JPS6125608U - 流体定圧供給装置 - Google Patents
流体定圧供給装置Info
- Publication number
- JPS6125608U JPS6125608U JP10613284U JP10613284U JPS6125608U JP S6125608 U JPS6125608 U JP S6125608U JP 10613284 U JP10613284 U JP 10613284U JP 10613284 U JP10613284 U JP 10613284U JP S6125608 U JPS6125608 U JP S6125608U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- constant pressure
- supply device
- pressure supply
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例に係る流体定圧供給装置の説
明図、第２図は同流体定圧供給装置を用いたシステムを
示す説明図、第３図は従来の流体供給のシステムを示す
説明図、第４図は従来及び本考案装置に係る圧力と時間
の関係を示す特匪図である。 １・・・流体供給源、２ｔ ２ａｔ ２ｂ・・・パ
ルフ、３．３ａｔ ３ｂ−・・フィルター、４，４ａ
， ４ｂ・−レギュレータ、５，５ａ〜５ｅ，１４ａ
〜１４ｄ・・・配管、６．２０ａ．２０ｂ・・・圧力計
、７ａ，７ｂ・・・機器、１１・・・容器、１２ａ．１
２ｂ・・・レベルスイッチ、１３・・・エア弁、１５・
・・ボンブ、１６ａ〜１６ｃ・・・バルブ、１７・・・
カートリッジフィルタ、１８・・・限外ろ過器、１９ａ
．１９ｂ・・・二一ドルバルブ、２１・・・制御器、２
２・・・流体定圧供給装置。
明図、第２図は同流体定圧供給装置を用いたシステムを
示す説明図、第３図は従来の流体供給のシステムを示す
説明図、第４図は従来及び本考案装置に係る圧力と時間
の関係を示す特匪図である。 １・・・流体供給源、２ｔ ２ａｔ ２ｂ・・・パ
ルフ、３．３ａｔ ３ｂ−・・フィルター、４，４ａ
， ４ｂ・−レギュレータ、５，５ａ〜５ｅ，１４ａ
〜１４ｄ・・・配管、６．２０ａ．２０ｂ・・・圧力計
、７ａ，７ｂ・・・機器、１１・・・容器、１２ａ．１
２ｂ・・・レベルスイッチ、１３・・・エア弁、１５・
・・ボンブ、１６ａ〜１６ｃ・・・バルブ、１７・・・
カートリッジフィルタ、１８・・・限外ろ過器、１９ａ
．１９ｂ・・・二一ドルバルブ、２１・・・制御器、２
２・・・流体定圧供給装置。
Claims (1)
- 流体洪給源より供給される流体が一時的に収容され、レ
ベルセンサーが設けられたタンクと、このタンクに連通
されたポンプと、このポンプ及び前記タンクに連通され
半導体製造用の機器に送給される流体を浄化して通過さ
せるフィルターと、前記レヘルセンサー、ポンプに電気
的に接続された制御器とを具備し、一定圧力の流体を前
記機器に供給することを特徴とする流体定圧供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10613284U JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10613284U JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125608U true JPS6125608U (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=30665430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10613284U Pending JPS6125608U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 流体定圧供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6125608U (ja) |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP10613284U patent/JPS6125608U/ja active Pending
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