JPS6153801A - 導波管回路の製造方法 - Google Patents
導波管回路の製造方法Info
- Publication number
- JPS6153801A JPS6153801A JP17548784A JP17548784A JPS6153801A JP S6153801 A JPS6153801 A JP S6153801A JP 17548784 A JP17548784 A JP 17548784A JP 17548784 A JP17548784 A JP 17548784A JP S6153801 A JPS6153801 A JP S6153801A
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- JP
- Japan
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- waveguide
- waveguide circuit
- groove
- conductor
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーダ装置等に用いられる導波管回路の製造
方法に関する。
方法に関する。
（従来の技術）
第８図乃至第１１図は従来のこの種の導波管回路を示す
斜視図である。第８図及び第９図の導波管回路は、単に
導波管とも林され、高周波信号の伝達に周込られる。第
１０図及び第１１図の導波管回路は、電波放射用のスロ
ット５が複数箇所に設けであるアンアナ要素であシ、ス
ロットアレイアンテナに用すられる。
斜視図である。第８図及び第９図の導波管回路は、単に
導波管とも林され、高周波信号の伝達に周込られる。第
１０図及び第１１図の導波管回路は、電波放射用のスロ
ット５が複数箇所に設けであるアンアナ要素であシ、ス
ロットアレイアンテナに用すられる。
第８図の導波管回路は黄銅等の金践に引き抜きや鋳造を
施して電磁波伝播用の管を形成して製造される。第９図
の導波管回路は、黄銅等の金属製の導電体２に導波路用
の溝４を形成し、その′＠金国うように金属の薄い板１
３を貼り付けて製造する。
施して電磁波伝播用の管を形成して製造される。第９図
の導波管回路は、黄銅等の金属製の導電体２に導波路用
の溝４を形成し、その′＠金国うように金属の薄い板１
３を貼り付けて製造する。
寸だ、第１０図の導波管回路は、第８図の導波管回路１
１の管壁にスロット５を切削加工により形成して製造す
る。第１１図の導波管回路は、金属板１３にスロット５
を予め形成しておき、溝４のある導電体２に金嬉鈑１３
を貼シ付けて製造する。
１の管壁にスロット５を切削加工により形成して製造す
る。第１１図の導波管回路は、金属板１３にスロット５
を予め形成しておき、溝４のある導電体２に金嬉鈑１３
を貼シ付けて製造する。
（発明が解決しようとする問題点）
このような従来の製造方法は、周波数がマイクロ波帯の
中でもＩ ＧＨｚ〜３０ＧＨｚ帯餉域の導波管回路の製
造によく用いられている。それ以上の周波数３ＱＧＨｚ
〜３００Ｇ）ｌｚのミＩＪ波帯佃域では、導波管の断面
寸法（第１図のａ又はｂ）は８市から０．８ｍｍとなり
、導波管スロット５の寸法はさらにその４分の工程度と
小さくなる。寸法精度は、設計寸法の１００分の工程度
、即ち数十ミクロンから数ミクロンが要求され、従来の
製造方法では精度がとり姉〈カロエ費が椿めて高くなり
量産に不適である等の問題があった。
中でもＩ ＧＨｚ〜３０ＧＨｚ帯餉域の導波管回路の製
造によく用いられている。それ以上の周波数３ＱＧＨｚ
〜３００Ｇ）ｌｚのミＩＪ波帯佃域では、導波管の断面
寸法（第１図のａ又はｂ）は８市から０．８ｍｍとなり
、導波管スロット５の寸法はさらにその４分の工程度と
小さくなる。寸法精度は、設計寸法の１００分の工程度
、即ち数十ミクロンから数ミクロンが要求され、従来の
製造方法では精度がとり姉〈カロエ費が椿めて高くなり
量産に不適である等の問題があった。
そこで、本発明の目的は、上記欠点を解決し７、寸法精
度の高い導波管回路が安価に製造できる方法の提供にあ
る。
度の高い導波管回路が安価に製造できる方法の提供にあ
る。
（問題点を解決するための手段）
本発明による導波管回路の製造方法は、導電体に導波路
用の溝を形成する工程と、所定の物体で前記溝を埋める
工程と、前記物体の露出面に導電性の薄膜を形成する工
程とを含むことを特徴とする。
用の溝を形成する工程と、所定の物体で前記溝を埋める
工程と、前記物体の露出面に導電性の薄膜を形成する工
程とを含むことを特徴とする。
（作用）
本発明では、導電体に導波路用の溝を形成し、その溝を
所定の物体で埋め、その所定物体の露出面（溝の開放側
の面）に導電性の薄膜を形成することにより、導波路と
なる管を形成する。溝は、従来のＮＣ切削シ加工機によ
り高精度に形成できる。また、表面が平担な板材でその
溝の開放側にＭをしておいてから所定物体でその溝を埋
める等することにより、その所定物体の露出面は高精度
に仕上げることができるから、その露出面に蒸着やメッ
キにより、導電性７１１１１＋を所定の面に高精度に形
成できる。そこで、本発明によれば、溝の周壁と薄膜の
内面とを導波路の管壁とする導波管回路が高い断面寸法
精度で製造できる。しかも、溝形成工程、溝埋込み工程
及び薄膜形成工程はめずれも従来の技術で短時間に大量
に行えるから、本発明によれは導波管回路が安価に製造
できる。
所定の物体で埋め、その所定物体の露出面（溝の開放側
の面）に導電性の薄膜を形成することにより、導波路と
なる管を形成する。溝は、従来のＮＣ切削シ加工機によ
り高精度に形成できる。また、表面が平担な板材でその
溝の開放側にＭをしておいてから所定物体でその溝を埋
める等することにより、その所定物体の露出面は高精度
に仕上げることができるから、その露出面に蒸着やメッ
キにより、導電性７１１１１＋を所定の面に高精度に形
成できる。そこで、本発明によれば、溝の周壁と薄膜の
内面とを導波路の管壁とする導波管回路が高い断面寸法
精度で製造できる。しかも、溝形成工程、溝埋込み工程
及び薄膜形成工程はめずれも従来の技術で短時間に大量
に行えるから、本発明によれは導波管回路が安価に製造
できる。
（実施例）
次に本発明の実施例について図面をε照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例により製造した導波管回
路の断面図、第２図はその導波管回路の斜視図である。
路の断面図、第２図はその導波管回路の斜視図である。
本実施例では黄銅製の板材である導電体２に導波用の溝
４をＮＣ切削加工機により形成し、前述の所定物体とし
てアルミナセラミックの誘電体６を選んでその誘電体６
でその溝４を埋め、誘電体６の露出面７に銅を蒸着して
導電性の薄膜３を形成し、導波管回路を製造している。
４をＮＣ切削加工機により形成し、前述の所定物体とし
てアルミナセラミックの誘電体６を選んでその誘電体６
でその溝４を埋め、誘電体６の露出面７に銅を蒸着して
導電性の薄膜３を形成し、導波管回路を製造している。
第１図では導電体２は板材として示しであるが、第２図
では導電体２は管軸に平行な面で切断して示しである。
では導電体２は管軸に平行な面で切断して示しである。
この実施例は、第１図の板材の導電体２に互いに平行な
複数の導波路を形成し、第２図の如き単体の導波管回路
に分離することにより、一層能率よく製造できる。なお
、第２図では、端一５ −
／１面は断面として示してあ
シ、導波路が中実であること全明瞭にし、ている。
複数の導波路を形成し、第２図の如き単体の導波管回路
に分離することにより、一層能率よく製造できる。なお
、第２図では、端一５ −
／１面は断面として示してあ
シ、導波路が中実であること全明瞭にし、ている。
第３図は本発明の第２の実施例により製造した導波管回
路の断面図である。この実施例では、捷ず第１の実施例
と同様に導電体２に溝４を形成する。次に、溝４全アル
ミニウムで埋め、その上に銅の薄膜３全蒸着により形成
し、その後でアルミニウムをカセイソーダのアルカリ液
で選択的溶解により除去して導波管回路ｆ！：製造する
。
路の断面図である。この実施例では、捷ず第１の実施例
と同様に導電体２に溝４を形成する。次に、溝４全アル
ミニウムで埋め、その上に銅の薄膜３全蒸着により形成
し、その後でアルミニウムをカセイソーダのアルカリ液
で選択的溶解により除去して導波管回路ｆ！：製造する
。
第４図は本発明の第３の実施例の中間工程を示す図、第
５図はこの実施例によジ製造した導波管回路の断面図、
第６図はその導波管回路の斜視図である。この第３の実
施例では、第１の実施例で示した方法により作った導波
管回路の金楓の薄膜３の上にレジス）Ｍｌｉ形成して、
その上にスロット５に対応したノミターン１２ヲ有する
フオットマスク１１を密着して（図は密ＭＭ前の状態を
示す）、露光する。スロット部分のレジスト膜１０にエ
ッチラグにより除去した後、さらにその部分の薄膜３を
エツチング処理により除去してスロット５を形成し、ス
ロット５付きの導波管回路′ｆ！：製造する。
５図はこの実施例によジ製造した導波管回路の断面図、
第６図はその導波管回路の斜視図である。この第３の実
施例では、第１の実施例で示した方法により作った導波
管回路の金楓の薄膜３の上にレジス）Ｍｌｉ形成して、
その上にスロット５に対応したノミターン１２ヲ有する
フオットマスク１１を密着して（図は密ＭＭ前の状態を
示す）、露光する。スロット部分のレジスト膜１０にエ
ッチラグにより除去した後、さらにその部分の薄膜３を
エツチング処理により除去してスロット５を形成し、ス
ロット５付きの導波管回路′ｆ！：製造する。
本実施例におりて、管軸を互いに平行にする検数の導波
管回路を１つの板状の導電体２に形成することにより、
スロット５から電波を放射するスロットアレイテンテナ
が、高い寸法精度で安価に製造できる。本例ではフオッ
トマスク１１を用すて露光しているが、直接電子ビーム
露光法で霧光すれば寸法精度を一層向上できる。
管回路を１つの板状の導電体２に形成することにより、
スロット５から電波を放射するスロットアレイテンテナ
が、高い寸法精度で安価に製造できる。本例ではフオッ
トマスク１１を用すて露光しているが、直接電子ビーム
露光法で霧光すれば寸法精度を一層向上できる。
第７図は本発明の第４の実施例により製造した導波管回
路を示す断面図である、この第４の実施例では、第２の
実施例（第３図）で示した方法において溝４に充填した
アルミニウムを選択的溶解により除去する前に、第３の
実施例（第４図）で示したようにエツチング処理により
スロット５を形成し、電波放射用のスロット５のある導
波管回路を製造する（第４図乃至第７図ではスロット５
の横帖は実際より広く描いて、分カ易くしである）。
路を示す断面図である、この第４の実施例では、第２の
実施例（第３図）で示した方法において溝４に充填した
アルミニウムを選択的溶解により除去する前に、第３の
実施例（第４図）で示したようにエツチング処理により
スロット５を形成し、電波放射用のスロット５のある導
波管回路を製造する（第４図乃至第７図ではスロット５
の横帖は実際より広く描いて、分カ易くしである）。
前述の第１〜第４の実施例によれば、切削により加工す
る溝４及び薄膜３にエツチングにより加工するスロット
５が共に数ミクロン以下の寸法積度で実現できる。
る溝４及び薄膜３にエツチングにより加工するスロット
５が共に数ミクロン以下の寸法積度で実現できる。
なお、前述の実施例では導波路のＨ面に金属の薄膜３を
形成しているが、薄膜３はＥ而に形成してもよい。また
、導電体２、薄膜３、溝４全埋める物体は実施例の物質
に限らず他の物質でも差支えなり０さらに、第４図乃至
第７図にはＨ面シャントスロットのりニアアレイアンテ
ナ用の導波管回路を示したが、それ以外の例えばＨ面十
字スロットやＥ面エツジシャントスロット付きの導波管
回路も、２次元に配列してプレーナアレイとした導波管
回路も本発明により同様に製造できる。さらに、本発明
は、導波管結合器等のように導波路の管壁に高精度の穴
あけ加工を要する導波管回路の製造に広く応用できる。
形成しているが、薄膜３はＥ而に形成してもよい。また
、導電体２、薄膜３、溝４全埋める物体は実施例の物質
に限らず他の物質でも差支えなり０さらに、第４図乃至
第７図にはＨ面シャントスロットのりニアアレイアンテ
ナ用の導波管回路を示したが、それ以外の例えばＨ面十
字スロットやＥ面エツジシャントスロット付きの導波管
回路も、２次元に配列してプレーナアレイとした導波管
回路も本発明により同様に製造できる。さらに、本発明
は、導波管結合器等のように導波路の管壁に高精度の穴
あけ加工を要する導波管回路の製造に広く応用できる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明では、導波管回路の製造に
導電性の薄膜を蒸着やメッキにより形成する技術及び必
要によりエツチング処理技術を適用することにより、断
面寸法が小さくても高い寸法精度で安く大量に導波管回
路を製造できる。こ−７＝ のように、本発明によれば、寸法精度の高い導波管回路
が安価に製造できる方法を提供できる。
導電性の薄膜を蒸着やメッキにより形成する技術及び必
要によりエツチング処理技術を適用することにより、断
面寸法が小さくても高い寸法精度で安く大量に導波管回
路を製造できる。こ−７＝ のように、本発明によれば、寸法精度の高い導波管回路
が安価に製造できる方法を提供できる。
第１図は本発明の第１の実施例により製造した導波管回
路の断面図、第２図はその導波管回路の斜視図、第３図
は本発明の第２の実施例により製造した導波管回路の断
面図、第４図は本発明の第３の実施例の中間工程を示す
図、第５図及び第６図は第３の実施例によって製造した
導波管回路の断面図及び斜視図、第７図は本発明の第４
の実施例によって製造した導波管回路の断面図、第８図
乃至第１１図は従来の方法によって製造された導波管回
路を示す斜視図である。 ２・・・導電体、３・・・薄膜、４・・・溝、５・−・
スロット、６・・・誘電体、７・・・＠電体６の露出面
（上面）、１０・・・レシス）膜、１１・・・フオット
マスク、１２・・・スロット【相当するパターン。
路の断面図、第２図はその導波管回路の斜視図、第３図
は本発明の第２の実施例により製造した導波管回路の断
面図、第４図は本発明の第３の実施例の中間工程を示す
図、第５図及び第６図は第３の実施例によって製造した
導波管回路の断面図及び斜視図、第７図は本発明の第４
の実施例によって製造した導波管回路の断面図、第８図
乃至第１１図は従来の方法によって製造された導波管回
路を示す斜視図である。 ２・・・導電体、３・・・薄膜、４・・・溝、５・−・
スロット、６・・・誘電体、７・・・＠電体６の露出面
（上面）、１０・・・レシス）膜、１１・・・フオット
マスク、１２・・・スロット【相当するパターン。
Claims (4)
- （１）導電体に導波路用の溝を形成する工程と、所定の
物体で前記溝を埋める工程と、前記所定の物体の露出面
に導電性の薄膜を形成する工程とを含むことを特徴とす
る導波管回路の製造方法。 - （２）前記所定の物体が誘電体であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の導波管回路の製造方法。 - （３）前記薄膜形成工程の後に、選択的溶解により前記
所定の物体を除去する工程を設けることを特徴とする特
許請求の範囲第１項又は第２項記載の導波管回路の製造
方法。 - （４）前記薄膜形成工程の後に、エッチング処理により
前記薄膜の一部を除去し電波放射用のスロットを形成す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項又は
第３項記載の導波管回路の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17548784A JPS6153801A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 導波管回路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17548784A JPS6153801A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 導波管回路の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153801A true JPS6153801A (ja) | 1986-03-17 |
Family
ID=15996901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17548784A Pending JPS6153801A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 導波管回路の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153801A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0671172B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1994-09-07 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | アンテナ構造体の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-23 JP JP17548784A patent/JPS6153801A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0671172B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1994-09-07 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | アンテナ構造体の製造方法 |
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