JPS61241359A - Polyimide precursor solution - Google Patents
Polyimide precursor solutionInfo
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- JPS61241359A JPS61241359A JP6827485A JP6827485A JPS61241359A JP S61241359 A JPS61241359 A JP S61241359A JP 6827485 A JP6827485 A JP 6827485A JP 6827485 A JP6827485 A JP 6827485A JP S61241359 A JPS61241359 A JP S61241359A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ポリイミド前駆体の溶媒として汎用溶剤で
ある多価アルコール誘導体を用いたポリイミド前駆体溶
液に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a polyimide precursor solution using a polyhydric alcohol derivative, which is a general-purpose solvent, as a solvent for the polyimide precursor.
一般に、耐熱性に富んだ芳香族ポリイミドは、それ自身
有機溶剤に不要であるためそのままの状態ではフィルム
等の成形体に加工することができない。したがって、通
常、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の状態でN
−メチル−2−ピロリドン、N、N’−ジメチルアセト
アミド、N。Generally, aromatic polyimides with high heat resistance do not require organic solvents, and therefore cannot be processed into molded products such as films as they are. Therefore, N is usually used in the form of polyamic acid, which is a precursor of polyimide.
-Methyl-2-pyrrolidone, N,N'-dimethylacetamide, N.
No−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、
ヘキサメチルホスホルアミドの有機極性溶剤に溶解し、
それをガラス板上等に流延し、高温下で加熱処理して脱
水閉環させることによりポリイミドフィルム等にするこ
とが行われている。しかしながら、上記有機極性溶剤は
いずれも皮膚吸収性を有していて毒性が強いため、その
取扱いには耐溶剤手袋を着用しなければならない等の煩
雑さがあり、取扱い性に難点がある。また、これらの有
機極性溶剤は、溶解力が強いため、上記ポリアミド酸の
有機極性溶剤溶液を被塗布材に塗布し加熱硬化して被塗
布材の表面にポリイミド膜を形成するような場合、被塗
布材として有機材料を用いると、その材料が、上記有機
極性溶剤に侵されてしまうため、通常、被塗布材として
金属、金属酸化物等の無機材料を用いざるをえずポリイ
ミドの適用範囲が有機極性溶剤によって狭まっている。No-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide,
Hexamethylphosphoramide dissolved in an organic polar solvent,
It is cast onto a glass plate or the like, and heat-treated at high temperatures to cause dehydration and ring closure, thereby producing a polyimide film or the like. However, since all of the organic polar solvents described above are skin-absorbable and highly toxic, handling them is complicated, such as having to wear solvent-resistant gloves, and there are difficulties in handling them. In addition, these organic polar solvents have strong dissolving power, so when a solution of the above-mentioned polyamic acid in an organic polar solvent is applied to a material to be coated and cured by heating to form a polyimide film on the surface of the material to be coated, If an organic material is used as a coating material, the material will be attacked by the above-mentioned organic polar solvent, so inorganic materials such as metals and metal oxides must be used as the coating material, which limits the scope of application of polyimide. Narrowed by organic polar solvent.
有機極性溶剤は上記のような難点を有しているため、こ
れ以外の溶剤に溶解するポリイミド前駆体が研究され、
フェノール、クレゾール等のフェノール系溶剤に可溶な
ポリイミド前駆体が開発された。このようなフェノール
系溶剤を用いたポリイミド前駆体溶液は、フェノール系
溶剤が臭気(例えばクレゾール臭)が強く、また、皮膚
に付着するとやけどを生じたりするため、安全衛生上問
題がある。Since organic polar solvents have the above-mentioned drawbacks, polyimide precursors that dissolve in other solvents have been researched.
Polyimide precursors that are soluble in phenolic solvents such as phenol and cresol have been developed. Polyimide precursor solutions using such phenolic solvents have health and safety problems because the phenolic solvent has a strong odor (for example, cresol odor) and may cause burns if it comes in contact with the skin.
上記のように、従来においては、毒性や臭気のない汎用
溶剤に溶解するポリイミド前駆体が開発されていないた
あ、これまでに述べたような種々な問題を生じているの
である。したがって、この発明は汎用溶剤に溶解するポ
リイミド前駆体を開発することにより、取扱い性がよく
、また安全衛生上の問題を生じず、適用範囲の広いポリ
イミド前駆体溶液を提供することをその目的とするもの
である。As mentioned above, in the past, polyimide precursors that are soluble in general-purpose solvents without toxicity or odor have not been developed, resulting in various problems as described above. Therefore, the purpose of the present invention is to provide a polyimide precursor solution that is easy to handle, does not cause health and safety problems, and has a wide range of applications by developing a polyimide precursor that can be dissolved in a general-purpose solvent. It is something to do.
上記の目的を達成するため、この発明のポリイミド前駆
体は下記のA成分およびB成分が合計で100〜80モ
ル%含有されているとともに下記のC成分が0〜20モ
ル%含有され、かつ上記A成分とB成分との相互の割合
が、A成分とB成分の合計量を100モル%としたとき
に、A成分80モル%未満20モル%以上に対してB成
分が20モル%を超え80モル%未満の割合に選択され
ているポリイミド前駆体と、その溶媒とからなるポリイ
ミド前駆体溶液であって、上記溶媒が下記のD成分を主
成分とするという構成をとる。In order to achieve the above object, the polyimide precursor of the present invention contains 100 to 80 mol% of the following components A and B in total, and 0 to 20 mol% of the following C component, and The mutual ratio of component A and component B is less than 80 mol% of component A and 20 mol% or more of component B, when the total amount of components A and B is 100 mol%. This is a polyimide precursor solution consisting of a polyimide precursor whose proportion is less than 80 mol % and a solvent thereof, and the solvent has the following component D as a main component.
(A)一般式(1)で表される反覆単位および一般式(
2)で表される反覆単位の少なくとも一方。(A) Repeating unit represented by general formula (1) and general formula (
At least one of the repeating units represented by 2).
(B)一般式(3)で表される反覆単位および一般式(
4)で表される反覆単位の少なくとも一方。(B) Repeating unit represented by general formula (3) and general formula (
4) At least one of the repeating units represented by.
(C)一般式(5)で表される反覆単位、一般式(6)
で表される反覆単位、一般式(7)で表される反覆単位
および一般式(8)で表される反覆単位の少なくとも一
つ。(C) Repeating unit represented by general formula (5), general formula (6)
At least one of a repeating unit represented by formula (7), and a repeating unit represented by general formula (8).
(D)一般式(9)で表される多価アルコール誘導体。(D) A polyhydric alcohol derivative represented by general formula (9).
H3C(0−CIICI艙OCH3・・−・・−・ (
9)〔式(9)において、mは3以上の整数である。〕
本発明者らは、汎用溶剤に溶解するポリイミド前駆体を
開発するために一連の研究を重ねた結果、ポリイミド前
駆体の溶解性に大きな影響を及ぼすのがポリイミド前駆
体の合成に用いられる原料、特にジアミノ化合物にある
ことをつきとめ、特定の芳香族4核体ジアミンを用い、
これと、特定の芳香族テトラカルボン酸二無水物ないし
はその誘導体の2種以上とを組み合わせると、汎用溶剤
である上記の一般式(9)で表される多価アルコール誘
導体に優れた溶解性を有するポリイミド前駆体が得られ
ることをみいだしこの発明に到達したのである。H3C (0-CIICI 艙OCH3・・・・・・・(
9) [In formula (9), m is an integer of 3 or more. ]
The present inventors have conducted a series of studies to develop polyimide precursors that are soluble in general-purpose solvents, and have found that the raw materials used in the synthesis of polyimide precursors have a large effect on the solubility of polyimide precursors. In particular, we found that it is present in diamino compounds, and using a specific aromatic tetranuclear diamine,
When this is combined with two or more specific aromatic tetracarboxylic dianhydrides or derivatives thereof, excellent solubility can be achieved in the polyhydric alcohol derivative represented by general formula (9), which is a general-purpose solvent. The present invention was achieved by discovering that a polyimide precursor having the following properties can be obtained.
この発明のポリイミド前駆体溶液は、ポリイミド前駆体
の溶媒として、汎用溶剤である多価アルコール誘導体を
用いているため、取り扱いに際して耐溶剤手袋等を着用
する必要がなく、また皮膚に付着してもやけど等を生じ
ず、しかも上記多価アルコール誘導体が前記有機極性溶
剤はど溶解力が強くないため、有機材料に対しても適用
しうるのである。しかもこの発明のポリイミド前駆体溶
液は、従来のポリイミドと同等の優れた特性を有するポ
リイミドを形成しうるのである。すなわち、全芳香族ポ
リイミド前駆体の溶解性を向上させるためには、一般に
、ポリマー中に嵩高い置換基を導入してその結晶性を低
下させたり、または出発原料であるジアミノ化合物とし
てオルソまたはメタ置換ジアミンを用い、ポリマーの分
子鎖をジグザグ状にしてその結晶性を低下させることが
考えられる。しかしながら、このようにしてポリイミド
前駆体の溶解性を向上させると、生成するポリイミドは
強靭性等の特性が悪くなるのである。Since the polyimide precursor solution of this invention uses a polyhydric alcohol derivative, which is a general-purpose solvent, as a solvent for the polyimide precursor, there is no need to wear solvent-resistant gloves when handling it, and it does not adhere to the skin. It does not cause burns, and the polyhydric alcohol derivative does not have a strong dissolving power in the organic polar solvent, so it can be applied to organic materials as well. Moreover, the polyimide precursor solution of the present invention can form a polyimide having excellent properties equivalent to those of conventional polyimides. In other words, in order to improve the solubility of wholly aromatic polyimide precursors, bulky substituents are generally introduced into the polymer to reduce its crystallinity, or ortho- or meta- It is conceivable to use substituted diamines to make the molecular chains of the polymer zigzag-shaped to reduce its crystallinity. However, when the solubility of the polyimide precursor is improved in this way, the resulting polyimide deteriorates in properties such as toughness.
しかしながら、この発明は、上記のようなポリマーの結
晶性を低下させるというありきたりの方法によらず、ポ
リイミド前駆体の出発物質として特定のジアミノ化合物
を選択し、これと、特定の芳香族テトラカルボン酸二無
水物ないしはその誘導体の2種以上とを組み合わせ、そ
の選択組み合わせの効果と、数種の酸成分原料を併用し
共重合させポリマーの対称性と繰返し単位の規則性を乱
すことによる効果とによってポリイミド前駆体の溶解性
を向上させ、かつその生成前駆体の溶解に最適な汎用溶
剤を選択使用してポリイミド前駆体溶液を製造するもの
であるため、生成ポリイミドは良好であり、強靭性等の
特性において、従来のポリイミドとほぼ同等の特性を有
するのである。However, the present invention does not rely on the conventional method of reducing the crystallinity of the polymer as described above, but instead selects a specific diamino compound as a starting material for a polyimide precursor, and combines this with a specific aromatic tetracarboxylic compound. The effect of combining two or more types of acid dianhydrides or their derivatives, and the effect of the selected combination, and the effect of copolymerizing several types of acid component raw materials and disrupting the symmetry of the polymer and the regularity of repeating units. This method improves the solubility of the polyimide precursor and manufactures a polyimide precursor solution by selecting and using a general-purpose solvent that is optimal for dissolving the generated precursor.The resulting polyimide has good properties and has good toughness, etc. In terms of properties, it has almost the same properties as conventional polyimide.
この発明に用いるポリイミド前駆体は、通常、下記の一
般式(10)で表されるジアミノ化合物を用い、場合に
よってはその一部を下記の一般式(11)%式%(10
)
〔式中、Xは、前記一般式(1)のとおりである。〕で
表されるジアミノシロキサンで置換し、これと、下記の
一般式(12)で表される芳香族テトラカルボン酸二無
水物ないしはその誘導体、一般式(13)で表される芳
香族テトラカルボン酸二無水物ないしはその誘導体、一
般式(14)で表される芳香族テトラカルボン酸二無水
物ないしはその誘導体、一般式(14)で表される芳香
族テトラカルボン酸二無水物ないしはその誘導体の1種
もしくは2種以上と反応させることにより得られる。The polyimide precursor used in this invention usually uses a diamino compound represented by the following general formula (10), and in some cases, a part of it is added to the following general formula (11)% formula% (10
) [In the formula, X is as shown in the general formula (1) above. ], and together with this, an aromatic tetracarboxylic dianhydride or a derivative thereof represented by the following general formula (12), an aromatic tetracarboxylic acid dianhydride represented by the general formula (13) Acid dianhydrides or derivatives thereof, aromatic tetracarboxylic dianhydrides represented by general formula (14) or derivatives thereof, aromatic tetracarboxylic dianhydrides represented by general formula (14) or derivatives thereof It can be obtained by reacting with one or more of them.
(Ar、は前記7−F一般式(1)のとおりである。〕
(Ar、は前記一般式(2)のとおりである。)(Ar
:+は前記一般式(3)のとおりである。〕(余白)
(Ar、は前記一般式(4)のとおりである。〕上記一
般式(10)で表されるジアミノ化合物の代表例を例示
すると、2.2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)
フェニル〕プロパン、2.2−ビス(4−(4−アミノ
フェノキシ)フェニル〕へキサフルオロプロパン、4.
4’−ジ(4−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホ
ンがあげられる。好適なのは2,2−ビス(4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル〕プロパンである。上記例
示の芳香族4核体ジアミンは単独で用いてもよいし、併
せて用いてもよい。(Ar is as in the above 7-F general formula (1).)
(Ar is as in the general formula (2) above.) (Ar
:+ is as shown in the general formula (3) above. ] (Margin) (Ar is as in the general formula (4) above.) Typical examples of the diamino compound represented by the above general formula (10) are 2.2-bis(4-(4- aminophenoxy)
Phenyl]propane, 2.2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)hexafluoropropane, 4.
Examples include 4'-di(4-aminophenoxy)diphenylsulfone. Preferred is 2,2-bis(4-(4-
aminophenoxy)phenyl]propane. The aromatic tetranuclear diamines exemplified above may be used alone or in combination.
また、一般式(11)で表されるジアミノシロキサンの
代表的なものを例示すると下記のとおりである。Further, typical examples of the diaminosiloxane represented by the general formula (11) are as follows.
cow Cl。cow Cl.
CH3CO。CH3CO.
C6H!l ChHs
CH3(Hh
CHz OCH3C)+3
上記例示のジアミノシロキサンは、ポリイミドに対して
、シリコンウェハやガラス等のケイ素含有材に対する密
着性を特に付与する必要があるときに使用するものであ
るが、この過剰使用はポリイミドの耐熱性や耐湿性を損
なう。したがって、上記一般式(11)で表されるジア
ミノシロキサンの使用量はジアミノ化合物全体中の1〜
20モル%の範囲内に抑制する必要がある。好ましい範
囲は1〜4モル%であり、最も好ましい範囲は2〜3.
5モル%である。ポリイミドの用途が、ポリイミドフィ
ルム等のように、ケイ素含有材に対する密着性を要求さ
れない分野である場合には上記一般式(11)で表され
るジアミノシロキサンを用いる必要はない。C6H! l ChHs CH3 (Hh CHz OCH3C)+3 The above-mentioned diaminosiloxane is used when it is necessary to particularly impart adhesion to silicon-containing materials such as silicon wafers and glass to polyimide. Excessive use impairs polyimide's heat resistance and moisture resistance. Therefore, the amount of diaminosiloxane represented by the above general formula (11) is 1 to 1 in the total diamino compound.
It is necessary to suppress it within the range of 20 mol%. The preferred range is 1-4 mol%, and the most preferred range is 2-3.
It is 5 mol%. When polyimide is used in fields where adhesion to silicon-containing materials is not required, such as in polyimide films, it is not necessary to use the diaminosiloxane represented by the above general formula (11).
上記一般式(12)で表される芳香族テトラカルボン酸
二無水物は、2.3.3’ 、4’ −ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物であり、一般式(13)で表され
る芳香族テトラカルボン酸二無水物は、3.3’ 、4
.4’ −ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
である。これらは単独でもしくは併せて用いられ、また
これらのエステルや酸塩化物等の誘導体も用いられる。The aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formula (12) is 2.3.3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (13) Group tetracarboxylic dianhydride is 3.3', 4
.. 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. These may be used alone or in combination, and derivatives such as esters and acid chlorides thereof may also be used.
しかしながら、特に好適なのは二無水物である。二無水
物を用いると、特に優れた特性を持つポリイミド前駆体
が得られるようになるのである。However, particularly preferred are dianhydrides. The use of dianhydrides makes it possible to obtain polyimide precursors with particularly excellent properties.
また、一般式(14)で表される芳香族テトラカルボン
酸二無水物は、3. 3’ 、 4. 4’ −ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物であり、一般式(15
)で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物はピロメ
リット酸二無水物である。これらは単独でもしくは併せ
て用いられ、またこれらのエステルや酸塩化物等の誘導
体も用いられる。しかし、特に好適なのは二無水物であ
る。一般式(12) 、 (13)で表される芳香族テ
トラカルボン酸二無水物ないしはその誘導体は前記一般
式(1) 、 (2)で表される反覆単位の構成成分と
なり、一般式(14) 、 (15)で表される芳香族
テトラカルボン酸二無水物ないしはその誘導体は前記一
般式(3) 、 (4)で表される反覆単位の構成成分
となるものである。前記一般式(1) 、 (2)で表
される反覆単位と一般式(3) 、 (4)で表される
反覆単位との割合が適正な範囲を外れると、ポリイミド
前駆体の、前記溶剤に対する特性が低下するため、その
割合は、−a式(1)および(2)で表される反覆単位
(A成分)と一般式(3)および(4)で表される反覆
単位(B成分)の合計を100モル%にしたときに、一
般式(3)および(4)で表される反覆単位(B成分)
が20モル%を超え80モル%未満(これを1モル%と
する)となり、一般式(1)および一般式(2)で表さ
れる反覆単位(A成分)が、1001モル%であるとこ
ろの80モル%未満20モル%以上になるように選ばれ
る。Further, the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (14) is 3. 3', 4. It is 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and has the general formula (15
The aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by ) is pyromellitic dianhydride. These may be used alone or in combination, and derivatives such as esters and acid chlorides thereof may also be used. However, particularly preferred are dianhydrides. The aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (12) or (13) or its derivative becomes a constituent component of the repeating unit represented by the general formula (1) or (2), and the general formula (14) ), (15) The aromatic tetracarboxylic dianhydride or its derivative is a constituent of the repeating unit represented by the general formulas (3) and (4). If the ratio of the repeating units represented by the general formulas (1) and (2) to the repeating units represented by the general formulas (3) and (4) is out of the appropriate range, the solvent in the polyimide precursor Since the characteristics for ), the repeating units represented by general formulas (3) and (4) (component B)
is more than 20 mol% and less than 80 mol% (this is defined as 1 mol%), and the repeating units (component A) represented by general formula (1) and general formula (2) are 1001 mol%. of less than 80 mol% and 20 mol% or more.
前記のように、上記一般式(12) 、 (13)で表
される芳香族テトラカルボン酸二無水物ないしその誘導
体を一般式(14) 、 (15)で表される芳香族テ
トラカルボン酸二無水物ないしその誘導体と共に用い、
これらと一般式(10)で表されるジアミノ化合物ない
しは一般式(11)で表されるジアミノ化合物と同一反
応容器で反応させると、一般式(1) 、 (2)。As mentioned above, the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the above general formulas (12) and (13) or its derivatives is converted into the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formulas (14) and (15). Used with anhydrides or their derivatives,
When these are reacted with a diamino compound represented by general formula (10) or a diamino compound represented by general formula (11) in the same reaction vessel, general formulas (1) and (2) are obtained.
(3)および(4)で表される反覆単位の全てにおいて
ジアミノ化合物残基は一般式(10)および(11)か
ら誘導されるものとなり共通するようになる。しかしな
がら、ジアミノ化合物としては、上記一般式(10)お
よび(11)で表されるものに限定されるものではなく
、その一部に代えて、上記一般式(10)および(11
)で表されるジアミノ化合物以外のその他のジアミノ化
合物を用いてもよい。しかし、このようにする場合には
、上記その他のジアミノ化合物を用いることによってこ
の発明に係るポリイミド前駆体の溶解性が損なわれない
ように配慮する必要がある。したがって、上記その他の
ジアミノ化合物を用いる場合には、その使用量は全ジア
ミノ化合物の10モル%までに規制する必要がある。こ
の場合、上記その他のジアミノ化合物と上記一般式(1
2)〜(15)で表される芳香族テトラカルボン酸二無
水物類との反応生成物は、前記(A)、 (B)、
(C)成分以外の第4の成分となる。In all of the repeating units represented by (3) and (4), the diamino compound residue is derived from general formulas (10) and (11) and becomes common. However, the diamino compounds are not limited to those represented by the above general formulas (10) and (11), and some of them may be replaced with the above general formulas (10) and (11).
) may be used. However, in this case, care must be taken so that the solubility of the polyimide precursor according to the present invention is not impaired by the use of the other diamino compounds mentioned above. Therefore, when using the above-mentioned other diamino compounds, the amount used must be limited to 10 mol% of the total diamino compounds. In this case, the above other diamino compound and the above general formula (1
The reaction products with aromatic tetracarboxylic dianhydrides represented by 2) to (15) are the above-mentioned (A), (B),
It becomes the fourth component other than the component (C).
上記芳香族テトラカルボン酸二無水物ないしその誘導体
とジアミノ化合物との重合反応は従来公知の方法に準じ
て行えばよく、通常、前記一般式(9)で表される多価
アルコール誘導体中に、芳香族テトラカルボン酸二無水
物ないしその誘導体とジアミノ化合物とを等モルもしく
はほぼ等モル仕込み、好ましくは窒素ガス気流下で、重
合発熱を勘案して80℃以下、好適には60℃以下に制
限しながら高い重合度が得られるまで反応させることが
行われる。この重合度は反応物の固有粘度ηを調べるこ
とによって簡単に検知できるものであり、その固有粘度
が、0.3〜3.0の範囲内に入るようにすることが好
ましいのである。The polymerization reaction between the aromatic tetracarboxylic dianhydride or its derivative and the diamino compound may be carried out according to a conventionally known method, and usually, in the polyhydric alcohol derivative represented by the general formula (9), The aromatic tetracarboxylic dianhydride or its derivative and the diamino compound are charged in equal moles or approximately equal moles, preferably under a nitrogen gas stream, and the temperature is limited to 80°C or less, preferably 60°C or less, taking into account the heat generated by polymerization. The reaction is continued until a high degree of polymerization is obtained. This degree of polymerization can be easily detected by examining the intrinsic viscosity η of the reactant, and it is preferable that the intrinsic viscosity falls within the range of 0.3 to 3.0.
上記固有粘度〔η〕は、得られたポリイミド前駆体溶液
からポリイミド前駆体を水で再沈させ、これを40℃以
下の温度条件下で減圧乾燥し、得られた乾燥品をN−メ
チル−2−ピロリドンに溶解し、測定温度30±0.0
1℃(恒温槽)でつぎの式:
%式%)
t;ウベローデ粘度計で測定されるポリマー溶液の落下
時間
toH上記と同様にして測定される溶媒の落下時間
C;ポリイミド前駆体の濃度(0,5重量%とじた)
より算出することができる。The above intrinsic viscosity [η] is determined by reprecipitating the polyimide precursor with water from the obtained polyimide precursor solution, drying it under reduced pressure at a temperature of 40°C or less, and drying the obtained dry product with N-methyl- Dissolved in 2-pyrrolidone, measurement temperature 30±0.0
At 1°C (thermal bath), the following formula: % formula %) t: Falling time toH of the polymer solution measured with an Ubbelohde viscometer C: Falling time of the solvent measured in the same manner as above C: Concentration of the polyimide precursor ( 0.5% by weight).
上記一般式(7)で表される多価アルコール誘導体は、
上記式(9)において、mが3以上の整数のものであり
、通常、mが6までのものが使用され、とりわけ、mが
3.4,5.6のものが好適に使用される。その代表例
としては、トリエチレングリコールジメチルエーテル、
テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ペンタエ
チレングリコールジメチルエーテル、ヘキサエチレング
リコールジメチルエーテル等のグリコールジアルキルエ
ーテルがあげられ、単独でもしくは併せて使用すること
ができる。特に、この発明に係るポリイミド前駆体にお
いては、B成分の割合が高くなる程、上記mの値の高い
多価アルコール誘導体を用いないと円滑に溶解しない傾
向が見られる。したがって、溶剤の選択はこれを基準に
行うことが重要である。The polyhydric alcohol derivative represented by the above general formula (7) is
In the above formula (9), m is an integer of 3 or more, and m is usually up to 6, and m is preferably 3.4 or 5.6. Representative examples include triethylene glycol dimethyl ether,
Examples include glycol dialkyl ethers such as tetraethylene glycol dimethyl ether, pentaethylene glycol dimethyl ether, and hexaethylene glycol dimethyl ether, which can be used alone or in combination. In particular, in the polyimide precursor according to the present invention, there is a tendency that as the proportion of component B increases, it will not dissolve smoothly unless a polyhydric alcohol derivative having a high value of m is used. Therefore, it is important to select a solvent based on this.
これらの多価アルコール誘導体は、有機極性溶剤例えば
N、N” −ジメチルホルムアミドと比較して化学的に
不活性であり、また低揮発性、難引天性であって取り扱
い作業性に優れているのである。These polyhydric alcohol derivatives are chemically inert compared to organic polar solvents, such as N,N''-dimethylformamide, and are also low volatile and difficult to attract, and have excellent handling and workability. be.
このようにして、この発明のポリイミド前駆体溶液が得
られる。このポリイミド前駆体溶液は、通常、15〜3
0重量%の濃度で用いられる。この場合のポリイミド前
駆体溶液の希釈溶媒としては、上記一般式(7)で表さ
れる多価アルコール誘導体をそのまま用いることができ
るのはいうまでもない。また、その他取り扱い性を低下
させない範囲内において(通常、全溶剤組成中の50重
量%以下)従来用いられていた有機極性溶剤もしくはフ
ェノール系溶剤等を使用することもできる。In this way, the polyimide precursor solution of the present invention is obtained. This polyimide precursor solution is usually 15 to 3
Used at a concentration of 0% by weight. It goes without saying that the polyhydric alcohol derivative represented by the above general formula (7) can be used as it is as a diluting solvent for the polyimide precursor solution in this case. In addition, conventionally used organic polar solvents or phenolic solvents can also be used within a range that does not impair handling properties (usually 50% by weight or less of the total solvent composition).
この場合、有機極性溶剤もしくはフェノール系溶剤の使
用量が従来の半量以下となるため、その弊害も著しく低
下するのである。さらにポリイミド前駆体に対する溶解
能のないベンゼン、キシレン等の炭化水素系溶剤、ケト
ン系溶剤、アルコール系溶剤、エステル系溶剤、エーテ
ル系溶剤、グリコールモノエーテル系溶剤および前記一
般式(9)においてm==l、2で示されるグリコール
ジアルキルエーテル系溶剤等の各種汎用溶剤をポリイミ
ド前駆体を析出させない範囲内において希釈溶媒として
使用することもできる。In this case, since the amount of organic polar solvent or phenolic solvent used is less than half of the conventional amount, the harmful effects thereof are also significantly reduced. Furthermore, hydrocarbon solvents such as benzene and xylene, which do not have the ability to dissolve the polyimide precursor, ketone solvents, alcohol solvents, ester solvents, ether solvents, and glycol monoether solvents, and m= Various general-purpose solvents such as glycol dialkyl ether solvents represented by =l and 2 can also be used as diluting solvents within a range that does not precipitate the polyimide precursor.
なお、この発明においてポリイミド前駆体とは、一部が
脱水閉環してイミド化しているものを含むものであり、
まだイミド化工程を経由していないもののことをいうの
である。また、この発明のポリイミド前駆体溶液は、重
合溶媒として有機極性溶剤を用い、ポリイミド前駆体合
成後、溶媒置換によって、前記一般式(9)で表される
多価アルコール誘”導体に、合成ポリイミド前駆体を溶
解して製造してもよい。In addition, in this invention, the polyimide precursor includes one partially imidized by dehydration and ring closure,
It refers to something that has not yet gone through the imidization process. In addition, the polyimide precursor solution of the present invention uses an organic polar solvent as a polymerization solvent, and after synthesizing the polyimide precursor, by solvent substitution, the synthetic polyimide is added to the polyhydric alcohol derivative represented by the general formula (9). It may also be manufactured by dissolving a precursor.
また、ポリイミド前駆体合成時の仕込み濃度は、一般に
5〜50重量%の範囲が適当であるが、これは経済的な
観点ないし使用目的により任意に選択することができ名
。また、反応終了後の重合体溶液は、高い重合度をもつ
ため、場合により溶液粘度が使用目的の粘度よりも相当
に高い場合もあるが、この場合においても通常40〜8
0℃に加温し、熟成工程を経由させることにより所望粘
度まで低下させることができる。In addition, the feed concentration at the time of polyimide precursor synthesis is generally suitable to be in the range of 5 to 50% by weight, but this can be arbitrarily selected depending on the economical point of view or the purpose of use. In addition, since the polymer solution after the reaction has a high degree of polymerization, the viscosity of the solution may be considerably higher than the intended viscosity in some cases, but even in this case, it is usually 40 to 8
The viscosity can be lowered to a desired level by heating it to 0°C and passing through an aging process.
この発明のポリイミド前駆体溶液は、上記のような汎用
溶剤を用いているため、取扱い性等に優れており、これ
を被着体に塗布したのち、高温加熱処理して脱水閉環す
ることにより、耐熱性2強靭性等の特性の優れたポリイ
ミドに変換することができるのである。また、ポリイミ
ドフィルムの製造にも利用することができるのはもちろ
んである。これらの場合において、イミド化の方法は上
記のような加熱イミド化に限るものではなく、例えば上
記ポリイミド前駆体溶液をガラス板上に流延し乾燥して
皮膜を形成し、生成皮膜をピリジンと無水酢酸のベンゼ
ン溶液に浸漬して脱溶剤とイミド化反応を行わさせポリ
イミドフィルム化する等の化学的イミド化も行うことが
できる。特に、この発明のポリイミド前駆体溶液を、半
導体素子表面の保護膜、パッシベーション膜、α線シー
ルド膜等の用途に用いる場合、被着体であるケイ素含有
材に対する密着性が要求される。そのような場合には、
すでに述べたように、前記一般式(11)で表されるジ
アミノシロキサンが一般式(10)で表される芳香族4
核体ジアミンと共に用いられるのであるが、これらを同
じ反応容器内において芳香族テトラカルボン酸二無水物
ないしその誘導体と □反応させて共重合体からなるポ
リイミド前駆体を合成するのではなく、上記一般式(1
1)で表されるジアミノシロキサンと上記一般式(10
)で表される芳香族4核体ジアミンとを別個の反応容器
内で反応させて2種類のポリイミド前駆体を合成し、こ
れを合成後において混合することにより、目的とするポ
リイミド前駆体溶液を製造するようにしてもよい。しか
しながら、このようにするよりも、前記のように生成ポ
リイミド前駆体を共重合体にすることが好ましいのであ
り、これにより密着性および耐湿性特性のばらつき等が
生じず品質の安定したポリイミドを形成しうるポリイミ
ド前駆体溶液を製造できるのである。The polyimide precursor solution of the present invention uses the above-mentioned general-purpose solvent, so it has excellent handling properties, and after applying it to an adherend, it can be heated at high temperature for dehydration and ring closure. It can be converted into polyimide with excellent properties such as heat resistance, toughness, and so on. It goes without saying that it can also be used to produce polyimide films. In these cases, the imidization method is not limited to heating imidization as described above; for example, the polyimide precursor solution is cast on a glass plate and dried to form a film, and the resulting film is mixed with pyridine. Chemical imidization can also be carried out, such as by immersing the material in a benzene solution of acetic anhydride to perform a solvent removal and imidization reaction to form a polyimide film. In particular, when the polyimide precursor solution of the present invention is used as a protective film, a passivation film, an α-ray shielding film, etc. on the surface of a semiconductor element, adhesion to a silicon-containing material as an adherend is required. In such cases,
As already mentioned, the diaminosiloxane represented by the general formula (11) is an aromatic 4 represented by the general formula (10).
It is used together with a nuclear diamine, but instead of reacting these with an aromatic tetracarboxylic dianhydride or its derivative in the same reaction vessel to synthesize a polyimide precursor consisting of a copolymer, the general method described above is used. Formula (1
Diaminosiloxane represented by 1) and the general formula (10
) are reacted with the aromatic tetranuclear diamine represented by the following in separate reaction vessels to synthesize two types of polyimide precursors, and by mixing these after synthesis, the desired polyimide precursor solution can be obtained. It may also be manufactured. However, rather than doing this, it is preferable to make the generated polyimide precursor into a copolymer as described above, and this allows for the formation of polyimide with stable quality without variations in adhesion and moisture resistance properties. This makes it possible to produce a polyimide precursor solution that can be used in various ways.
また、この発明のポリイミド前駆体溶液は、半導体素子
表面のパッシベーション膜等として非常に有用であり、
半導体装置組立の際によく利用されるのであるが、上記
パッシベーション膜等のなかにイオン性不純物が含まれ
ているとその電気特性に悪影響を及ぼすため、イオン性
不純物を除去する必要がある。この除去の方法としては
、各モノマー成分および使用溶剤を、再結晶、蒸留とい
う公知の精製法で精製することがあげられ、これによっ
て上記イオン性不純物のほぼ完全な除去が可能である。Further, the polyimide precursor solution of the present invention is very useful as a passivation film on the surface of a semiconductor element, etc.
It is often used when assembling semiconductor devices, but if ionic impurities are contained in the passivation film etc., they will have an adverse effect on the electrical characteristics, so it is necessary to remove the ionic impurities. As a method for this removal, each monomer component and the solvent used may be purified by known purification methods such as recrystallization and distillation, which allows almost complete removal of the ionic impurities.
精製度合の目安としては、Naイオン、Clイオンとも
に5 ppn+以下、好適にはlpp論以下である。As a guideline for the degree of purification, both Na ions and Cl ions are 5 ppn+ or less, preferably lpp theory or less.
以上のように、この発明のポリイミド前駆体溶液は、使
用溶媒が汎用溶剤であるところの多価アルコール誘導体
であるため、従来用いられていた有機極性溶剤のような
毒性や皮膚吸収性がなく、したがって、その取扱いに際
して耐溶剤手袋等の着用の必要がなく取扱い性に優れて
いる。またフェノール系溶剤のような臭気ややけどの恐
れもないため、安全衛生上の問題も生じないのであり、
従来公知の各種用途に好適に使用できる。そのうえ、上
記多価アルコール誘導体は、有機極性溶剤のような強力
な溶解力を有していないため、この発明のポリイミド前
駆体溶液をポリエステル等の有機材料からなる被着体に
塗布しても有機材料製被着体を溶解する恐れがなく、従
来では適用が不可能であった有機材料製被着体に対して
も適用ができ、ポリイミドの適用範囲を大幅に広げろる
のである。しかも、この発明は、ポリイミド前駆体の分
子構造中に嵩高い置換体を導入したり、もしくは出発原
料としてオルソ、メタ置換体ジアミンを用いる等によっ
てポリマーの結晶性を低下させるというようなことをせ
ず、ポリイミド前駆体の出発物質として特定のジアミノ
化合物を選択し、これと、特定の芳香族テトラカルボン
酸二無水物ないしはその誘導体の2種以上とを組み合わ
せ、その選択組み合わせの効果と、数種の酸成分原料を
併用し共重合させポリマーの対称性と繰返し単位の規則
性を乱すことによる効果とによってポリイミド前駆体の
溶解性を向上させ、その溶液をつくるため、そのイミド
化により生じるポリイミドは良好であり、したがって、
耐熱性1強靭性等の特性において従来のポリイミドと同
等の性能をもつポリイミドが得られるようになる。この
発明のポリイミド前駆体溶液は、このような優れた特徴
を有しているため、広範な用途に利用でき、優れた効果
を発揮しうるのである。例えば、半導体素子表面のパッ
シベーション膜、保護膜、ダイオード、サイクリスタ、
トランジスタ等のP−N接合部のジャンクション保護膜
、VLSIのα線シールド膜、眉間絶縁膜、透明電極を
含むガラス基板またはポリエステル基板等の有機フィル
ム基板からなる液晶セルの液晶配向膜、積層板、各種基
板のサンドイッチ構造用の接着剤、各種絶縁皮膜等に好
適に利用できる。また、この発明のポリイミド前駆体溶
液は、上記のような用途だけでなく、無機、有機等の各
種充填剤を分散したペーストのバインダー(結着材)と
しても有用である。例えば銀粉、金粉、パラジウム粉等
の導電性充填剤を含む耐熱性導電性ペーストのバインダ
ーとしてチップボンディング用、電子部品の電極用等に
使用できる。また、ウラン、トリウム含量がs pp
b以下の有機または無機質フィラーを分散してソフトエ
ラー防止用スクリーン印刷用ペーストとしても使用でき
るのであり、これらの用途において、優れた効果を発揮
するのである。As described above, since the polyimide precursor solution of the present invention uses a polyhydric alcohol derivative, which is a general-purpose solvent, it does not have the toxicity and skin absorption properties of conventionally used organic polar solvents. Therefore, it is not necessary to wear solvent-resistant gloves or the like when handling it, and it is easy to handle. Additionally, there is no odor or risk of burns like with phenolic solvents, so there are no health and safety issues.
It can be suitably used for various conventionally known applications. Furthermore, since the above-mentioned polyhydric alcohol derivatives do not have strong dissolving power like organic polar solvents, even if the polyimide precursor solution of the present invention is applied to an adherend made of an organic material such as polyester, There is no risk of melting the material to be adhered, and it can be applied to organic material adherends, which was previously impossible, and the range of application of polyimide can be greatly expanded. Moreover, this invention prevents the introduction of bulky substituents into the molecular structure of the polyimide precursor, or the use of ortho- or meta-substituted diamines as starting materials, which would reduce the crystallinity of the polymer. First, a specific diamino compound is selected as a starting material for a polyimide precursor, and this is combined with two or more specific aromatic tetracarboxylic dianhydrides or derivatives thereof. In order to improve the solubility of the polyimide precursor and create a solution by copolymerizing it with the acid component raw materials of good and therefore
It becomes possible to obtain a polyimide that has properties equivalent to conventional polyimides in terms of properties such as heat resistance and toughness. Since the polyimide precursor solution of the present invention has such excellent characteristics, it can be used in a wide range of applications and can exhibit excellent effects. For example, passivation films on the surface of semiconductor elements, protective films, diodes, cyclers,
Junction protective film for P-N junction of transistors, alpha ray shielding film for VLSI, glabella insulating film, liquid crystal alignment film for liquid crystal cells consisting of organic film substrates such as glass substrates or polyester substrates containing transparent electrodes, laminates, It can be suitably used for adhesives for sandwich structures of various substrates, various insulating films, etc. Further, the polyimide precursor solution of the present invention is useful not only for the above-mentioned uses but also as a binder for pastes in which various fillers such as inorganic and organic fillers are dispersed. For example, it can be used as a binder for heat-resistant conductive pastes containing conductive fillers such as silver powder, gold powder, palladium powder, etc. for chip bonding, electrodes of electronic parts, etc. In addition, the uranium and thorium contents are s pp
It can also be used as a screen printing paste for preventing soft errors by dispersing organic or inorganic fillers of B or less, and exhibits excellent effects in these applications.
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。Next, examples will be described together with comparative examples.
なお、後記の表において、a−BPDAは2゜3.3’
、4” −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5
−BPDAは3. 3’ 、 4. 4’ −ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、BTDAは3.3’
、4.4’ −ベンゾフェノンテトラカルボン酸、P
MDAはピロメリット酸二無水物を示す。また°以下の
実施例および比較例において溶液の粘度は、東京計器社
製EMD型回転粘度計を用い、25℃で測定した値であ
り、フィルムの引張抗張力1体積抵抗率はそれぞれJI
S K6760 、 JISK648に準じて測定した
値である。また密着性は、シリコンウェハ(ミラーシリ
コン)上にフィルムを形成し、JIS 00202に準
じて試験を行い、(剥離数)/(総数)を調べることに
よって測定したものである。In addition, in the table below, a-BPDA is 2°3.3'
, 4”-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5
-BPDA is 3. 3', 4. 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, BTDA is 3.3'
, 4.4'-benzophenonetetracarboxylic acid, P
MDA indicates pyromellitic dianhydride. In addition, in the Examples and Comparative Examples below, the viscosity of the solution is the value measured at 25°C using an EMD type rotational viscometer manufactured by Tokyo Keiki Co., Ltd., and the tensile strength 1 volume resistivity of the film is
This is a value measured according to SK6760 and JISK648. Adhesion was measured by forming a film on a silicon wafer (mirror silicon), conducting a test in accordance with JIS 00202, and examining (number of peels)/(total number).
〔実施例1〜8、比較例1〜5〕
ジアミノ化合物として芳香族4核体ジアミンを用い、分
子構造中にシロキサン結合を有しないポリイミド前駆体
の溶液をつぎのようにして製造した。[Examples 1 to 8, Comparative Examples 1 to 5] Using an aromatic tetranuclear diamine as a diamino compound, a solution of a polyimide precursor having no siloxane bond in its molecular structure was produced as follows.
すなわち、攪拌装置、冷却管、温度計および窒素置換装
置をつけた、500mlのフラスコ中に、蒸留により精
製した第1表に示す有機溶剤を同表に示す量添加し、窒
素ガスを流入した。ついで上記第1表に示すジアミノ化
合物を同表に示す量だけ添加し攪拌し、続いて第1表に
示す酸二無水物を少量づつ5分の間に徐々に添加した。That is, into a 500 ml flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a thermometer, and a nitrogen purging device, the organic solvent shown in Table 1 purified by distillation was added in the amount shown in the table, and nitrogen gas was introduced. Next, the diamino compounds shown in Table 1 above were added in the amounts shown in the table and stirred, and then the acid dianhydrides shown in Table 1 were gradually added little by little over 5 minutes.
これにより反応系の粘度が徐々に増加するとともに温度
が38℃に昇温した。ついで温度を30℃に保って6時
間攪拌を続けた結果、反応系は、第1表に示す粘度と、
状態の溶液となり、目的とするポリイミド前駆体溶液が
得られた。As a result, the viscosity of the reaction system gradually increased and the temperature rose to 38°C. Then, as a result of maintaining the temperature at 30°C and continuing stirring for 6 hours, the reaction system had a viscosity shown in Table 1, and
The desired polyimide precursor solution was obtained.
つぎに、得られたポリイミド前駆体溶液をガラス板上に
塗布し、150’Cで1時間、200℃で1時間、さら
に250”Cで6時間乾燥機中で加熱して硬化させ透明
ポリイミドフィルム化した。つぎに、得られたポリイミ
ドフィルムをガラス板より剥離させ、引張抗張力9体積
抵抗率を測定し、その結果を第1表に併せて示した。Next, the obtained polyimide precursor solution was applied onto a glass plate and heated at 150'C for 1 hour, at 200°C for 1 hour, and then at 250'C for 6 hours in a dryer to harden it and form a transparent polyimide film. Next, the obtained polyimide film was peeled off from the glass plate, and the tensile strength and volume resistivity were measured.The results are also shown in Table 1.
実施例1〜8と比較例1との対比がらゎかるように、実
施例1〜8のポリイミド前駆体溶液を用いて得られたポ
リイミドフィルムと有機極性溶剤を用いて得られた比較
例1のポリイミドフィルムの特性は近位しており、この
発明のポリイミド前駆体溶液から得られるポリイミドが
従来と同様の優れた特性を有していることがわかる。ま
た、比較例2および3では生成ポリイミド前駆体溶液が
ポリマーの析出により不透明状になったため、ポリイミ
ドフィルム化ができなかった。In order to make it easier to compare Examples 1 to 8 and Comparative Example 1, the polyimide films obtained using the polyimide precursor solutions of Examples 1 to 8 and the polyimide films of Comparative Example 1 obtained using an organic polar solvent were compared. It can be seen that the properties of the films are similar, and that the polyimide obtained from the polyimide precursor solution of the present invention has the same excellent properties as the conventional ones. Furthermore, in Comparative Examples 2 and 3, the resulting polyimide precursor solution became opaque due to polymer precipitation, and therefore could not be formed into a polyimide film.
(以下余白)
〔実施例9,10、 比較例6〕
ジアミノ化合物として、芳香族4核体ジアミンとともに
、ジアミノシロキサンを用い、分子構造中にシロキサン
結合を有するポリイミド前駆体の溶液をつぎのようにし
て製造した。(Left below) [Examples 9 and 10, Comparative Example 6] Using diaminosiloxane as well as aromatic tetranuclear diamine as the diamino compound, a solution of a polyimide precursor having a siloxane bond in its molecular structure was prepared as follows. Manufactured by
すなわち、第1表に示す有機溶剤、酸二無水物、ジアミ
ノ化合物に代えて第2表に示す原料をそれぞれ用い、上
記実施例1〜8.比較例1〜5と同様にして分子構造中
にシロキサン結合を有するポリイミド前駆体の溶液を製
造した。そして、得られた溶液を、前記と同様にしてガ
ラス板上に塗布し、加熱硬化させ、ポリイミドフィルム
化した。この場合、実施例9で得られたポリイミドフィ
ルムについては密着性は良好であったが、実施例10で
得られたポリイミドフィルムはジアミノシロキサンの使
用量が少ないため実施例9のものほど密着性には冨んで
いなかった。他方、比較例6で得られたポリイミドフィ
ルムはガラス板に対する密着性は良好であるものの熱分
解温度(空気中で測定)が320℃であり、実施例9で
得られたポリイミドフィルムの415℃に比べて耐熱性
がかなり劣っており、実用上問題があることがわかる。That is, the organic solvents, acid dianhydrides, and diamino compounds shown in Table 1 were replaced with the raw materials shown in Table 2, and the above Examples 1 to 8. A solution of a polyimide precursor having a siloxane bond in its molecular structure was produced in the same manner as in Comparative Examples 1 to 5. Then, the obtained solution was applied onto a glass plate in the same manner as above and cured by heating to form a polyimide film. In this case, the polyimide film obtained in Example 9 had good adhesion, but the polyimide film obtained in Example 10 had less adhesion than that in Example 9 because the amount of diaminosiloxane used was small. was not rich. On the other hand, although the polyimide film obtained in Comparative Example 6 had good adhesion to the glass plate, its thermal decomposition temperature (measured in air) was 320°C, which was lower than that of the polyimide film obtained in Example 9 at 415°C. It can be seen that the heat resistance is considerably inferior in comparison, and there is a problem in practical use.
(以下余白) 手続補正書(自発 昭和61年 5月13日(Margin below) Procedural amendment (voluntary) May 13, 1986
Claims (1)
モル%含有されているとともに下記のC成分が0〜20
モル%含有され、かつ上記A成分とB成分との相互の割
合が、A成分とB成分の合計量を100モル%としたと
きに、A成分80モル%未満20モル%以上に対してB
成分が20モル%を超え80モル%未満の割合に選択さ
れているポリイミド前駆体と、その溶媒とからなるポリ
イミド前駆体溶液であって、上記溶媒が下記のD成分を
主成分とするものであるポリイミド前駆体溶液。 (A)一般式(1)で表される反覆単位および一般式(
2)で表される反覆単位の少なくとも一方。 ▲数式、化学式、表等があります▼………(1) ▲数式、化学式、表等があります▼………(2) 〔上記式(1)、(2)において、Ar_1は2,3,
3′,4′−ビフェニルテトラカルボン酸残基、Ar_
2は3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸残基、XはC(CH_3)_2、C(CF_3)_
2またはSO_2である。 (B)一般式(3)で表される反覆単位および一般式(
4)で表される反覆単位の少なくとも一方。 ▲数式、化学式、表等があります▼………(3) ▲数式、化学式、表等があります▼………(4) 上記式(3)、(4)において、Ar_3は3,3′,
4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸残基、Ar_4
はピロメリット酸残基、Xは前記式(1)、(2)と同
じである。 (C)一般式(5)で表される反覆単位、一般式(6)
で表される反覆単位、一般式(7)で表される反覆単位
および一般式(8)で表される反覆単位の少なくとも一
つ。 ▲数式、化学式、表等があります▼………(5) ▲数式、化学式、表等があります▼………(6) ▲数式、化学式、表等があります▼………(7) ▲数式、化学式、表等があります▼………(8) 〔上記式(5)、(6)、(7)、(8)において、A
r_1、Ar_2、Ar_3およびAr_4は式(1)
、(2)、(3)、(4)で示したとおりであり、Rは
二価の有機基、R′は一価の有機基、nは1以上の整数
である。〕(D)一般式(9)で表される多価アルコー
ル誘導体。 ▲数式、化学式、表等があります▼………(9) 〔式(9)において、mは3以上の整数である。〕(1) The following A component and B component are 100 to 80 in total
Contains 0 to 20 mol% of the following C components.
When the total amount of A component and B component is 100 mol%, B is less than 80 mol% and 20 mol% or more of A component is contained.
A polyimide precursor solution consisting of a polyimide precursor whose components are selected at a ratio of more than 20 mol% and less than 80 mol%, and a solvent thereof, wherein the solvent has the following component D as a main component. A certain polyimide precursor solution. (A) Repeating unit represented by general formula (1) and general formula (
At least one of the repeating units represented by 2). ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(1) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(2) [In the above formulas (1) and (2), Ar_1 is 2, 3,
3',4'-biphenyltetracarboxylic acid residue, Ar_
2 is a 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid residue, X is C(CH_3)_2, C(CF_3)_
2 or SO_2. (B) Repeating unit represented by general formula (3) and general formula (
4) At least one of the repeating units represented by. ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(3) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(4) In the above formulas (3) and (4), Ar_3 is 3, 3',
4,4'-biphenyltetracarboxylic acid residue, Ar_4
is a pyromellitic acid residue, and X is the same as in formulas (1) and (2) above. (C) Repeating unit represented by general formula (5), general formula (6)
At least one of a repeating unit represented by formula (7), and a repeating unit represented by general formula (8). ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(5) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(6) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼......(7) ▲Mathematical formulas , chemical formulas, tables, etc.▼……(8) [In the above formulas (5), (6), (7), and (8), A
r_1, Ar_2, Ar_3 and Ar_4 are formula (1)
, (2), (3), and (4), R is a divalent organic group, R' is a monovalent organic group, and n is an integer of 1 or more. ] (D) A polyhydric alcohol derivative represented by general formula (9). ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼……(9) [In formula (9), m is an integer of 3 or more. ]
Priority Applications (1)
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JPH04219235A (en) * | 1990-03-09 | 1992-08-10 | Amoco Corp | Manufacture of thick polyimide multi- layers |
WO1993024583A1 (en) * | 1992-06-04 | 1993-12-09 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Film adhesive and production thereof |
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1985
- 1985-03-30 JP JP6827485A patent/JPS61241359A/en active Pending
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