JPS6138557A - 溶存物質の分析方法 - Google Patents

溶存物質の分析方法

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JPS6138557A
JPS6138557A JP59159041A JP15904184A JPS6138557A JP S6138557 A JPS6138557 A JP S6138557A JP 59159041 A JP59159041 A JP 59159041A JP 15904184 A JP15904184 A JP 15904184A JP S6138557 A JPS6138557 A JP S6138557A
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JP
Japan
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electrode
potential
gate
measured
liquid
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JP59159041A
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English (en)
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Kenichi Sugano
菅野 憲一
Tetsuya Katayama
潟山 哲哉
Masao Koyama
小山 昌夫
Masaki Katsura
桂 正樹
Tadashi Sakai
忠司 酒井
Hideaki Hiraki
平木 英朗
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS

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  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野1 本発明は液中に溶解する溶存物質の定量分析方法に関し
、更に詳しくは、電界効果トランジスタ(以下、FET
という)センサのゲートを作用電極とした電極反応にお
けるFETセンサの応答特性を利用する液中溶存物質の
分析方法に関する。
[発明の技術的背景とその問題点] FETのゲート表面に、ある特定の物質に感応する物質
を添着したものは、その特定物質に感応するセンサとし
て機能しうる。このFETセンサは、ゲート部が高いイ
ンピーダンスでかつ出力側が低インピーダンスであるた
め、センサ機能と同時にインピーダンス変換器機能も具
備している。
このため、FETセンサを用いた測定には環境からのノ
イズの影響が少なくなり正確さが保障される。
そして、これは小型化することが回部であり、かつ、同
一特性、同一形状のセンサをばらつきを少なく多・量に
製造することができるのでその価格も低廉になる。
このFETセンサを溶液に浸漬して、例えば溶質濃度を
測定する分析装置として用いた場合、ゲートと液界面と
の間の電位、電気容量がわずかに変動してもその変化を
出力側のドレン電波に有効に反映させることができる。
すなわち、ゲート/液界面間の電気化学的変化をドレン
電流の変化として検出することができる。
このようなことから、FETセンサは溶液中のイオン濃
度の定量、溶存気体の分析など各種の分析に応用され始
めている。
従来、液中の溶存物質をFETセンサで分析する場合に
は、該溶存物質がゲート部との界面で定常状態又は平衡
状態に到達したときに表示されてくる平衡値としてのド
レン電流値などを追跡するという分析方法が主流であっ
た。
しかしながら、この方法によって得られる情報の質・量
には限界があり、分析対象の物質によっては正確な分析
ができないこともある。
したがって、FETテンサを用いた分析においては、単
に上記した平衡値を追跡して情報を得るだ↓すではなく
、平衡に達する過程又はゲート界面の状態変化に関する
情報を取得すれば、分析用の情報量を更に増すことがで
き、その結果、より充実した分析結果を入手することが
できるものと考えられる。
しかしながら、現在に到るまで、このような考えにノ、
(づいたFETセンサ利川の用存物質の分析方法は知ら
れていない。
[発明の目的] 本発明はFETセンサのゲート界面における変化が平衡
に達する過程を追跡して再現性に富む分析結果を入手す
ることができる、液中の溶存物質を分析する新規な方法
の提供を目的とする。
[発明の概要] 本発明者らは一ヒ記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた
結果、FETセンサのゲートを作用電極にして対極と一
緒に被測定液中に浸漬し、この状態で、まず、作用電極
の電位を電解電流が流れない電位に設定し、ついで対極
を介して電気パルスを印加してその電位を電解電流が流
れる電位に瞬間的に移行させてから、FETセンサのド
レン電波ヌはゲートの電極電位の減衰を測定すれば、そ
の過程は平衡値に達するまでの追跡過程であること、そ
してその変化は被測定液中の溶存物質の濃度の関数であ
るとの事実に注目し、本発明方法を開発するに到った。
すなわち、本発明の溶存物質の分析方法は、液中の溶存
物質の濃度を分析する方法であって、ゲートが導電体か
ら成る電界効果トランジスタの該ゲートを作用電極とし
、該作用電極を対極とともに被測定液に浸漬し、まず、
該作用電極の電位を該溶存物質の電解に基づく電解電流
が無視できる領域の値に設定し、ついで、該対極を介し
て該作用電極に電気パルスを印加して該作用電極の電位
を該溶存物質の電解に基づく電解電流が流れる領域にま
で瞬間的に移行させ、その後における、該電界効果トラ
ンジスタのドレン電流の変化を測定して該溶存物質の濃
度を測定することを特徴とする。
まず、作用電極(ゲート)に電気パルスを印加したとき
、作用電極の電位Eは、液中の溶存物質の濃度CO、パ
ルス印加後の経過時間t、若しくはこの系に流れる電解
TrLmtの関数である。
すなわち、E=f (i 、 t 、C’) −−(1
)と表現できる。したがって、設定された各条件因子に
基づいて得られた(1)式の関数曲線を解析すれば。
濃度C0を算出することができる。
とくに、電気パルスが定電筒パルスであり、しかも作用
電極の電位は溶存物質による限界電流が流れる電位の領
域にまで移行した場合、パルス印加直後(L = o)
の到達電位Emと、電解開始後の時間(t = Hにお
ける電位Eとの差ΔEは。
ゲート部が平面であったとき、一般に次式:%式% で示される。式中、ΔE=E−Em、Ciは作用電極の
単位面、積当りの電気二重層の積分容量。
Doは溶存物質の液中における拡散係数、nはこの電極
反応に関与する電子の数、Fはファラデ一定数である。
ただし、Ciは通常測定する数 100mV以内の電位
変化では一定であると考える。
ここで、(2)式は、 ±ΔE=kC6t  ・・・・・・(3)と書き直せる
。ただし1式中、kは定数である。
したがって、−例えば測定時間(サンプ′リング時間)
tを1 = 1 a(一定)と定め、かつ、予め各条件
からに値を定めておけば、1=1aにおける電位差ΔE
を測定することにより、(3)式から溶存物質の濃度C
0t−算出することができる。
ところで、FETセンサにおいては、ゲート部の電圧E
はドレン電流Idに変換することができる。したがって
、E−Idが直線関係を満足する電位の範囲において、
Idの変化すなわちΔ■dを測定すれば、(3)式の変
形式からCoを求めることができる。逆にIdが一定と
なるような回路を組みあげ、ケート電圧VGの変化すな
わちΔVGを追跡して同じCoを求めることも可能であ
る。また、E−Idが直線関係を満足しない電位ga域
であってもEとIdの間にl対lの対応関係が存在すれ
ば、あらかじめ、検量線を得ておくことにより、C0を
求めることが可能である。
本発明方法を、用いる測定装置の概念図(第1図)に基
づいて更に詳説する。
第11図は、本発明方法で用いる基本的な装置例を示す
ものである。まず、lはFETセンサのゲート表面であ
り、そこには3ゲ一ト面に形成された白金層、更にその
上にある薄い水銀層のような導電体の層が存在する。S
はソース、Dはドレンである。2は対極で例えば白金電
極である。
FETのゲート面1及び対極2は対向して測定対象であ
る溶存物質を含む被測定液3の中に一緒に浸漬される。
4はセル容器である。5は絶縁性。
耐水性の保vIJ膜で被覆されたリード線で、それはゲ
ー)1と個所6で接続している。この接続部6は、絶縁
性、耐水性の材料で被覆されて、被測定液3と直接接触
しないようになっている。
7は電気パルス発生器兼加電圧装置で、一方の端子はリ
ード線8を介して対極2と接続し他方の端子は、スイッ
チ8を介しリードli5を経てゲート1の接続部にvc
統する。なお、スイッチSは装置7の中に組込まれてい
てもよい。
10、11はそれぞれドレンD及びソースSに接続する
リード線で、12はドレンDとソースSとの間に定格電
圧を印加するための可変定電圧電源である6そして、ド
レン電流は電流計13によって測定される。
本発明方法は、まず、ゲート1表面(作用電極)の電位
を、溶存物質の電解に基づく電解電流が流れない電位領
域に設定する。このとき、電気パルス発生器兼加電圧装
置7は加電圧装置として機能し、その働きにより上記電
位が設定される。
ついで、スイッチ9を閉にして電X パルス発生器兼加
電圧装置7から電気パルスを対極2を介して作用電極l
に印加し、該作用電極1の電位を瞬間的に溶存物質によ
る電解電流が流れる電位の領域にまで移行させ、スイッ
チ8を開にする。
このときに印加する電気パルスとしては各種のものを利
用できるが、とくに、定電荷パルスは例えば、コンデン
サを電荷源として用いた場合を考えると、瞬間的に印加
することが可能であり、しかもパルス印加後、パルス印
加回路を開回路状態にしてドレン電流の変化を測定でき
るのでオーミック降下の影響を無視できて有効である。
このような効果の期待できる電気パルスとしては、その
他に定電流パルスがあげられる。このパルスも短時間内
(すなわちパルス幅の短い)に印加可能である。このよ
うな定電荷パルス、パルス幅の短い定電流パルスはいず
れも作用電極lに短時間で印加することができ、しかも
作用電極の表面(ゲート表面)と被測定液との界面の状
態を攪乱することがほとんどないので取扱いやすく、更
にはゲートを破壊することもない。
作用電極lの電位を、溶存物質による電解電流が流れな
い領域から流れる領域にステー2プさせる場合、ゲート
/被測定液の界面における電子移動が律速因子になる電
解電圧付近の電位にステップさせるよりも、電子移動が
速く、拡散律速か支配的である拡散型11 iが流れる
電位の領域にステップさせた方がよい。
これは、拡散電流が流れる電位の領域では、この拡散電
流iは電位とほとんど無関係で、同一時間では次式: (式中、Aは作用電極の表面積、他は(2)式と同じ意
味を有する) で示される一定値となって、取扱いが簡単になるからで
ある。
本発明方法では、その後スイッチ9を開に戻−し、電流
計13が示すドレン型温値の時間変化を測定し、その変
化値から前記した(3)式の変形式を用いて溶存物質の
濃度C0が算出される。
本発明方法は以上の操作を基本とする。そして、第1図
に示した装置例はそれを説1月するための図である。し
かし、本発明方法に用いる装置はこれに限定されるもの
ではなく、以下に例示するような形に改変することもで
きる。
第2図は、第1図の装置において、被測定液3の中に飽
和甘木電極のような参照電極21を一緒にセットし、こ
の参!W電極21をポテンショメータ22を介して前記
F E Tのソースに接続し、バイアス電圧回路を形成
した例である・23はリード線である。ポテンショメー
タ22は全体操作に先だってソースSとゲート間にバイ
アス電圧を印加するためのものであり、かくすることに
より、以後の分析操作を安定して行なえるという利点が
生ずる。
第3図は第2図で(したがって、f51図の場合にも適
用できる)でゲート部が改変された例である。第2図で
FETのゲートlは片封じガラス管31の中に封入され
ている。32はガラス’1731の絶縁性」4栓である
。ゲート部にtj例えば白金のような導電体33が接続
され、この導電体33はガラス管31から液密状態で引
き出され被測定液3に突出する。この装置例によれば、
FET及びFETのゲートと導電体との接続部は被スに
室液から保護されている−ので被測定液3による影響(
例えば変質)から自由である。
fjS4図は、対極と参照電極とが一体化した装置例で
ある0図で、 41は対極兼参照電極であり飽和甘木電
極が用いられる。42は切換えスイッチである。スイッ
チ42がa側に倒れて電気パルス発生器兼加電圧装置7
と接続している場合、対極兼参照型Jf441は対極と
して、また作用電極(ゲート)lにバイアス電圧を印加
したときの参照電極として機能し、b側に倒れてポテン
ショメータ22と接続しているとき、それはソースSと
ゲート間にバイアス電圧をかけるために、また、測定時
の参照電極として機能する。この装置例の場合には、電
極系が簡略化するという利点を具備している。
第5図は今までの装置例における電気パルス発生器兼加
電圧装置7に代えて、コンデンサを用いて定電荷パルス
を印加するための装置例である。
測定系の方は図を省略しである0図で51がコンデンサ
である。この装置例の場合、予めコンデンサ51を所定
電圧で充電し、分析操作時にはスイッチSを閉じ作用電
極lに対極2を介して定電荷を印加する。この例におい
ては、装置構造が簡単であること、ゲートと被測定液と
の界面における電位移行が円滑に進行すること、などの
効果が得られる。
第6図は、溶存物質が溶存酸素の場合に1本発明方法を
適用してその濃度を測定する際に用いる測定プローブの
1例である。図では、電気°パルスの印加系統及びドレ
ン型温の測定系統は省略しである0図で61は側壁部、
621ま先端部で内部は中空である0作用′?Ii極l
 、対極2及び参照電極21はいずれも先端部82の外
側に設けられ、それぞれは各リード線を介してFETの
ゲート(作用電極lの場合)、測定系統に接続されてい
る。63はテトラフロロエチレン膜のような酸素ガス透
過膜であって、それと先端部62の外表面との間には支
持itt解質溶液64が満たされている。このプローブ
においては、酸素ガス透過膜63を透過した溶存酸素の
濃度測定が回部となる。
第7図は、作用電極の電位変化(したがってそれはドレ
、ン電泣の変化でもある)をゲート電圧の変化として測
定することにより分析するための装置例である0図で、
?1.72.73.74はそれぞれ可変抵抗、トランジ
スタ、演算増幅器、可変定電圧電源であり、75.78
はいずれもl1iII算増幅器73の電源、77は全体
の電源である。そして、78が出力端子でここにゲート
電圧が出力する。この装置例を用いた分析の場合、出力
されるゲート電圧変化が直接(2)式で示されるΔEに
対応するため、測定結果の解析が容易であるという利点
を有する。
[発明の実施例] 実施例1 第5図に示した装置例を用いて、水中の塩化亜鉛(Zn
CJL 2)濃度の測定を試みた。まず、被測定液とし
て、■10−’ M  ZnC12溶液、■5X 10
4MZnC見2溶液、■10(N  ZnC12溶液を
準備した。
まず、それぞれの溶液で、作用電極の電位を飽和甘木電
極に対し一〇、6vに設定し、その後、電荷パルスを印
加して−1,5Vにステップさせた。各場合につき、1
秒後のドレン電流を測定しその差を求めた。■の溶液:
 21.2JLA、■の溶液=105ILA、■の溶液
:212ILAであった。
この結果は、ドレン電流の変化値(ΔId)とZnCl
2濃度とが比例関係にあること、したがって、本発明方
法が有効であることを立証する。
実施例2 第6図に示されるプローブを用い溶存酸素濃度の測定を
試みた0作用電極lとして金電極、対極2として白金電
極、参照電極21として銀−塩化銀電極、酸素透過膜と
してテフロン膜を用いた。なお、指示電解質としてはI
 MKClを用いた。
測定液として溶存酸素濃度DOが■7.8pp■と■4
.3ppm■2.4pp■の溶液をそれぞれ調製した。
まず、作用電極lの電位を酸素による還元電流が流−れ
ないOVvs、八g/AgCl 、続いて溶存酸素の還
元電流が流れる−1.0Vvs、Ag/AgCjlに移
行させた。
測定の前に溶液■、@、■と前記プローブとを充分に平
衡に達せしめた。溶液■、■、@に対して電位を移行さ
せた後1秒後のドレン電流変化Δ工dを測定したところ
、それぞれ、7B、A。
21.8終A、12ILAとなり、ΔIdがDOに比例
していた。
この結果も本発明が有効であることを立証した。
[発明の効果] 以上の説明で明らかなように、木発す1方法では、ゲー
ト/被測定液界面における変化を追跡していくので従来
の方法に比べて得られる情報量が多くなり、したがって
分析は正確さを増す、とくに溶存物質の濃度とドレン電
流の変化とが直線関係にある領域で分析が進められるの
で、従来の測定原理、すなわち濃度の対数と出力との関
係(ネルンストの式)を利用するI S FET 、イ
オンセンサに比べてより正確な結果を得ることができる
。また、例えば、電気パルスとして定電荷パルスを印加
する場合には、作用電極への荷電量は少なく、FETゲ
ートを損傷する危険も少ない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明方法を行なうに当り使用する装置例の
基本図であり、第2〜7図はその変形例である。 !−FETのゲート(作用電極)。 2一対極、        3−被測定液、4−セル容
器、      5−リード線、8−接続部。 7−電気パルス発生器兼加電圧装置、 8−リード線、      3−スイッチ、10.11
−リード線、−12−可変定電圧電源、13−電流計、
      21−参照電極。 22−ポテンショメータ、 23−リード線、31−ガ
ラス管、     32−封栓。 33−導電体、      41一対極兼参照電極、4
2−切換えスイッチ、   51−コンデンサ、61−
プローブ側壁、    82−先端部、63−#素ガス
透過膜、   84−支持電解質溶液。 71−可変抵抗、     72−トランジスタ、73
−演算増幅器、    74−可変定電圧電源、75.
76.77−電源、   78−出力端子。 第5 第3図 第4図 図 1渥 図 冊

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 液中の溶存物質の濃度を分析する方法であって、 ゲートが導電体から成る電界効果トランジスタの該ゲー
    トを作用電極とし、該作用電極を対極とともに被測定液
    に浸漬し、まず、該作用電極の電位を該溶存物質の電解
    に基づく電解電流が無視できる領域の値に設定し、つい
    で、 該対極を介して該作用電極に電気パルスを印加して該作
    用電極の電位を該溶存物質の電解に基づく電解電流が流
    れる領域にまで瞬間的に移行させ、 その後における、該電界効果トランジスタのドレン電流
    の変化を測定して該溶存物質の濃度を測定する溶存物質
    の分析方法。
JP59159041A 1984-07-31 1984-07-31 溶存物質の分析方法 Pending JPS6138557A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0596672U (ja) * 1992-06-05 1993-12-27 株式会社昭電 ケーブルガイド
JP2008134255A (ja) * 2007-12-17 2008-06-12 Hitachi Ltd 生体分子検出装置及びそれを用いた生体分子検出方法
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JP2010256140A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 電気化学測定装置

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