JPS61262653A - 音波探触子 - Google Patents
音波探触子Info
- Publication number
- JPS61262653A JPS61262653A JP60103715A JP10371585A JPS61262653A JP S61262653 A JPS61262653 A JP S61262653A JP 60103715 A JP60103715 A JP 60103715A JP 10371585 A JP10371585 A JP 10371585A JP S61262653 A JPS61262653 A JP S61262653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- sonic
- wave
- ultrasonic wave
- absorbing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、音波の５ｉ振あるいは受信を行なう音波探触
子に係り、特に超音波顕微鏡に好適な音波探触子に関す
るものである。
子に係り、特に超音波顕微鏡に好適な音波探触子に関す
るものである。
超音波顕微鏡に使用される音波探触子は、音波レンズ部
側端が平担な形状となってい例が多い。
側端が平担な形状となってい例が多い。
しかし、訂述のように端部が平担な形状の場合、この部
分からも超音波が媒質中に漏洩、放射されて集束越波ビ
ームの信号が有効に利用できないため、８７Ｎが劣化す
る。そこで、このＳ／Ｈの劣化防止のため、音波レンズ
の球面部の縁に吸音材を貼るといったことも考えられて
いる。（例えば。
分からも超音波が媒質中に漏洩、放射されて集束越波ビ
ームの信号が有効に利用できないため、８７Ｎが劣化す
る。そこで、このＳ／Ｈの劣化防止のため、音波レンズ
の球面部の縁に吸音材を貼るといったことも考えられて
いる。（例えば。
実公昭５８−３１２００号公報）しかし、現実には使用
周波数が高く、かつ、焦点距離の短い音波レンズにあっ
ては、先端の球面部近傍に吸音材が設けられると観察時
に該吸音材と試料とが接触するといった不具労があり、
また、ワーキングディスタンスの設定に不都せが生じる
恐れがあった。
周波数が高く、かつ、焦点距離の短い音波レンズにあっ
ては、先端の球面部近傍に吸音材が設けられると観察時
に該吸音材と試料とが接触するといった不具労があり、
また、ワーキングディスタンスの設定に不都せが生じる
恐れがあった。
このような不具萱ななくすものとして、音波レンズの球
面部側に傾斜面を設は該傾斜面に吸音材を貼り付けた構
成のものが公知となっている。（例えば、実開昭５５−
６８１９９号公報）ところが、このような構成において
は、音波レンズの球面端部は各部構成が微細であるため
、前記傾斜面への吸音材の貼付作業が煩雑であるととも
に、貼付の状況によっては資料との接触等の不具せが発
生する恐ｎがあり、その作業性あるいは信頼性向上の点
について考慮されていなかった。一方、音波レンズ内で
は超音波の反射等が生じるため、完全に不要幅射をなく
すことは困難であり、側面部からの反射によっても前記
８／Ｎの劣化が生じ、該側面部については考慮されてい
なかった。
面部側に傾斜面を設は該傾斜面に吸音材を貼り付けた構
成のものが公知となっている。（例えば、実開昭５５−
６８１９９号公報）ところが、このような構成において
は、音波レンズの球面端部は各部構成が微細であるため
、前記傾斜面への吸音材の貼付作業が煩雑であるととも
に、貼付の状況によっては資料との接触等の不具せが発
生する恐ｎがあり、その作業性あるいは信頼性向上の点
について考慮されていなかった。一方、音波レンズ内で
は超音波の反射等が生じるため、完全に不要幅射をなく
すことは困難であり、側面部からの反射によっても前記
８／Ｎの劣化が生じ、該側面部については考慮されてい
なかった。
未発明の目的とするところは、音波レンズの球面部以外
からの超音波の不要幅射を減少させるとともに該音波レ
ンズ先端と試料との接触を完全に防止し得る音波探触子
を提供することにある。
からの超音波の不要幅射を減少させるとともに該音波レ
ンズ先端と試料との接触を完全に防止し得る音波探触子
を提供することにある。
未発明は、音波探触子すなわち音波レンズの側面部にお
ける超音波の反射を該側面部に設けた吸音材によって防
止し、かつ、該吸音材によって音波レンズ先端と試料と
の接触を防止する構成としたことを特徴とするものであ
る。
ける超音波の反射を該側面部に設けた吸音材によって防
止し、かつ、該吸音材によって音波レンズ先端と試料と
の接触を防止する構成としたことを特徴とするものであ
る。
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図−こよっ
て説明する。同図において、】は超音波の集束および送
受を行なう音波レンズで、円柱状に形成された溶融石英
あるいはサファイヤ等から構成されている。２は前記音
波レンズ】の−面を光学研摩ｌ、該端面に設けらｊる圧
電素子（ＺｎＯ等）で、上部電極３および下部電極４に
よってはさまｒ、たサントイ゛ソチ構造となっている。
て説明する。同図において、】は超音波の集束および送
受を行なう音波レンズで、円柱状に形成された溶融石英
あるいはサファイヤ等から構成されている。２は前記音
波レンズ】の−面を光学研摩ｌ、該端面に設けらｊる圧
電素子（ＺｎＯ等）で、上部電極３および下部電極４に
よってはさまｒ、たサントイ゛ソチ構造となっている。
５はパルス６を発振して前記圧電素子２に印加するため
のパルス発振器で、該圧電素子２は前記パルス６が印加
されることによって超音波７を発生する。
のパルス発振器で、該圧電素子２は前記パルス６が印加
されることによって超音波７を発生する。
なお、前記音波レンズ】の他端部には１口径０．１器φ
〜８． Ｏｗｓ−程度の凹面である球面部８が形成さｎ
ており、該球面部８と試料９との間に音波を伝播させる
ための媒質（例えば水）１０が満たさｎている。前記圧
電素子２から発振された超音波７は、該音波レンズ】内
を平面波となって伝播する。この平面波が球面部８に達
すると該音波レンズ１を石英によって構成した場會１石
英（音速６゜０００ ｍ／ ｓ ）と水（音速１．５０
０ ｍ ／ ｓ ）との伝播する音速の差により屈折作
用が生じ、試料９面上身こ集束した超音波７を照射する
ことができる。
〜８． Ｏｗｓ−程度の凹面である球面部８が形成さｎ
ており、該球面部８と試料９との間に音波を伝播させる
ための媒質（例えば水）１０が満たさｎている。前記圧
電素子２から発振された超音波７は、該音波レンズ】内
を平面波となって伝播する。この平面波が球面部８に達
すると該音波レンズ１を石英によって構成した場會１石
英（音速６゜０００ ｍ／ ｓ ）と水（音速１．５０
０ ｍ ／ ｓ ）との伝播する音速の差により屈折作
用が生じ、試料９面上身こ集束した超音波７を照射する
ことができる。
このようにして試料９に照射さｎた超音波７は。
該試料９によって反射され前記圧電素子２で高周波信号
（以下ＲＦ傷信号いう）】】に変換される。
（以下ＲＦ傷信号いう）】】に変換される。
次に、】２は該ＲＦ傷信号】を受信するとともにタイオ
ード検波してビデオ信号１３に変換する受信器である。
ード検波してビデオ信号１３に変換する受信器である。
】４は該受信器１２から出力されるビデオ信号】３を画
像化して表示する表示装置で、前記試料９の走査を行な
う試料台駆動電源１５からのＸ−Ｙ平面内における走査
情報と該ビデオ信号１３を同期させ撮像を行なうもので
ある。】６は前記音波レンズ】の側面に設けられ、該音
波レンズ１の材質よりも高速が遅く、かつ、域衰の大き
い高分子材から成る吸音材（例えば、エポキシ樹脂、ゴ
ム類、伝播音速２．０００〜３．００ （ｌ ｍ ／Ｓ
程度）である。該吸音材１６Ｃよって圧電素子２から発
振した超音波のうち音波レンズ】内部で反射し、音波レ
ンズ】の側面到達した観察に有効でないものを吸収、Ｉ
ｔ＆衰する。また、該吸音材】６は音波レンズ】の球面
部８先端部よりその下部縁が試料９あるいは試料台にい
ち早く接触するよう数μｍ下方に突出するように設置さ
ｎている。
像化して表示する表示装置で、前記試料９の走査を行な
う試料台駆動電源１５からのＸ−Ｙ平面内における走査
情報と該ビデオ信号１３を同期させ撮像を行なうもので
ある。】６は前記音波レンズ】の側面に設けられ、該音
波レンズ１の材質よりも高速が遅く、かつ、域衰の大き
い高分子材から成る吸音材（例えば、エポキシ樹脂、ゴ
ム類、伝播音速２．０００〜３．００ （ｌ ｍ ／Ｓ
程度）である。該吸音材１６Ｃよって圧電素子２から発
振した超音波のうち音波レンズ】内部で反射し、音波レ
ンズ】の側面到達した観察に有効でないものを吸収、Ｉ
ｔ＆衰する。また、該吸音材】６は音波レンズ】の球面
部８先端部よりその下部縁が試料９あるいは試料台にい
ち早く接触するよう数μｍ下方に突出するように設置さ
ｎている。
このような構成において、パルス発振器８から発振した
パルス６を圧電素子２１Ｃ印加すると、該圧電素子２か
ら平面波の超音波７が発振され、る。
パルス６を圧電素子２１Ｃ印加すると、該圧電素子２か
ら平面波の超音波７が発振され、る。
この超音波７は球面部８で収束されて試料９ｃ照射さｔ
ｌ、かつ１反射した超音波７は前記圧電素子２でＲＦ信
号１】に変換さｎ、る。そして、該ＲＦ傷信号】を受信
器１２で受信し、かつ、ダイオード検波してビデオ信号
１３に変換して表示装ｒ１１４で画像とする。このよう
な撮像動作時において、前記音波レンズ】内では超音波
７が一部反射さｎ各部へ伝播ψる。このうち、曾波レン
ズ１の側面に到達した超音波を吸音材】６＃こよって吸
収し減衰させる。したがって、該音波レンズＪ内で反射
する！音波を前記吸音材１６で吸収しＫＲさせるため、
該超音波によって生じる８／Ｎ比の劣化を防止すること
ができる。また、前記吸音材１６によｎ、ば、下部縁が
音数レンズ１の球面部８より下方へ突出しているため、
該球面部８が試料９に接触することがなく、音波レンズ
１の損傷を防止できる。ざらｔこ、ｌｌＴｌ記吸音材１
６は所定の寸法に形成し、音波レンズ１を嵌會するだけ
で簡単に装着できるものであり、この点における作業性
については良好である。
ｌ、かつ１反射した超音波７は前記圧電素子２でＲＦ信
号１】に変換さｎ、る。そして、該ＲＦ傷信号】を受信
器１２で受信し、かつ、ダイオード検波してビデオ信号
１３に変換して表示装ｒ１１４で画像とする。このよう
な撮像動作時において、前記音波レンズ】内では超音波
７が一部反射さｎ各部へ伝播ψる。このうち、曾波レン
ズ１の側面に到達した超音波を吸音材】６＃こよって吸
収し減衰させる。したがって、該音波レンズＪ内で反射
する！音波を前記吸音材１６で吸収しＫＲさせるため、
該超音波によって生じる８／Ｎ比の劣化を防止すること
ができる。また、前記吸音材１６によｎ、ば、下部縁が
音数レンズ１の球面部８より下方へ突出しているため、
該球面部８が試料９に接触することがなく、音波レンズ
１の損傷を防止できる。ざらｔこ、ｌｌＴｌ記吸音材１
６は所定の寸法に形成し、音波レンズ１を嵌會するだけ
で簡単に装着できるものであり、この点における作業性
については良好である。
（５を明の効果〕
以上説明したよへに木５＠明によｌ”ｌば、１１波レン
ズ内−こおける超音波の不要幅射を域少ζせることがで
き、かつ、該音波レンズ先端の試料との接触を防止する
ことができる。
ズ内−こおける超音波の不要幅射を域少ζせることがで
き、かつ、該音波レンズ先端の試料との接触を防止する
ことができる。
第１図は本発明による音波探触子の一実施例を示す超音
波顧１１１１［鏡心組入れた状！１ｖ示す回路図、ｇＪ
ｚ図は第１図の音波探触子の断面図である。 ］・・・・・・音波レンズ、２・・・・・・圧電素子、
１６・・・・・・牙１図 ＋２図
波顧１１１１［鏡心組入れた状！１ｖ示す回路図、ｇＪ
ｚ図は第１図の音波探触子の断面図である。 ］・・・・・・音波レンズ、２・・・・・・圧電素子、
１６・・・・・・牙１図 ＋２図
Claims (1)
- １、一端面が平担に光学研摩され他端に凹状球面部が形
成された音波レンズと、前記平担部に設けられ該音波レ
ンズ内に超音波を発振する圧電素子と、前記音波レンズ
の側面にその下部縁が球面部先端より下方に突出するよ
うに設置され該側面に到達した超音波を吸収減衰する吸
音材とから構成したことを特徴とする音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60103715A JPS61262653A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60103715A JPS61262653A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61262653A true JPS61262653A (ja) | 1986-11-20 |
Family
ID=14361402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60103715A Pending JPS61262653A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61262653A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111912511A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-11-10 | 刘峙亚 | 一种海洋声波分析装置 |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP60103715A patent/JPS61262653A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111912511A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-11-10 | 刘峙亚 | 一种海洋声波分析装置 |
| CN111912511B (zh) * | 2020-07-27 | 2023-05-09 | 火丰科技(深圳)有限公司 | 一种海洋声波分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH022921A (ja) | 超音波でサンプルを調査する装置 | |
| US4208602A (en) | Piezoelectric ultrasonic scanning head using a beryllium mirror | |
| CA1131752A (en) | Apparatus for ultrasonic imaging | |
| JPH0273151A (ja) | 超音波探触子 | |
| US4779241A (en) | Acoustic lens arrangement | |
| JPS61262653A (ja) | 音波探触子 | |
| JPH0437379B2 (ja) | ||
| JPS634142B2 (ja) | ||
| SU832449A1 (ru) | Сканирующий акустический микроскоп | |
| JPS6295460A (ja) | 音波探触子 | |
| JPS61186850A (ja) | 音波探触子 | |
| JPS6097265A (ja) | 超音波顕微鏡の保護装置 | |
| JP3027495B2 (ja) | 超音波プローブ | |
| JPH0965477A (ja) | 超音波トランスデューサ | |
| JPS585646A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS5831200Y2 (ja) | 超音波集束レンズ | |
| JPH02184756A (ja) | 水浸表面波用の探触子 | |
| JPH09271097A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS5950936B2 (ja) | 超音波顕微鏡の試料保持板 | |
| JPS62133946A (ja) | 皮膚科用超音波送受波器 | |
| JPH0835956A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2630392B2 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPS6188144A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPS60149963A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH0338543B2 (ja) |