JPS6153931U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6153931U JPS6153931U JP13924884U JP13924884U JPS6153931U JP S6153931 U JPS6153931 U JP S6153931U JP 13924884 U JP13924884 U JP 13924884U JP 13924884 U JP13924884 U JP 13924884U JP S6153931 U JPS6153931 U JP S6153931U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal substrate
- substrate
- substrate holder
- molecular beam
- beam epitaxy
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図Ａはこの考案の分子線エピタキシ装置用
基板ホルダの一実施例を示す略線的斜視図、第１
図Ｂは基板ホルダに結晶基板を貼り付けた状態を
示す、第１図のＡ−Ａ線に対応した部分での断面
図である。 １…基板ホルダ、２…（基板ホルダの）表面、
３…突出部、３ａ…（突出部の）オリエンテイシ
ヨンフラツト、４…結晶基板貼り付け面、５…結
晶基板、６…低融点金属、７…分子線。
基板ホルダの一実施例を示す略線的斜視図、第１
図Ｂは基板ホルダに結晶基板を貼り付けた状態を
示す、第１図のＡ−Ａ線に対応した部分での断面
図である。 １…基板ホルダ、２…（基板ホルダの）表面、
３…突出部、３ａ…（突出部の）オリエンテイシ
ヨンフラツト、４…結晶基板貼り付け面、５…結
晶基板、６…低融点金属、７…分子線。
Claims (1)
- 結晶基板が低融点金属を用いて融着される分子
線エピタキシ装置用基板ホルダにおいて、該基板
ホルダの、前記結晶基板を貼り付ける側の表面に
、前記結晶基板の周端部がはみ出す大きさでかつ
平担な結晶基板貼り付け面を有する突出部を具え
ることを特徴とする分子線エピタキシ装置用基板
ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924884U JPS6153931U (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924884U JPS6153931U (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153931U true JPS6153931U (ja) | 1986-04-11 |
Family
ID=30697626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13924884U Pending JPS6153931U (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153931U (ja) |
-
1984
- 1984-09-13 JP JP13924884U patent/JPS6153931U/ja active Pending