置。
JP8897084U 1984-06-15 1984-06-15 表面分析用グロ−放電分光分析装置 Pending JPS615453U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62146804U (ja) * 1986-03-12 1987-09-17
JPS62187003U (ja) * 1986-05-15 1987-11-28

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62146804U (ja) * 1986-03-12 1987-09-17
JPS62187003U (ja) * 1986-05-15 1987-11-28
JPH044404Y2 (ja) * 1986-05-15 1992-02-10

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