JPS6130006A - Method of trimming resistor - Google Patents

Method of trimming resistor

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Publication number
JPS6130006A
JPS6130006A JP15182284A JP15182284A JPS6130006A JP S6130006 A JPS6130006 A JP S6130006A JP 15182284 A JP15182284 A JP 15182284A JP 15182284 A JP15182284 A JP 15182284A JP S6130006 A JPS6130006 A JP S6130006A
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JP
Japan
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trimming
resistor
resistance value
groove
distance
Prior art date
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Application number
JP15182284A
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Japanese (ja)
Inventor
博司 高原
遠富 康
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は抵抗体を所望とする抵抗値に調整する抵抗体ト
リミング方法の中でも、特に印刷等で形成された微小な
抵抗体が基板内に多数散在するような抵抗体のトリミン
グ方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention is a resistor trimming method for adjusting a resistor to a desired resistance value, and is particularly applicable to a method in which a large number of minute resistors formed by printing etc. are scattered within a substrate. This invention relates to a method for trimming such a resistor.

従来例の構成とその問題点 近年、電子部品実装技術の発達に伴い、部品自体も小型
してきた。その実装方法の1つにハイプツトIC(以下
、HICと称す)がある。HICに用いられる抵抗体の
製造は、セラミック基板上に抵抗体電極ならびに配線パ
ターンを形成後、抵抗体を印刷または蒸着により形成さ
れている。
Conventional configuration and its problems In recent years, with the development of electronic component mounting technology, the components themselves have become smaller. One of the mounting methods is Hypto IC (hereinafter referred to as HIC). The resistor used in HIC is manufactured by forming resistor electrodes and wiring patterns on a ceramic substrate, and then printing or vapor depositing the resistor.

しかしながら、抵抗体材料の調合条件ならびに焼成条件
のバラツキなどから、その低値精度は設計値に対して±
10〜205%程度の誤差を生じる。したがって、抵抗
体トリミングによる最終抵抗値調整が必要である。抵抗
値調整には、抵抗値そのものを規格値にトリミングをす
る素子トリミングと、回路を動作させた状態でその回路
特性を計測しながら規格値まで抵抗体をトリミングする
機能トリミングとの2種類がある。
However, due to variations in the compounding conditions and firing conditions of resistor materials, the accuracy of the low value is within ± of the design value.
This results in an error of about 10 to 205%. Therefore, final resistance value adjustment by resistor trimming is required. There are two types of resistance value adjustment: element trimming, which trims the resistance value itself to the standard value, and functional trimming, which trims the resistor to the standard value while measuring the circuit characteristics while the circuit is operating. .

先ず、従来の抵抗体のトリミング方法について端につけ
られた電極、(8a) (8b)は抵抗体(1)の抵抗
値を所望抵抗値にするためにトリミング装置〔図示せず
〕により抵抗体(1)にほどこされたトリミング溝であ
る。(4)は抵抗体の抵抗値を測定するためにN、極(
2a) (2b)に圧接されたプローブ、(5)は抵抗
体(1)の抵抗値を測定する抵抗値測定手段、(6)は
抵抗体(1)の抵抗値と所望抵抗値と比較してトリミン
グされている抵抗体の抵抗値が所望抵抗値を越えたかを
判定する比較手段である。第2図は第1図の抵抗体と電
極部分をぬきだした部分図であり、(7a)は1本目の
トリミング溝(3a)をほどこす位置、(7b)は2本
目のトリミング溝(8b)をほどこす位置である。なお
(7a) (7b)は入れ換わってもかまわない。まず
第2図(b)のように微小距離△lがトリミング装置に
より抵抗体に形成される。このトリミング溝により、抵
抗体を流れる電流はさえぎられ、抵抗体の抵抗値は増大
する。次にトリミング溝形成後の抵抗値を抵抗値測定手
段(5)で測定し、測定された抵抗値は比較手段(6)
により所望抵抗値と比較され、もしも所望抵抗値を越え
ておれば、そこでトリミングは中止される。所望抵抗値
以下であれば更に微小距離△lトリミングされてトリミ
ング溝が形成される。このとき、トリミング溝lは(ト
リミング繰り返し回数X67 )となるが、この形成さ
れたトリミング長さlはトリミング装置に記録されてお
り、あらかじめ定められている1本目のトリミング溝の
最大トリミング溝長さl、と比較され、もしも1:>1
1であれば1本目のトリミング溝の形成は中止され、次
に2本目のトリミング溝位置(7b)に移り、第2図(
d)のように△lのトリミング溝の形成を抵抗体端より
開始されるように制御され、トリミング、抵抗値の測定
、所望抵抗値との比較という手+11%、が繰り返され
て第2図(d)のようにトリミングされる。以上の手順
により抵抗体(1)の抵抗値を所望抵抗値にするという
トリミング溝の形成作業が実行されている。
First, regarding the conventional trimming method of a resistor, electrodes (8a) and (8b) attached to the ends of the resistor (1) are trimmed by a trimming device (not shown) in order to adjust the resistance value of the resistor (1) to a desired resistance value. This is the trimming groove made in 1). (4) is N, pole (
2a) A probe pressure-welded to (2b), (5) a resistance value measuring means for measuring the resistance value of the resistor (1), and (6) a means for comparing the resistance value of the resistor (1) with a desired resistance value. This is a comparison means for determining whether the resistance value of the resistor being trimmed exceeds the desired resistance value. Figure 2 is a partial view of the resistor and electrode parts in Figure 1, where (7a) is the position where the first trimming groove (3a) is to be made, and (7b) is the position where the second trimming groove (8b) is to be made. ). Note that (7a) and (7b) may be interchanged. First, as shown in FIG. 2(b), a minute distance Δl is formed on the resistor by a trimming device. This trimming groove blocks the current flowing through the resistor, increasing the resistance value of the resistor. Next, the resistance value after forming the trimming groove is measured by the resistance value measuring means (5), and the measured resistance value is measured by the comparing means (6).
The resistance value is compared with the desired resistance value, and if the desired resistance value is exceeded, the trimming is stopped. If the resistance value is less than the desired resistance value, trimming is further performed by a minute distance Δl to form a trimming groove. At this time, the trimming groove l becomes (number of trimming repetitions l, and if 1:>1
If it is 1, the formation of the first trimming groove is stopped, and the process moves to the second trimming groove position (7b), as shown in FIG.
As shown in d), the formation of the trimming groove of Δl is controlled to start from the end of the resistor, and the steps of trimming, measuring the resistance value, and comparing it with the desired resistance value are repeated, resulting in the result shown in Figure 2. It is trimmed as shown in (d). Through the above procedure, the trimming groove forming operation for setting the resistance value of the resistor (1) to a desired resistance value is executed.

しかしながら、このような従来のトリミング方法では、
最終的に、第8図(a)のように1本目のトリミング溝
(8a)の最大長さ11が短か過ぎ、2本目のトリミン
グ溝(8b)の長さを長く抵抗体に形成しなければ所望
抵抗値にならない場合、または第8図(b)のように1
本目のトリミング溝(8a)の最大長さ11が長が過ぎ
、2本目のトリミング溝(8b)が(よとんど形成され
ない場合がおこり、(a)(b)とも筈ζトリミング溝
先端A点において電力集中がおこりやすく、トリミング
後の抵抗体の信頼性を悪化させている。また、抵抗体に
微小距離トリミング溝を形成→抵抗値を測定→測定抵抗
値を所望抵抗値と比較するとともにトリミング溝長を最
大トリミング溝長さと比較するという手順で抵抗体にト
リミングを実行するため、高速にトリミングをおこなう
ことができないという問題点を有しているのが現状であ
る。
However, with this traditional trimming method,
Finally, as shown in Figure 8(a), the maximum length 11 of the first trimming groove (8a) was too short, and the length of the second trimming groove (8b) had to be made longer on the resistor. If the desired resistance value is not achieved, or as shown in Figure 8(b),
The maximum length 11 of the first trimming groove (8a) is too long, and the second trimming groove (8b) is not formed at all. Power concentration tends to occur at points, which deteriorates the reliability of the resistor after trimming.Also, by forming a minute-distance trimming groove on the resistor → measuring the resistance value → comparing the measured resistance value with the desired resistance value. At present, the resistor is trimmed by comparing the trimming groove length with the maximum trimming groove length, so there is currently a problem that trimming cannot be performed at high speed.

発明の目的 本発明はトリミング溝の先端部分での電力集中がなくて
信頼性が高く、しかも高速にトリミングを実行できる抵
抗体のトリミング方法を提供することを目的とする。
OBJECTS OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for trimming a resistor that is highly reliable and can perform trimming at high speed without power concentration at the tip of the trimming groove.

発明の構成 本発明の抵抗体のトリミング方法は、トリミングする抵
抗体の初期抵抗値とトリミングすることにより得る所望
抵抗値および抵抗体の形状寸法力〉ら抵抗体にほどこす
トリミング距離を算出し、この算出されtこトリミング
距離を用も)で抵抗体番こトリミングすることを特徴と
する。
Structure of the Invention The resistor trimming method of the present invention calculates the trimming distance to be applied to the resistor from the initial resistance value of the resistor to be trimmed, the desired resistance value obtained by trimming, and the dimensional force of the resistor. This method is characterized in that the resistor body is trimmed using the calculated trimming distance.

実施例の説明 以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第4図は本発明の抵抗体のトリミング方法を抵抗体(1
)にほどこしたときの外観図であり、W4よ抵抗体幅、
Lは抵抗体長である。第4図番こおt)て、トリミング
溝(8a)は電極(2a)の端から(L/4 )の位置
にほどこされ、トリミング溝(8b)はトリミング溝(
8a)からさらニ(L/2)、ツまり電@ (2a) 
(7)電力)ら((8L)/4 )の位置に形成されて
%Nる。このような位置関係にあり、かつトリミング溝
(8a)と(8b)の長さを等しく、それをlとし、ま
た抵抗体(10こトリミング溝を形成する前の抵抗値を
初期抵装置Rい トリミング溝(8a) 、(8b)を
形成後の抵抗値をRとすれば、トリミング距離lは上記
第1(1)式または第2゛式で求めることができる。
Figure 4 shows the resistor trimming method of the present invention.
) is an external view when applied to W4, resistor width,
L is the resistor length. As shown in Figure 4, the trimming groove (8a) is placed at a position (L/4) from the end of the electrode (2a), and the trimming groove (8b) is placed at a position (L/4) from the end of the electrode (2a).
8a) Sarani (L/2), Tsumariden @ (2a)
(7) Electric power) is formed at the position of ((8L)/4) and is %N. In such a positional relationship, the lengths of the trimming grooves (8a) and (8b) are equal, and it is defined as l, and the resistance value of the resistor (10) before forming the trimming groove is the initial resistor R. If the resistance value after forming the trimming grooves (8a) and (8b) is R, the trimming distance l can be determined by the above equation 1 (1) or equation 2.

L Z =2. J7e (x +r )       ・
・・・・・・・・  (1)R。
LZ=2. J7e (x + r) ・
・・・・・・・・・ (1)R.

但し W>L/2 /=W(1−’sin ’exp (”−< (1−町
) ・−・(2)π       8W       
R0但し w<L/2 次に本実施例の抵抗体のトリミング方法について第5図
を用いて説明する。まず抵抗体幅W1抵抗体長し、およ
び初期抵抗R0と所望抵抗値Rにより第1式または第2
式を用いてトリミング距離lを算出する。次に第5図(
a)のように1本目のトリミング溝(8a)を抵抗体(
1)の抵抗値を測定することなしに、トリミング距離l
の長さだけ形成する。
However, W>L/2 /=W(1-'sin 'exp ("-< (1-town) ・--(2) π 8W
R0 where w<L/2 Next, a method for trimming the resistor of this embodiment will be explained using FIG. 5. First, determine the resistor width W1 and the resistor length, and then use the first or second equation based on the initial resistance R0 and the desired resistance value R.
Calculate the trimming distance l using the formula. Next, Figure 5 (
As shown in a), connect the first trimming groove (8a) to the resistor (
1) Trimming distance l without measuring the resistance value
Form only the length of.

次に2本目のトリミング溝(8b)は第5図(b)のよ
うにトリミング距離lの長さ近傍まで抵抗体の抵抗値変
化を測定することなしに形成する。そののち第5図(C
)のように長さ微小距離Δlずつトリミング溝の形成を
おこなうが、このときは抵抗体の抵抗値を測定し、測定
された抵抗値を抵抗値比較手段の距離トリミング溝を形
成するという手順でトリミングをおこなっていき、所望
抵抗値にする。
Next, the second trimming groove (8b) is formed as shown in FIG. 5(b) without measuring the change in the resistance value of the resistor up to a length close to the trimming distance l. After that, Figure 5 (C
), trimming grooves are formed by minute distances Δl, but in this case, the resistance value of the resistor is measured, and the measured resistance value is used to form distance trimming grooves for the resistance value comparison means. Perform trimming to reach the desired resistance value.

この本実施例によれば、抵抗体の形状寸法、初期抵抗値
および所望抵抗値から、トリミング距離を算出し、1本
目のトリミング溝および2本目のトリミング溝のほとん
どを抵抗値を測定することなしにトリミング溝を形成し
、その後2本目のトリミング溝を△lずつ増加させ、抵
抗値を測定しながらトリミングをおこなうことにより、
高精度がつ高速に抵抗体にトリミングをほどこすことが
できる。
According to this embodiment, the trimming distance is calculated from the shape and dimensions of the resistor, the initial resistance value, and the desired resistance value, and the resistance value of most of the first trimming groove and the second trimming groove is not measured. By forming a trimming groove in , and then increasing the second trimming groove by △l and performing trimming while measuring the resistance value,
Resistor elements can be trimmed quickly and with high precision.

第6図は他の実施例を示す。第6図では8本のトリミン
グ溝を形成したときを外観図を示している。トリミング
溝を第6図のような位置関係つまり、抵抗体長を1:2
:2:1に分割する位置に形成したとき、そのトリミン
グ長lは下記第8式または第4式で求めることができる
FIG. 6 shows another embodiment. FIG. 6 shows an external view when eight trimming grooves are formed. The trimming grooves should be arranged in the positional relationship shown in Figure 6, that is, the length of the resistor should be 1:2.
: When formed at a position where the ratio is 2:1, the trimming length l can be determined by the following equation 8 or 4.

1 = 、、 :1o1e(x 十1’2”イ)曲・曲
(3)Ro 但し W>い 2、−、Lπ  R f=W(1−−; sln  exp(、、(1−H,
) ’j  −” (4)但し Wくい この実施例の場合も先の実施例と同じように、まず抵抗
体幅W、抵抗体長L、および初期抵抗値R8と所望抵抗
値Rにより、第8式または第4式を用いて、トリミング
距1iIII!を算出する。次に1本目および2本目の
トリミング溝を抵抗体の抵抗値を測定することなしに、
トリミング距離lの長さだけトリミング溝を形成する。
1 = ,, :1o1e(x 11'2"i) song/song (3) Ro However, W>i2, -, Lπ R f=W(1--; sln exp(,, (1-H,
) 'j -' (4) However, in the case of the W-pitch embodiment, as in the previous embodiment, the 8th resistor width W, resistor length L, initial resistance value R8, and desired resistance value R are Calculate the trimming distance 1iIII! using the formula or the fourth formula.Next, the first and second trimming grooves are cut without measuring the resistance value of the resistor.
A trimming groove is formed with a length of trimming distance l.

次に8本目のトリミング溝はトリミング距離lの近傍ま
で、抵抗体の抵抗値変化を測定することなしに、トリミ
ング溝を形成する。そののち、長さ微小距離△lずつト
リミング溝の形成をおこない、このときは抵抗体の抵抗
値を測定し、測定された抵抗値を抵抗値比較手段(5)
で所望抵抗値をこえたかを判定し、こえていなければさ
らに微小距離△lだけトリミング溝を形成し、抵抗値を
測定しという手順でトリミングをおこない、抵抗値を所
望抵抗値にする。
Next, the eighth trimming groove is formed up to the vicinity of the trimming distance l without measuring the change in resistance value of the resistor. After that, a trimming groove is formed by a minute distance Δl in length, and at this time, the resistance value of the resistor is measured, and the measured resistance value is compared with the resistance value comparison means (5).
It is determined whether the desired resistance value has been exceeded, and if the resistance value has not been exceeded, a trimming groove is further formed by a minute distance Δl, the resistance value is measured, and trimming is performed in the following steps to make the resistance value the desired resistance value.

なお、本実施例では、トリミング溝形成装置を抵抗体長
を整数比でかけるとしたが、これはトリミング距離lを
求めるための位置関係であって、実際に抵抗体にトリミ
ングをおこなうときのトリミング溝の形成位置はこの位
置関係に限定されるものではない。
In this embodiment, the trimming groove forming device is multiplied by the resistor length by an integer ratio, but this is a positional relationship for determining the trimming distance l, and the trimming groove forming device is used when actually trimming the resistor. The formation position is not limited to this positional relationship.

また、算出されたトリミング距離を満足する長さのほぼ
等しい複数本のトリミング溝の形成に際し、抵抗体幅W
とトリミング距離lの差(W−7)を知ることができ、
あらかじめ、抵抗体の電力量および信頼性の面からW−
lの値がある閾値以下のとき前記複数本のトリミング溝
では満足できる抵抗体が得られないと判定して、無駄な
トリミングを開始する前に他のトリミング方法に切りか
えることができる。またトリミング精度を必要としない
ときは最終木目のトリミング溝の形成をも抵抗値の測定
を必要とせず、計算により求められたトリミング距離t
の長さだけトリミングをおこなえばよいことはあきらか
である。
In addition, when forming a plurality of trimming grooves with substantially equal lengths that satisfy the calculated trimming distance, the resistor width W
You can know the difference (W-7) between and the trimming distance l,
In advance, W-
When the value of l is less than a certain threshold value, it is determined that a satisfactory resistor cannot be obtained with the plurality of trimming grooves, and it is possible to switch to another trimming method before starting unnecessary trimming. In addition, when trimming precision is not required, the final grain trimming groove can be formed without the need to measure the resistance value, and the trimming distance t determined by calculation can be used.
It is obvious that it is only necessary to trim the length of .

発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明の抵抗体のトリミ
ング方法は、抵抗体の形状寸法と初期抵抗値および所望
抵抗値からトリミング距離を算出し、この算出に基づい
てトリミングするため、複数本のトリミング溝の長さを
ほぼ等しくなるように抵抗体にトリミングをほどこすこ
とによりトリミング溝長さの不均一によるトリミング溝
先端の電力集中の問題がなくなる。また高いトリム比(
トリミング後の抵抗値/初期抵抗値)を容易に実現でき
、さらに1木目のトリミング溝から最終木目のトリミン
グ溝のほとんど抵抗値の測定なしにトリミングを抵抗体
にほどこすことができるため、非常に高速にトリミング
をおこなうことができるという大きな効果を得ることが
できる。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation, the method for trimming a resistor of the present invention calculates the trimming distance from the shape and dimensions of the resistor, the initial resistance value, and the desired resistance value, and performs trimming based on this calculation. By trimming the resistor so that the lengths of the plurality of trimming grooves are approximately equal, the problem of power concentration at the tips of the trimming grooves due to uneven lengths of the trimming grooves is eliminated. It also has a high trim ratio (
The resistance value after trimming/initial resistance value) can be easily achieved, and furthermore, trimming can be applied to the resistor from the trimming groove of the first grain to the trimming groove of the last grain without measuring the resistance value, making it extremely A great effect can be obtained in that trimming can be performed at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は抵抗体のトリミングの概念図、第2図は従来の
抵抗体のトリミング方法の説明図、第8図は従来の抵抗
体のトリミング方法をほどこされた抵抗体の外観図、第
4図は本発明によりトリミング溝が形成された抵抗体の
外観図、第5図は第4図のトリミング工程の説明図、第
6図は第4図とは別の実施例の抵抗体の外観図である。
Figure 1 is a conceptual diagram of resistor trimming, Figure 2 is an explanatory diagram of a conventional resistor trimming method, Figure 8 is an external view of a resistor subjected to the conventional resistor trimming method, and Figure 4 is an explanatory diagram of a conventional resistor trimming method. The figure is an external view of a resistor in which a trimming groove is formed according to the present invention, FIG. 5 is an explanatory view of the trimming process of FIG. It is.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.トリミングする抵抗体の初期抵抗値とトリミングす
ることにより得る所望抵抗値および抵抗体の形状寸法か
ら抵抗体にほどこすトリミング距離を算出し、この算出
されたトリミング距離を用いて抵抗体にトリミングする
抵抗体のトリミング方法。
1. Calculate the trimming distance to be applied to the resistor from the initial resistance value of the resistor to be trimmed, the desired resistance value obtained by trimming, and the shape and dimensions of the resistor, and use this calculated trimming distance to trim the resistor to the resistor. How to trim your body.
2.算出されたトリミング距離を用いて長さがほぼ等し
い複数本のトリミング溝を形成することを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の抵抗体のトリミング方法。
2. 2. The method of trimming a resistor according to claim 1, wherein a plurality of trimming grooves having substantially equal lengths are formed using the calculated trimming distance.
JP15182284A 1984-07-20 1984-07-20 Method of trimming resistor Pending JPS6130006A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01184221A (en) * 1988-01-14 1989-07-21 Komatsu Ltd Control device for atmosphere in fluidized bed furnace
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