JPS61245019A - Displacement detecting device - Google Patents

Displacement detecting device

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Publication number
JPS61245019A
JPS61245019A JP8722885A JP8722885A JPS61245019A JP S61245019 A JPS61245019 A JP S61245019A JP 8722885 A JP8722885 A JP 8722885A JP 8722885 A JP8722885 A JP 8722885A JP S61245019 A JPS61245019 A JP S61245019A
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JP
Japan
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signal
circuit
pulse
permanent magnet
magnetostrictive wire
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Application number
JP8722885A
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Japanese (ja)
Inventor
Kozo Kyoizumi
宏三 京和泉
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SANKYO BOEKI KK
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SANKYO BOEKI KK
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

PURPOSE:To eliminate an unnecessary signal waveform generated by a high frequency noise, by delaying a function of a circuit, while a current pulse is being supplied to a magnetostrictive line, or only when an unnecessary waveform is continued. CONSTITUTION:An ultrasonic wave is generated in a part of a magnetostrictive line 1 to which a permanent magnet 2 which can move along the magnetostrictive line stands close, a propagation time of the ultrasonic wave to a specified part of the magnetostrictive line 1 is measured, and a mechanical displacement given to the permanent magnet 2 is detected. Also, a first-order lag element III is provided as a delaying circuit for generating a bias signal which is operated with a delay at the time when a current pulse is impressed to the magnetostrictive line 1, this signal is superposed on a voltage signal by the ultrasonic wave which is detected in the specified part, and also a Schmitt trigger circuit V and a differentiating circuit VI are provided as a pulse forming circuit which is operated by the potential corresponding to an ultrasonic signal in the superposed voltage signal and generates a pulsative signal, and a sample holding circuit 45 is provided as a detecting circuit for obtaining an electric signal being proportional to a mechanical displacement given to the permanent magnet 2 by this pulse signal.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁歪現象を用いて物体や液面などの機械的変位
を検出する変位検出装置、特にその機械的変位を電気信
号として得ることができる電気回路に関するものである
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a displacement detection device that detects mechanical displacement of an object or liquid level using magnetostriction, and particularly to an electric device that can obtain the mechanical displacement as an electrical signal. It is related to circuits.

従来技術とその問題点 従来、磁歪現象を用いて物体や液面の機械的変位を知る
変位検出装置として例えば特開昭55−66710号公
報に記載のものが知られている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Conventionally, there has been known a displacement detection device that detects mechanical displacement of an object or a liquid surface by using magnetostrictive phenomena, such as that described in Japanese Patent Application Laid-open No. 55-66710.

即ち、磁歪線に電流パルスを流し、磁歪線に沿って移動
可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位に、いわゆるビ
ープマン効果(Wiedemann effect)に
より超音波(捩り歪)を発生させ、磁歪線の特定部位に
設けた受信部までの超音波の伝播時間を計測することに
より、永久磁石に与えられる機械的変位を検出するもの
である。
That is, a current pulse is passed through the magnetostrictive wire, and an ultrasonic wave (torsional strain) is generated in the vicinity of the magnetostrictive wire by a permanent magnet that is movable along the magnetostrictive wire due to the so-called Wiedemann effect. Mechanical displacement applied to a permanent magnet is detected by measuring the propagation time of ultrasonic waves to a receiving section provided at a specific location.

ところが、この種の装置の場合、電流パルスを磁歪線に
供給する際に高周波ノイズが発生し、この高周波ノイズ
が、受信部を磁歪線の近傍に設置しなければならないこ
と、および電流パルスが流れることによって電源部が乱
され、その影響が他の回路に現れることなどの理由によ
って、不要な信号波形として検出されてしまうという問
題があった。
However, in the case of this type of device, high-frequency noise is generated when supplying current pulses to the magnetostrictive wire, and this high-frequency noise requires that the receiver be installed near the magnetostrictive wire, and that the current pulse is This causes a problem in that the power supply section is disturbed and its influence appears in other circuits, resulting in detection as an unnecessary signal waveform.

発明の目的 本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、
その目的は、電流パルスが磁歪線に供給されている間、
あるいは不要な波形が持続する間のみ回路の機能を遅延
させることによって、高周波ノイズによる不要な信号波
形を除去できる変位検出装置を提供することにある。
Purpose of the Invention The present invention has been made in view of such conventional problems.
The purpose is that while a current pulse is supplied to the magnetostrictive wire,
Another object of the present invention is to provide a displacement detection device that can remove unnecessary signal waveforms caused by high-frequency noise by delaying the function of the circuit only while the unnecessary waveforms persist.

発明の構成 上記目的を達成するために、本発明は、電流パルスが磁
歪線に印加された時刻に遅延をもって動作するバイアス
信号を発生させる遅廷回路を設け、上記バイアス信号を
磁歪線の特定部位で検出された超音波による電圧信号に
重畳するとともに、該重畳電圧信号内の超音波信号に相
当する電位で動作してパルス状の信号を発生させるパル
ス成形回路を設け、該パルス信号により永久磁石に与え
られる機械的変位に比例した電気信号を得る検出回路を
設けたものである。
Structure of the Invention In order to achieve the above object, the present invention provides a delay circuit that generates a bias signal that operates with a delay at the time when a current pulse is applied to the magnetostrictive wire, and transmits the bias signal to a specific portion of the magnetostrictive wire. A pulse shaping circuit is provided which generates a pulsed signal by superimposing it on the voltage signal caused by the ultrasonic wave detected by the ultrasonic wave, and operates at a potential corresponding to the ultrasonic signal in the superimposed voltage signal, and the pulse signal generates a permanent magnet. A detection circuit is provided to obtain an electrical signal proportional to the mechanical displacement applied to the sensor.

実施例の説明 第1図は本発明にかかる変位検出装置の全体構成、第2
図は変位検出装置の電気回路の各部の電圧波形を示して
いる。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS FIG. 1 shows the overall configuration of a displacement detection device according to the present invention, and FIG.
The figure shows voltage waveforms at various parts of the electric circuit of the displacement detection device.

第1図中、1は磁歪線、2は永久磁石、3は永久磁石2
の部位で発せられる損り歪の到達を検出する受信部であ
る歪検出装置である。
In Figure 1, 1 is a magnetostrictive wire, 2 is a permanent magnet, and 3 is a permanent magnet 2
This is a distortion detection device that is a receiving unit that detects the arrival of loss distortion emitted at a location.

矩形波発振回路4は第21!IAに示すような矩形波を
発生し、コンデンサ5と抵抗6とで構成される微分回路
Tによって矩形波が微分され、トランジスタ7のベース
電圧は第2図Bのようになる。
The square wave oscillation circuit 4 is the 21st! A rectangular wave as shown in IA is generated, and the rectangular wave is differentiated by a differentiating circuit T composed of a capacitor 5 and a resistor 6, and the base voltage of the transistor 7 becomes as shown in FIG. 2B.

トランジスタ7のコレクタには抵抗8を介して一定電圧
Voが供給されているので、第2図Bの微分波形は整形
されてトランジスタ7のコレクタ電圧が第2図Cのよう
に変化する。このCの電圧波形は、抵抗9を介して一定
電圧V。がエミッタに供給されているPNP型トランジ
スタ10のベースに印加されているので、第2図Cのよ
うなパルスが発生するとトランジスタ10がONとなり
、Cの形状を持つ電流パルスが導線11.磁歪線1およ
び導線12を流れることになる。導線11゜12はシー
ルド13で取り囲まれており、電流パルスが他の回路に
与える影響を最小限に抑制している。
Since a constant voltage Vo is supplied to the collector of the transistor 7 via the resistor 8, the differential waveform shown in FIG. 2B is shaped and the collector voltage of the transistor 7 changes as shown in FIG. 2C. This voltage waveform of C is a constant voltage V through the resistor 9. is applied to the base of the PNP transistor 10 whose emitter is supplied, so when a pulse like that shown in FIG. It flows through the magnetostrictive wire 1 and the conducting wire 12. The conductors 11 and 12 are surrounded by a shield 13 to minimize the influence of current pulses on other circuits.

磁歪線1に電流パルスが与えられると、永久磁石2の部
位で捩り歪(超音波)が発生し、その歪の到達を歪検出
装置3で検出する。歪検出装置3としては、圧電素子を
使用する方法や、逆磁歪現象を応用して検出された歪を
電気信号に変換する方法があるが、いずれの方法も歪検
出装置のインピーダンスが高く、シールド14で保護さ
れた導線15.16を介して後続の回路に伝達される。
When a current pulse is applied to the magnetostrictive wire 1, torsional strain (ultrasonic waves) is generated at a portion of the permanent magnet 2, and the arrival of the strain is detected by the strain detection device 3. As the strain detection device 3, there are methods that use a piezoelectric element and methods that apply the inverse magnetostriction phenomenon to convert the detected strain into an electrical signal, but in either method, the impedance of the strain detection device is high and a shield is required. It is transmitted to the subsequent circuit via conductors 15, 16 protected by 14.

歪検出装置3で検出された信号は、演算増幅器17と抵
抗18.19で構成される反転型初段増幅部■にコンデ
ンサ20を経て印加される。検出された信号は捩り歪に
よる超音波であるから、その成分である高周波のみを増
幅するためにコンデンサ20を介しているが、低周波ノ
イズの心配のない場合はコンデンサ20を省略してもよ
い。
The signal detected by the distortion detection device 3 is applied via a capacitor 20 to an inverting type first-stage amplifier section (2) consisting of an operational amplifier 17 and resistors 18 and 19. Since the detected signal is an ultrasonic wave caused by torsional distortion, it is passed through a capacitor 20 in order to amplify only the high frequency component thereof, but the capacitor 20 may be omitted if there is no concern about low frequency noise. .

演算増幅器17で増幅された信号の一例を第2図りに示
す。図中、20は増幅された捩り歪による信号、21は
第2図Cの形状を持つ電流パルスを磁歪線1に供給する
ために生じる高周波ノイズである。既に述べたように、
電流パルスが他の回路に与える影響を最小限にするため
にシールド13.14を用いているが、歪検出装置3を
磁歪線lの近傍に設置しなければならないこと、および
電流パルスが流れることによって電源部が乱され、その
影響が他の回路、例えば演算増幅器17に現れること等
によって、第2図りの21の如き不要な波形が信号とし
て出現することになる。
An example of the signal amplified by the operational amplifier 17 is shown in the second figure. In the figure, 20 is a signal due to amplified torsional strain, and 21 is high-frequency noise generated because a current pulse having the shape shown in FIG. 2C is supplied to the magnetostrictive wire 1. As already mentioned,
Although shields 13 and 14 are used to minimize the influence of current pulses on other circuits, the strain detection device 3 must be installed near the magnetostrictive wire l, and the current pulses must flow. The power supply section is disturbed by this, and the influence appears in other circuits, for example, the operational amplifier 17, so that an unnecessary waveform such as 21 in the second diagram appears as a signal.

この不要な波形は遅廷回路を用いて、電流パルスが磁歪
線1に供給されている間、あるいは不要な波形が持続す
る間のみ演算増幅器17の機能を停止させるなどして除
去することができる0本実施例では、最も簡単な遅廷回
路として一次遅れ要素■を用いている。すなわち、矩形
波発振回路4の出力は抵抗22を介して、一定電圧V。
This unnecessary waveform can be removed by using a delay circuit to stop the function of the operational amplifier 17 only while the current pulse is being supplied to the magnetostrictive wire 1 or while the unnecessary waveform continues. 0 In this embodiment, a first-order delay element (2) is used as the simplest delay circuit. That is, the output of the rectangular wave oscillation circuit 4 is a constant voltage V via the resistor 22.

が抵抗24を経てコレクタに供給されるトランジスタ2
3のベースに印加される。従って、トランジスタ23の
コレクタの電圧波形は第2図Aを反転させた波形となり
、この波形が抵抗25とコンデンサ26とからなる一次
遅れ要素■に加えられるので、コンデンサ26の電圧波
形は第2図Eのようになる。
is supplied to the collector via a resistor 24
Applied to the base of 3. Therefore, the voltage waveform at the collector of the transistor 23 becomes the inverted waveform of A in FIG. It will look like E.

上記電圧波形Eは抵抗27を経て、演算増幅器28と抵
抗29.30とで構成される次段増幅部■に供給され、
また当該増幅部■は抵抗31を介して−v2でバイアス
されている。初段増幅部Hの出力はコンデンサ32を介
して伝えられているので、演算増幅器28の出力は第2
図Fのように第2図りとEの波形を重畳させかつ反転さ
せた形態となっている。すなわち、捩り歪による本来の
信号(第2図りの20)はバイアス電圧v2を中心とし
て変化し、不要である電圧波形(第2図りの21)は第
2図Fの波形33のように下位に押し付けられることに
なって、不要な信号を区別できることになる。
The voltage waveform E is supplied to the next stage amplification section (2), which is composed of an operational amplifier 28 and a resistor 29.30, through a resistor 27.
Further, the amplifying section (2) is biased at -v2 via a resistor 31. Since the output of the first stage amplifier H is transmitted via the capacitor 32, the output of the operational amplifier 28 is transmitted to the second stage amplifier H.
As shown in Figure F, the waveforms of the second diagram and E are superimposed and reversed. In other words, the original signal due to torsional distortion (20 in the second diagram) changes around the bias voltage v2, and the unnecessary voltage waveform (21 in the second diagram) is shifted to a lower position like waveform 33 in Figure 2F. This means that unnecessary signals can be distinguished.

演算増幅器34と抵抗35.36とダイオード37はシ
ュミットトリガ回路■を構成し、抵抗38を介してシュ
ミットトリガ回路Vの動作点を決める電圧V、が与えら
れる。いまv3として第2図Fに示すような電圧を与え
たとすると、演算増幅器28の電圧がV、′以下になっ
て初めてOFFとなる第2図Gのごとき電圧波形が得ら
れる。
The operational amplifier 34, resistors 35, 36, and diode 37 constitute a Schmitt trigger circuit (2), and a voltage V that determines the operating point of the Schmitt trigger circuit V is applied through a resistor 38. Assuming that a voltage as shown in FIG. 2F is applied as v3, a voltage waveform as shown in FIG. 2G is obtained, which turns off only when the voltage of the operational amplifier 28 becomes less than V,'.

■、”は抵抗35.36の組合せによって任意に選ぶこ
とができる。一般に、歪検出装置3として圧電素子を使
用した場合には、装置内部の反射の影響により本来必要
な第1の波形39に続いて第2の波形40が検出される
傾向にあるが、上記シュミットトリガ回路Vはこの不要
な第2の波形40を無視し、本来必要な第1の波形39
のみを検出することができる。
■, ” can be arbitrarily selected by the combination of resistors 35 and 36. Generally, when a piezoelectric element is used as the strain detection device 3, the originally required first waveform 39 is distorted due to the influence of reflection inside the device. Subsequently, the second waveform 40 tends to be detected, but the Schmitt trigger circuit V ignores this unnecessary second waveform 40 and detects the originally necessary first waveform 39.
can only be detected.

第2図″Gの階段状波形はコンデンサ41と抵抗42と
からなる微分回路■によって微分され、抵抗43を介し
て一定電圧V。が供給されているトランジスタ44で波
形整形され、第2図Hで示すようなパルス波形を得る。
The step-like waveform shown in FIG. Obtain the pulse waveform shown in .

第2図Hのパルスの発生時刻は、永久磁石2により発生
した超音波が歪検出装置3の部位に到達する時刻に一致
する。このパルスはサンプルホールド回路45のサンプ
ル入力部46に加えられる。
The generation time of the pulse shown in FIG. 2H coincides with the time when the ultrasonic wave generated by the permanent magnet 2 reaches the strain detection device 3. This pulse is applied to a sample input 46 of a sample and hold circuit 45.

一方、演算増幅器48.抵抗49.トランジスタ50お
よびコンデンサ51は積分回路■を構成する。演算増幅
器48の正入力部には一定電圧V、が加えられ、出力部
がトランジスタ50のベースに接続され、該トランジス
タ50のエミッタ電圧が演算増幅器48の負入力部にフ
ィードバックされているから、常にトランジスタ50の
エミッタ電圧がV、と等しくなり、抵抗49の電圧差が
V、−V4となって一定になる。即ち、抵抗49の抵抗
値をRとすれば、 なる電流iがトランジスタ50を経てコンデンサ51に
流れ込み、コンデンサ51の電圧は時間とともに変化し
、かつ一定勾配を持った電圧波形となる。また、コンデ
ンサ51はトランジスタ52のコレクタに接続され、該
トランジスタ52のベースは抵抗53を介して既に述べ
たトランジスタ23のコレクタに接続されているため、
第2図!に示すように電流パルスが印加された時刻に0
ボルトからスタートする一定勾配を有する電圧波形が得
られることになる。
On the other hand, the operational amplifier 48. Resistance 49. Transistor 50 and capacitor 51 constitute an integrating circuit (2). A constant voltage V is applied to the positive input part of the operational amplifier 48, the output part is connected to the base of the transistor 50, and the emitter voltage of the transistor 50 is fed back to the negative input part of the operational amplifier 48. The emitter voltage of the transistor 50 becomes equal to V, and the voltage difference across the resistor 49 becomes V and -V4, which becomes constant. That is, if the resistance value of the resistor 49 is R, a current i flows into the capacitor 51 via the transistor 50, and the voltage of the capacitor 51 changes with time and has a voltage waveform with a constant slope. Further, since the capacitor 51 is connected to the collector of the transistor 52, and the base of the transistor 52 is connected to the collector of the transistor 23 mentioned above via the resistor 53,
Figure 2! 0 at the time the current pulse is applied as shown in
A voltage waveform with a constant slope starting from volts will be obtained.

トランジスタ52は矩形波発振回路4の出力電圧である
第2図Aが0になったときONになるから、コンデンサ
51の電圧が放電され、一定勾配で上昇していた電圧が
第2図IのようにOにセットされ、次の電流パルスが印
加される時刻に再びコンデンサ51の電圧が一定勾配を
持って上昇し、以後この動作を繰り返すことになる。
Since the transistor 52 turns ON when the output voltage of the rectangular wave oscillation circuit 4, shown in FIG. When the next current pulse is applied, the voltage of the capacitor 51 rises again with a constant slope, and this operation is repeated thereafter.

第2図1の電圧波形はサンプルホールド回路45の入力
部47に伝えられ、第211iUHのサンプルパルスが
入力されたときのIの電圧(図の例ではVS)がサンプ
ルホールド回路45で保持されて出力信号となる。即ち
、サンプルホールド回路45の出力信号電圧■5は磁歪
線1上の永久磁石2の位デに比例したものとなる。
The voltage waveform in FIG. 2 is transmitted to the input section 47 of the sample-and-hold circuit 45, and the voltage at I (VS in the example in the figure) when the 211iUH sample pulse is input is held in the sample-and-hold circuit 45. This becomes the output signal. That is, the output signal voltage 5 of the sample and hold circuit 45 is proportional to the position of the permanent magnet 2 on the magnetostrictive wire 1.

なお、上記実施例では、パルス成形回路としてシュミッ
トトリガ回路■と微分回路■とを用いたが、歪検出装置
3として圧電素子を使用しない場合には第2図Fの40
のような余韻波形が殆ど検出されないので、一般の振幅
選択回路あるいは振幅比較回路によって必要な信号39
のみを取り出し、これを微分してパルス信号を得るよう
にしてもよい。
In the above embodiment, the Schmitt trigger circuit (■) and the differential circuit (■) were used as the pulse shaping circuit, but when a piezoelectric element is not used as the strain detection device 3, the 40 in FIG.
Since lingering waveforms such as
Alternatively, the pulse signal may be obtained by extracting only the pulse signal and differentiating it.

また、永久磁石に与えられる機械的変位に比例した電気
信号を得る方法としては、上記サンプルホールド回路4
5のように電流パルスによって三角波状の電圧をスター
トさせ、上記パルス成形回路がパルス信号を発生した時
点の電圧値をサンプルホールドする場合に瞑らず、例え
ば電流パルスによってクロックをスタートさせ、上記パ
ルス成形回路がパルス信号を発生した時点でクロックを
セントするようにしてもよい。この場合には、永久磁石
の機械的変位に比例したデジタル信号を得ることができ
る。
Further, as a method of obtaining an electric signal proportional to the mechanical displacement given to the permanent magnet, the above-mentioned sample and hold circuit 4
5, a triangular wave-shaped voltage is started by a current pulse, and instead of sampling and holding the voltage value at the time when the pulse shaping circuit generates a pulse signal, for example, a clock is started by a current pulse, and the pulse shaping circuit is The clock may be set at the moment the circuit generates the pulse signal. In this case, a digital signal proportional to the mechanical displacement of the permanent magnet can be obtained.

発明の効果 以上の説明で明らかなように、本発明によれば電流パル
スが磁歪線に印加された時刻に遅延をもって動作するバ
イアス信号を受信部で検出された信号に重畳するととも
に、この重畳信号内の超音波信号のみをパルス成形回路
で取り出すようにしたため、電流パルスによる不要な信
号を容易に除去できるとともに、回路が簡単になるので
、安価に構成できるという利点がある。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation, according to the present invention, a bias signal that operates with a delay at the time when a current pulse is applied to a magnetostrictive wire is superimposed on a signal detected by a receiving section, and this superimposed signal Since only the ultrasonic signal within is taken out by the pulse shaping circuit, unnecessary signals caused by current pulses can be easily removed, and the circuit is simple, so it has the advantage of being able to be constructed at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明にかかる変位検出装置の全体構成図、第
2図は上記変位検出装置の電気回路各部の電圧波形図で
ある。 1・・・磁歪線、2・・・永久磁石、3・・・歪検出装
置(受信部)、4・・・発振回路、45・・・サンプル
ホールド回路、■・・・反転型初段増幅部、■・・・−
次遅れ要素(遅廷回路)、■・・・次段増幅部、■・・
・シュミットトリガ回路、■・・・微分回路。 出 願 人  三京貿易株式会社 代 理 人  弁理士 筒井 秀隆 第2図
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a displacement detection device according to the present invention, and FIG. 2 is a voltage waveform diagram of each part of the electric circuit of the displacement detection device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Magnetostrictive wire, 2... Permanent magnet, 3... Strain detection device (receiving part), 4... Oscillation circuit, 45... Sample hold circuit, ■... Inverting type first stage amplifier section ,■・・・−
Next delay element (delay circuit), ■...Next stage amplification section, ■...
・Schmitt trigger circuit, ■... Differential circuit. Applicant Sankyo Boeki Co., Ltd. Agent Patent Attorney Hidetaka Tsutsui Figure 2

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁歪線に電流パルスを流し、磁歪線に沿って移動
可能な永久磁石の近接する磁歪線の部位で超音波を発生
させ、磁歪線の特定部位までの超音波の伝播時間を計測
することにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検
出する装置において、上記電流パルスが磁歪線に印加さ
れた時刻に遅延をもって動作するバイアス信号を発生さ
せる遅廷回路を設け、上記バイアス信号を磁歪線の特定
部位で検出された超音波による電圧信号に重畳するとと
もに、該重畳電圧信号内の超音波信号に相当する電位で
動作してパルス状の信号を発生させるパルス成形回路を
設け、該パルス信号により永久磁石に与えられる機械的
変位に比例した電気信号を得る検出回路を設けたことを
特徴とする変位検出装置。
(1) A current pulse is passed through the magnetostrictive wire, an ultrasonic wave is generated at a portion of the magnetostrictive wire adjacent to a permanent magnet that can be moved along the magnetostrictive wire, and the propagation time of the ultrasonic wave to a specific portion of the magnetostrictive wire is measured. In a device for detecting mechanical displacement applied to a permanent magnet, a delay circuit is provided that generates a bias signal that operates with a delay at the time when the current pulse is applied to the magnetostrictive wire, and the bias signal is applied to the magnetostrictive wire. A pulse shaping circuit is provided which superimposes the voltage signal caused by the ultrasonic wave detected at a specific portion of the circuit and generates a pulse-like signal by operating at a potential corresponding to the ultrasonic signal within the superimposed voltage signal, and generates the pulse signal. 1. A displacement detection device comprising a detection circuit that obtains an electrical signal proportional to the mechanical displacement applied to a permanent magnet.
(2)上記パルス成形回路は、重畳電圧信号内の超音波
信号の先端部に相当する電位で動作するシェミットトリ
ガ回路と、該トリガ信号を微分する微分回路とを備えて
いる特許請求の範囲第1項記載の変位検出装置。
(2) The above-mentioned pulse shaping circuit includes a Shemite trigger circuit that operates at a potential corresponding to the tip of the ultrasonic signal within the superimposed voltage signal, and a differentiation circuit that differentiates the trigger signal. The displacement detection device according to item 1.
(3)上記検出回路は、パルス成形回路のパルス信号を
サンプル信号とし、電流パルスが磁歪線に印加されると
同時にスタートする一定勾配を持つ電圧をホールドして
、永久磁石に与えられる機械的変位に比例した電気信号
を得るサンプルホールド回路で構成されている特許請求
の範囲第1項または第2項記載の変位検出装置。
(3) The above detection circuit uses the pulse signal of the pulse shaping circuit as a sample signal, holds a voltage with a constant slope that starts at the same time as the current pulse is applied to the magnetostrictive wire, and calculates the mechanical displacement given to the permanent magnet. The displacement detection device according to claim 1 or 2, comprising a sample and hold circuit that obtains an electrical signal proportional to .
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