JPS58161181U - クライオポンプ装置 - Google Patents

クライオポンプ装置

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JPS58161181U
JPS58161181U JP5829582U JP5829582U JPS58161181U JP S58161181 U JPS58161181 U JP S58161181U JP 5829582 U JP5829582 U JP 5829582U JP 5829582 U JP5829582 U JP 5829582U JP S58161181 U JPS58161181 U JP S58161181U
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JP
Japan
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cryopump
compressor
equipment
vibration isolating
block
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JP5829582U
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JPH0231587Y2 (ja
Inventor
岩槻　正志
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を説明する・ための図、第２図は本考
案の一実施例を説明するための図である。 １：クライオポンプ本体、ｌａｄ冷却部、１ｂ：弁駆動
部、１Ｃ：ヘローズ、２ａ、　　２ｂ：ナイコイル、３
ａ。 ３ｂ、　　１　ｌａ、　　１１ｂニアＬｚ＋シブ／Ｌ／
　ｆ　ニー　フ、４：コンプレッサー、５：錘り、６：
支持枠、７：支持台、８：除振ブロック、９ａ、　　９
ｂ、　　１０ａ、　　ｌ　Ｏｂ：金属製管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クライオポンプ本体と、該クライオポンプ本体にガス循
    環用の２本の管を介して接続されたコンプレッサーとを
    備えた装置において、コンプレッサーからクライオポン
    プ本体に至る前記ガス循環用の管の中途に除振ブロック
    を介在させ、該除振ブロックとクライオポンプとの間を
    金属製の管で接続すると共に、コンプレッサーと該除振
    ブロックとの間をフレキシブルチューブ−ζ接続したこ
    とを特徴とするクライオポンプ装置。
JP5829582U 1982-04-21 1982-04-21 クライオポンプ装置 Granted JPS58161181U (ja)

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JP5829582U JPS58161181U (ja) 1982-04-21 1982-04-21 クライオポンプ装置

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JP5829582U JPS58161181U (ja) 1982-04-21 1982-04-21 クライオポンプ装置

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Publication Number Publication Date
JPS58161181U true JPS58161181U (ja) 1983-10-27
JPH0231587Y2 JPH0231587Y2 (ja) 1990-08-27

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JP5829582U Granted JPS58161181U (ja) 1982-04-21 1982-04-21 クライオポンプ装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5522652A (en) * 1978-07-03 1980-02-18 Goldschmidt Ag Th Bactericidal composition

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5522652A (en) * 1978-07-03 1980-02-18 Goldschmidt Ag Th Bactericidal composition

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Publication number Publication date
JPH0231587Y2 (ja) 1990-08-27

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