JPS6131930A - フ−リエ変換方式の赤外分光光度計 - Google Patents
フ−リエ変換方式の赤外分光光度計Info
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- JPS6131930A JPS6131930A JP15292284A JP15292284A JPS6131930A JP S6131930 A JPS6131930 A JP S6131930A JP 15292284 A JP15292284 A JP 15292284A JP 15292284 A JP15292284 A JP 15292284A JP S6131930 A JPS6131930 A JP S6131930A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はフーリエ変換方式の赤外分光々度計に係り、特
に偏光変調方式や赤外光音響分光方式の測定に好適な装
置に関する。
に偏光変調方式や赤外光音響分光方式の測定に好適な装
置に関する。
７一リエ変換赤外分光々度計において、光源１の光は干
渉計６で可動ミラ９の移動速度υｃｒＩＩ／秒に応じて
変調される。変調された周波数をｆ、光の波数なりｃＩ
ｎ−’とすると、ｆ＝＝２ννである。測定対象光より
も短波長光成分（高波数成分）も高周波数の信号に変調
され、これが赤外光成分の変調信号に重畳するためノイ
ズの原因となり測定感度を著しく悪くする。このため従
来は検出器からでた信号をコンデンサやコイルを組合せ
た電気的フィルタ（ローパスフィルタ）で高周波数の信
号をカットしていた。しかし偏光変調方式や、赤外光音
響方式の測定では赤外光を２０００Ｈｚ以上でチョッピ
ングして測定するため、電気的フィルタではこのチョッ
ピングされた信号成分までカットしてしまうことになる
。したがって、これらの方式の測定では電気的フィルタ
を用いることができず非常に感度の悪い測定となってい
る。
渉計６で可動ミラ９の移動速度υｃｒＩＩ／秒に応じて
変調される。変調された周波数をｆ、光の波数なりｃＩ
ｎ−’とすると、ｆ＝＝２ννである。測定対象光より
も短波長光成分（高波数成分）も高周波数の信号に変調
され、これが赤外光成分の変調信号に重畳するためノイ
ズの原因となり測定感度を著しく悪くする。このため従
来は検出器からでた信号をコンデンサやコイルを組合せ
た電気的フィルタ（ローパスフィルタ）で高周波数の信
号をカットしていた。しかし偏光変調方式や、赤外光音
響方式の測定では赤外光を２０００Ｈｚ以上でチョッピ
ングして測定するため、電気的フィルタではこのチョッ
ピングされた信号成分までカットしてしまうことになる
。したがって、これらの方式の測定では電気的フィルタ
を用いることができず非常に感度の悪い測定となってい
る。
本発明の目的は７一リエ変換方式の赤外吸収スペクトル
の測定に有害な短波長光成分をカットし高感度な偏光変
調方式や赤外光音響方式の測定を可能にした装置の提供
することにある。
の測定に有害な短波長光成分をカットし高感度な偏光変
調方式や赤外光音響方式の測定を可能にした装置の提供
することにある。
フーリエ変換方式の測定に有害な短波長光成分をカット
するには、赤外光は透過し、赤外光よりも短波長の光を
ｉ過しない材量で光学フィルタを作り、これを光源と検
出器の光路上に設置することＫより可能である。
するには、赤外光は透過し、赤外光よりも短波長の光を
ｉ過しない材量で光学フィルタを作り、これを光源と検
出器の光路上に設置することＫより可能である。
実施例１
第１図においてクローバ光の赤外光源１．から出た光を
平行光線にする放物面鏡２．マイケルソンの干渉計３．
赤外光を絞って試料５に当て測定するための放物面鏡４
．試料から出た光を検出器８に集光するためのダ円面鏡
６及び検出器８からなるフーリエ変換方式の赤外分光々
度計を作る。厚さ５１ｍのＫＢｒ板にゲルマニウムを１
〜１０μｍの厚さに蒸着して作った光学フィルタ７を第
１図の様に設置した。この光学フィルタは２μｍ以下の
短波長光成分は全（透過せず、また２μｍ〜２０μｍの
赤外光の透過率は９５チ以上であり、フーリエ変換方式
の赤外分光々度計の電気的フィルタなしで、ノイズの少
ない測定が可能であった。
平行光線にする放物面鏡２．マイケルソンの干渉計３．
赤外光を絞って試料５に当て測定するための放物面鏡４
．試料から出た光を検出器８に集光するためのダ円面鏡
６及び検出器８からなるフーリエ変換方式の赤外分光々
度計を作る。厚さ５１ｍのＫＢｒ板にゲルマニウムを１
〜１０μｍの厚さに蒸着して作った光学フィルタ７を第
１図の様に設置した。この光学フィルタは２μｍ以下の
短波長光成分は全（透過せず、また２μｍ〜２０μｍの
赤外光の透過率は９５チ以上であり、フーリエ変換方式
の赤外分光々度計の電気的フィルタなしで、ノイズの少
ない測定が可能であった。
実施例２
実施例１におけるゲルマニウム蒸着ＫＢτフィルタの替
りにＣｄＴｇ（カドミウム・テルル）合金蒸着膜（５〜
２０μｍ）、ＧａＡＳ（ガリウム。
りにＣｄＴｇ（カドミウム・テルル）合金蒸着膜（５〜
２０μｍ）、ＧａＡＳ（ガリウム。
ヒ素）合金蒸着膜（５〜２０μｍ）、シリコン蒸着膜（
１０〜２０μｍ）のそれぞれの蒸着膜を有するＫＢｒフ
ィルタにおいてはＣｄＴｇフィルタは０．８μｍ以下、
ＧａＡＳフィルタは０．９μｍ以下、シリコンフィルタ
は１μｍ以下の光を全く透過せず、２〜２０μｍの赤外
光は９０チ以上の透過率を有し。
１０〜２０μｍ）のそれぞれの蒸着膜を有するＫＢｒフ
ィルタにおいてはＣｄＴｇフィルタは０．８μｍ以下、
ＧａＡＳフィルタは０．９μｍ以下、シリコンフィルタ
は１μｍ以下の光を全く透過せず、２〜２０μｍの赤外
光は９０チ以上の透過率を有し。
実施例１と同じ効果が有った。
実施例６
第２図においてシリコニット焼結体にメンタル線の発熱
体を巻いた光源１と、実施例１．２で用いたと同様な光
学フィルタ７、放物面鏡２゜アイケルソンの干渉計３．
放物面鏡４．ダ円面鏡１２，６．偏光子１０．応力変調
子１１．試料１６の組合せの第２図のようなフーリエ変
換方式の赤外分光光度計を作り、応力変調子を３４ＫＨ
ｚで変調し、試料１６を反射法で測定した結果、ノイズ
の少ない赤外スペクトルが、実施例１．２で用いたいず
れの光学フィルタを用いても得られた。
体を巻いた光源１と、実施例１．２で用いたと同様な光
学フィルタ７、放物面鏡２゜アイケルソンの干渉計３．
放物面鏡４．ダ円面鏡１２，６．偏光子１０．応力変調
子１１．試料１６の組合せの第２図のようなフーリエ変
換方式の赤外分光光度計を作り、応力変調子を３４ＫＨ
ｚで変調し、試料１６を反射法で測定した結果、ノイズ
の少ない赤外スペクトルが、実施例１．２で用いたいず
れの光学フィルタを用いても得られた。
本発明によれば、偏光変調方式や赤外音響分光方式の赤
外吸収スペクトルの測定にお〜・て、ノイズが少なく、
高感度な測定が可能となる。
外吸収スペクトルの測定にお〜・て、ノイズが少なく、
高感度な測定が可能となる。
しかも光学フィルタは電気的フィルタに比べ著しく安価
に製作できる。
に製作できる。
第１図は本発明の一実施例の透過型のフーリエ変換赤外
分光光度計の構成図、第２図は偏光変調方式の反射型の
フーリエ変換赤外分光光度計の構成図である。 １・・・光源、２・・・放物面鏡、３・・・マイケルソ
ン干渉計％ ４・・・放物面鏡、５・・・試料％ ６・
・・ダ円面鏡、７・・・光学フィルタ、８・・・検出器
、９・・・可動ミラ、１０・・・偏光子、１１・・・応
力変調子、１２・・・ダ円ｈ−１ｍＷＩ ｍ−０９−（ 面鏡、１３・・・試料、１４・・・平面鏡。
分光光度計の構成図、第２図は偏光変調方式の反射型の
フーリエ変換赤外分光光度計の構成図である。 １・・・光源、２・・・放物面鏡、３・・・マイケルソ
ン干渉計％ ４・・・放物面鏡、５・・・試料％ ６・
・・ダ円面鏡、７・・・光学フィルタ、８・・・検出器
、９・・・可動ミラ、１０・・・偏光子、１１・・・応
力変調子、１２・・・ダ円ｈ−１ｍＷＩ ｍ−０９−（ 面鏡、１３・・・試料、１４・・・平面鏡。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 フーリエ変換方式の赤外分光々度計におい て、光源と検出器との間の光路上に０．５μｍ以下の短
波長光を透過しない材質でできた光学フィルタを設置し
たことを特徴とするフーリエ変換方式の赤外分光々度計
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15292284A JPS6131930A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | フ−リエ変換方式の赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15292284A JPS6131930A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | フ−リエ変換方式の赤外分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6131930A true JPS6131930A (ja) | 1986-02-14 |
Family
ID=15551078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15292284A Pending JPS6131930A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | フ−リエ変換方式の赤外分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6131930A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013245981A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Konica Minolta Inc | フーリエ変換型分光計およびフーリエ変換型分光方法ならびにフーリエ変換型分光計用アタッチメント |
| US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15292284A patent/JPS6131930A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
| JP2013245981A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Konica Minolta Inc | フーリエ変換型分光計およびフーリエ変換型分光方法ならびにフーリエ変換型分光計用アタッチメント |
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