JPS6142770U - 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置 - Google Patents

電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置

Info

Publication number
JPS6142770U
JPS6142770U JP12836084U JP12836084U JPS6142770U JP S6142770 U JPS6142770 U JP S6142770U JP 12836084 U JP12836084 U JP 12836084U JP 12836084 U JP12836084 U JP 12836084U JP S6142770 U JPS6142770 U JP S6142770U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cathode
electron gun
detection means
primary winding
detection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12836084U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0211716Y2 (ja
Inventor
留夫 鈴木
優 大橋
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP12836084U priority Critical patent/JPS6142770U/ja
Publication of JPS6142770U publication Critical patent/JPS6142770U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0211716Y2 publication Critical patent/JPH0211716Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１区は本考案の一実施例の電気的構成を示す接続図、
第２図は本考案の効果を説明するための図、第３図は従
来装置を説明するための電気的構成を示す接続図、第４
図は従来装置を説明するための図である。 １：スイッチング信号発生器、２：ドライバー回路、３
：絶縁トランス、４：検出抵抗、５：加熱用整流回路、
６：カソード、７：検出用整流回′路、８：比較回路、
９：基準電源、１０：讐報器、１１：ダイオード、Ｐ：
電源、ＨＶ：高圧源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. トランスの一次側巻線に接続された電源と、該トランス
    の二次側巻線に接続され加速電位に保たれたカソードと
    、該電源よりの電流を該一次側巻線に断続して流すため
    のドライバー回路と、該一次側巻線に流れる電流を検出
    するための検出手段と、該検出手段によって検出された
    電圧信号を整流する整流回路と、該整流回路よりの信号
    を基準信号と比較して異常を知らせる信号を発生する比
    較回路とを備えた装置において、該検出手段と直列に該
    整流回路の順方向電圧を打ち消すためのダイオードを設
    けたことを特徴とする電子銃におけるカソードの異常検
    出装置。
JP12836084U 1984-08-24 1984-08-24 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置 Granted JPS6142770U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12836084U JPS6142770U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12836084U JPS6142770U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6142770U true JPS6142770U (ja) 1986-03-19
JPH0211716Y2 JPH0211716Y2 (ja) 1990-03-28

Family

ID=30686990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12836084U Granted JPS6142770U (ja) 1984-08-24 1984-08-24 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6142770U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010192808A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Nuflare Technology Inc 電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法
WO2019016857A1 (ja) * 2017-07-18 2019-01-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010192808A (ja) * 2009-02-20 2010-09-02 Nuflare Technology Inc 電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法
WO2019016857A1 (ja) * 2017-07-18 2019-01-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム装置
US10973112B2 (en) 2017-07-18 2021-04-06 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0211716Y2 (ja) 1990-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58141599U (ja) 医療用ｘ線照射電源装置
JPS6142770U (ja) 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置
JPS5912300U (ja) Ｘ線発生装置
JPS5843018U (ja) 増幅器の保護回路
JPS60132189U (ja) 電源回路
JPS6251980U (ja)
JPS58164092U (ja) ガス漏れ警報器
JPS59185940U (ja) 電流検出回路
JPS5958461U (ja) 複写機用交流高電圧電源装置
JPS58108781U (ja) 電源装置
JPS5953229U (ja) 電磁流量計の励磁回路
JPS5991022U (ja) レ−ダ送信装置
JPS586464U (ja) 垂直出力装置
JPS63113326U (ja)
JPS5866081U (ja) ア−ク溶接機
JPS5858691U (ja) 漏水警報回路
JPS6047367U (ja) テレビジヨン受像機の電源回路
JPS58150191U (ja) ガス漏れ警報器
JPS60160089U (ja) 高電圧電源
JPS581986U (ja) 水平走査振巾の一定化装置
JPS5960566U (ja) 停電検出装置
JPS5823457U (ja) 高圧制限回路
JPS5956523U (ja) 電磁流量計の励磁回路
JPS6073389U (ja) 半導体インバ−タ
JPS6129564U (ja) ブラウン管の電源回路