JPS6139946U - ウエハホルダ− - Google Patents
ウエハホルダ−Info
- Publication number
- JPS6139946U JPS6139946U JP12544584U JP12544584U JPS6139946U JP S6139946 U JPS6139946 U JP S6139946U JP 12544584 U JP12544584 U JP 12544584U JP 12544584 U JP12544584 U JP 12544584U JP S6139946 U JPS6139946 U JP S6139946U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- abstract
- recorded
- electronic filing
- before electronic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案によるウエハホルダーの斜視図、第２
図は従来のウエハホルダーを示す。 図において、１は取手、２は、側壁、′３は底
，１面、４は、切り込みである。 なお、図中同一符号は、同一もしくは、相当部分を示す
。
図は従来のウエハホルダーを示す。 図において、１は取手、２は、側壁、′３は底
，１面、４は、切り込みである。 なお、図中同一符号は、同一もしくは、相当部分を示す
。
Claims (1)
- ウエハを洗浄あるいは、エッチングしたりする際用いる
ウエハホイダーにおいて、ウエハホハホルダー底面に切
り込みを入れた事を特徴とするウエハホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12544584U JPS6139946U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | ウエハホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12544584U JPS6139946U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | ウエハホルダ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139946U true JPS6139946U (ja) | 1986-03-13 |
Family
ID=30684134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12544584U Pending JPS6139946U (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | ウエハホルダ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139946U (ja) |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP12544584U patent/JPS6139946U/ja active Pending
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