JPS61269563A - Device for correcting feeding pitch error - Google Patents

Device for correcting feeding pitch error

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JPS61269563A
JPS61269563A JP11235885A JP11235885A JPS61269563A JP S61269563 A JPS61269563 A JP S61269563A JP 11235885 A JP11235885 A JP 11235885A JP 11235885 A JP11235885 A JP 11235885A JP S61269563 A JPS61269563 A JP S61269563A
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JP
Japan
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pitch error
scanning direction
sub
sub scanning
diameter
Prior art date
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Application number
JP11235885A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Yao
耕次 八尾
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
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    • H04N1/40Picture signal circuits

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Abstract

PURPOSE:To correct uneven recording by applying main scanning and sub scanning while applying flicker exposure control to spots arranged in sub scanning direction independently so as to detect a feeding pitch error in the sub scanning direction of the spots thereby controlling the diameter of each spot based on the detected value. CONSTITUTION:A rotary drum 1 is driven by a main scanning motor 2 and an exposure head 3 is fed in the sub scanning direction by a feeding mechanism comprising a sub scanning motor 4 and a feeding screw 5. An output pulse of a rotary encoder 7 fitted to the drum 1 forms a sub scanning position command pulse (a), the pulse (a) and a real position feedback pulse (b) from a linear scale 10 are compared to drive the motor 4. An acoustooptic modulator (AOM) driver 12 receives an error signal (c) from a driver 11 and an on/off dot signal (d) from a computer 13 to control the AOM in the head 3 so as to change the diameter of a beam spot at each channel. Thus, the recording uneveness on a photosensitive member produced due to a feeding pitch error in the sub scanning direction is corrected.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、例えばラスタープロッターのように、光点
を点滅露光制御しつつ主・副走査を行なって感材上に画
像を記録する装置に関し、特に、そのような装置の副走
査方向の送りピッチ誤差によって生じる感材上の記録む
らを補正するための装置に関する。
Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a device, such as a raster plotter, which records an image on a photosensitive material by performing main and sub-scanning while controlling blinking exposure of a light spot. In particular, the present invention relates to an apparatus for correcting recording unevenness on a photosensitive material caused by a feed pitch error in the sub-scanning direction of such an apparatus.

(従来技術とその問題点) ラスタープ0ツタ−において精度良く画像を記録するた
めには、主・副走査方向にそれぞれ等ビッヂに分割され
た微小画素の各々を、光ビームスポット(光点)によっ
てピッチむらなく点滅露光する必要があり、このため従
来から、主走査方向および副走査方向のピッチ精邸を向
上させるための方法が種々提案されている。例えば、副
走査方向のピッチ積置を向にさせる方法としては、露光
−U 、絶対的な送り誤差を小さくする方法が、従来か
ら一般的に行なわれている。しかしながら、このような
送りm構の粘度;性能の向上には自ずと限界がある。ま
た、送りピッチを検出してサーボ系を制御することも従
来から行なわれているが、機械系の遅れにより追従誤差
が発生ずる。
(Prior art and its problems) In order to record images with high precision in raster printing, each micropixel divided into equal bits in the main and sub-scanning directions must be detected by a light beam spot. It is necessary to perform blinking exposure without pitch unevenness, and for this reason, various methods have been proposed to improve the pitch precision in the main scanning direction and the sub-scanning direction. For example, as a method of changing the pitch stacking in the sub-scanning direction, exposure-U and a method of reducing the absolute feed error have been commonly used. However, there is naturally a limit to the improvement in viscosity and performance of such a feed mechanism. Furthermore, although it has been conventionally practiced to detect the feed pitch and control the servo system, tracking errors occur due to delays in the mechanical system.

このような理由から、副走査り向の送りピッチに微小な
“むら″が生じること【、1避け、難く、そして、送り
ピッチに゛むら″がある場5合には、ビーム間隔が一定
でなくイrす、記録画像の主走査方向のビームスポット
が蛇行してしまう。そして、結果と1ノで、記録した画
線の幅が一定とならない。
For these reasons, slight "unevenness" may occur in the feed pitch in the sub-scanning direction. Otherwise, the beam spot in the main scanning direction of the recorded image will meander.As a result, the width of the recorded image line will not be constant.

特にマルチビーム同時露光方式では、1回の主走査にと
もなう副走査送りピッチをビー11本数で分割した微小
なスポットを露光する必要があり、またそれだけ緻密な
画像が要求される場合が多く、したがって副走査送りピ
ッチ誤差による焼0けピッチ誤差は、他の場合と比べて
一層も1容され勤い、ものとなる。また、PWB (プ
リント配線基板)の口前をフィルム上に露光記録する場
合には、ピ、ツチむらによ?て記録線幅が意図した太さ
になら、ず、PWB製作後の検査において、不良とされ
るものが多くなる。不良を少くするため、記録画線幅が
意図する太さになることが望まれるのである。
In particular, in the multi-beam simultaneous exposure method, it is necessary to expose a minute spot by dividing the sub-scan feed pitch of one main scan by the number of 11 beams, and in many cases, a highly detailed image is required. The burnout pitch error due to the sub-scanning feed pitch error is much more significant than in other cases. Also, when recording the exposure of the front side of a PWB (printed wiring board) on film, it is necessary to avoid uneven spots. If the recorded line width does not reach the intended thickness, many PWBs will be found to be defective during inspection after manufacturing. In order to reduce defects, it is desirable that the recorded line width be as thick as intended.

(発明の目的) それゆえに、この発明の目的は、上記従来技術、の問題
点を解決し、副走査方向に送りピッチ誤差が発生した場
合に、ビーム間にすき間が生じることのない大きさのビ
〜ムスポツ1〜を選び、かつビームスポットがほぼ直線
に整列し、画線幅が所要の値となる送りピッチ誤差補正
装置を提供することである。
(Objective of the Invention) Therefore, the object of the present invention is to solve the problems of the prior art described above, and to create a system of such a size that no gap is created between the beams when a feed pitch error occurs in the sub-scanning direction. To provide a feed pitch error correction device which selects beam spots 1, aligns the beam spots substantially in a straight line, and provides a required line width.

(目的を達成するだめの手段) 上記目的を達成するため、この発明による送りピッチ誤
差補正装置は、光点の副走査方向の送りピッチ誤差を検
出する手段と、検出した送りピッチ誤差に基づいて光点
の径を制御する手段とを備えて構成されており、送りピ
ッチ誤差によって発生する光点のすぎ間はビームを大ぎ
めにすることにより排除して、感材上の記録むらを補正
するようにしている。
(Means for Achieving the Object) In order to achieve the above object, the feed pitch error correction device according to the present invention includes means for detecting the feed pitch error in the sub-scanning direction of the light spot, and a means for detecting the feed pitch error in the sub-scanning direction of the light spot. The device is configured to include a means for controlling the diameter of the light spot, and the gap between the light spots caused by the feed pitch error is eliminated by making the beam larger, thereby correcting recording unevenness on the sensitive material. That's what I do.

(実施例) 第1図は、この発明による送りピッチ誤差補正装置の一
実施例を示すブロック図である。この送りピッチ誤差補
正装置は、例えば第2図に示ず回転ドラム型ラスタープ
ロッターに適用される。
(Embodiment) FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a feed pitch error correction device according to the present invention. This feed pitch error correction device is applied to, for example, a rotating drum type raster plotter not shown in FIG.

第2図において、回転ドラム1は主走査モータ2により
回転駆動されるとともに、露光ヘッド3は、副走査を一
層4および送りねじ5から成る送り機構により副走査方
向に送られる。この場合、主走査モータ2として同期モ
ータを使用すると、電源の周波数変動に比例してドラム
10回転数が変動するので、副走査モータ4を一定速度
で回転させると、フィルム6Fに焼きf41Jられた画
像は副走査方向に伸縮したものとなり、絶対的\1法誤
差が発生する。そこで、回転ドラム1に取り付けられた
ロータリJン]−ダ7の出力パルスをPlU回路8およ
び分周器9に通して副走査位置指令パルスaを作成し、
この副走査位置指令パルスaとリニアスケール10から
の実際の副走査位置を示す実位置フィードバックパルス
bとの比較において、モータドライバ11により副走査
モータ4を駆動して、主走査方向の回転速度と副走査方
向の送り速度とを同期させるようにしている。露光ヘッ
ド3は例えば10チヤネルマルチビ一ム方式のヘッドで
あって、AOMドライバ12からの駆動信号に応答して
、副走査方向に配列された10チャネル分のドツトの0
N10FFの制御の他、1チヤネルごとのパワー制御ら
可能なように構成されている。AOMドライバ12は、
モータドライバ11からの誤差信号C(後述する)と画
像処理を行なうコンビュー夕13からの0N10FFド
ツト信号dとを受けて、露光ヘッド3内の図示しない八
〇M(音響光学変調器)を制御するための信号を作成す
る。
In FIG. 2, a rotating drum 1 is rotationally driven by a main scanning motor 2, and an exposure head 3 is sent in the sub-scanning direction by a feeding mechanism consisting of a layer 4 and a feed screw 5. In this case, if a synchronous motor is used as the main scanning motor 2, the number of rotations of the drum 10 will vary in proportion to the frequency variation of the power supply, so if the sub-scanning motor 4 is rotated at a constant speed, the film 6F will be printed with f41J. The image is expanded or contracted in the sub-scanning direction, and an absolute \1 error occurs. Therefore, the output pulse of the rotary cylinder 7 attached to the rotating drum 1 is passed through the PlU circuit 8 and the frequency divider 9 to create the sub-scanning position command pulse a.
In comparing this sub-scanning position command pulse a with the actual position feedback pulse b indicating the actual sub-scanning position from the linear scale 10, the sub-scanning motor 4 is driven by the motor driver 11, and the rotational speed in the main scanning direction is The feed speed in the sub-scanning direction is synchronized. The exposure head 3 is, for example, a 10-channel multi-beam type head, and responds to drive signals from the AOM driver 12 to zero out dots for 10 channels arranged in the sub-scanning direction.
In addition to controlling the N10FF, it is configured to enable power control for each channel. The AOM driver 12 is
In response to an error signal C (described later) from the motor driver 11 and an 0N10FF dot signal d from the computer 13 that performs image processing, an 80M (acousto-optic modulator) (not shown) in the exposure head 3 is controlled. Create a signal for

第1図において、第1カウンタ14は、第2図の分周器
9からの位置指令パルスaを積輝し、−方、第2カウン
タ15Gよ、リニアスクール10からの実位買フィード
バックパルスbを積紳する。
In FIG. 1, the first counter 14 multiplies the position command pulse a from the frequency divider 9 in FIG. Accumulate.

演詐論理−〕ニット(ALU)16は、第1および第2
カリンク14.15の内容を受【ノて、第1カウンタ1
4のカウンタ1直から第2カウンタ15のカウント鮪を
減粋し、その結束をD/Amンバータ17にりえる。
Deception logic -] The unit (ALU) 16 is the first and second
After receiving the contents of the link 14.15, the first counter 1
The number of tuna counted on the second counter 15 is reduced from the first counter of 4, and the bundle is sent to the D/Am converter 17.

D/A :]ンバータ17の出力値は、副走査位置指令
に対する実際の副走査位置の誤差を表わしており、この
誤差信号Cと副走査モータ4の回転速度を検知り−るり
こ1ジ■ネレータ18の出力信号とを差動増幅器19に
入力して、その出力により副走査モータ4の回転数を制
御する。このように速度ループを形成しておくことにJ
−って、誤差がゼロとイにるように副走査モータ4が回
転することになる。
D/A:] The output value of the converter 17 represents the error of the actual sub-scanning position with respect to the sub-scanning position command, and this error signal C and the rotational speed of the sub-scanning motor 4 are detected. 18 is input to a differential amplifier 19, and the rotation speed of the sub-scanning motor 4 is controlled by its output. By forming a velocity loop like this,
-, the sub-scanning motor 4 rotates so that the error is zero.

即想的には、D/Aコンバータ17の出力値は一定値ど
なるが、実際にはねじのピッチ誤差や送り負荷変動があ
るため、D/Aコンバータ17の出力側にLe&、一定
値十数ビッ1〜分に相当する微変動を含んだ電圧が発生
する。この電圧変動幅は、速度ループのゲインおよび位
置ループ(リニアスケール10.ALU16を含むルー
プ)のゲインを系の安定領域内でできるだt−J上げる
ことにより、ある程痩小さく抑えることができるが、ぜ
口にすることは不可能である。したがって、このままで
はビーム間隔が一定でなくなり、記録画像の画線、特に
主走査方向に平行なまたは平行に近い画線の幅にむらが
生じてしまう。
Immediately, the output value of the D/A converter 17 is a constant value, but in reality, there are screw pitch errors and feed load fluctuations, so the output value of the D/A converter 17 is Le A voltage containing slight fluctuations corresponding to bits 1 to 1 is generated. This voltage fluctuation width can be suppressed to a certain extent by increasing the gain of the speed loop and the gain of the position loop (the loop including the linear scale 10 and ALU 16) by t-J within the stability region of the system. , it is impossible to say anything. Therefore, if this continues, the beam interval will not be constant, and the width of the image line of the recorded image, especially the image line parallel or nearly parallel to the main scanning direction, will become uneven.

そこで、D/Aコンバータ17の出力信号(誤差信号C
)を用いて、第2図のコンピュータ13からの各1ch
〜10chの0N10FFドツト信号dに対して、以下
に説明するような補正を行なう。すなわち、奇数チャネ
ルの0N10FFドツト信号d。DOに対しては、誤差
信号Cを反転した信号てとの積を乗篩器20により求め
、その乗算出力を各奇数チャネルAOMドライバ21に
入力する。また、偶数チャネルの0N10FFドツi・
信号dEVENに対しては、誤差信号Cの非反転信号C
′との積を乗輝器22により求め、その乗算出力を各偶
数チャネルAOMドライバ23に入力する。各AOMド
ライバ21.23は、入力信号に応じて、第2図の露光
ヘッド3内の図示しない八〇Mを駆動するための信号を
作成する。そして、この駆動伏目に応答して、各チャネ
ル出力ビームのパワーの強弱制御が行なわれ、それに伴
ってビームスポット(光点)の径が各チャネルごとに変
化する。
Therefore, the output signal of the D/A converter 17 (error signal C
), each 1ch from the computer 13 in FIG.
The following correction is performed on the 0N10FF dot signal d of ~10ch. That is, the 0N10FF dot signal d of the odd channel. For DO, the product of the error signal C and the inverted signal C is obtained by the multiplier 20, and the multiplication output is input to each odd channel AOM driver 21. In addition, even-numbered channel 0N10FF dot i・
For the signal dEVEN, the non-inverted signal C of the error signal C
' is calculated by the multiplier 22, and the multiplication output is input to each even channel AOM driver 23. Each AOM driver 21, 23 creates a signal for driving 80M (not shown) in the exposure head 3 of FIG. 2 in response to an input signal. In response to this drive offset, the power of each channel's output beam is controlled to be strong or weak, and the diameter of the beam spot (light spot) changes for each channel accordingly.

なお、第1図において、奇数チャネルライン24および
偶数チャネルライン25はそれぞれ包括的に示したもの
であり、奇数チャネルライン24(よ実際にG、Llc
h、3ch、5ch、7ch、9chの5ヂャネル分存
在し、偶数チャネルライン22は、実際には2ch、4
−ch、6ch、8ch、10chの5チャネル分存在
するものである。
In FIG. 1, the odd channel line 24 and the even channel line 25 are shown comprehensively, and the odd channel line 24 (actually G, Llc
There are 5 channels: h, 3ch, 5ch, 7ch, and 9ch, and the even channel line 22 is actually 2ch, 4ch.
There are five channels: -ch, 6ch, 8ch, and 10ch.

第3図は、上述の補正ににつで1qられる、D/Aコン
バータ17の出力値に対するピームスポット径の変化の
様子を示す説明図である。奇数チャネルでは、D / 
A mlンバータ17の出力値が大きくなるに従ってビ
ームスボッ]・径は減少し、偶数チャネルでは、D/A
コンバータ17の出力値が大きくなるに従ってビームス
ポット径は増大している。両直線の交点では、位置誤差
がU口となっていて、ビームスポットは充分に重なり合
う大きさになっている。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing how the beam spot diameter changes with respect to the output value of the D/A converter 17, which is calculated by 1q during the above-described correction. For odd channels, D/
As the output value of the Aml inverter 17 increases, the beam diameter decreases, and in even channels, the D/A
The beam spot diameter increases as the output value of the converter 17 increases. At the intersection of both straight lines, the positional error is U-shaped, and the beam spots are large enough to overlap sufficiently.

このような補正を行なった場合の副走査方向の画像のつ
ながり方を、第4図に示す。第4図は、ICh〜10c
hまでの0N10FFドツト信号をすべてONとしたと
きの、n−1回転からn+1回転までのビームの軌跡を
示すものであり、正しいトレース軌跡lを中心として微
小に振動する(すなわち誤差を含んだ)実際のトレース
軌跡l′上を走査されつつ、各ビームスボッt−Sは、
第3図の関係に従って、その径を連続的に変化させてい
る。各走査のつなぎ目(図示の点線部分)において、す
き間が生じることなく、主走査方向にビームスポットが
ほぼ直線に整列していることが容易に理解されよう。ま
た、奇数チャネルと偶数チャネルとで、誤差に対するス
ポッ]−径の増減の関係を逆にしているので、1ch〜
10chの各チャネル間においても、ビーl−にすぎ間
が生じることがない。このようにして得られる画像のド
ツト径変化の様子の一例を、第5図に示す。第5図(a
)および(b)は、それぞれ偶数および奇数チャネルの
ビームパワーの変化と、そのときのフィルム十の画像出
力の変化とを誇張して示している。
FIG. 4 shows how images are connected in the sub-scanning direction when such correction is performed. Figure 4 shows ICh~10c
This shows the trajectory of the beam from n-1 rotation to n+1 rotation when all 0N10FF dot signals up to h are turned on, and it oscillates slightly around the correct trace trajectory l (that is, it contains errors). While being scanned on the actual trace locus l', each beam sbot t-S is
The diameter is continuously changed according to the relationship shown in FIG. It will be easily understood that the beam spots are aligned substantially linearly in the main scanning direction without any gaps at the joints between the respective scans (dotted line portions in the figure). In addition, since the relationship of increase/decrease in spot diameter with respect to error is reversed between odd and even channels, 1ch~
Even between the 10 channels, there is no gap between the beer channels. An example of how the dot diameter changes in the image obtained in this manner is shown in FIG. Figure 5 (a
) and (b) exaggerate the changes in the beam power of even and odd channels, respectively, and the changes in the image output of the film at that time.

第6図は、第1図各部の信号を示すタイミングチャート
である。副走査位置指令パルス(a)と実位置フィード
バックパルス(b)とにより、(C)のD/Aコンバー
タ17の出力信号(誤差信号)が得られる。そして、例
えば偶数チャネルの0N10FFドツト信号が(d)に
示すとおりであり、奇数チャネルの0N10FFドツト
信号が(f)に示すとおりであったとすると、偶数チャ
ネルAOMドライバ23に入力される信号は(e)のよ
うに補正され、奇数チャネルAOMドライバ21に入力
される信号は(0)のように補正される。ビームスポッ
ト数が奇数の場合には、片方の奇数のビームスポットに
つき偶数のスポットと同様の制御を行なう。結束として
、両端のビームスポットは逆の関係で制御される。
FIG. 6 is a timing chart showing signals of each part in FIG. 1. The output signal (error signal) of the D/A converter 17 shown in (C) is obtained by the sub-scanning position command pulse (a) and the actual position feedback pulse (b). For example, if the 0N10FF dot signal of the even channel is as shown in (d) and the 0N10FF dot signal of the odd channel is as shown in (f), the signal input to the even channel AOM driver 23 is (e ), and the signal input to the odd channel AOM driver 21 is corrected as (0). When the number of beam spots is odd, one of the odd beam spots is controlled in the same way as for the even spots. As a result, the beam spots at both ends are controlled in an inverse relationship.

ところで、上述した第2図の実施例では全チャネルの補
正を行なったが、1走査線毎の画線幅とコンピュータの
計算による画線幅とが整数関係にある場合には、第7図
に示すように、lchおよびl0ch(両端のビームス
ポット)の補正を行なうのみでビーム間にすき間が生じ
ることがなく、主走査方向の直線がある稈痕雛持される
。そして、このような場合には、2Ch〜9chについ
ては、乗算器26によりそれぞれの0N10FFドツト
信号に固定値を乗算して、ビームパワーは一定としてお
く。
Incidentally, in the embodiment shown in FIG. 2 described above, all channels were corrected, but if the line width of each scanning line and the line width calculated by the computer are in an integer relationship, the correction shown in FIG. As shown, by only correcting lch and l0ch (beam spots at both ends), no gap is created between the beams, and a straight line in the main scanning direction is retained. In such a case, for channels 2 to 9, the multiplier 26 multiplies each 0N10FF dot signal by a fixed value to keep the beam power constant.

第8図は、このような制御を行なった場合の、D/Aコ
ンバータ17の出力値に対するビームスポット径の変化
を表わす説明図であり、このときのn−1回転目からn
+i回転目までのビームの軌跡は、第9図に示すように
なる。第4図と異なり、2ch〜9chのビームスポッ
ト径は変化していないが、位置誤差がそれ稈大きくない
ので、1chと2chおよび9chと10chのすき間
が生じないようにしておける。また、各走査のつなぎ目
(図示の点線部分)においては、第4図と同様、ビーム
スポットはきれいに整列している。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the change in the beam spot diameter with respect to the output value of the D/A converter 17 when such control is performed.
The trajectory of the beam up to the +i rotation is as shown in FIG. Unlike FIG. 4, the beam spot diameters of channels 2 to 9 do not change, but the positional errors are not that large, so gaps between channels 1 and 2 and between channels 9 and 10 can be prevented from occurring. Furthermore, at the joints between the scans (the dotted line portions in the figure), the beam spots are neatly aligned as in FIG. 4.

第10図は、このようにして得られる画像のドツト径の
変化の一例であり、(a)、(b)。
FIG. 10 shows an example of a change in the dot diameter of an image obtained in this way, (a) and (b).

(C)はそれぞれ10ch、lch、 2ch〜9ch
のビームパワーの変化と、そのときのノイルム十の画像
出力の変化とを表わしている。2Ch−9Chにおいて
は、出力画像のドラ1−径は変化していない。また、第
11図は、第7同各部の信号を示すタイミングチャー1
−である。第6図の場合と異なり、2Ch〜9Chの0
N10FFドツト信号(h)は、乗算器26で一定値が
乗算されるだけで(すなわち補正されることなり)、2
Ch〜9Chの各AOMドライバ270入力信号(i)
として与えられる。
(C) is 10ch, lch, 2ch to 9ch respectively
It shows the change in beam power and the change in the image output of Noilm at that time. In 2Ch-9Ch, the diameter of the driver 1 of the output image remains unchanged. In addition, FIG. 11 is a timing chart 1 showing the signals of each part of the 7th part.
− is. Unlike the case in Figure 6, 0 of 2Ch to 9Ch
The N10FF dot signal (h) is only multiplied by a constant value in the multiplier 26 (that is, it is corrected), and the
Each AOM driver 270 input signal from Ch to 9Ch (i)
given as.

以−ト、副走査送りが連続している場合について実施例
を用いて詳述したが、この発明は副走査送りを1走査ラ
イン毎にステップ送りする場合にも適用できるのは言う
までもない。
Although the case where the sub-scanning feed is continuous has been described in detail using the embodiment, it goes without saying that the present invention can also be applied to the case where the sub-scanning feed is carried out in steps for each scanning line.

(発明の効果) 以上説明したように、この発明によれば、光点の副走査
方向の送りピッチ誤差を検出し、その誤差に基づいて光
点の径を制御するようにしているので、副走査方向に送
りピッチむらがある場合にも、ビーム間にすき間が生じ
ることなく、主走査方向にビームスポットがほぼ直線に
整列し、かつ画線幅が一定となる。また、PWBの製作
において、画線幅を一定値以内に制御することによって
、PWBの製作精度が1胃し、比較欠陥検査における精
度が向上する。
(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, the feed pitch error of the light spot in the sub-scanning direction is detected and the diameter of the light spot is controlled based on the error. Even when there is unevenness in the feed pitch in the scanning direction, the beam spots are aligned substantially linearly in the main scanning direction without gaps between the beams, and the image line width is constant. Furthermore, in manufacturing the PWB, by controlling the line width within a certain value, the manufacturing accuracy of the PWB is improved, and the accuracy in comparative defect inspection is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第7図はこの発明の一実施例を示すブロッ
ク図、第2図はこの発明を適用する回転ドラム型ラスタ
ープロッターの機構概略図、第3図および第8図は各実
施例におけるビームスポット径の変化を表わす説明図、
第4図および第9図は各実施例における副走査方向のラ
インのつながり方を示す説明図、第5図および第10図
は各チャネルのフィルム画像出力を示ず説明図、第6図
および第11図はそれぞれ第1図および第7同各部の信
号を示すタイミングチャー1−である。 4・・・副走査モータ 10・・・リニアスケール 14.15・・・カウンタ 16・・・演算論理コニット(ALU)17・・・D/
Aコンバータ 20.22,26.29・・・乗算器 12.21.23.27.30 ・・・AOMドライバ
1 and 7 are block diagrams showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a mechanical schematic diagram of a rotating drum type raster plotter to which this invention is applied, and FIGS. 3 and 8 are block diagrams showing one embodiment of the present invention. An explanatory diagram showing changes in beam spot diameter,
FIGS. 4 and 9 are explanatory diagrams showing how lines are connected in the sub-scanning direction in each embodiment, FIGS. 5 and 10 are explanatory diagrams that do not show the film image output of each channel, and FIGS. FIG. 11 is a timing chart 1- showing the signals of the respective parts of FIG. 1 and FIG. 7, respectively. 4... Sub-scanning motor 10... Linear scale 14.15... Counter 16... Arithmetic logic unit (ALU) 17... D/
A converter 20.22, 26.29... Multiplier 12.21.23.27.30... AOM driver

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)副走査方向に配列された少くとも1つの光点を独
立に点滅露光制御しつつ主走査および副走査を行なつて
感材上に所望の画像を記録する装置において、光点の副
走査方向の送りピッチ誤差を検出する手段と、検出した
送りピッチ誤差に基づいて光点の径を制御する手段とを
設け、送りピッチ誤差による感材上の記録むらを補正す
るようにしたことを特徴とする、送りピッチ誤差補正装
置。
(1) In an apparatus that records a desired image on a photosensitive material by performing main scanning and sub-scanning while independently blinking exposure control of at least one light spot arranged in the sub-scanning direction, A means for detecting a feed pitch error in the scanning direction and a means for controlling the diameter of a light spot based on the detected feed pitch error are provided to correct recording unevenness on the sensitive material due to the feed pitch error. Features: Feed pitch error correction device.
(2)送りピッチ誤差の値の変化に対する光点の径の増
減の関係が両端部の光点で逆の関係で制御される、特許
請求の範囲第1項記載の送りピッチ誤差補正装置。
(2) The feed pitch error correction device according to claim 1, wherein the relationship between the increase and decrease in the diameter of the light spot with respect to the change in the value of the feed pitch error is controlled in an opposite relationship for the light spots at both ends.
(3)光点は複数個存在し、そのすべての光点の径が制
御される、特許請求の範囲第1項又は第2項記載の送り
ピッチ誤差補正装置。
(3) The feed pitch error correction device according to claim 1 or 2, wherein there is a plurality of light spots, and the diameter of all the light spots is controlled.
(4)送りピッチ誤差の値の変化に対する光点の径の増
減の関係が、奇数番目の光点と偶数番目の光点とで逆の
関係にある、特許請求の範囲第3項記載の送りピツチ誤
差補正装置。
(4) The feed according to claim 3, wherein the relationship between the increase and decrease in the diameter of the light spot with respect to the change in the value of the feed pitch error is reversed between odd-numbered light spots and even-numbered light spots. Pitch error correction device.
JP11235885A 1985-05-24 1985-05-24 Device for correcting feeding pitch error Pending JPS61269563A (en)

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JP11235885A JPS61269563A (en) 1985-05-24 1985-05-24 Device for correcting feeding pitch error
US06/861,721 US4887225A (en) 1985-05-24 1986-05-12 Method and device for controlling exposure beams

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Publications (1)

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JP (1) JPS61269563A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008074096A (en) * 2006-08-22 2008-04-03 Ricoh Printing Systems Ltd Optical scanner
US8320028B2 (en) 2006-08-22 2012-11-27 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008074096A (en) * 2006-08-22 2008-04-03 Ricoh Printing Systems Ltd Optical scanner
US8320028B2 (en) 2006-08-22 2012-11-27 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus

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