JPS6143981U - クライオポンプ装置 - Google Patents

クライオポンプ装置

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Publication number
JPS6143981U
JPS6143981U JP12751584U JP12751584U JPS6143981U JP S6143981 U JPS6143981 U JP S6143981U JP 12751584 U JP12751584 U JP 12751584U JP 12751584 U JP12751584 U JP 12751584U JP S6143981 U JPS6143981 U JP S6143981U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cryopump
gas
cooler
equipment
compressor
Prior art date
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Pending
Application number
JP12751584U
Other languages
English (en)
Inventor
正夫 椎林
勝昭 菊地
茂 木村
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP12751584U priority Critical patent/JPS6143981U/ja
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術によるクライオポンプ装置の全体構成
図、第２図から第５図は本考案の実施例′で、第２図と
第３図は水冷式の冷却器を用いたクライオポンプ装置の
全体構成図、第４区は空冷式の冷却器を用いたクライオ
ポンプ装置の全体構成図、第５図は冷却器が圧縮機ユニ
ット側のパツーケージ内部に据付けられた状態を示す斜
視図である。 １・・・・・・圧縮機、２・・・・・・油分離器、３・
・・・・・ガス冷却器ζ４−・・・・・・膨張器、５・
・・・・・油冷却器、１０・・・・・・一体形冷却器、
２０・・・・・・一体形冷却器体、３１・・・・・・一
体形空冷式冷却器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧縮機と、該圧縮機から吐出されるヘリウムガスを冷却
    せるガース冷却器、及び膨張器とこれらを配管にて夫々
    連接したクライオポンプ装置において、低圧吸入ガス配
    管の途中にガスを冷却せるガス冷却器を配置するととも
    に、該低圧側のガス冷一却器と前記高圧側のガス冷却器
    とを一体に形成したことを特徴とするクライオポンプ装
    置。
JP12751584U 1984-08-24 1984-08-24 クライオポンプ装置 Pending JPS6143981U (ja)

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JP12751584U JPS6143981U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 クライオポンプ装置

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JP12751584U JPS6143981U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 クライオポンプ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6143981U true JPS6143981U (ja) 1986-03-22

Family

ID=30686159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12751584U Pending JPS6143981U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 クライオポンプ装置

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JP (1) JPS6143981U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018150858A (ja) * 2017-03-10 2018-09-27 アルバック・クライオ株式会社 クライオトラップ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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