JPS61283553A - Vibration unit of ink jet head and its manufacturing - Google Patents

Vibration unit of ink jet head and its manufacturing

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JPS61283553A
JPS61283553A JP12583885A JP12583885A JPS61283553A JP S61283553 A JPS61283553 A JP S61283553A JP 12583885 A JP12583885 A JP 12583885A JP 12583885 A JP12583885 A JP 12583885A JP S61283553 A JPS61283553 A JP S61283553A
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JP
Japan
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vibration unit
comb
elastic plate
electromechanical transducer
shaped
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Application number
JP12583885A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuzo Matsumoto
松本 修三
Takuo Isayama
伊佐山 拓郎
Minoru Ameyama
飴山 実
Hiroshi Yamazaki
博史 山崎
Yasuo Katano
泰男 片野
Kyuhachiro Iwasaki
岩崎 久八郎
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements

Abstract

PURPOSE:To reduce mutual interference caused by mechanical vibration, by constituting a vibration unit in which plural number of rectangular elec tromechanical conversion elements are provided to a pectinated elastic body. CONSTITUTION:A rectangular electromechanical conversion element 2a and a rectangular elastic plate 3a are bonded together, and then, the conversion element 2a and the elastic plate 3a are simultaneously processed for making flutes by rotation cutting etc. and a pectinated vibration unit is shaped. The length of channeling for the above process l is so set as l>=L in which L is the cutting length of the electromechanical conversion element 2a, that the conversion element is completely separated into pectinated vibration units 21, 22 and it becomes to have the construction of a pectinated elastic plate 3a and many rectangular electromechanical conversion elements 21, 22.... Therefore, each electromechanical conversion element is separated, resulting in reduction in transmission of vibrations between the vibration units, and reduction in the mutual interference.

Description

【発明の詳細な説明】 致折分駈 本発明は、マルチノズルインクジェット記録装置に使用
して好適な振動ユニット及びその製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vibration unit suitable for use in a multi-nozzle inkjet recording apparatus and a method for manufacturing the same.

従米且血 第9図は、従来のオンデマンド型マルチノズルインクジ
ェットヘッドの一例を示す断面構成図、第10図は、そ
の斜視図で、図中、1はノズル、2は電気機械変換素子
、3は弾性板、4は連結部、5はインク流路基板、6は
インク滴、7はインク加圧液室、8はインク供給側流路
、9はインク供給パイプ、10は振動基板、11はダイ
ヤフラム、12は支持体、13は振動ユニットで、該振
動ユニット13は電気機械変換素子2と弾性板3とを接
着して構成されている。流路基板5は樹脂等で構成され
、ノズル1、インク供給側流路8、インク加圧液室7等
が一体的に成形されている。振動基板IOも樹脂等によ
り構成され、ダイヤフラムll、連結部4、支持体12
が一体的に成形されている。上記インクジェットヘッド
は、周知のように、振動ユニット13によって、ダイヤ
フラム11を変位させてインク加圧液室7内のインクを
加圧してノズルlよりインク滴6を噴射させて図示しな
い記録紙に記録を行うもので、前記振動ユニットは、第
1O図に示すように櫛歯状に構成され、マルチノズル構
造となっている。
FIG. 9 is a cross-sectional configuration diagram showing an example of a conventional on-demand multi-nozzle inkjet head, and FIG. 10 is a perspective view thereof. In the figure, 1 is a nozzle, 2 is an electromechanical transducer, and 3 1 is an elastic plate, 4 is a connecting portion, 5 is an ink flow path substrate, 6 is an ink droplet, 7 is an ink pressurized liquid chamber, 8 is an ink supply side flow path, 9 is an ink supply pipe, 10 is a vibration substrate, 11 is an A diaphragm, 12 a support body, 13 a vibration unit, and the vibration unit 13 is constructed by bonding an electromechanical transducer 2 and an elastic plate 3. The channel substrate 5 is made of resin or the like, and the nozzle 1, the ink supply channel 8, the ink pressurized liquid chamber 7, etc. are integrally molded. The vibration substrate IO is also made of resin or the like, and includes a diaphragm 11, a connecting portion 4, and a support body 12.
is integrally molded. As is well known, in the inkjet head, the vibration unit 13 displaces the diaphragm 11 to pressurize the ink in the ink pressurized liquid chamber 7 and eject ink droplets 6 from the nozzles 1 to record on recording paper (not shown). As shown in FIG. 1O, the vibration unit has a comb-teeth shape and has a multi-nozzle structure.

而して、上述のごときマルチノズルのインクジェットヘ
ッドにおいては、振動ユニットは、部品コスト的にみて
、単体となったものより一体型の方が有利であり、ユニ
ット接着時及びヘッドへの組立時の取り扱い性、位置精
度管理等に対しても一体型の方が勝っている。
Therefore, in the multi-nozzle inkjet head as described above, it is more advantageous to have an integrated vibrating unit than a single unit in terms of parts cost, and it is easier to install the vibrating unit when adhering the unit and when assembling it to the head. The integrated type is also superior in terms of ease of handling, position accuracy control, etc.

しかし、一体型とした場合、パルス印加により駆動され
た振動ユニットの振動が他の振動ユニットへ機械的に伝
播するという振動ユニット間の相互干渉の度合が、単体
の振動ユニットを複数個配設した場合よりも大きくなる
という問題があるが、これは、櫛歯の元の部分で電気機
械変換素子及び弾性板がともに一体構造となっているた
めである。
However, when an integrated type is used, the degree of mutual interference between the vibration units, in which the vibration of the vibration unit driven by pulse application is mechanically propagated to other vibration units, makes it difficult to install multiple single vibration units. There is a problem that the size is larger than in the case of the comb teeth, but this is because the electromechanical transducer and the elastic plate are both integrated in the original part of the comb teeth.

第11図は、上述のごとき櫛歯状の振動ユニット13の
製造方法の一例を示す図で、まず、(a)図に示すよう
に、長方形の電気機械変換素子を回転切削加工等により
溝切り加工して櫛歯状電気機械変換素子2に形成すると
ともに、長方形の弾性板をプレス加工、エツチング加工
等により櫛歯状の弾性板3に形成し、これら別々に櫛歯
状に形成された電気機械変換素子2と弾性板3を接着し
て(b)図に示すような振動ユニット13を構成してい
た。
FIG. 11 is a diagram showing an example of a method for manufacturing the comb-shaped vibration unit 13 as described above. First, as shown in FIG. At the same time, a rectangular elastic plate is formed into a comb-shaped elastic plate 3 by pressing, etching, etc., and these separately formed comb-shaped electromechanical transducers are The mechanical transducer element 2 and the elastic plate 3 were bonded together to form a vibration unit 13 as shown in Figure (b).

しかし、上記従来の製造方法によると、櫛歯状電気機械
変換素子2は、加工時に櫛歯の一部が欠損したり、加工
後、接着するまでの間も取り扱いに十分注意を払う必要
があり、更には、接着加工時にも割れが発生しやすく、
歩留りが悪かった。
However, according to the above-mentioned conventional manufacturing method, the comb-shaped electromechanical transducer 2 may lose some of the comb teeth during processing, and must be handled with great care after processing until it is bonded. Furthermore, cracks are likely to occur during the bonding process.
Yield was poor.

また、接着時、櫛歯状電気機械変換素子2と弾性板3の
位置合わせや、櫛歯間の接着剤の流出にも注意しなけれ
ばならなかった。
Furthermore, when bonding, care must be taken to align the comb-shaped electromechanical transducer 2 and the elastic plate 3 and to prevent the adhesive from flowing out between the comb teeth.

置方 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、一体型の櫛歯状振動ユニットにおいて、機械的な
振動伝播による相互干渉をなくすこと、簡単かつ歩留り
よく加工できるようにすること、更には、振動ユニット
のヘッドへの組立時に、より容易にかつ正確に位置出し
できるようにすること等を目的としてなされたものであ
る。
The present invention was made in view of the above-mentioned circumstances.
In particular, in an integrated comb-shaped vibration unit, it is necessary to eliminate mutual interference due to mechanical vibration propagation, to enable easy and high-yield processing, and to make it easier to assemble the vibration unit to the head. This was done for the purpose of enabling accurate positioning.

1威 本発明は、上記目的を達成するために、多数個のノズル
と、各ノズルに対応した多数個のインク加圧液室と、該
インク加圧液室の体積を変化させる振動ユニットとを有
し、前記インク加圧液室は少なくとも壁の一部が弾性体
で形成され、該弾性体が前記振動ユニットで変位されて
前記インク加圧液室の体積が変化され、それによって、
前記ノズルよりインク滴を噴射させるようにしたインク
ジェットヘッドにおいて、前記振動ユニットは、櫛歯状
の弾性板と、該櫛歯状弾性板の各櫛歯部に配置された短
冊型の電気機械変換素子とを有し、該櫛歯状弾性板の櫛
歯溝の長さlが前記電気機械変換素子の長手方向長さし
に対して、l≧してあること、或いは、電気機械変換素
子板と弾性板を接着し、接着後に溝切りして櫛歯状振動
ユニットにすることを特徴としたものである。以下、本
発明の実施例に基づいて説明する。
1. In order to achieve the above object, the present invention includes a large number of nozzles, a large number of ink pressurizing liquid chambers corresponding to each nozzle, and a vibration unit that changes the volume of the ink pressurizing liquid chamber. At least a part of the wall of the ink pressurizing liquid chamber is formed of an elastic body, and the elastic body is displaced by the vibration unit to change the volume of the ink pressurizing liquid chamber, thereby,
In the inkjet head configured to eject ink droplets from the nozzle, the vibration unit includes a comb-shaped elastic plate and a strip-shaped electromechanical transducer arranged at each comb-shaped part of the comb-shaped elastic plate. and the length l of the comb-tooth grooves of the comb-shaped elastic plate is l ≧ with respect to the length in the longitudinal direction of the electromechanical transducer element, or the electromechanical transducer plate and This device is characterized by bonding elastic plates and cutting grooves after bonding to form a comb-shaped vibrating unit. Hereinafter, the present invention will be explained based on examples.

第1図は、本発明による振動ユニット及びその製造方法
を説明するための図で、まず、(a)図に示すように、
長方形の電気機械変換素子2aと長方形の弾性板3aを
接着し、その後、(b)図に示すように、回転切削加工
等により、これら変換素子2aと弾性板3aを同時に溝
切り加工し、櫛歯状の振動ユニットとするものである。
FIG. 1 is a diagram for explaining the vibration unit and its manufacturing method according to the present invention. First, as shown in FIG.
The rectangular electromechanical transducer 2a and the rectangular elastic plate 3a are bonded together, and then, as shown in FIG. This is a tooth-shaped vibration unit.

この時溝切りの長さlは、電気機械変換素子2aの切削
方向の長さLに対して、E≧Lになるようにすると、変
換素子は櫛歯状振動ユニット21.22(図において2
2以降はまだ切断されていない)は完全に分断され、櫛
歯状の弾性板3aと多数個の短冊形の電気機械変換素子
2+、2z・・・を有する構成となる。従って、各電気
機械変換素子は分離されているので、第10図に示した
従来の振動ユニットに比して、振動ユニット間の振動伝
播が減少し、相互干渉が減少する。また、櫛歯状の弾性
板3aの上に短冊形の電気機械変換素子を1枚ずつ接着
する場合に比し、加工が容易で、各ユニット間のバラツ
キも少なく、接着時の位置精度や許容範囲を大きくとる
ことができる。また、周知のように、振動ユニットの歯
先部には、連結部4を接合するための溝3′ (第10
図では丸穴3゛)が加工されるが、(c)図においては
、接着時、櫛歯状電気機械変換素子2aと弾性板3aを
先端部で位置をずらして接着し、弾性板3aのみ連結部
接合用の溝加工3°を施すようにした例を示している。
At this time, if the length l of the groove cutting is set so that E≧L with respect to the length L of the electromechanical transducer 2a in the cutting direction, the transducer will be connected to the comb-shaped vibration unit 21, 22 (in the figure, 2
2 and subsequent parts (not yet cut) are completely divided, resulting in a configuration including a comb-like elastic plate 3a and a large number of rectangular electromechanical transducers 2+, 2z, . . . Therefore, since each electromechanical transducer element is separated, vibration propagation between the vibration units is reduced and mutual interference is reduced compared to the conventional vibration unit shown in FIG. In addition, compared to bonding rectangular electromechanical transducers one by one on the comb-shaped elastic plate 3a, processing is easier, there is less variation between each unit, and positional accuracy and tolerance during bonding are improved. The range can be widened. In addition, as is well known, the tooth tips of the vibration unit have grooves 3' (10th
In the figure, a round hole 3') is machined, but in figure (c), when bonding, the comb-shaped electromechanical transducer 2a and the elastic plate 3a are bonded with their tips shifted in position, and only the elastic plate 3a is bonded. An example is shown in which a 3° groove is formed for joining the connecting portion.

而して、上記第1図に示した実施例は、電気機械変換素
子板2aと弾性板3aを同時に切断するものであるが、
通常、電気機械変換素子2aはセラミックであり、弾性
板3aは金属を使用するので、異材質の性質の差異に起
因して切削条件の設定が厳しくなる。
In the embodiment shown in FIG. 1, the electromechanical transducer plate 2a and the elastic plate 3a are cut at the same time.
Normally, the electromechanical transducer 2a is made of ceramic and the elastic plate 3a is made of metal, so the setting of cutting conditions becomes strict due to the difference in the properties of the different materials.

第2図は、上述のごとき不都合を解消した実施例を説明
するための図で、まず、(a)図に示すように、長方形
の電気機械変換素子2aと櫛歯状の弾性体3を準備し、
これらを(b)図に示すよ      3うに接着し、
その後、櫛歯状弾性体3の切溝に沿って電気機械変換素
子2aを切断するようにしたもので、このようにすると
、溝切り加工は電気機械変換素子2aのみを行えばよい
ので、前述のごとき不都合は生じない。なお、この時、
弾性板3の櫛歯溝長lに対して電気機械変換素子2aの
切断方向長さしは、L≦βとなっている。また、(d)
図は(b)図のd−d線断面図であるが、各振動ユニッ
ト部において、弾性板の幅方向の長さWlは、電気機械
変換素子の幅方向長さW2に対してW1≦W2となって
いる。すなわち、弾性板の櫛歯溝幅よりも薄い歯厚の切
削加工具を用いることにより、電気機械変換素子のみを
切断して櫛歯状振動ユニットを構成するようにしており
、これにより、セラミックのみの切断を可能にし、ダイ
ヤモンドカッター等によって容易に加工できるようにし
ている。また、櫛歯状の弾性体3は、<c>図に示すよ
うに、櫛歯溝部に連接部3”を有するものでもよく、櫛
歯状弾性体にこのような連接部3”を設けてお(時は、
電気機械変換素子を接着する前の取り扱い時、櫛歯部が
切損する恐れが少な(なる。なお、この場合、連接部3
”は電気機械変換素子を溝切りする時に同時に切断され
る。
FIG. 2 is a diagram for explaining an embodiment that eliminates the above-mentioned disadvantages. First, as shown in FIG. death,
Glue these together as shown in figure (b).
Thereafter, the electromechanical transducer 2a is cut along the kerfs of the comb-like elastic body 3. In this way, the grooving process only needs to be performed on the electromechanical transducer 2a. No such inconvenience will occur. Furthermore, at this time,
The length of the electromechanical transducer 2a in the cutting direction with respect to the comb tooth groove length l of the elastic plate 3 satisfies L≦β. Also, (d)
The figure is a cross-sectional view taken along the line dd in FIG. It becomes. In other words, by using a cutting tool whose teeth are thinner than the comb tooth groove width of the elastic plate, only the electromechanical transducer is cut to form the comb tooth vibration unit. This makes it possible to cut and process easily with a diamond cutter, etc. Further, the comb-shaped elastic body 3 may have a connecting portion 3'' in the comb-teeth groove portion, as shown in Fig. <c>. Oh (at the time,
When handling the electromechanical transducer before gluing it, there is less risk of the comb teeth being cut.
” is cut at the same time as the electromechanical transducer is cut into grooves.

第3図は、本発明による振動ユニットを製作するのに好
適な弾性板3の他の例を示す平面図で、この実施例は、
弾性板3に位置決め用の穴3bを設けたものであり、こ
のようにすると、溝切削時の加工精度を管理することが
でき、例えば、第4図に示すように、多数枚を位置決め
して重ねて同時に溝切削加工が可能となる。
FIG. 3 is a plan view showing another example of the elastic plate 3 suitable for manufacturing the vibration unit according to the present invention.
A hole 3b for positioning is provided in the elastic plate 3. In this way, the machining accuracy during groove cutting can be controlled. For example, as shown in FIG. It is possible to overlap and cut grooves at the same time.

而して、上述のごとくして製作された振動ユニットを振
動基板へ取り付ける時の位置精度管理について、従来は
、連結部4と振動ユニット先端部に形成された弾性板の
接続穴3°にょって行っていたが、この従来技術による
と、必要な精度を出すためには、連結部4に対する接続
穴3“の寸法差が小さく、複数個の連結部を円滑に接続
穴にセットすることが難しく、これが組立の自動化に対
する障害となっていた。
In order to control the positional accuracy when attaching the vibrating unit manufactured as described above to the vibrating board, conventionally, the connection hole between the connecting part 4 and the elastic plate formed at the tip of the vibrating unit is set at a 3° angle. However, according to this prior art, in order to achieve the necessary accuracy, the dimensional difference between the connection hole 3'' and the connection part 4 is small, and it is necessary to smoothly set the plurality of connection parts in the connection hole. This has been an obstacle to automating assembly.

第5図は、上述のごとき従来技術の欠点を解消したイン
クジェットヘッドの一実施例を示す断面図、第6図は、
斜視図で、図中、第9図及び第10図と同様の作用をす
る部分には、第9図及び第10図と同一の参照番号が付
しである。
FIG. 5 is a sectional view showing an embodiment of an inkjet head that eliminates the drawbacks of the prior art as described above, and FIG.
In the perspective view, the same reference numerals as in FIGS. 9 and 10 are given to parts that have the same functions as in FIGS. 9 and 10.

而して、この実施例においては、振動基板10に位置決
め用のビン14が一体的に形成されており、この位置決
めビン14と第3図に示した位置決め穴3bとによって
位置精度を管理するようにしている。従って、この実施
例によると、連結部4に対して接続穴3′は寸法差を十
分にとることができ、自動化ラインにおいても振動ユニ
ットを容易に振動基板へ取り付けることができる。
In this embodiment, a positioning pin 14 is integrally formed on the vibrating substrate 10, and the positioning accuracy is managed by this positioning pin 14 and the positioning hole 3b shown in FIG. I have to. Therefore, according to this embodiment, the connection hole 3' can have a sufficient dimensional difference with respect to the connection part 4, and the vibration unit can be easily attached to the vibration board even in an automated line.

第7図は、振動ユニットの電気取り出し用としてフレキ
シブル基板15を装着した場合の実施例を示す斜視図で
あり、この場合において、フレキシブル基板15に前記
櫛歯状弾性板3に設けた位置決め用穴3bに相当する位
置決め用穴を設けることにより、位置出しが可能となる
FIG. 7 is a perspective view showing an embodiment in which a flexible board 15 is attached for the purpose of extracting electricity from the vibration unit. By providing a positioning hole corresponding to 3b, positioning becomes possible.

第8図は、上述のごとき振動ユニットを用いてインクジ
ェットヘッドを構成した場合の斜視図で、上記振動ユニ
ットは、ノズル数、ヘッドの形状等によって櫛歯状振動
ユニットを複数個に分割した形で配置することが可能で
、例えば(a)図に示すように2個の振動ユニット■及
び■を直列に配置しても、或いは(b)図に示すように
並列に配置してもよい。
FIG. 8 is a perspective view of an inkjet head constructed using the above-mentioned vibration unit. For example, the two vibration units (2) and (2) may be arranged in series as shown in (a), or in parallel as shown in (b).

立来 以上の説明から明らかなように、本発明によると、 (イ)Iff歯状の弾性体に短冊形の複数個の電気機械
変換素子を配設した構成とする一体型の櫛歯状振動ユニ
ットによって、機械的振動による相互干渉を低減するこ
とができる。
As is clear from the above description, according to the present invention, (a) an integrated comb-like vibration having a configuration in which a plurality of rectangular electromechanical transducers are arranged on an If tooth-like elastic body; The unit makes it possible to reduce mutual interference due to mechanical vibrations.

(ロ)上述のごとき構成による一体型の櫛歯状振動ユニ
ットを容易に加工することができる。
(b) An integrated comb-shaped vibration unit having the above-described configuration can be easily fabricated.

(ハ)振動ユニットの加工を容易にし、量産性を上げる
ことができる。
(c) It is possible to easily process the vibration unit and increase mass productivity.

(ニ)振動ユニットの振動基板への組付が容易となる。(d) It becomes easy to assemble the vibration unit to the vibration board.

                         
  3等の利点がある。

There is an advantage of 3rd class.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明による振動ユニット及びその製造方法
を説明するための図、第2図は、本発明の他の実施例を
説明すための図、第3図は、本発明の実施に使用する櫛
歯状弾性板の一例を示す平面図、第4図は、振動ユニッ
ト製造方法の一例を説明するための図、第5図は、本発
明によるインクジェットヘッドの他の実施例を示す断面
構成図、第6図は、斜視図、第7図及び第8図は、それ
ぞれ本発明の他の実施例を示す斜視図、第9図は、従来
のインクジェットヘッドの一例を示す断面図、第1θ図
は、その斜視図、第11図は、従来の振動ユニット及び
その製造方法の一例を示す図である。 2a・・・電気機械変換素子t3a・・・櫛歯状弾性板
。 3b・・・位置決め用の穴、13・・・振動ユニット1
4・・・位置決めビン。
FIG. 1 is a diagram for explaining the vibration unit and its manufacturing method according to the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram for explaining the implementation of the present invention. FIG. 4 is a plan view showing an example of a comb-like elastic plate used, FIG. 4 is a diagram for explaining an example of a vibration unit manufacturing method, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing another embodiment of an inkjet head according to the present invention. 6 is a perspective view, FIGS. 7 and 8 are perspective views showing other embodiments of the present invention, and FIG. 9 is a sectional view showing an example of a conventional inkjet head. The 1θ diagram is a perspective view thereof, and FIG. 11 is a diagram showing an example of a conventional vibration unit and its manufacturing method. 2a... Electromechanical transducer element t3a... comb-like elastic plate. 3b...Positioning hole, 13...Vibration unit 1
4...Positioning bin.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)、多数個のノズルと、各ノズルに対応した多数個
のインク加圧液室と、該インク加圧液室の体積を変化さ
せる振動ユニットとを有し、前記インク加圧液室は少な
くとも壁の一部が弾性体で形成され、該弾性体が前記振
動ユニットで変位されて前記インク加圧液室の体積が変
化され、それによって、前記ノズルよりインク滴を噴射
させるようにしたインクジェットヘッドにおいて、前記
振動ユニットは、櫛歯状の弾性板と、該櫛歯状弾性板の
各櫛歯部に配置された短冊型の電気機械変換素子とを有
し、該櫛歯状弾性板の櫛歯溝の長さlが前記電気機械変
換素子の長手方向長さLに対して、l≧Lであることを
特徴とするインクジェットヘッドの振動ユニット。
(1) It has a large number of nozzles, a large number of ink pressurizing liquid chambers corresponding to each nozzle, and a vibration unit that changes the volume of the ink pressurizing liquid chamber, and the ink pressurizing liquid chamber is At least a part of the wall is formed of an elastic body, and the elastic body is displaced by the vibration unit to change the volume of the ink pressurized liquid chamber, thereby ejecting ink droplets from the nozzle. In the head, the vibration unit includes a comb-shaped elastic plate and a rectangular electromechanical transducer element disposed on each comb-shaped part of the comb-shaped elastic plate. A vibration unit for an inkjet head, wherein a length l of the comb tooth groove is l≧L with respect to a longitudinal length L of the electromechanical transducer.
(2)、前記弾性板の各櫛歯状部における幅W_1が前
記電気機械変換素子の各櫛歯状部における幅W_2に対
してW_1≦W_2であることを特徴とする特許請求の
範囲第(1)項に記載のインクジェットヘッドの振動ユ
ニット。
(2) The width W_1 of each comb-shaped portion of the elastic plate satisfies W_1≦W_2 with respect to the width W_2 of each comb-shaped portion of the electromechanical transducer. The vibration unit of the inkjet head according to item 1).
(3)、前記櫛歯状弾性板に位置決め用のピン穴を有す
ることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項又は第(
2)項に記載のインクジェットヘッドの振動ユニット。
(3) The comb-like elastic plate has pin holes for positioning.
The vibration unit of the inkjet head according to item 2).
(4)、電気機械変換素子板と弾性板を接着し、接着後
に溝切りして櫛歯状振動ユニットにすることを特徴とす
るインクジェットヘッドの振動ユニット製造方法。
(4) A method for manufacturing a vibration unit for an inkjet head, which comprises bonding an electromechanical transducer plate and an elastic plate, and cutting grooves after bonding to form a comb-shaped vibration unit.
(5)、前記電気機械変換素子板又は弾性体のいずれか
一方が接着前に予め櫛歯状に溝切りされていることを特
徴とする特許請求の範囲第(4)項に記載のインクジェ
ットヘッドの振動ユニット製造方法。
(5) The inkjet head according to claim (4), wherein either the electromechanical transducer plate or the elastic body is grooved in a comb-like shape before bonding. Vibration unit manufacturing method.
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