JPS61264325A - 光偏向素子 - Google Patents
光偏向素子Info
- Publication number
- JPS61264325A JPS61264325A JP10665685A JP10665685A JPS61264325A JP S61264325 A JPS61264325 A JP S61264325A JP 10665685 A JP10665685 A JP 10665685A JP 10665685 A JP10665685 A JP 10665685A JP S61264325 A JPS61264325 A JP S61264325A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- pair
- face
- side faces
- electro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は光偏向素子、特に電気光学効果を利用した光偏
向素子に関する。
向素子に関する。
光偏向素子には今までに種々の塁のものが提案されてい
る。これらを大別すると、次の３種となる。即ち、 ［１１Ｍやホログラフィックな回折格子を機械的に回転
させるもの、 （２）超音波を伝搬させることにより、媒質中に周ｌ１
ｊｌ的か藉密１１１出１． 無価的に同餠鰺半を作るも
の、 （３）電気光学効果により材料の屈折率を変化させるも
の、 である。
る。これらを大別すると、次の３種となる。即ち、 ［１１Ｍやホログラフィックな回折格子を機械的に回転
させるもの、 （２）超音波を伝搬させることにより、媒質中に周ｌ１
ｊｌ的か藉密１１１出１． 無価的に同餠鰺半を作るも
の、 （３）電気光学効果により材料の屈折率を変化させるも
の、 である。
上記の型のうち、光を走査させる目的には（１）がむい
ており、任意の方向に光を偏向させ且つ静止させる等の
目的には、（２）及び（３）の型がむいている。
ており、任意の方向に光を偏向させ且つ静止させる等の
目的には、（２）及び（３）の型がむいている。
従って、（１）のをは前者の目的、即ちレーザ・プリン
タ等の光の走査に用いられて来た。一方最近の光情報処
理の要請からは、後者のような光偏向素子の使用法が望
まれている。これに対し、（２）の型は、原理として回
折格子を用いているため光が分散し、主ビームへの光の
量が減少し、偏向効率が悪くなる欠点がある。
タ等の光の走査に用いられて来た。一方最近の光情報処
理の要請からは、後者のような光偏向素子の使用法が望
まれている。これに対し、（２）の型は、原理として回
折格子を用いているため光が分散し、主ビームへの光の
量が減少し、偏向効率が悪くなる欠点がある。
一方、（３ンの型はこれらの欠点は有していないため、
後者の目的には一番むいているが、電気光学効果による
屈折率の変化が小さいので、屈折率の勾配を与えたり、
プリズム型の形状に切り出したりする等の、従来の１法
では偏向角が小さいので、多数個組み合わせるなどの工
夫をする必要があった。従って、単純な構造で偏向角の
大きい光偏向素子が要望されていた。
後者の目的には一番むいているが、電気光学効果による
屈折率の変化が小さいので、屈折率の勾配を与えたり、
プリズム型の形状に切り出したりする等の、従来の１法
では偏向角が小さいので、多数個組み合わせるなどの工
夫をする必要があった。従って、単純な構造で偏向角の
大きい光偏向素子が要望されていた。
そこで、本発明では、電気光学効果を利用して、単体で
従来のものより遥かに大きな偏向角を有し、且つ構造の
単純な光偏向素子を提供することを目的とする。
従来のものより遥かに大きな偏向角を有し、且つ構造の
単純な光偏向素子を提供することを目的とする。
本発明の光偏向素子は、全体の形状がほぼ直方体をして
いる。入射端面と出射端面とがほぼ平行で、且つ光の進
行方向に平行な一対の側面上に電極を設けた電気光学材
料を用い、前記一対の側面上の電極は、ほぼ合同な三角
形状をなしていることを特徴とする。
いる。入射端面と出射端面とがほぼ平行で、且つ光の進
行方向に平行な一対の側面上に電極を設けた電気光学材
料を用い、前記一対の側面上の電極は、ほぼ合同な三角
形状をなしていることを特徴とする。
第１図は１本発明の光偏向素子を示す０図中１は電気光
学材料であり、全体的に直方体に近い形に加工されてい
る。もっとも、この形状は必ずしも直方体である必要は
なく、入射端面と出射端面（それぞれ図のＤＣＧＨ及び
ＡＢＦＥの面）とがほぼ平行で、且つ電極を設ける一対
の側面（それぞれ図のＡＢＣＤ及びＥＦＧＨの面）が平
行であれば、どんな形状でもよい。
学材料であり、全体的に直方体に近い形に加工されてい
る。もっとも、この形状は必ずしも直方体である必要は
なく、入射端面と出射端面（それぞれ図のＤＣＧＨ及び
ＡＢＦＥの面）とがほぼ平行で、且つ電極を設ける一対
の側面（それぞれ図のＡＢＣＤ及びＥＦＧＨの面）が平
行であれば、どんな形状でもよい。
更に、一対の側面ＡＢＣＤ、ＥＦＧＨには、合同な三角
形状電極２．３（図のＫＢＣ及びＬＰＧ）がそれぞれス
パッタリング等により形成され、外部の電ｓ４へ接続さ
れている。
形状電極２．３（図のＫＢＣ及びＬＰＧ）がそれぞれス
パッタリング等により形成され、外部の電ｓ４へ接続さ
れている。
電極に電圧が印加されていない時は、材料は均一である
から、入射面ＤＣＧＨにほぼ垂直に入射した光は、図の
破線のように、この電気光学材料中を直進し、出射面Ａ
ＢＦＥから外に出る。
から、入射面ＤＣＧＨにほぼ垂直に入射した光は、図の
破線のように、この電気光学材料中を直進し、出射面Ａ
ＢＦＥから外に出る。
電極２，３に電圧を印加すると、一対の電極に挾まれた
部分、即ち三角柱ＫＢＣＬＰＧの部分は電気光学効果に
より、他の部分と比較して屈折率が変わるから、この三
角柱は一種のプリズムとして動作する。その結果、光は
第２図のようにＰ、Ｑ、Ｒ，Ｓの４点で屈折が行われ、
その相乗効果として大きく偏向する。
部分、即ち三角柱ＫＢＣＬＰＧの部分は電気光学効果に
より、他の部分と比較して屈折率が変わるから、この三
角柱は一種のプリズムとして動作する。その結果、光は
第２図のようにＰ、Ｑ、Ｒ，Ｓの４点で屈折が行われ、
その相乗効果として大きく偏向する。
電気光学材料として、大きな電気光学係数を有するＰＬ
ＺＴセラミクスを用いた。ＰＬＺＴセラミクスには、組
成により種々の性質を示すものがあるが、本実施例では
２次電気光学係数の大きいＰＬＺＴ９／６５／３５セラ
ミクスを用いた。
ＺＴセラミクスを用いた。ＰＬＺＴセラミクスには、組
成により種々の性質を示すものがあるが、本実施例では
２次電気光学係数の大きいＰＬＺＴ９／６５／３５セラ
ミクスを用いた。
このＰＬＺＴセラミクスを、第３図に示すように、７關
ｘ５關Ｘ ３ ｖｈ＊ の直方体に加工し、上下面に
設ける三角形状の電極としては、７報の辺を底辺とし高
さが５ ａｍで、且つ頂点の位置が出射面から２順であ
るような三角形をなすものとし、金をスパッタリングし
て作製した。
ｘ５關Ｘ ３ ｖｈ＊ の直方体に加工し、上下面に
設ける三角形状の電極としては、７報の辺を底辺とし高
さが５ ａｍで、且つ頂点の位置が出射面から２順であ
るような三角形をなすものとし、金をスパッタリングし
て作製した。
この素子を用い、第４図に示すような構成で実験を行っ
た０図中１は第３図に示した、ＰＬＺＴ９／６５／３５
セラミクスを用いた光偏向素子である。電極２，３は電
源４に接続されている。光源としてＨｅ −Ｎ ｅレー
ザ６を用い、波長６３２．８ｎｍの光を偏光子５を通過
させて泪＄浦ｅｒｒ 二ｌ！現ル帰い 半杷半書年σ大
針六ぜ電極間の電界をＯ〜６００Ｖ／關の範囲で変化さ
せながら偏光角度を測定した。その結果、垂直偏光（偏
光面が電界方向と平行）の場合、第５図に示すような偏
向特性が得られた。
た０図中１は第３図に示した、ＰＬＺＴ９／６５／３５
セラミクスを用いた光偏向素子である。電極２，３は電
源４に接続されている。光源としてＨｅ −Ｎ ｅレー
ザ６を用い、波長６３２．８ｎｍの光を偏光子５を通過
させて泪＄浦ｅｒｒ 二ｌ！現ル帰い 半杷半書年σ大
針六ぜ電極間の電界をＯ〜６００Ｖ／關の範囲で変化さ
せながら偏光角度を測定した。その結果、垂直偏光（偏
光面が電界方向と平行）の場合、第５図に示すような偏
向特性が得られた。
なお、用いる電気光学材料の実施態様として上記ＰＬＺ
Ｔ９／８５／３５セラミクスの他に（イ）他の組成のＰ
ＬＺＴセラミクス、（ロ）他の電気光学セラミクス、 （ハ）電気光学単結晶、 （ニ）電気光学プラスチック。
Ｔ９／８５／３５セラミクスの他に（イ）他の組成のＰ
ＬＺＴセラミクス、（ロ）他の電気光学セラミクス、 （ハ）電気光学単結晶、 （ニ）電気光学プラスチック。
（ホ）高分子電気光学材料。
（へ）液晶、
を用いたものがある。また、本発明の実施態様として、
（ト）多数個組合せて使用する方法、
（チ）入射面と出射面とが平行でないように電気光学材
料を加工して使用する方法、 がある。
料を加工して使用する方法、 がある。
高速性に優れた、電気光学効果をｆｉｌ用１−た光偏向
素子は、偏向角度が小さいという欠点があった。従来、
単体で、０．２度程度の偏向角度しかなかった、電気光
学効果を利用した光偏向素子に対して、本発明は単純な
構造を持ちながら、単体で、電界６００ Ｖ ／ ａｓ
において約１度以上光を偏向させることができた。
素子は、偏向角度が小さいという欠点があった。従来、
単体で、０．２度程度の偏向角度しかなかった、電気光
学効果を利用した光偏向素子に対して、本発明は単純な
構造を持ちながら、単体で、電界６００ Ｖ ／ ａｓ
において約１度以上光を偏向させることができた。
また、入射光がほぼ垂直入射であるので、プリズム型の
光偏向素子と比較して、反射による光の損失が少ない、
また、入射面と出射面がほぼ平行であることにより、電
圧をかけない場合の入射光と出射光の方向が殆どずれな
い等の利点がある。
光偏向素子と比較して、反射による光の損失が少ない、
また、入射面と出射面がほぼ平行であることにより、電
圧をかけない場合の入射光と出射光の方向が殆どずれな
い等の利点がある。
第１図は本発明の光偏向素子の斜視図、第２図は本発明
の光偏向素子の上面から見た平面図、第３図は実験に用
いた本発明の光偏向素子の寸法を示す斜視図、第４図は
偏向角測定のための実験構成図、第５図は本発明の偏向
特性を示すグラフである。 １：電気光学材料 ２．３：電極 ４：電源 ５：偏光子 ６：Ｈｅ−Ｎｅレーザ 特許出願人 宇 都 宮 俊 男 茎１図 諺２図 第３図 第４０
の光偏向素子の上面から見た平面図、第３図は実験に用
いた本発明の光偏向素子の寸法を示す斜視図、第４図は
偏向角測定のための実験構成図、第５図は本発明の偏向
特性を示すグラフである。 １：電気光学材料 ２．３：電極 ４：電源 ５：偏光子 ６：Ｈｅ−Ｎｅレーザ 特許出願人 宇 都 宮 俊 男 茎１図 諺２図 第３図 第４０
Claims (1)
- ほぼ平行な入射端面と出射端面を有し、且つ一対の平行
な側面を有する電気光学材料の前記側面上に三角形状の
電極を設けたことを特徴とする光偏向素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10665685A JPS61264325A (ja) | 1985-05-18 | 1985-05-18 | 光偏向素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10665685A JPS61264325A (ja) | 1985-05-18 | 1985-05-18 | 光偏向素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61264325A true JPS61264325A (ja) | 1986-11-22 |
Family
ID=14439143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10665685A Pending JPS61264325A (ja) | 1985-05-18 | 1985-05-18 | 光偏向素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61264325A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199480A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-17 | Sharp Corp | 半導体レ−ザ走査装置 |
| JPH0421825A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
| DE4238251A1 (en) * | 1991-11-12 | 1993-05-13 | Hitachi Koki Kk | Light beam deflection controller for laser printer or optical disc system - has thin base of electro optical material with electrode controlling deflection through pair of prisms |
| WO2004003652A1 (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-08 | Fujitsu Limited | 反射型可変光偏向器及びそれを用いた光デバイス |
| JP2018072778A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | スタンレー電気株式会社 | 液晶素子、光走査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138436B1 (ja) * | 1969-08-13 | 1976-10-21 | ||
| JPS5245244U (ja) * | 1975-09-26 | 1977-03-30 |
-
1985
- 1985-05-18 JP JP10665685A patent/JPS61264325A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138436B1 (ja) * | 1969-08-13 | 1976-10-21 | ||
| JPS5245244U (ja) * | 1975-09-26 | 1977-03-30 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199480A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-17 | Sharp Corp | 半導体レ−ザ走査装置 |
| JPH0542148B2 (ja) * | 1987-02-16 | 1993-06-25 | Sharp Kk | |
| JPH0421825A (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
| DE4238251A1 (en) * | 1991-11-12 | 1993-05-13 | Hitachi Koki Kk | Light beam deflection controller for laser printer or optical disc system - has thin base of electro optical material with electrode controlling deflection through pair of prisms |
| WO2004003652A1 (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-08 | Fujitsu Limited | 反射型可変光偏向器及びそれを用いた光デバイス |
| US7280718B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Reflective adjustable optical deflector and optical device employing the same |
| JP2018072778A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | スタンレー電気株式会社 | 液晶素子、光走査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7839565B2 (en) | Optical deflector | |
| US4755038A (en) | Liquid crystal switching device using the brewster angle | |
| US3958862A (en) | Electro-optical modulator | |
| US4243300A (en) | Large aperture phased element modulator/antenna | |
| ATE105941T1 (de) | Effizientes material für einen retroreflektor. | |
| JPS61264325A (ja) | 光偏向素子 | |
| JPH10288798A (ja) | 光学偏向器 | |
| Psaltis et al. | Acousto‐electro‐optic light modulation | |
| JPS5855485B2 (ja) | 液晶スイツチングマトリクス | |
| JPS63244004A (ja) | 導波型グレ−テイング素子 | |
| US5291566A (en) | Total internal reflection electro-optic modulator for multiple axis and asymmetric beam profile modulation | |
| JPS6149649B2 (ja) | ||
| JPH05204001A (ja) | 光偏向装置 | |
| US5657152A (en) | Acoustooptic device | |
| JPH05216075A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH10307307A (ja) | 光学偏向器 | |
| US3610730A (en) | Fluidic prism | |
| JPH10282531A (ja) | 光学偏向器 | |
| JPH0750284B2 (ja) | 光路切換器 | |
| US3497285A (en) | Resolvable element enhancement for optical scanning | |
| JPS61270736A (ja) | 光偏向素子 | |
| GB1258769A (ja) | ||
| US3668537A (en) | System of liquid electrodes for pockels cells and liquid compositions for said electrodes | |
| JPH05216076A (ja) | 光偏向装置 | |
| JPH01187535A (ja) | 電気光学光偏向素子 |