JPS6123789Y2 - - Google Patents

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JPS6123789Y2
JPS6123789Y2 JP8766079U JP8766079U JPS6123789Y2 JP S6123789 Y2 JPS6123789 Y2 JP S6123789Y2 JP 8766079 U JP8766079 U JP 8766079U JP 8766079 U JP8766079 U JP 8766079U JP S6123789 Y2 JPS6123789 Y2 JP S6123789Y2
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gas detection
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、混合ガス中の各成分ガスを選択的に
個別に検出するガス検出装置に関するものであ
る。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a gas detection device that selectively and individually detects each component gas in a mixed gas.

従来、酸化物半導体をガス検出素子として使用
したガス検出装置は、測定時における検出素子の
温度が単一であり、しかも検出素子の電気伝導度
のみを出力として取出す構成となつているため、
感応するガスを主成分とする混合ガスに検出素子
が接触した場合、各成分ガスを2種類以上個別に
検出するのは困難であつた。
Conventionally, gas detection devices that use oxide semiconductors as gas detection elements have a configuration in which the temperature of the detection element during measurement is the same, and only the electrical conductivity of the detection element is extracted as output.
When a detection element comes into contact with a mixed gas whose main component is a sensitive gas, it is difficult to individually detect two or more types of each component gas.

従つて本考案の目的は、混合ガス中の各成分ガ
スを個別に検出し得るガス検出装置を提供するこ
とである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a gas detection device that can individually detect each component gas in a mixed gas.

この目的は、本考案によれば、ガス検出素子の
温度を周期的に少なくとも2段階に変化させてそ
の高温度領域における電気伝導度を温度変化に同
期して検出すると共に、温度変化に同期して高温
度領域以外の温度領域における電気伝導度の時間
的変化率を求め、この時間的変化率を上記電気伝
導度と組合わせることによつて、混合ガス中の各
成分ガスを個別に検出し得るようにすることによ
つて達成される。
According to the present invention, the purpose of this is to periodically change the temperature of the gas detection element in at least two stages and detect the electrical conductivity in the high temperature region in synchronization with the temperature change. By calculating the temporal rate of change in electrical conductivity in a temperature range other than the high temperature range, and combining this temporal rate of change with the electrical conductivity above, each component gas in the mixed gas can be detected individually This is achieved by trying to obtain.

ガス検出素子として、例えば酸化第二スズに、
触媒として白金属金属又は希土類金属の塩、及び
結着剤としてガラス粉を混和した後乾燥し、酸化
雰囲気中で焼結して成る酸化物半導体を使用した
場合は、測定時における素子の温度及び接触する
ガスの種類に応じて素子の感応の仕方が異なる。
即ち、平等目盛の横軸にガス検出素子の温度をと
り、対数目盛の縦軸に空気中における電気伝導度
を基準とした電気伝導度比をとつて表わした第1
図に示すように、同一のガス検出素子でも、接触
するガスの種類A,B,C及びガス検出素子の温
度に応じてその特性が特性線a1,b1,c1で示すよ
うに異なつてしまうのである。
As a gas detection element, for example, stannic oxide,
When using an oxide semiconductor obtained by mixing a platinum metal or rare earth metal salt as a catalyst and glass powder as a binder, drying the mixture, and sintering it in an oxidizing atmosphere, the temperature of the element at the time of measurement and The way the element responds differs depending on the type of gas it comes into contact with.
That is, the temperature of the gas detection element is plotted on the horizontal axis of the equal scale, and the electrical conductivity ratio is plotted on the vertical axis of the logarithmic scale, based on the electrical conductivity in air.
As shown in the figure, even the same gas detection element has different characteristics as shown by characteristic lines a 1 , b 1 , and c 1 depending on the types of gases A, B, and C in contact with it and the temperature of the gas detection element. It gets hot.

又、横軸に時間をとり、縦軸に電気伝導度比を
とつて表わした第2図及び第3図に示すように、
同一のガス検出素子温度においても接触するガス
の種類に応じてガス検出素子の電気伝導度比は、
特性線a2,b2ないしa3,c2で示すように異なる。
なお、第2図は素子温度150±50℃における特性
曲線を示し、第3図は素子温度350±50℃におけ
る特性曲線を示すものである。それぞれ特性線
a1,a2,a3はガスAに、特性線b1,b2はガスB
に、特性線c1,c2はガスcに対応するガス検出素
子の特性を表わすものである。
Also, as shown in Figures 2 and 3, where time is plotted on the horizontal axis and electrical conductivity ratio is plotted on the vertical axis,
Even at the same gas detection element temperature, the electrical conductivity ratio of the gas detection element changes depending on the type of gas it comes into contact with.
They differ as shown by characteristic lines a 2 , b 2 or a 3 , c 2 .
Note that FIG. 2 shows a characteristic curve at an element temperature of 150±50°C, and FIG. 3 shows a characteristic curve at an element temperature of 350±50°C. Characteristic line
a 1 , a 2 , a 3 are for gas A, characteristic lines b 1 , b 2 are for gas B
In addition, characteristic lines c 1 and c 2 represent the characteristics of the gas detection element corresponding to gas c.

本考案は以上の特性を巧みに利用して所期の目
的を達成するものであつて、以下、測定温度領域
を3段階に分け、出力として高温度領域では電気
伝導度をとり、中温度及び低温度領域では電気伝
導度の時間的変化率をとる場合の実施例について
詳細に説明する。
The present invention skillfully utilizes the above-mentioned characteristics to achieve the intended purpose.The measurement temperature range is divided into three stages, and the output is electrical conductivity in the high temperature range, and An example in which the temporal rate of change in electrical conductivity is measured in the low temperature region will be described in detail.

第4図は本考案によるガス検出装置の一実施例
を示すものである。この装置において、酸化物半
導体を主成分とするガス検出素子1にヒータエレ
メント2が密接して配置され、ヒータエレメント
2に加熱制御回路3から制御されたヒータ電流を
流すことにより、ガス検出素子1の温度は高,
中,低の3段階の温度領域に制御される。この温
度制御は、タイマー回路4により、第5図aに示
すように、ヒータエレメント2の電流IHの値を
上記「高」に対応するIH1、「中」に対応するIH
、「低」に対応するIH3に順次周期的に切換制御
することによつて行なわれる。ガス検出素子1
は、これに直列の負荷抵抗5とで、電源6の電圧
を分圧する分圧器を構成する。ガス検出素子1は
ガス中では電気伝導度が増大し、従つて相対的に
負荷抵抗5の低抗値が増大し、負荷抵抗5の両端
電圧が高くなる。即ち、ガス濃度に応じた出力電
圧を負荷抵抗5の両端から取出すことができる。
負荷抵抗5の両端電圧は増幅微分回路7に導入さ
れる。この増幅微分回路7は、タイマー回路4で
制御される出力保持回路8からの切換信号によ
り、ガス検出素子1の温度変化に同期して単に入
力電圧の増幅値(第5図b参照)を出力したり、
その微分値(第5図c参照)を出力したりする。
FIG. 4 shows an embodiment of the gas detection device according to the present invention. In this device, a heater element 2 is disposed in close contact with a gas detection element 1 whose main component is an oxide semiconductor, and a heater current controlled from a heating control circuit 3 is passed through the heater element 2. temperature is high,
It is controlled in three temperature ranges: medium and low. This temperature control is carried out by the timer circuit 4 , as shown in FIG .
2. This is performed by sequentially and periodically switching control to I H3 corresponding to "low". Gas detection element 1
and a load resistor 5 connected in series constitute a voltage divider that divides the voltage of the power supply 6. The electrical conductivity of the gas detection element 1 increases in gas, so the low resistance value of the load resistor 5 increases relatively, and the voltage across the load resistor 5 increases. That is, an output voltage corresponding to the gas concentration can be taken out from both ends of the load resistor 5.
The voltage across the load resistor 5 is introduced into an amplification and differentiation circuit 7. This amplification and differentiation circuit 7 simply outputs an amplified value of the input voltage (see FIG. 5b) in synchronization with the temperature change of the gas detection element 1 in response to a switching signal from an output holding circuit 8 controlled by a timer circuit 4. or
The differential value (see Fig. 5c) is output.

増幅微分回路7の出力信号は出力保持回路9に
入力される。出力保持回路9は、タイマー回路4
からのタイミング信号の作用により、ガス検出素
子1に対する加熱サイクルに同期して加熱条件の
切換時点t2,t3,t4のわずか前の時点T2,T3,T4
で切換直前の増幅微分回路7の出力を記憶保持
し、以後、その記憶内容を対応する切換時点
T5,T6,T7更にはT8,T9,T10……で次々と更
新しながら記憶保持を続ける。その場合、測定時
点T2,T5……で行なわれる高温度測定では、例
えば時点T2で行なわれる初期電気伝導度を基準
として時点T5では電気伝導度の変化分Va(第5
図b及びd参照)の出力保持を行ない、測定時点
T3,T6……及びT4,T7……で行なわれる中温度
測定及び低温度測定では電気伝導度の微分値Vb
及びVc(第5図c,e及びf参照)の出力保持
を行なう。
The output signal of the amplification and differentiation circuit 7 is input to an output holding circuit 9. The output holding circuit 9 is the timer circuit 4
Due to the action of timing signals from
The output of the amplifying and differentiating circuit 7 immediately before switching is memorized and held, and thereafter, the stored contents are used at the corresponding switching point.
The memory is maintained while being updated one after another at T 5 , T 6 , T 7 , and further at T 8 , T 9 , T 10 , and so on. In that case, in the high temperature measurement performed at measurement time points T 2 , T 5 . . . , for example, the change in electrical conductivity Va ( 5th
(see Figures b and d) and hold the output at the measurement point.
In medium and low temperature measurements performed at T 3 , T 6 ... and T 4 , T 7 ..., the differential value of electrical conductivity Vb
and Vc (see Fig. 5 c, e, and f).

出力保持回路9の各温度領域毎の出力値はそれ
ぞれ指示計10a,10b,10cに指示され
る。
Output values for each temperature range of the output holding circuit 9 are indicated to indicators 10a, 10b, and 10c, respectively.

時刻t1からt4にかけてはガス検出素子1を清浄
な空気中に置いてその検出出力を以後のガス濃度
測定の基準とし、時刻t4から、ガスA,B及びC
を成分として持つ混合ガスに接触させて測定を行
なつた時のガス検出素子1の電気伝導度及びその
微分値が第5図b及びcで表わされるものである
とすれば、高,中,低各温度における各測定値か
ら時刻T2,T5においてガスAについての検出出
力Vaを、時刻T3,T6においてガスBについての
検出出力Vbを、時刻T4,T7においてガスCにつ
いての検出出力Vcをそれぞれ指示計10a,1
0b,10cに指示させることができる。検出出
力Va,Vb,VcはそれぞれガスA,B,Cの濃度
の関係なので、指示計10a,10b,10cに
混合ガス中の成分ガスの濃度を選択的に個別に指
示させることができる。なお、指示計のほかに音
響警報器を併設して或るレベル以上の出力の時に
警報を出すようにしてもよい。
From time t 1 to t 4 , the gas detection element 1 is placed in clean air, and its detection output is used as the reference for subsequent gas concentration measurements.From time t 4 , gases A, B, and C are
If the electrical conductivity and its differential value of the gas detection element 1 when measured in contact with a mixed gas having as a component are those shown in FIG. 5 b and c, then high, medium, Low From each measurement value at each temperature, the detection output Va for gas A at time T 2 and T 5 , the detection output Vb for gas B at time T 3 and T 6 , and the detection output Vb for gas C at time T 4 and T 7 . The detection output Vc of the indicators 10a and 1
0b and 10c can be instructed. Since the detection outputs Va, Vb, and Vc are related to the concentrations of the gases A, B, and C, respectively, the indicators 10a, 10b, and 10c can selectively and individually indicate the concentrations of the component gases in the mixed gas. In addition to the indicator, an audible alarm may be provided to issue an alarm when the output exceeds a certain level.

一例として、上記の高温度領域では爆発下限界
の数パーセント付近可燃性ガス濃度を、電気伝導
度を出力として検出し、又、中温度領域では許容
濃度付近の一酸化炭素ガス濃度を、電気伝導度の
時間的変化率(微分値)を出力として検出するこ
とにより、爆発警報とガス中毒警報とを同時に行
なうことが可能となる。
As an example, in the above-mentioned high temperature range, combustible gas concentration around a few percent of the lower explosive limit is detected as electrical conductivity, and in medium temperature range, carbon monoxide gas concentration near the permissible concentration is detected as electrical conductivity. By detecting the temporal rate of change (differential value) of the gas temperature as an output, it is possible to simultaneously issue an explosion warning and a gas poisoning warning.

以上の実施例においては、加熱条件の切換直前
の増幅微分回路出力を記憶保持して出力する方式
のものについて説明したが、本考案はそれに限定
される訳ではない。
In the above embodiments, a method has been described in which the output of the amplification and differentiation circuit immediately before the heating condition is changed is stored and output, but the present invention is not limited thereto.

吸着ガス雰囲気下でガス検出用半導体素子の電
気伝導度及びその時間的変化率の過渡特性は被検
出ガスと対応する温度領域の温度によつて著しく
異なる。即ち、目的とする対象ガスが2種類以上
存在する混合ガスであつて、それらの成分ガスに
対応する温度領域の温度が近接している場合、近
接温度領域に対応するガスによつて目的ガスにつ
いての出力は影響を受ける。
In an adsorbed gas atmosphere, the electrical conductivity of a gas detection semiconductor element and the transient characteristics of its rate of change over time vary significantly depending on the temperature in the temperature range corresponding to the gas to be detected. In other words, if the target gas is a mixture of two or more types and the temperatures in the temperature ranges corresponding to the component gases are close to each other, the target gas can be determined by the gas corresponding to the adjacent temperature range. output is affected.

いま、対応温度領域よりも高い温度領域の影響
を受けるガスをA、より低い温度領域の影響を受
けるガスをBとすると、記憶保持時刻をパラメー
タとする出力−濃度特性はそれぞれ第6図及び第
7図のようになる。なお、この両図において、縦
軸及び横軸はともに平等目盛であり、τA及びτB
はガスAないしBに対応する温度領域の時間(第
5図において、t1〜t2,t2〜t3,t3〜t4などに相
当)、tHは各温度領域に対応して記憶保持される
出力のサンプリング時刻を各温度領域の開始時刻
を基準として示すものである。
Now, let A be a gas that is affected by a temperature range higher than the corresponding temperature range, and B be a gas affected by a lower temperature range than the corresponding temperature range.The output-concentration characteristics with the memory retention time as a parameter are shown in Figures 6 and 6, respectively. It will look like Figure 7. In both figures, both the vertical and horizontal axes are equal scales, and τ A and τ B
is the time in the temperature range corresponding to gas A or B (corresponds to t 1 - t 2 , t 2 - t 3 , t 3 - t 4 , etc. in Fig. 5), and t H is the time corresponding to each temperature range. The sampling time of the stored output is shown based on the start time of each temperature range.

このような場合は、対象ガスの種類によつて、
各温度領域時間内で温度領域固有の適切な一定時
刻における出力をその温度領域に対応して記憶保
持させることにより、良好な出力−濃度特性が得
られ、より広範囲濃度のガスの検出が可能とな
る。
In such cases, depending on the type of target gas,
By storing and storing the output at an appropriate fixed time specific to each temperature region within the time of each temperature region, good output-concentration characteristics can be obtained, making it possible to detect gases with a wider range of concentrations. Become.

次に、吸着ガス雰囲気下でガス検出用半導体素
子の電気伝導度及びその時間的変化率の過渡特性
は、対象ガスの種類とその濃度によつても著しく
異なる。特にガス濃度が広範囲に変化すると過渡
特性曲線が大きく変化する。このような場合は、
各温度領域時間内の出力の最大値あるいは最小値
あるいは最大値と最小値との線形結合値、例えば
相加平均値をその温度領域に対応して記憶保持さ
せることにより広範囲のガス濃度の検出が可能と
なる。
Next, the electrical conductivity of a gas detection semiconductor element in an adsorbed gas atmosphere and the transient characteristics of its rate of change over time vary significantly depending on the type of target gas and its concentration. In particular, when the gas concentration changes over a wide range, the transient characteristic curve changes significantly. In such a case,
A wide range of gas concentrations can be detected by storing the maximum value or minimum value of the output within each temperature range time, or a linear combination value of the maximum value and the minimum value, such as an arithmetic average value, corresponding to that temperature range. It becomes possible.

第8〜10図はそれぞれ出力保持値として最大
値(第8図)、最小値(第9図)、及び最大値と最
小値との相加平均値(第10図)をとる場合の出
力−濃度特性を、ガスA,B,Cについての出力
の各温度領域内での経時特性曲線として示すもの
であり、各出力保持値は黒丸印で示されている。
Figures 8 to 10 show the maximum value (Figure 8), the minimum value (Figure 9), and the arithmetic average value of the maximum and minimum values (Figure 10) as output holding values. The concentration characteristics are shown as time-dependent characteristic curves of the outputs of gases A, B, and C within each temperature range, and each output retention value is indicated by a black circle.

なお、第8〜10図において、H,M,Lはそ
れぞれ高濃度、中濃度及び低濃度のガス雰囲気下
の出力の経時特性を示すものである。
In addition, in FIGS. 8 to 10, H, M, and L indicate the temporal characteristics of the output under high concentration, medium concentration, and low concentration gas atmospheres, respectively.

更に又、各温度領域に対応する対象ガスに共通
の指標量がある場合、即ち例えば対象ガスが可燃
性ガスであつて、爆発下限界濃度が知られている
ような場合、各指標量の全合計量を指示出力とし
て得たいことがある。そのような場合は、各温度
領域に対応して記憶保持される出力値に各指標量
に対する重みを乗じて各温度領域について加え合
わせ、その和を複数温度領域を含む測定1サイク
ルに対応させて新たに記憶保持させるようにすれ
ばよい。
Furthermore, if there is a common index quantity for the target gas corresponding to each temperature range, for example, if the target gas is a flammable gas and the lower explosive limit concentration is known, then all of the index quantities Sometimes we want to obtain the total amount as an instruction output. In such a case, the output value stored for each temperature range is multiplied by the weight for each index quantity, added for each temperature range, and the sum is made to correspond to one measurement cycle including multiple temperature ranges. All you have to do is to store it in a new memory.

例えば、対象ガスが可燃性ガスであつた場合に
は、各温度領域に対応する出力値に乗ずる重みと
して爆発下限界濃度の対出力感度を採用すること
によつて爆発下限界を出力表示単位として表示す
ることが可能となる。
For example, if the target gas is a flammable gas, the lower explosive limit can be used as the output display unit by using the output sensitivity of the lower explosive limit concentration as a weight to be multiplied by the output value corresponding to each temperature range. It becomes possible to display.

以上述べたように本考案によれば、混合ガス中
の各成分ガスを個別に検出し得るガス検出装置を
提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a gas detection device that can individually detect each component gas in a mixed gas.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図,第2図及び第3図は本考案に使用され
る検知素子の特性例を示す特性線図、第4図は本
考案によるガス検出装置の一実施例を示すブロツ
ク図、第5図a〜fは第4図の装置の検出原理を
説明するための線図、第6図及び第7図は本考案
装置の一変形例を説明するための線図、第8図、
第9図及び第10図は本考案装置の他の変形例を
説明するための線図である。 1……検出素子、2……ヒータエレメント、3
……加熱制御回路、4……タイマー回路、7……
増幅微分回路、8……出力保持回路。
1, 2, and 3 are characteristic diagrams showing characteristic examples of the detection element used in the present invention, FIG. 4 is a block diagram showing an embodiment of the gas detection device according to the present invention, and FIG. Figures a to f are diagrams for explaining the detection principle of the device in Figure 4, Figures 6 and 7 are diagrams for explaining a modified example of the device of the present invention, and Figure 8.
FIGS. 9 and 10 are diagrams for explaining other modifications of the device of the present invention. 1...Detection element, 2...Heater element, 3
... Heating control circuit, 4 ... Timer circuit, 7 ...
Amplification differentiation circuit, 8...Output holding circuit.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 1 吸着ガス雰囲気下で電気伝導度が変化する半
導体素子から成るガス検出素子と、このガス検
出素子の温度を周期的に少なくとも2段階に変
化させる温度制御部と、前記ガス検出素子の高
温度領域における電気伝導度及びそれ以外の温
度領域における前記ガス検出素子の電気伝導度
の時間的変化率を温度変化に同期して検出する
検出回路と、この検出回路によつて検出された
前記電気伝導度及び時間的変化率の組合わせに
基いて被検出ガス中の各成分ガスに対応する出
力信号を選択的に個別に出力する出力保持回路
とを備えて成るガス検出装置。 2 実用新案登録請求の範囲第1項記載のガス検
出装置において、前記出力保持回路は、各温度
領域時間内で温度領域固有の一定時刻における
出力をその温度領域に対応して記憶保持して出
力するものであることを特徴とするガス検出装
置。 3 実用新案登録請求の範囲第1項記載のガス検
出装置において、前記出力保持回路は、各温度
領域時間内の出力の最大値あるいは最小値ある
いは最大値と最小値との線形結合値を各温度領
域に対応して記憶保持して出力するものである
ことを特徴とするガス検出装置。 4 実用新案登録請求の範囲第1項ないし第3項
のいずれかに記載のガス検出装置において、前
記出力保持回路は、測定1サイクル中の複数温
度領域の各々に対応して記憶保持された各出力
値の線形結合値を各1サイクル毎に新たに記憶
保持して出力するものであることを特徴とする
ガス検出装置。
[Claims for Utility Model Registration] 1. A gas detection element made of a semiconductor element whose electrical conductivity changes in an adsorbed gas atmosphere, and a temperature control unit that periodically changes the temperature of the gas detection element in at least two stages; a detection circuit that detects the temporal change rate of the electrical conductivity of the gas detection element in a high temperature range and the electrical conductivity of the gas detection element in other temperature ranges in synchronization with temperature changes; and an output holding circuit that selectively and individually outputs an output signal corresponding to each component gas in the gas to be detected based on the combination of the electrical conductivity and the temporal rate of change detected by the sensor. Device. 2 Utility Model Registration Scope of Claims 1. In the gas detection device according to claim 1, the output holding circuit stores and outputs the output at a certain time specific to the temperature range within each temperature range time corresponding to that temperature range. A gas detection device characterized by: 3 Utility Model Registration In the gas detection device according to claim 1, the output holding circuit stores the maximum value or minimum value of the output within each temperature range time, or the linear combination value of the maximum value and the minimum value at each temperature. A gas detection device characterized in that it stores and outputs information corresponding to a region. 4. Utility Model Registration In the gas detection device according to any one of claims 1 to 3, the output holding circuit may store and hold each output signal corresponding to each of a plurality of temperature ranges during one measurement cycle. A gas detection device characterized in that it stores and outputs a new linear combination value of output values every cycle.
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