JPS6139934U - 溶融シリコン供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

図は本考案に係る溶融シリコン供給装置の一例を示す縦
断正面図である。 １・・・・・・原料導入部、２・・曲母材融液係給部、
３・・・・・・炉体、５・・・・・・製造皿、１１′・
・・・・・供給空所、・１２・・・・・・原料供給口、
１４・・曲仕切弁、１５・曲・昇降杆、１７・・・・・
・原料カップ、１９・・曲転勤用固定ピン、２１，２２
・・・・・・開閉弁、２３・・曲操作杆、３５・・・・
・・坩堝、３７・・・・・・転動索、３９・曲叱−ター
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 炉体内の所望不活性ガス雰囲気にあって、原料供給口か
   ら供与されたシリコン原料を坩堝に収納して溶融させ、
   当該溶融シリコンを回転する製造皿に適量滴下するシリ
   コンウエハの製遣に供されるもので、仕切勉によって炉
   体内と遮断自在とした供給空所に、前記不活性ガスを導
   入自在となし、かつ前記原料供給口を開閉自在なるよう
   臨鰻すると共に、当該空所から炉体内に昇降自在なるよ
   う気密に貫装した昇降杆の下端には、供給空所にあって
   原料係給口から供与されるシリコン原料を受容すると共
   に一所定降下位置にモ昇降杆の下動により転動用固手定
   ピンとの係合により転動することで、受容されたシリフ
   ン原料が坩堝内に落，入する原料カップを設けるように
   した原料導入部と、上記シリコン原料を受容じた坩堝と
   、これを加熱溶融するヒーターと、操作杆の下動により
   炉体と坩堝とを連結する転ｉ索の緊張により当該坩堝を
   転動し、当該シリコン母材融液を製造皿に滴下供給可能
   とした坩堝の枢支機構とを備えた母材融液供給部とから
   構成されている溶融シリコン供給装置。