JPS61239488A - Magnetic memory element - Google Patents

Magnetic memory element

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JPS61239488A
JPS61239488A JP7965985A JP7965985A JPS61239488A JP S61239488 A JPS61239488 A JP S61239488A JP 7965985 A JP7965985 A JP 7965985A JP 7965985 A JP7965985 A JP 7965985A JP S61239488 A JPS61239488 A JP S61239488A
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stripe
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striped
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Yasuharu Hidaka
檜高 靖治
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Abstract

PURPOSE:To improve stability in transmitting the set of Broch lines and the reliability of Broch line memory by removing the unevenness of the potential well of a magnetic wall on stabilizing a stripe do main without implanting a vertical magnetizing material. CONSTITUTION:A striped main holding layer 1 is provided on a substrate 2 and the surface thereof is selectively grooved by a section desired to hold the stripe do main in a ring shape and a groove 3 is disposed. The width thereof is made larger than the natural width W0 of the stripe do main and below about 2W. In the boundary of the groove, since the boundary 4 has its inner protruding section having the boundary 4, it plays a role for attracting the inner magnetic wall of the stripe do main 6 to 4 and a boundary 5 plays the role of a guide for preventing the inner magnetic wall from separating from 4 when initializing the striped main 6. Further the width of the protruding section having the boundary 4 requires to be above W0. When providing the groove so as to satisfy the above-mentioned conditions, the stripe do main is fixed in a ring shape having the inner diameter of the groove boundary 4.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) ″kz喜BBI+宋η髪U姓σ)占a宜楢スばF円径お
吃た腎a28袷手4−に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) ``Kz Ki BBI+Song η Hair U Surname σ) Diary a Yinara Subaba F Circle Diameter Swallowed Kidney A28 Hand 4-.

(従来技術とその問題点) 高密度固体磁気記憶素子を目指して、磁気バブル素子の
開発が各所で盛んに行われている0しかし、現在使用さ
れているガーネット材料では、到達可能な最小バブル径
は0.3μmといわれている。
(Prior art and its problems) Magnetic bubble devices are being actively developed in various places with the aim of creating high-density solid-state magnetic memory devices.However, with the currently used garnet materials, the minimum bubble diameter that can be achieved is is said to be 0.3 μm.

したがって、03繍径以下のバブルを保持するバブル材
料はガーネット材料以外に求めなければならない。これ
は容易ではなく、ここがバブル高密度化の限界であると
さえ考えられている。
Therefore, it is necessary to find a bubble material other than garnet material that can hold bubbles with a diameter of 0.3 mm or less. This is not easy and is even considered to be the limit of bubble density.

このようなバブル保持層の特性に基ぐ高密度化限界を大
幅に改善し、かつ、情報読出し時間は従来の素子と同様
度に保つことができる超高密度磁気記憶素子として膜面
垂直方向を磁化容易方向とする強磁性体(フェリ磁性体
を含む)膜に形成されるストライプドメインの境界であ
るブロッホ磁壁の中に静的に安定に存在する垂直ブロッ
ホライン2個からなるブロッホライン対(以下、VBL
対と称する。)を記憶単位として用いる素子が発明され
た口(%願昭s7−:’tsza46)本磁気記憶素子
は情報読出し手段と情報書込み手段と情報蓄積手段を備
えてなり、かつ、該VBL対をブロッホ磁壁内で転送す
る手段を有している。
We have developed an ultra-high-density magnetic memory element that significantly improves the high-density limit based on the characteristics of the bubble retention layer and can maintain the information readout time at the same level as conventional elements. A Bloch line pair (hereinafter referred to as a Bloch line pair) consists of two perpendicular Bloch lines that exist statically and stably within a Bloch domain wall, which is the boundary of a stripe domain formed in a ferromagnetic (including ferrimagnetic) film with an easy magnetization direction. ,VBL
It is called a pair. ) was invented as a storage unit (%GanSho s7-:'tsza46) This magnetic storage element is provided with an information reading means, an information writing means, and an information storage means, and the VBL pair is used as a Bloch It has means for transferring within the domain wall.

本素子においてもつとも重要な部分の一つは情報蓄積部
(以下、マイナーループと称す。)である。
One of the most important parts of this device is the information storage section (hereinafter referred to as the minor loop).

このような磁気記憶素子においては情報として書込まれ
たストライプドメイン砿壁上のVBL対を安定に保持し
、かつ、1ビツトずつ選択転送できるようにすることが
不可欠である0安定保持の方法としては、特願昭58−
065826に述べたヨウに、マイナーループを構成す
るストライプドメイン周辺のブロッホ磁壁に沿って、膜
面内の磁気異方性の向きを局所的に変化させる0そうす
れば、ストライプドメイン磁壁に沿りて、VBL対が安
定に存在する位置とそうでない位置を作シつけられる〇 もう一つの条件であるVBL対の1ビツトずつの選択転
送に関しては原理的にはVBL対に対して磁壁に沿りて
駆動する力を与える手段が必要である。現実的にはVB
L対存在領域に磁壁面に沿う進行波状の局所面内磁界を
与える方法およびストライプドメイン磁壁にパルスバイ
アス磁界を加えて、磁壁を動的に移動し、それに伴なり
てVBL対の位置に生じる反作用の一つであるジャイロ
力を利用することが考えられているが、前者は現在のと
ころ導体パターンを用いることによってのみ達成される
ことから素子の高密度化を狙った場合問題がある。他方
、後者の場合、外部から加えるパルスバイアス磁界によ
って与えられる磁壁駆動力が非常に重要である。この磁
壁駆動力をチップ上各部で一定化するためにはストライ
プドメインをどのようにして安定化させるか、つまシス
トライプドメイン磁壁部のポテンシャルウェル形状を適
正化することが重要になる。
In such a magnetic memory element, it is essential to stably hold the VBL pair on the stripe domain wall written as information and to be able to selectively transfer one bit at a time. The patent application was filed in 1982.
065826, the direction of magnetic anisotropy within the film plane is locally changed along the Bloch domain wall around the striped domain that constitutes the minor loop. , it is possible to create a position where the VBL pair stably exists and a position where it does not. Regarding the other condition, selective transfer of each bit of the VBL pair, in principle, it is possible to create a position where the VBL pair exists stably and a position where it does not exist. A means of providing driving force is required. In reality, VB
A method of applying a local in-plane magnetic field in the form of a traveling wave along the domain wall surface to the L pair existing region, and a pulse bias magnetic field is applied to the striped domain domain wall to dynamically move the domain wall, and the reaction that occurs in the position of the VBL pair accordingly It has been considered to utilize gyroscopic force, which is one of the methods, but the former is currently only achieved by using conductor patterns, which poses a problem when aiming to increase the density of elements. On the other hand, in the latter case, the domain wall driving force provided by the externally applied pulsed bias magnetic field is very important. In order to make this domain wall driving force constant at each part on the chip, it is important to determine how to stabilize the stripe domain and to optimize the potential well shape of the domain wall portion of the stripe domain.

この方法として従来は第3図に示すようにストライプド
メイン保持層l中のストライプドメイン6を安定化させ
ようとする領域を〈)抜いて、そこに、高飽和磁化をも
ち、かつ高い抗磁力をもつ垂直磁化材料19を埋込んで
その部分からその外測にもれる磁界を利用して〈夛抜き
部分の周縁にバイアス磁界10と逆向きの磁化8をもつ
領域をつ〈9、その外四周曲の磁壁7をマイナーループ
スドライブドメイン磁壁として利用した口しかし、この
方法では〈夛抜き部に垂直磁化材料19を埋込むことが
技術的にかなJfiL<、製造プロセス上問題となった
。第3図中の20は磁化の向きを示す〇 (発明の目的) 本発明の目的はこのような従来の欠点を除去して、マイ
ナーループでおるストライプドメイン磁壁土にVBL対
を安定保持し、かつ、1ビツトずつ選択転送できるよう
にしたVBL対を情報単位として用いる超高密度記憶素
子を提供することにあるO (発明の構成) 本発明は膜面に垂直方向を磁化容易方向とする強磁性体
膜に存在するストライプドメイン境界のブロッホ磁壁中
に作った相隣合う2つのVBLからなるVBL対を記憶
単位として用いる磁気記憶査;に卦りで一傭記ストライ
ブト0メイン保持層表面に前記ストライプドメインを安
定化したい領域に亘りて選択的に溝掘)して、溝の中に
前記ストライプドメインをリング状ストライプドメイン
の形で安定化させている磁気記憶素子である口(構成の
詳細な説明) 本発明は上述の構成をとることによ)、従来技術の垂直
磁化材料埋込みプロセスをなくし、問題 点を解決した
0以下、構成の詳細な説明をする〇第1図は本発明にお
けるマイナーループ部のストライプドメイン保持層の主
要部の構成図である。
As shown in Fig. 3, the conventional method for this method is to remove the region in the stripe domain holding layer l in which the stripe domain 6 is to be stabilized, and add a region with high saturation magnetization and high coercive force thereto. By embedding a perpendicularly magnetized material 19 and utilizing the magnetic field that leaks from that part to the outside, create a region around the periphery of the removed part with magnetization 8 in the opposite direction to the bias magnetic field 10. However, in this method, embedding the perpendicular magnetization material 19 in the cut-out portion was technically problematic in terms of the manufacturing process. 20 in FIG. 3 indicates the direction of magnetization (objective of the invention) The object of the present invention is to eliminate such conventional drawbacks, stably hold VBL pairs in the striped domain domain wall soil with minor loops, The object of the present invention is to provide an ultrahigh-density storage element that uses a VBL pair as an information unit, which enables selective transfer of one bit at a time. Magnetic memory using a VBL pair consisting of two adjacent VBLs formed in a Bloch domain wall at a striped domain boundary existing in a magnetic film as a storage unit; A magnetic memory element is formed by selectively digging a trench over a region where the stripe domain is to be stabilized, and stabilizing the stripe domain in the trench in the form of a ring-shaped stripe domain. Explanation) The present invention eliminates the perpendicular magnetic material embedding process of the prior art and solves the problems by adopting the above-mentioned configuration. FIG. 3 is a configuration diagram of the main part of the striped domain holding layer in the loop portion.

第1図(a)に示す基板2の上にストライプドメイン保
持層1をつける。その表面をストライプドメインをリン
グ状に保持したい部分だけ選択的に溝掘シして溝3をつ
ける。この幅はストライプドメインの自然@W0(無磁
界状態での幅)より大きく、かつ2W以下程度とする0
この理由は溝境界の膜厚段差部の役割を考えればわかる
コ 溝の境界の内、境界4は4の境界をもつその内側の凸部
が存在するため、′ストライプドメイン6の内ll1l
I磁壁を4に引きつける役目をし、境界5はストライプ
ドメイン6を初期設定するとき、内側磁壁が4からあま
り離れた状態にならないようにするためガイドの役目を
している。さらに、4の境界をもつ凸部の幅はW。以上
にしておく必要がろる0こうしておかないと、ストライ
プドメイン6を溝の中にリング状に保持したとき、境界
4をもつ凸部を挾む両側の直線状ドメイン間の反発相互
作用が強くなシ、リング状ストライプドメインの内側磁
壁が境界4直下にしりかシ固定されなくなる。以上の条
件を充すように溝3をつけると、ストライプドメインは
第1図(b)のように溝掘ヤ境界4を内側径とするリン
グ状に固定される。
A striped domain holding layer 1 is provided on a substrate 2 shown in FIG. 1(a). Grooves 3 are formed by selectively digging grooves on the surface only in areas where it is desired to hold the striped domains in a ring shape. This width is larger than the natural @W0 (width in the absence of magnetic field) of the stripe domain and is about 2W or less.
The reason for this can be seen by considering the role of the film thickness step part at the groove boundary. Among the boundaries of the groove, boundary 4 has a convex part inside it with a boundary of 4.
The boundary 5 serves to attract the I domain wall to 4, and the boundary 5 serves as a guide to prevent the inner domain wall from being too far away from 4 when initializing the stripe domain 6. Furthermore, the width of the convex portion with a boundary of 4 is W. If you do not do this, when the striped domain 6 is held in a ring shape in the groove, the repulsive interaction between the linear domains on both sides of the convex part with the boundary 4 will be strong. However, the inner domain wall of the ring-shaped stripe domain is only fixed directly below the boundary 4. When the grooves 3 are formed so as to satisfy the above conditions, the striped domains are fixed in a ring shape having the groove groove boundary 4 as the inner diameter as shown in FIG. 1(b).

このようにストライプドメインを保持すると、リング状
ドメインの外側の磁壁(境界4から離れて存在する磁壁
0部のポテンシャルウェルの磁壁面法線方向のプロファ
イルは主にストライプドメイン幅から決まる反磁界効果
によって定まり、溝掘9部境界の微測なでき上りむらに
影響されなくなる。
When the striped domain is maintained in this way, the profile in the normal direction of the domain wall surface of the potential well of the domain wall outside the ring-shaped domain (the 0 part of the domain wall that exists away from boundary 4) is mainly due to the demagnetizing field effect determined by the width of the striped domain. It is fixed, and is not affected by unevenness in the finish of the 9-part boundary of the trench excavation.

、  このような磁壁に外部印加パルスバイアス磁界そ
加えた場合の磁壁駆動は4a壁7の全体に亘りて均一と
なる。従って、との磁壁の中にVBL対の有無の形で記
憶した情報をパルスバイパス磁界10印加によってVB
L対に生じるジャイロ力を利用して移動させる際に、そ
の移動量をパルスバイパス磁界形状によって制御するこ
とが容易になる。
, When an externally applied pulsed bias magnetic field is applied to such a domain wall, the domain wall drive becomes uniform over the entire 4a wall 7. Therefore, by applying a pulse bypass magnetic field 10, information stored in the form of the presence or absence of a VBL pair in the domain wall of VB
When moving using the gyro force generated in the L pair, the amount of movement can be easily controlled by the shape of the pulse bypass magnetic field.

図中8,9はそれぞれドメイン内外の磁化の向きである
〇 (実施例) 以下実施例を示す◎ 第2図はストライプドメインをリング状く形成していく
過程と、この素子で必要条件とされているストライプド
メイン磁壁内にVBL対で記憶された情報を読出しの際
バブルドメイン変換し、あるいは書き込みの際メイジャ
ライン17にバブルの有無の形で表わしたデータをスト
ライプドメイン磁壁内にVBL対の形で記憶する機能を
果すためのゲート部18を含む溝掘クパターン形状の一
例について具体的動作過程を示す口溝掘〕部3の尖端1
1に導体パターン12から成るバブル発生器を置く0予
め、有効チップ面全体にバイアス磁界10と同じ向きの
磁界を加えて全体をlOの向きに飽和させておく。その
後、適癲なバイアス磁界H2を加えておく。その後、こ
のバブル発生器に図示した形状のパルス電流13を与え
ると、11にバブルを発生し、そのバブルが溝3に沿っ
て伸びるストライプドメインになシ、その尖端がそれぞ
れ導入ガイド14.14’に入ったU字型になる。
8 and 9 in the figure are the directions of magnetization inside and outside the domain, respectively 〇 (Example) An example is shown below ◎ Figure 2 shows the process of forming a striped domain in a ring shape and the required conditions for this device. Information stored in VBL pairs within the stripe domain domain wall is converted into a bubble domain when reading, or data expressed in the form of bubbles on the major line 17 is converted into VBL pairs within the stripe domain domain wall during write. The tip 1 of the grooving part 3 shows a concrete operation process for an example of the shape of the grooving pattern including the gate part 18 for performing the function of memorizing the shape.
A bubble generator consisting of a conductor pattern 12 is placed on 1. A magnetic field in the same direction as the bias magnetic field 10 is applied to the entire effective chip surface in advance to saturate the entire surface in the direction of lO. After that, a suitable bias magnetic field H2 is applied. Thereafter, when a pulsed current 13 having the shape shown is applied to this bubble generator, bubbles are generated in 11, and the bubbles form striped domains extending along the groove 3, with their apexes being the introduction guides 14 and 14', respectively. It becomes a U-shape.

このようなストライプドメインに対して導体パターン1
5に矢印の向きにパルス電流16を与えて、2つの導体
パターンの間の領域でストライプドメインの内、14の
中に伸びた部分と14’の中に伸びた部分とを接合する
0接合されたストライプドメインはバイアス磁界H工と
磁壁の表面エネルギーを最小にしようとする磁壁表面張
力の作用で収縮して最終的には第1図に示すような溝の
境界4を内側の縁とするリング状ストライプドメインに
なる口このドメイン6の外周磁壁7に情報担体であるV
BL対を書込む。溝18.18’は″ブロッホラインメ
モリに必要なバブルの有無で情報を表わ1−たメイジャ
ライン17.17’とVBL対の有無の形で情報を記憶
しているリング状ストライプトメ。
Conductor pattern 1 for such a striped domain
A pulse current 16 is applied to 5 in the direction of the arrow to form a 0 junction that joins the part extending into 14 and the part extending into 14' of the stripe domain in the region between the two conductor patterns. The striped domain shrinks due to the action of the bias magnetic field H and the domain wall surface tension that tries to minimize the surface energy of the domain wall, and finally forms a ring whose inner edge is the boundary 4 of the groove as shown in Figure 1. V, which is an information carrier, is placed on the outer domain wall 7 of this domain 6, which becomes a striped domain.
Write the BL pair. Grooves 18 and 18' are ring-shaped striped tones that store information in the form of major lines 17 and 17', which represent information by the presence or absence of bubbles necessary for Bloch line memory, and the presence or absence of VBL pairs.

イン部とを結ぶゲート用のものである0なお、溝の深さ
はストライプドメイン保持層の全膜厚の5チから40%
の純白まで実際に評価したが、リング状ストライプドメ
イン形成に関しては問題はなかつ九〇 (発明の効果) 本発明により、従来問題となっていた垂直磁化材料の埋
込みをすることなく、ストライプドメイン安定化の際の
磁壁部のポテンシャルウェルの不均一性を取除くことが
できるようにな夛、ブロッホライン対の転送の安定性が
高くなシ、したがってブロッホラインメモリの信頼性が
改善された。
This is for the gate connecting the inner part. Note that the depth of the groove is 5 to 40% of the total thickness of the striped domain holding layer.
We actually evaluated the purity of the white, and there was no problem with the formation of ring-shaped striped domains.90 (Effects of the Invention) The present invention stabilizes the striped domains without embedding perpendicular magnetization material, which has been a problem in the past. Since the non-uniformity of the potential well in the domain wall can be removed, the stability of the Bloch line pair transfer is increased, and therefore the reliability of the Bloch line memory is improved.

保持層の構成例を示す図、第3図は従来例を示すA diagram showing an example of the structure of the retention layer, and FIG. 3 shows a conventional example.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図において、 lニスドライブドメイン保持層、2:基板、3:溝掘)
部、溝掘1部内側境界、5:溝掘シ部外側境界、6:リ
ング状ストライプドメイン、7:ストライプドメイン外
周磁壁、8ニドメイン内磁化向き、9ニドメインの外側
の磁化向き、lO:バイアス磁界向き、1t:IB掘シ
部の尖端(バブル発生部)、12:バブル発生器導体パ
ターン、13:バブル発生電流、14.14’:ストラ
イプドメイン尖端部導入ガイド、15ニスドライブドメ
イン融合用導体パターン、16:ストライプドメイン融
合電流$17.17’:メイジャライン(パズル転送路
)% IL  18’:)ランスファゲート部(溝掘シ
部)、19:硬磁性垂直磁化材料、20:硬磁性垂直磁
化材料の磁化向を。 第1図 C========D 第2図 兜 3 図 1、 ストライブドメイン 2、基才反 乙.ストライブドメイン7
In the figure, l varnish drive domain holding layer, 2: substrate, 3: trenching)
part, inner boundary of trench 1 part, 5: outer boundary of trench part, 6: ring-shaped stripe domain, 7: outer peripheral domain wall of stripe domain, 8 direction of magnetization within two domains, direction of magnetization outside two domains, lO: Bias magnetic field direction, 1t: tip of IB excavation part (bubble generation part), 12: bubble generator conductor pattern, 13: bubble generation current, 14.14': stripe domain tip introduction guide, 15 for varnish drive domain fusion Conductor pattern, 16: Stripe domain fusion current $17.17': Major line (puzzle transfer path) % IL 18':) Transfer gate part (groove part), 19: Hard magnetic perpendicular magnetization material, 20: Magnetization direction of hard magnetic perpendicularly magnetized material. Figure 1 C========D Figure 2 Kabuto 3 Figure 1, Strive Domain 2, Kisai Anti-Otsu. strike domain 7

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 情報読出し手段、情報書込み手段および情報蓄積手段を
有し、かつ膜面に垂直な方向を磁化容易方向とする強磁
性体(フェリ磁性体を含む)膜に存在するストライプド
メインの境界のブロッホ磁壁中につくった相隣る2つの
垂直ブロッホラインからなる垂直ブロッホライン対を記
憶情報単位として用い、該垂直ブロッホライン対をブロ
ッホ磁壁内で転送する手段を有する磁気記憶素子におい
て、前記強磁性体膜表面を選択的に溝掘りし、前記スト
ライプドメインを、リング状ストライプドメインとする
ことを特徴とする磁気記憶素子。
In a Bloch domain wall at the boundary of a stripe domain existing in a ferromagnetic (including ferrimagnetic) film that has information reading means, information writing means, and information storage means and whose easy magnetization direction is perpendicular to the film surface. In a magnetic memory element that uses a vertical Bloch line pair consisting of two adjacent vertical Bloch lines formed in the ferromagnetic film surface as a storage information unit, and has means for transferring the vertical Bloch line pair within a Bloch domain wall. What is claimed is: 1. A magnetic memory element characterized in that the striped domains are formed into ring-shaped striped domains by selectively trenching the striped domains.
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