JPH0211716Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0211716Y2 JPH0211716Y2 JP12836084U JP12836084U JPH0211716Y2 JP H0211716 Y2 JPH0211716 Y2 JP H0211716Y2 JP 12836084 U JP12836084 U JP 12836084U JP 12836084 U JP12836084 U JP 12836084U JP H0211716 Y2 JPH0211716 Y2 JP H0211716Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- signal
- detection
- cathode
- primary winding
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 28
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は荷電ビーム描画装置に使用される電子
銃におけるカソードの異常検出装置の改良に関す
る。
銃におけるカソードの異常検出装置の改良に関す
る。
［従来の技術］
荷電ビーム描画装置等においては、電子銃のカ
ソードの断線を検出するための異常検出装置が設
けられている。第３図はこの種の従来装置の電気
的構成を示す接続図で、図中Ｐは電源、１は周期
的なスイツチング信号を発生するスイツチング信
号発生器、２はドライバー回路、３は絶縁トラン
ス、４はドライバー回路２のエミツターに接続さ
れた検出抵抗である。５は絶縁トランス３に接続
された加熱電源用整流回路で、６は該加熱電源用
整流回路５から加熱電流が供給され高圧源HVに
接続されたカソードである。７は検出抵抗４より
の信号を整流するためのダイオードからなる検出
用整流回路で、該検出用整流回路７よりの信号は
比較回路８の一方の端子に入力される。比較回路
８の他方の端子には、カソードの断線を検出する
ための基準信号を発生する基準電源９が接続され
ている。１０は比較回路８に接続された警報発生
手段としての警報器である。
ソードの断線を検出するための異常検出装置が設
けられている。第３図はこの種の従来装置の電気
的構成を示す接続図で、図中Ｐは電源、１は周期
的なスイツチング信号を発生するスイツチング信
号発生器、２はドライバー回路、３は絶縁トラン
ス、４はドライバー回路２のエミツターに接続さ
れた検出抵抗である。５は絶縁トランス３に接続
された加熱電源用整流回路で、６は該加熱電源用
整流回路５から加熱電流が供給され高圧源HVに
接続されたカソードである。７は検出抵抗４より
の信号を整流するためのダイオードからなる検出
用整流回路で、該検出用整流回路７よりの信号は
比較回路８の一方の端子に入力される。比較回路
８の他方の端子には、カソードの断線を検出する
ための基準信号を発生する基準電源９が接続され
ている。１０は比較回路８に接続された警報発生
手段としての警報器である。
以上のように構成された装置において、カソー
ド６の断線を検出するため、ドライバー回路２に
流れるパルス状のエミツター電流Ieを抵抗値Ｒを
有する検出抵抗４で検出し、検出整流回路７で整
流した後、この信号を比較回路８において、基準
電源９よりの極めて小さな基準信号Scと比較し、
断線が生じた際に警報信号を発生させて警報器に
供給し、オペレータに知らせるようにしている。
ド６の断線を検出するため、ドライバー回路２に
流れるパルス状のエミツター電流Ieを抵抗値Ｒを
有する検出抵抗４で検出し、検出整流回路７で整
流した後、この信号を比較回路８において、基準
電源９よりの極めて小さな基準信号Scと比較し、
断線が生じた際に警報信号を発生させて警報器に
供給し、オペレータに知らせるようにしている。
［考案が解決しようとする問題点］
ところでこの様な従来の異常検出装置におい
て、カソード６の加熱電流を小さな値に設定する
と検出抵抗４に流れるパルス状のエミツター電流
Ieも減少する。そして、第４図に示すように、こ
の加熱電流を極めて小さな値l1に設定すると、抵
抗４で検出される検出パルスの振幅Ep（Ep＝le×
Ｒ）が、検出用整流回路７のダイオードの順方向
電圧Vfより小さくなり、検出整流回路７の出力
信号Ｅは零となる。そのため、出力信号Ｅは比較
回路８に供給された基準信号Scより小さくなり、
カソード６が断線していないにもかかわらず、断
線を知らせる警報が発生してしまう。このよいな
問題を解決するために、検出抵抗４の抵抗値Ｒを
大きくすることも考えられるが、検出抵抗４での
電力損失が大きくなり好ましくない。本考案は、
このような問題を解決しカソード６の加熱電流を
極めて小さな値に設定した際にも、誤動作なく断
線をモニターできる電子銃におけるカソードの異
常検出装置を提供することを目的としている。
て、カソード６の加熱電流を小さな値に設定する
と検出抵抗４に流れるパルス状のエミツター電流
Ieも減少する。そして、第４図に示すように、こ
の加熱電流を極めて小さな値l1に設定すると、抵
抗４で検出される検出パルスの振幅Ep（Ep＝le×
Ｒ）が、検出用整流回路７のダイオードの順方向
電圧Vfより小さくなり、検出整流回路７の出力
信号Ｅは零となる。そのため、出力信号Ｅは比較
回路８に供給された基準信号Scより小さくなり、
カソード６が断線していないにもかかわらず、断
線を知らせる警報が発生してしまう。このよいな
問題を解決するために、検出抵抗４の抵抗値Ｒを
大きくすることも考えられるが、検出抵抗４での
電力損失が大きくなり好ましくない。本考案は、
このような問題を解決しカソード６の加熱電流を
極めて小さな値に設定した際にも、誤動作なく断
線をモニターできる電子銃におけるカソードの異
常検出装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するための本考案の構成は、ト
ランスの一次側巻線に接続された電源と、該トラ
ンスの二次側巻線に接続され加速電位に保たれた
カソードと、該電源よりの電流を該一次側巻線に
断続して流るためのドライバー回路と、該一次側
巻線に流れる電流を検出するための検出手段と、
該検出手段によつて検出された電圧信号を整流す
る整流回路と、該整流回路よりの信号を基準信号
と比較して異常を知らせる信号を発生する比較回
路とを備えた装置において、該検出手段と直列に
該整流回路の順方向電圧を打ち消すためのダイオ
ードを設けたことを特徴としている。
ランスの一次側巻線に接続された電源と、該トラ
ンスの二次側巻線に接続され加速電位に保たれた
カソードと、該電源よりの電流を該一次側巻線に
断続して流るためのドライバー回路と、該一次側
巻線に流れる電流を検出するための検出手段と、
該検出手段によつて検出された電圧信号を整流す
る整流回路と、該整流回路よりの信号を基準信号
と比較して異常を知らせる信号を発生する比較回
路とを備えた装置において、該検出手段と直列に
該整流回路の順方向電圧を打ち消すためのダイオ
ードを設けたことを特徴としている。
［実施例］
以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本考案の一実施例装置の電気的構成を
示す接続図であり、第３図の従来装置と同一部分
には同一番号を付してその説明を省略する。第１
図の実施例装置が従来装置と異なる点は、検出抵
抗４に直列に検出整流回路７の順方向電圧Vfを
打ち消すためのダイオード１１を接続した点にあ
る。
示す接続図であり、第３図の従来装置と同一部分
には同一番号を付してその説明を省略する。第１
図の実施例装置が従来装置と異なる点は、検出抵
抗４に直列に検出整流回路７の順方向電圧Vfを
打ち消すためのダイオード１１を接続した点にあ
る。
このように構成した異常検出装置では、該ダイ
オード１１の電圧降下分Vdが、検出用整流回路
７の入力アツプとして作用するため、第２図に示
すように、加熱電流を極めて小さな値l1に設定し
ても、比較回路８が動作するための誤動作なく断
線をモニターできる。尚、この際ダイオードの電
流電圧特性により、エミツター電流Ieが大きい場
合にも、ダイオード１１による電力損失は小さな
ものに抑えることができる。
オード１１の電圧降下分Vdが、検出用整流回路
７の入力アツプとして作用するため、第２図に示
すように、加熱電流を極めて小さな値l1に設定し
ても、比較回路８が動作するための誤動作なく断
線をモニターできる。尚、この際ダイオードの電
流電圧特性により、エミツター電流Ieが大きい場
合にも、ダイオード１１による電力損失は小さな
ものに抑えることができる。
［効果］
以上詳述した如く本考案によれば、電子銃にお
けるカソードの異常検出装置において、カソード
６の加熱電流を極めて小さな値に設定しても、誤
動作なく断線をモニターできる装置を提供するこ
とができる。
けるカソードの異常検出装置において、カソード
６の加熱電流を極めて小さな値に設定しても、誤
動作なく断線をモニターできる装置を提供するこ
とができる。
第１図は本考案の一実施例の電気的構成を示す
接続図、第２図は本考案の効果を説明するための
図、第３図は従来装置を説明するための電気的構
成を示す接続図、第４図は従来装置を説明するた
めの図である。 １……スイツチング信号発生器、２……ドライ
バー回路、３……絶縁トランス、４……検出抵
抗、５……加熱用整流回路、６……カソード、７
……検出用整流回路、８……比較回路、９……基
準電源、１０……警報器、１１……ダイオード、
Ｐ……電源、HV……高圧源。
接続図、第２図は本考案の効果を説明するための
図、第３図は従来装置を説明するための電気的構
成を示す接続図、第４図は従来装置を説明するた
めの図である。 １……スイツチング信号発生器、２……ドライ
バー回路、３……絶縁トランス、４……検出抵
抗、５……加熱用整流回路、６……カソード、７
……検出用整流回路、８……比較回路、９……基
準電源、１０……警報器、１１……ダイオード、
Ｐ……電源、HV……高圧源。
Claims (1)
- トランスの一次側巻線に接続された電源と、該
トランスの二次側巻線に接続され加速電位に保た
れたカソードと、該電源よりの電流を該一次側巻
線に断続して流すためのドライバー回路と、該一
次側巻線に流れる電流を検出するための検出手段
と、該検出手段によつて検出された電圧信号を整
流する整流回路と、該整流回路よりの信号を基準
信号と比較して異常を知らせる信号を発生する比
較回路とを備えた装置において、該検出手段と直
列に該整流回路の順方向電圧を打ち消すためのダ
イオードを設けたことを特徴とする電子銃におけ
るカソードの異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12836084U JPS6142770U (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12836084U JPS6142770U (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142770U JPS6142770U (ja) | 1986-03-19 |
| JPH0211716Y2 true JPH0211716Y2 (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=30686990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12836084U Granted JPS6142770U (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 電子銃におけるカソ−ドの異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142770U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5416431B2 (ja) * | 2009-02-20 | 2014-02-12 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 電子ビーム描画装置、その電子ビーム描画装置の電子銃のカソード加熱用の電力制御装置及び電力制御方法 |
| WO2019016857A1 (ja) * | 2017-07-18 | 2019-01-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP12836084U patent/JPS6142770U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6142770U (ja) | 1986-03-19 |
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