JPS61256217A - 角速度計測装置および角速度計測ユニツト - Google Patents

角速度計測装置および角速度計測ユニツト

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JPS61256217A
JPS61256217A JP60096721A JP9672185A JPS61256217A JP S61256217 A JPS61256217 A JP S61256217A JP 60096721 A JP60096721 A JP 60096721A JP 9672185 A JP9672185 A JP 9672185A JP S61256217 A JPS61256217 A JP S61256217A
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Shuji Okawa
大川 修治
Jun Yamada
純 山田
Takashi Shiba
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、物体が回転するときの角速度を検出すること
ができる角速度計測装置、および角速度計測ユニットに
係り、特に、構成が簡単で製作が容易な、角速度計測装
置および角速度計測ユニットに関するものである。
〔発明の背景〕
従来、物体が回転するときの角速度を検出する角速度セ
ンサとしては、特開昭57−160067号公報記載の
ものが知られている。
この角速度センサは、外部の電気信号によシ強制振動さ
せられる梁を回転すること、この梁にいわゆるコリオリ
の力が働き、前記強制振動の振動方向と直角方向に新た
な振動が生じ、かつその振幅は回転角速度に比例する。
したがってこの振動振幅を電気的に計測することにより
、その物体の角速度を検出することができる。
しかし、この角速度センサによる角速度の検出方法は、
電極間の静電力を利用して前記梁を振動させているので
、構造的には前記電極を対向させる必要があるなど、製
作上の困難さがあるという、さらに改善すべき問題点が
あった。
〔発明の目的〕
本発明は、上記した従来技術の問題点を除去して、構造
が簡単な角速度計測装置、およびこれを複数個接続した
角速度計測ユニットの提供を、その目的とするものであ
る。
〔発明の概要〕
本発明に係る角速度計測装置の構成は、平板状の圧電基
板の一方の面に、弾性表面波を発生することができる励
振電極と、この励振電極から発生した弾性表面波を反射
せしめるグレーティングと、このグレーティングと前記
励振電極との間、もしくは、この励振電極に対して前記
グレーティングと反対側に、前記圧電基板を回転したと
きに前記弾性表面波による弾性振動部に生ずるコリオリ
の力を検出することができる検出電極とを設けるように
したものである。
また、本発明に係る角速度計測ユニットの構成は、平板
状の圧電基板の一方の面に、弾性表面波を発生すること
ができる励振電極と、この励振電極から発生した弾性表
面波tl−反射せしめるグレーティングと、このグレー
ティングと前記励振電極との間、もしくは、この励振電
極に対して前記グレーティングと反対側に、前記圧電基
板を回転したときに前記弾性表面波による弾性振動部に
生ずるコリオリの力を検出することができる検出電極と
を設けてなる複数個の角速度センサと、これら角速度セ
ンサの前記各励振電極に接続された励振源と、前記各検
出電極に接続された検出部とを有せしめるようにしたも
のである。
さらに詳しくは、次の通りである。
励振電極とグレーティングと検出電極とを平板状の圧電
基板の同一面上にパターン化し、前記励振電極に交流電
圧を印加するとともに、前記グレーティングによる振動
反射により前記圧電基板上に弾性表面波を効率よく励起
し、回転により弾性振動部に生じるコリオリの力を前記
検出電極で検出するようにしたものである。
なお、コリオリの力に応じて前記検出電極に出力される
電気信号を差動増幅器を通して取出し、さらに、前記励
振電極を挾んでその両側に検出電極を1組ずつ設けるよ
うにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を実施例によって説明する。
第1図は、本発明の第1の実施例に係る角速度計測装置
の平面図、第2図は、第1図における右側のグレーティ
ングの詳細を示す拡大側断面図、第3図は、第1図に係
る角速度計測装置の動作を説明するための模式図、第4
図は、第1図に係る自速計測装置の電圧波形図である。
第1図において、1は圧電基板であシ、この圧電基板1
の一方の面上K、弾性表面波励振用の励振電極2,3が
、くし形に(弾性表面波の1/2波長間隔に、並列に2
対、長手方向に長さaだけラップして)パターン化され
、この励振電極2゜iから発生した弾性表面波を反射せ
しめるグレーティング6.7が、すだれ状に(弾性表面
波の1/2波長間隔に、それぞれ3段、励振電極2,3
と平行に)パターン化され、また、圧電基板1を回転し
たときに前記弾性表面波による弾性振動部に生ずるコリ
オリの力(詳細後述)を検出することができる検出電極
4,5が、くし形に(電極間間隔tが弾性表面波の1波
長で、並列に2対)パターン化されている。これらのパ
ターンは、第1図上に線として表わされているが、実際
には有限の幅を有するものである。念とえば、右側のグ
レーティング7の詳細を、第2図を用いて説明する。
この第2図において、グレーティング7は、圧電基板1
上に金属などの薄い膜を付着させたストリップ形のグレ
ーティングである。
このグレーティング7は、周波数選択性をもつ弾性表面
波の反射器として利用され、入射弾性表面波24がグレ
ーティング7に入射すると、この中を伝搬する間に少し
ずつ反射弾性表面波25に変換されて減衰して行く。こ
の場合、第2図に示すように、グレーティング7が弾性
表面波の進行方向に対して垂直で、その間隔pが次式に
示すように、弾性表面波の波長λの半分の整数倍(本実
施例では1倍)になるように設定されているので、反射
弾性表面波25がすべて同位相で加わるために、全体と
して強い反射が生じ、反射係数が大きい。
p = n・λ/2 (n=1.2・・・・・・) ・
・・・・・(1)この実施例では、グレーティング7は
3段(3本)であるが、グレーティングの本数が十分多
ければ、入射弾性表面波はほとんど100チ反射される
。このときの反射係数をFとすれば、弾性表面波の振幅
は次のように表わされる。
ただし、Aは、グレーディングを設けたときの振幅sk
oは、グレーティングが無いときの振幅である。
このように、グレーティング7(グレーティング6につ
いても同様)を設けることにより、比較的大きい振幅の
弾性表面波を、第1図における検出′電極4,5間のa
部分に効率良く発生させることができる。
励振電極2,3ば、前記したように、並列に2対配置さ
れているので、入力インピーダンスを下げ、励振効率を
上げることができ、また、検出電極4,5も、並列に2
対配置されているので、出力インピーダンスを下げ、熱
雑音を小さくすることができる。
8.9は、それぞれ励振電極2,3の端子であシ、ここ
に交流電圧が印加されるようになっている。10,1l
fl、それぞれ検出電極4,5の端子、32は、端子1
1と接続した接地、28id増幅器、29は出力端子で
あり、この出力端子29から、角速度に応じて検出端子
10.11間に生ずる電気信号を、増幅器28を介して
出力することができる。出力端子29のあとには、移相
器(図示せず)が接続されている。
12は、この角速度計測装置によって計測できる角速度
を表わす角速度ベクトルである。
このように構成した角速度計測装置の動作を、以下に説
明する。
励振電極2,3に交流電圧を印加すると、この励振電極
2,3により弾性表面波が励起される。
このときの波長λごとに生じる山の1つが、第3図中に
、山13で示されている。そして励振された弾性表面波
は、矢印14.15の方向へ進んだのち、グレーティン
グ7.6によりそれぞれ16゜17の方向に反射される
ことにより効率良く励振されると共に、検出電極4,5
間のa部分で山18となって表われる。そして山13,
18は、励振電極2,3に印加した交流電圧の周波数f
で前記山の部分が山となったり谷となったりを繰返す。
このとき、角速度ベクトル12によって山18の部分に
作用するコリオリの力Fcは、回転座標系で覗測される
見かけの力であり、次式のように表わされる。
ただし、mは質量、v、ば、この質量mが回転軸から遠
ざかる速度、Ωは角速度である。
また、コリオリの力Fcの向きは、速度ペクトる。
したがって%(3)式かられかるように、角速度べFc
が互いに直交するように、圧電基板1上の電極配置およ
び圧電基板1の取付けを行なうことによシ、最も大きな
コリオリの力Fcを発生させることができる。
第3図においては、19.20は、速度ベクトル(圧電
基板1と垂直方向)を表わし、21゜22ば、コリオリ
の力(圧電基板1の面内)を表わしている。そして、速
度ベクトルが19の状態(速度ベクトルの大きさvrは
、山18の部分が圧電基板1と同一平面上になっている
とき最大になる)で角速度ベクトル12が生ずると、コ
リオリの力21が作用する。
山18の部分がコリオリの力21を受けると、弾性表面
波の山18と検出電極4との間にあるb部分には圧縮歪
が生じ、山18と検出電極5との間にあるC部分には引
張歪が生じ、この歪が電圧として検分電極4,5によっ
て検出される。この場合、前述したように、グレーティ
ングが設けられているので、比較的大きい振幅の弾性表
面波をa部分に効率よく発生させることができるので、
前記(3)式におけるv、が犬きくなシ、コリオリの力
Fcsすなわち検出電極4,5での出力を大きくなる。
また、山18が谷となる状態では、コリオリの力22が
作用するので、検出電極4,5で検出される電圧は、山
のときと逆位相になる。
角速度Ωが0の場合には、圧電基板1上に生じている弾
性表面波自身によっても検出電極4,5間のb部分、C
部分に歪を生ずるものの、両方とも引張シ歪、もしくは
圧縮歪であるので、検出電極4,5には同一極性の電圧
が生じ、増幅器28の出力端子29には、弾性表面自身
による出力信号は現れない。
ところで、基本的には、励振電極2,3に加えられる励
振電圧(V+ccstnωt:ω;角周波数。
t;時間)と、検出電極4,5に生じる出力電圧れるが
、前記移相器により同相になる。
第4図において、(a)は励振電圧信号を、0))は、
励振側と同期した出力電圧信号である。この出力電圧信
号の振幅は、角速度Ωに比例して大きくなる。また出力
電圧信号(C)は、角速度−Ωが与えられた時の信号で
あり、信号(a)、 (b)とは逆相である。
したがって、励振電圧信号(a)に同期して、検出電極
4,5での出力電圧信号を検波することにより、角速度
の大きさ及び符号を得ることができ、圧電基板1を取付
けた、回転する物体の角速度が測定される。
以上説明した実施例によれば、次の効果がある。
(1)1枚の圧電基板1の同一面上に、弾性表面波を励
振するための励振電極2,3とグレーティング6.7及
び角速度を検出するための検出電極4,5とを設けるよ
うにしたので、構造が簡単になる。
(2)検出電極4,5の間隔を弾性表面波の1波長ごと
にするとともに、増幅器28を介して出力信号を取出す
ようにしたので、出力信号における弾性表面波自身の影
響を除去することができる。
(3)機械的可動部を有しないので、長寿命を期待でき
る。
なお、本実施例においては、検出電極を、電極間間隔t
が弾性表面波の1波長のものを並列に2対配置したが、
さらに多数対配設してもよく、1対配置するのみでもよ
い。しかし、複数対並列に配置することによシ、出力イ
ンピーダンスを下げ、さらに熱雑音を小さくすることが
できる。
さらに、本実施例においては、励振電極2,3と検出電
極4,5とを挾んで両側に、グレーテイフグ6.フヲ設
けるようにしたが、一方何にのみ設けるだけでもよい。
しかし、両側に設けた方が反射係数を大きくすることが
できる。
さらにまた、グレーティング7は、検出電極4゜5の右
側に設けであるが、検出電極4,5の間を含む適当な右
横方向位置に設けてもよい。
また、検出電極4,5の間に、第1図に破線で示すよう
に、中間電極23を配置するようにしてもよい。このよ
うにすれば、検出電極4,5間の出力インピーダンスを
、さらに下げるという効果がある。
以下、他の実施例を説明する。
第5図は、本発明の第2の実施例に係る角速度計測装置
の平面図、第6図は、第5図のB−B断面図である。
この第5図において、第1図と同一番号を付したものは
同一部分である。そして、30は、検出電極4,5の間
に、b部分、C部分の間隔をおいて設けられた、ラップ
長さaに等しい長さの、有限幅の中間電極であり、この
中間電極30は、接地端子31を介して接地32されて
いる。33ば、出力端子34を具備した差動増幅器であ
り、この差動増幅器33に、検出電極4,5が端子10
゜11を介して接続されている。
このように構成した角速度計測装置の動作は、前記第1
の実施例と同様であり、検出電極4,5に弾性表面波が
効率よく励振され、角速度Ωに応じたコリオリの力Fc
が発生し、このコリオリの力Fcに応じた電圧が検出電
極4,5間に発生する。そしてこの出力電圧信号が差動
増幅器33全通して出力端子34から取出され、角速度
Ωを計測することができる。
ところで、角速度ΩがOの場合を考えると、圧電基板1
上に生じている弾性表面波自身によっても検出電極4,
5間に出力信号が生ずるが、以下の理由によってこれは
取除かれ、出力端子34には電圧を生ぜず、コリオリの
力F(の検出にとっては何ら邪魔になるものではない。
すなわち、第6図を用いて、30は、a部分が山18と
なった場合の接地電極、30′は、a部分が谷18′と
なった場合の接地電極を示す。まず、検出電極4,5間
の圧電基板1上において、a部分が、弾性表面波により
山18の状態になると、b及びC部分に引張り歪が生じ
、検出電極4゜5の両方に同一極性35の同一電圧が発
生する。
そしてこれらの同一電圧を差動増幅器33に入力すると
、出力端子34に現われる電圧はOになる。
次に、a部分が2点鎖線で示すように谷18′になった
状態でもb及びC部分には引張シ歪が生じ、山18の場
合と同一極性36の電圧が現われ、この場合にも差動増
幅器33の出力端子34に現われる電圧はOになる。同
様にして、a部分がどのような振動状態においても、出
力端子34には弾性表面波自身による電圧は生じない。
なお、第6図では、引張シ歪で”−”、圧縮歪で“十″
の極性になるようにしである。
以上説明した実施例によれば、前述した第1の実施例の
効果に加えて、中間電極30により検出電極4,5間の
出力インピーダンスを下げることができ、また、中間電
極30と接地32とにより中間電極位置での電位を均一
化し、出力端子34での出力電圧信号の安定化ができる
という、本実施例独得の効果がある。
なお、本実施例においては、検出電極4,5と中間電極
30とを直線状に並べるようにしたが、これに限るもの
ではなく、検出電極4,5と中間電極30との間の基板
部分(b、C部分に相当)にコリオリの力による歪が生
じる状態であれば、横方向にずらせてもよく、適当なず
らし方によっては、中間電極30をグレーティングとし
ても有効に用いることができる。
第7図は、本発明の第3の実施例に係る角速度計測装置
の平面図、第8図は、第7図に係る角速度計測装置の電
圧波形図である。
この第7図において、第5図と同一番号を付したものは
同一部分である。そして、40,41は、励振電極2,
3とグレーティング6との間に配設された検出電極であ
る。換言すれば、励振電極2゜3を挾んでその両側に、
それぞれ1組に係る2対ずつの検出電極4,5と40.
41とが有り、これら検出電極4,5と40,41とは
、励振電極2,3から発生した弾性表面波が互いに1/
2波長ずれる位置、すなわち、検出電極40,41間の
a′部分の励振状態が、検出電極4.5簡のa部分の励
振状態とは逆相になるような位置に配設されている。励
振電極2,3によシ右側、左側に励振される弾性表面波
は、この第7図の構成においては、互いに逆相となるた
め、励振電極2.3と検出電極4,5もしくは40.4
1との間の距離は互いに等しい。
43.44は、それぞれ検出電極40.41の端子であ
る。42ば、接地用端子45を介して、中間電極30と
ともに、接地32に接続されている中間電極である。
右側の検出電極4,5の出力は、それぞれ端子10.1
1を介して、1段目の差動増幅器に係る差動増幅器48
に、左側の検出電極40,41の出力ば、それぞれ端子
43.44を介して、1段目の差動増幅器に係る差動増
幅器49に入力され、これらの差動増幅器48.49の
出力は、2段目ことができるように構成されている。
このように構成した角速度計測装置において、いま右側
の検出電極4と5の間で、第2図で説明した山が生じつ
つあるとすると、左側の検出電極40と41の間では谷
ができつつある。この時、角速度ベクトルΩが与えられ
たとすると、検出電極4,5と40.41にはそれぞれ
46.47で示すような極性の電圧が生じる(極性は引
張り歪みの場合を6−”、圧縮歪みの場合を”+”にし
であるン。時間に対して検出電極に生じる電圧信号を考
えると、右側の検出電極4,5には第8図(イ)の(a
)の如き出力が、また左側の検出電極40゜41には第
8図(イ)の(b)の如き出力が得られる。そして端子
51には第8図(イ)の(C)の如き出力が現われ、前
記角速度が検出される。
ここで、圧電基板1が外乱振動により矢印52の方向へ
加速されたとすると、右側の検出電極4゜5の位置に作
用するプリオリの力は見かけ上小さくなシ、出力は第8
図(ロ)の(a)に示す如く小さくなる。これに対し、
左側の検出電極40.41に作用するコリオリの力は見
かけ上大きくなI)、出力は第8図(ロ)の(b)の如
く増大する。しかし、差動増幅器50の出力は外乱振動
のない場合と変らず、端子51には、第8図(ロ)の(
C)の如き出力が現われる。また、第7図において紙面
に垂直な外乱振動が加えられた場合には、既に述べたv
4に対して外乱が加えられるが、見かけ上コリオリの力
に対して上記と同様の影響を示し、外乱振動を自己吸収
する。したがって、測定軸(角速度ベクトル12の方向
)に垂直な面内の外乱振動も自己吸収され、前記角速度
のみが検出される。
励振電極2,3によって励振される弾性表面波によって
、左右の検出電極4,5及び40,41の位置に生ずる
歪により発生する電圧は、先に説明したように、各々差
動増幅器48.49を介して取出すことにより、0にで
きることは明らかである。
以上説明した、第7図に係る実施例によれば、前述した
第5図に係る実施例の効果に加えて、下記の効果がある
(1)励振電極2,3を挾んでその両側に弾性表面波の
位相が互いに逆位相となるように二組の検出電極4,5
および40.41を設けた構成にすることにより、外乱
振動による計測誤差を、防震というような機械的手段に
よらず、電気的に吸収できるので、さらに測定精度向上
を図ることができる。
(2)検出電極4,5間の発生電圧と検出電極40゜4
1間の発生電圧とが差動増幅器48,49及び50によ
り加算されるので、出力端子51には、第5図の電極構
成に比べて2倍の電圧を出力できる。
第9図は、本発明の第4の実施例に係る角速度計測装置
の平面図である。
この実施例も、励振電極2,3を挾んでその両側に、そ
れぞれ1組に係る2対ずつの検出電極4゜5と40.4
1とが有り、これら検出電極4,5と40.41とは、
励振電極2,3から発生した弾性表面波が互いに1/2
波長ずれる位置、すなわち、検出電極40.41間のa
′部分の励振状態が、検出電極4.5間のa部分の励振
状態とは逆相に々るような位置に配設されている。
また、53は、左右の検出電極5と41を接地するため
の接地用端子、54は、検出電極のそれぞれの一端に係
る、検出電極4と40に接続された差動増幅器、55は
出力端子である。
このように構成した角速度計測装置の動作も、第7図の
実施例と同様に、外乱振動の影響を自己吸収できると同
時に弾性表面波自身により生じる電圧を除去することが
できる。すなわち第9図において、励振電極2,3によ
って励振され右、左に伝播する弾性表面波の位相は、検
出電極4,5と40.41の位置で互いに逆相となり、
たとえば角速度Ωにより検出電極4には46の極性の電
圧が、検出電極40には47の極性を持つ互いた逆位相
の電圧が発生する。そして、この状態で圧電基板1上に
測定軸(角速度ベクトル12の方向)と垂直な面内の外
乱振動が加わつ念場合には、前述の第8図での説明と同
じように、検出電極4側では出力電圧が小さくなり、検
出電極40側では出力電圧が大きくなるように働き、端
子55には外乱振動を自己吸収した状態の出力電圧が生
じる。
弾性表面波自身によってb部分とb′°部分とに生じる
歪みは、振動状態は逆位相であるが、両部会とも引張り
歪となり、検出電極4と40には同一極性の出力が生じ
る。そしてこれを差動増幅器54を介して端子55から
取出すことにより、出力電圧はOとな夛、弾性表面波自
身の影響を除去することができる。
第10図(a)、 (b)fl、それぞれ本発明の第5
,6の実施例に係る角速度計測装置のグレーティングの
詳細を示す拡大断面図である。
これまで説明した各実施例におけるグレーティングは、
前記した第2図に示すように、圧電基板1上に、金属な
ど薄い膜を付着させたストリップ形のグレーティング7
であった。グレーティングとしては、第2図に示した構
成のものに限るものではなく、第10図(a)に示すよ
うに、圧電基板1の表面に4を形成したグレープ形のグ
レーティング26であってもよく、また、第10図中)
に示すように、表面近傍の物質定数を変化させるイオン
釣 打込み形(−または金属拡散槃)のグレーティング27
であってもよく、これらは、いずれも第2図に係るグレ
ーティング7と同様の効果を奏するものである。
最後に、角速度計測ユニットの実施例を説明する。
第11図は、本発明の第7の実施例に係る角速度計測ユ
ニットの略示図、第12図は、第11図に係る角速度計
測ユニットのシステムブロック図である。
この角速度計測ユニットは、これまで説明した角速度計
測装置(たとえば、第1図に係る角速度計測装置)と同
一構成の角速度センサ56を複数個重ねたセンサ部57
ど、各角速度センサ56の励振電極8,9(第1図参照
)に接続された励振源58と、各検出電極4,5(第1
図参照)に接続された増幅器59a、同期検波回路59
b、基準周波数発生器59cからなる検出部59と、出
力端子60とを有するものである。
このように構成した角速度計測ユニットの動作は、励振
源58tCよってセンサ部57の各角速度センサ56が
励振され、コリオリの力によって前記各角速度センサ5
6に発生した出力電圧が、検出部59によって直列に加
算されて、出力端子60から取出される。
この角速度計測ユニットによれば、角速度計測装置を単
独で使用するよりも、大きな出力信号が得られるという
効果がある。
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように本発明によれば、構造が簡単
な角速度計測装置、およびこれを複数個接続した角速度
計測ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の第1の実施例に係る角速度計測装置
の平面図、第2図は、第1図における右側のグレーティ
ングの詳細を示す拡大側断面図、第3図は、第1図に係
る角速度計測装置の動作を説明するための模式図、第4
図は、第1図に係る角速度計測装置の電圧波形図、第5
図は、本発明の第2の実施例に係る角速度計測装置の平
面図、第6図は、第5図のB−B断面図、第7図は、本
発明の第3の実施例に係る角速度計測装置の平面図、第
8図は、第7図に係る角速度計測装置の電圧波形図、第
9図は、本発明の第4の実施例に係る角速度計測装置の
平面図、第10図は、本発明の第5,6の実施例に係る
角速度計測装置のグレーティングの詳細を示す拡大側断
面図、第11図は、本発明の第7の実施例に係る角速度
計測ユニットの略示図、第12図は、第11図に係る角
速度計測ユニットのシステムブロック図である。 1・・・圧電基板、2,3・・・励振電極、4,5・・
・検出電極、6,7・・・グレーティング、21.22
・・・コリオリの力、23・・・中間電極、26.27
・・・グレーティング、32・・・接地、33・・・差
動増幅器、34・・・端子、40.41・・・検出電極
、42・・・中間電極、48,49,50.54・・・
差動増幅器、55・・・出力端子、56・・・角速度セ
ンサ、57・・・セ(ほか1名) 壺1 口 第3 圀 訃4囚 昏5 口 寮T口 訃9阻 第11菌 膠1z巳

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、平板状の圧電基板の一方の面に、弾性表面波を発生
    することができる励振電極と、この励振電極から発生し
    た弾性表面波を反射せしめるグレーティングと、このグ
    レーティングと前記励振電極との間、もしくは、この励
    振電極に対して前記グレーティングと反対側に、前記圧
    電基板を回転したときに前記弾性表面波による弾性振動
    部に生ずるコリオリの力を検出することができる検出電
    極とを設けたことを特徴とする角速度計測装置。 2、検出電極を、電極間間隔を弾性表面波の1波長にし
    た、くし形検出電極にしたものである特許請求の範囲第
    1項記載の角速度計測装置。 3、検出電極の間に、中間電極を設けたものである特許
    請求の範囲第1項記載の角速度計測装置。 4、中間電極を接地するとともに、検出電極に、出力端
    子を具備した差動増幅器を接続したものである特許請求
    の範囲第3項記載の角速度計測装置。 5、励振電極と検出電極とを挾んで両側に、グレーティ
    ングを設けたものである特許請求の範囲第1項記載の角
    速度計測装置。 6、検出電極を、励振電極を挾んでその両側の、該励振
    電極から発生した弾性表面波が互いに1/2波長ずれる
    位置に、それぞれ1組ずつ配設した検出電極にしたもの
    である特許請求の範囲第1項記載の角速度計測装置。 7、検出電極のそれぞれに1段目の差動増幅器を接続し
    、これら差動増幅器に、出力端子を具備した2段目の差
    動増幅器を接続したものである特許請求の範囲第6項記
    載の角速度計測装置。 8、検出電極のそれぞれの一端に、出力端子を具備した
    差動増幅器を接続したものである特許請求の範囲第6項
    記載の角速度計測装置。 9、平板状の圧電基板の一方の面に、弾性表面波を発生
    することができる励振電極と、この励振電極から発生し
    た弾性表面波を反射せしめるグレーティングと、このグ
    レーティングと前記励振電極との間、もしくは、この励
    振電極に対して前記グレーティングと反対側に、前記圧
    電基板を回転したときに前記弾性表面波による弾性振動
    部に生ずるコリオリの力を検出することができる検出電
    極とを設けてなる複数個の角速度センサと、これら角速
    度センサの前記各励振電極に接続された励振源と、前記
    各検出電極に接続された検出部とを有することを特徴と
    する角速度計測ユニット。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US6016698A (en) * 1988-08-12 2000-01-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibratory gyroscope including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction

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