JPS61226650A - 水分測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、水分測定方法及び装置に関する。

さらに詳しくは、各種気体試料や液体試料中に含有され
る水分を高精度、高確度に測定でき、例えば石油化学工
業用のプロセスガスや石油精製プラントのリサイクルガ
ス、高圧ボンベ、有機溶剤、石油などの中の水分濃度、
ことに微量の水分濃度を検出するのに好適な水分測定方
法及び装置に関する。

（ロ）従来技術 従来から各種媒体中ことに気体や液体中の水分濃度を定
量する方法として、カールフィッシャー法、ガスクロマ
トグラフィ、水分吸着による抵抗、電気容量、重量等め
物理的変化に基づいて水分を検知する水分（湿度）セン
サを用いる方法、赤外線加熱による重量変化を検知する
方法などが用途に応じて選択され実用されている。

現実の問題として、水という物質は、酸素、空気、炭酸
ガス等と並んで、直接的にも間接的にも人間の生活に重
要なかかわりがあって、その量の計測（すなわち水分の
定量分析）は必要欠くべからざるものである。したがっ
て水分計測が要求される分野は極めて広範囲に至る。た
とえば“どのような物質中の水分計測であるか”という
観点から固体水分計測、液体水分計測、気体水分計測と
いうように分類されるし、また“どのような用途目的に
関する水分計測であるか”によって環境計測、土壌水分
計測１１食品水分計測というように分類されている。

これに対して、計１法あるいは計測装置の方は、あらゆ
る用途に適用できる手段の実現が好ましく、（１）どの
ような状態の水分も計測でき、（２どのような水分含有
率のものでも正確に分析でき、（３）測定操作が簡便で
、（４）測定使用時間が短かいことなどが要望されるわ
けであるが、現実には水という物質が化学的に極めて活
性で他の物質と複雑な共存関係にあるため、現在まで理
想的な手段はない。

しかし、強烈なニーズに対応せねばならぬため、古くは
毛髪温度計から゛はじまって、上記のような各種の方法
が考えだされ、それぞれの方法を用途目的に応じて使い
わけしているのが現状であるといえる。

この点に関し、本発明にかかわる範囲を強調して現状の
技術をやや詳細に説明しよう。

まず、液体中の水分を測定する方法としては、カールフ
ィッシャー法（以下ＫＦ法と記す）が、もつとも信頼さ
れて使用されている。この方法は、基本的には水分を含
む液体をＫＦ試薬と称する高価で複雑な液体試薬でもっ
て滴定し、含有水分を容量分析する方法である。滴定操
作を要することから１回の分析に少なくとも３０分程度
の時間を必要とし、滴定操作中にＫＦ試薬そのものが大
気中の水分を吸収するため誤差を生じやすく特別な配慮
と分析操作上の熟練を要することは、よく知られている
とこるである。上述のようにＫＦ法は、本来液体中の水
分測定法ではあるが、気体中の水分測定には、水を含む
試料気体を定量の試薬中に吸収させ（たとえばバブリン
グ混合して）、滴定をするというようなこともできるし
、固体中の水分測定では、試料固体を加熱気化させて、
さらに液体に吸収させて滴定するということもよく知ら
れている。

一方滴定というような複雑な操作をさけ、試料にセンサ
ーを接触させるだけで水分を測定しようという考え方の
ものは多数ある。かかる水分センサとしては、セラミッ
ク板や高分子電解膜を感湿物質として用いるいわゆる電
気抵抗式、電気容量式、あるいは圧電式などの水分（ま
たは湿度）センサが適用されてはいる。このようなセン
サは各種のものがあるが、実際にはあるゆる用途に広く
適用できるものではなく、当該センサーのもつ特性を十
分承知した上で限定された目的と用途にのみ応用してい
るのが現状である。たとえば、試料中の共存物質の影響
については、その影響度が無視できる程度の多量の水分
量しか測定できないので、微量水分測定には使用できな
いけれども大気中の水分測定のような多量測定には適用
できることになる。

このように、水分センサは、本来水分にのみ感応し他の
共存成分に対して全く感応しないような理想的な性能が
望ましいのであるが現実には、このような水分センサは
見出されておらず、また実現の可能性はまずないといえ
る。実際上は、水分以外の共存成分、ことに有機溶媒成
分にも感応するが、水分に対して選択的に優位な感応性
を有するセンサがやむなく用いられている。従って、通
常の水分センサを用いて水分測定法においては測定値に
及ぼす共存成分の影響は、極めて重要な問題であってそ
のために、用途を限定し、水分測定可能範囲を制限し、
微量水分の正確な測定を不可能にしている。ことに液体
中の微量水分測定では、多量に共存する物質中の極微量
水分の検出ということになるので、正確を期し雌い。加
えて再現性のある測定値を短時間で得ることが極めて困
難であるという問題点があった。

（ハ）発明の目的 この発明は、かかる問題点を解消すべくなされたもので
あり、ことに水分以外の共存成分の影響を除去して高精
度及び高確度の水分定量を簡便に行なう水分測定方法及
び装置を提供しようとするものである。

本発明者は、水分計測の重要さにかんがみ、可能な限り
用途の普遍性について検討を重ね、実験研究にもとづく
新しい方法および装置について鋭意將発研究をおこなっ
た結果、特殊な示差測定法に想看して巧みに共存物質の
影響を除去し、測定精度、確度の向上をはかるとともに
、液体中（とくに有機溶媒中）の微量水分の定量をＫＦ
法の１０倍以上の感度で可能ならしめる方法を実現した
。

詳細は後述するが、その要旨を概説する。本発明は、各
種水分センサの使用上の簡便さに注目し、水分センサの
もつ、ざけえられない共存物質の影響（すなわち、さけ
ることができない共存物質に対する感応性）を許容しな
がらも、測定結果には、その悪影響を除外して正確で精
密な高感度測定で実行しうる方法である。すなわち、構
造が類似で、共存物質による感応性も類似する２つのセ
ンサーを用意し、その片方のみに、親水性基の導入など
の手法で、水に対する感応性をとくに優位に調整し、両
センサーを同時に被検試料に接触させる。

このとき親水性基の負荷などの調節によって、両センサ
ーの共存物質による影響度合が変化してしまうのである
が一両センサーからの出力信号の性質を研究し、巧みな
演算処理によって、理想的に共存物質の悪影響を除外し
うろことを見出したのである。その結果、１産の有機溶
媒中に含まれる０、２μ９というような微量の水分も気
化器を併用して精密に測定可能であることを実際に確認
している。

（ニ）発明の構成 かくしてこの発明によれば、気体試料又は気化試料から
なる試料ガスを、（ａ）水分以外の共存成分にも感応す
るが水分に対して選択的に優位な感応性を有する水分セ
ンサ、に接触させて水分測定を行なうに際し、 試料ガスを上記水分センサ（ａ）に接触させると共に、
（ｂ）水分以外の共存成分に感応し水分に対して選択的
に優位な感応性を有しない比較センサに接触させ、水分
センサ（ａ）の出力Ａと比較センサ（ｂ）の出力Ｂにつ
いて下式： （式中、ｋの値は、水分センサ（ａ）の共存成分に対す
る感度と比較センサ（ｂ）の共存成分に対する感度との
強度比率） の減算を行ない、この減算出力値に基づいて試料ガス中
の水分を定量することを特徴とする水分測定方法が提供
される。さらにこの発明によれば、上記方法の実施に好
適な水分測定装置が提供される。

この発明の最も特徴とする点は従来の水分センサ（ａ）
と上記比較センサ（ｂ＞とを用いて、少なくとも共存成
分に基づく出力分を除去して定量を行なう点にある。こ
れにより簡便にかつ高精度・高確度の水分定量が可能と
なる。ことに水沫によれば液体試料１４中の０．２μＱ
程度までの検出が可能で従来のカールフィッシャー法（
試料１４では約１０μｇ程度の検出限界）に比して著し
く改善され、さらに分析時間も約２〜３分と著しく短縮
化される。

上記水分センサ（ａ）としては、従来から知られている
種々の水分センサを用いることができ、通常、親水性基
が導入された高分子膜すなわち高分子電解質を感湿膜と
して有する水分センサが適している。一方、比較センサ
＋ｂ）としては、親水性基が減少され又は実質的に導入
されていない高分子膜を有する以外、水分センサ（ａ）
と同様の構成からなるものを用いることができる。上記
高分子膜としては、ポリスチレン、スチレン−ジビニル
ベンゼン共重合体、セルロース系ポリマー等の公知のも
のが使用でき、親水性基としてはスルホネート基、ホス
ホネート基、第４級アンモニウム基等の公知のものが適
用できる。通常、高分子膜としてプラズマ重合有機高分
子膜を用いその表層にスルホネート基又は第４級アンモ
ニウム基を導入した感湿膜を有する水分センサ（ａ）と
、プラズマ重合有機高分子膜を有する比較センサ（ａ）
を組合せて用いるのがもつとも好ましい。そして圧電素
子を用いた発振周波数検知式のセンサとして構成したも
のを用いるのが、測定の感度と精密度を向上するのによ
り好ましい。かかるセンサは例えば特開昭５９−２４２
３４号公報の記載に準じて作製できる。

以下、上記水分センサ（ａ）と比較センサ市）とを用い
た共存成分の出力分の除去の原理について第１図を用い
て説明する。

第１図は、水分センサ（ａ）の水分濃度に対応する出力
信号ＭＨ及び共存成分濃度に対応する信号ＲＨ並びに比
較センサ（ｂ＋の水分濃度に対応する信号Ｍ。及び共存
成分濃度に対応する信号Ｒｏの関係を示すグラフである
。水分センサ（ａ）での出力は実際には（ＭＨ＋　Ｍ　
Ｏ）としてあられれ、一方、比較センサでの出力は（Ｒ
）−１＋ＲＬ＋）としてあられれる。ここでＭｏ／Ｒｏ
（共存成分についての信号の大きさの比率）が既知にで
あるならば、（ＭＨ−＋　＋Ｍｏ　）　−ｋ　・（ＲＨ
＋　Ｒｏ　）　−ＭＨ−に−ＲＨとなり、水分センサ（
ａ）の出力Ａから比較センサ（ｔｏの出力Ｂのに倍を減
算することにより、出力ＡからＭｏがキャンセルされる
こととなる。この際、減算によって水分に対応する出力
は水分センサー（ａ）が本来もっている信号の大きさＭ
Ｈよりに−ＲＨ分だけ少なくなるが、Ａ−ｋ　・Ｂ値に
ついては水分濃度に比例することになるため、予め検量
線を設定しておくことにより該減算値に基づいて共存成
分の影響を除去しつつ測定ガス、ひいては気体試料や気
化試料中の水分濃度を定量することが可能となる。

実際問題では、共存する妨害物質が単独ではなく複数成
分であり、かつ複数成分のそれぞれの成分が任意に変動
するので微量水分の定量を不可能にいたらしめるのであ
るが、本発明にもとづく測定法は共存物質が単独ではな
く複数ある場合に効果が顕著であり、ことに複数の有機
溶媒成分でその種類及び構成比が未知の被検対象中に存
在する微量水分濃度の定量に極めて有用である。この際
、かりに複数ある共存成分のそれぞれの成分の濃度に対
応するセンサの出力信号が異なる場合においても実質的
に問題は生じない。たとえば水分測定に際し、試料ガス
中にアセトン及びエチルアルコールが共存している場合
、アセトンについての両センサーの出力信号の大きさと
、エチルアルコールについての出力信号の大きさが異な
っていてもに″値が同じであれば上記減算出力は （ＭＨ＋Ｍｓ　＋Ｍ２　）−ｋ　（’ＲＨ＋Ｒｔ￥゛Ｒ
２）（式中、Ｍｌ及びＲｉはアセトンについての水分セ
ンサ及び比較センサの出力分、Ｍｌ及びＲ２はエチルア
ルコールについての水分センサ及び比較センサの出力分
） となり、総合的に信号は（Ｍ）−１−ｋＲＨ）となって
理想的に共存物質の影響は除去できる。実際には、種々
の有機溶媒についてのに値は高分子膜を有する水分セン
サ及び比較センサにおいて後述する実施例（表１参照）
のごとくほぼ一定になることが見出されたため、これら
の組合せにおいて実質的に共存成分の影響を除去でき、
高精度・高確度の測定が可能となる。予想される各種の
共存成分について、このに値は、一定値を有するもので
あるが、たとえに値が多少異なる共存成分の場合でも、
理想的とはいえないまでも著しく測定誤差を軽減するこ
とはまちがいない。

（ホ）実施例 水分センサとして、ポリスチレン膜にスルホネート基を
導入した感湿膜を備えた圧電式の水分センサを用いた。

この水分センサは特開昭５９−２４２３４号公報に準じ
、発振周波数９ＭＨｚのＡＴカットの水晶板両面に金電
極を蒸着し、スチレン蒸気中で金蒸着膜上にポリスチレ
ン膜をプラズマ重合して形成させ、さらにこれを無水硫
酸ガス雰囲気中に放置させることによりポリスチレン膜
にスルホネート基を導入して得られたもので、直径１４
ｍ鵬、厚み０．８１Ｉ１７、感湿膜厚的０．１μｍの水
晶発振子である。

一方、比較センサとして、上記スルホネート基を導入す
る工程を除いて同様に構成してなるポリスレン腹被覆の
圧電素子板を用いた。

上記水分センサ及び比較センサそれぞれの水分及び各種
有機溶媒（共存成分）に対する個々の感度及びこれら各
成分におけるセンサの感度比を測定した結果を第１表に
示す。

（以下余白、次頁に続く。） 第１表 （なお、上記感度の数値は、それぞれ１貸を気化させて
各センサ、に接触させた際の出力の相対値である） このように上記水分センサは、水分以外の共存成分にも
感応するが水分に対して選択的に優位感応性を有するも
のであり、一方比較センサは、−水分及び共存成分に感
応し水分に対して選択的な感応性を有しないものである
。さらに感度比ｋ（水分センサの共存成分に対する感度
と比較センサの共存成分に対する感度との強度比率）も
ほぼ一定であり、有機溶媒成分について約３．０に設定
すればよいことが判る。

上記成分をそれぞれ１減含む試料についての水分センサ
の出力Ａは２１４５　（発振周波数の変化分で単位はＨ
２）であり比較センサの出力Ｂは６８であるので、減算
出力Ａ−に−Ｂは１９４１となる。これに対し例えば水
分を０．５ｄ　、エチルアルコール２４、アセトン０．
５Ｊ、ベンゼン０．５．Ｊ　、ガソリン１４、フロン−
１１１，Ａｌｌを含有する試薬についての水分センサの
出力Ａは１１９６．７であり、比較センサの出力は１５
．５となり、減算出力は９１．０となる。

従って水分１Ａを含む試料ガスは水分０．５４を含む試
料ガスの半値となり、共存成分の種類及び比率が変動し
ても高精度・高確度の測定が可能となることが判る。

第２図は、この発明の装置の一実施例を示す構成説明図
である。図において水分分析装置（１）は、前記した水
分センサ内及び比較センサ（ハ）を内蔵し試料ガス導入
口２１）及び排出０弼を備えた水分測定セル（２）と、
試料ガスを供給しうる試料ガス流路（３）と、演算部（
４）とから基本構成される。演算部（４）には、それぞ
れのセンサ囚、岡について発信回路（４１）　　＜４１
’　）　、発振周波数変換増幅器（４２）（４２’　）
及び対照センサを脱気セル中に封入した対照用セル（４
３）　　（４３’　）が設けられており、これらの増幅
出力は差動演算増幅器（４４）で減算されかつ水分濃度
変換されて表示されるよう構成されてなる。ここで比較
センサ（２勾側の増幅器（４２’　）の増幅率は前述の
実施例に対応して水分センサ（至）の増幅率の３倍に調
整されてなる。

試料ガス流路（３）は、気化器（３１）を備えかつ気化
試料をセル（ａ内に移送しろるキャリアーガス（Ｎ２ガ
ス）供給管図を備えてなり、気化３印）は２００℃まで
に加熱しろる加熱手段を備えたキャピラリーチューブ（
３１１）からなり、液体試料は注入０缶を介して該気化
器内に導入される。導入された液体試料は加熱気化され
るがこの間バルブ□□□及び（ト）は閉じられ、気化が
充分に行なわれた後、これらは開かれキャリアーガスに
より試料ガスがセル（２内に導入されることとなる。

導入された試料ガスは、センサ（支）四に接触した後ド
レインへ排出されるが、演算部（４）においてこの際の
センサ＠２勾の出力から前記減算出力Ａ−に−Ｂ（ｋは
３）が算出され、ざらにこの出力に水分濃度換算値が乗
じられて水分濃度が表示器（４５）に表示されることと
なる。なお、もちろん気体試料を流路（３）に直接導入
しても何らさしつかえはない。

上記装置Ｆ　＋１）を用いて各種有機溶媒中の微量水分
（１０−１〜１０３μｇ）の定量を行なった結果を第３
図に示す。このように優れた直線性が１０−１μ９オー
ダまで得られ、従来の最も信頼性があるとされているカ
ールフィッシャー法（１０°μｇ程度が限界）に比して
よりすぐれていることが判る。さらに上記の分析所要時
間は約２〜３分であり、３０分以上を要するカールフィ
ッシャー法に比して極めて有利であることが判る。

（へ）発明の効果 この発明によれば、水分以外の測定ガス中の共存成分の
影響を効率良く除去して高精度・高確度の水分定量を行
なうことができ、ことに気体や液体試料中の微量水分の
定量を簡便に行なうことができる。そして、分析操作も
液体試料の場合、シリンジで通常１〜１０産程度の少量
を注入するだけでよく、従来のカールフイシャ−Ｆ！ｘ
（通常、１００貸〜１００　ｘｉ必要）に比して有利で
あり、ざらに分析時間、検出限界、分析者の熟練度、微
量成分の測定精度等のいずれの点でもカールフィッシャ
ー法に比して有利である。従って、ことに各種有機溶媒
、石油類、熱媒類などの液体試料中の水分含量測定に極
めて好適である。例えば、１産のガソリン試料で０．５
μｑの水分を正確に測定でき、ＪＩｓ法（カールフィッ
シャー法）で１００　ｘｉのガソリンでの３００ｈｙｎ
　（１４中で３μｇの水分）の限界に比して優れており
、また冷媒としてのフロン−１１は水分含量が１．０ｆ
ＦＷ　／Ｗ以下（１０ｇの試料で１０μＱ以下の水分）
が望まれているが、この発明によれば少量の試料で検出
が可能となり、例えばｉｏｏ、ｐを用いれば充分である
。

なお、この発明の方法における共存成分の影響の除去の
手法は、他の成分のセンサにおいても適用することが可
能であり、意図する被検成分に対する高感度なセンサと
低感度なセンサを組合せることにより水分以外の物質の
測定への応用も期待される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の方法の原理を説明するためのグラ
フ、第２図は、この発明の装置の一実施例を示す構成説
明図、第３図は、この発明の方法により出力信号と水分
濃度との関係を比較例と共に例示するグラフである。 （１）・・・・・・水分分析装置、（２・・・・・・水
分測定セル、（３）・・・・・・試料ガス流路、（４）
・・・・・・演算部、３υ・・・・・・試料ガス導入口
、弼・・・・・・試料ガス排出口、＠・・・・・・・・
・水分センサ、（ロ）・・・・・・比較センサ。 手続補正書 昭和６０年７月２６日 昭和６０年特許願第６７４１０号 ２、発明の名称 水分測定方法及び装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　京都市中京区河原町通二条下ルーツ船人町３
７８番地名　称　　　（１９９）株式会社　島津製作所
代表者横地　節男 ４、代理人〒５３０ 住　所　　大阪市北区西天満５丁目１−３クォーター・
ワンビル５、補正命令の日付　　　く自　発） ６、補正の対象 明ｍｔｎの「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明
」の欄補正の内容 ７、　明細書第７頁第６行の「あるゆる」を「あらゆる
」と補正する。 ２、　同書第１３頁第３行のｒＲｓＪをｒＭＯｊと補正
する。 ３、　同頁第４行のｒＭｏＪをｒＲＨｊと補正する。 ４、　同頁第８行の［ここでＭｏ／ＲＯＪを「ここにＭ
　Ｈ：ｓ　ＲＨのＭｏ／ＲｏＪと補正する。 ５、　同頁第１４行の「なる。」と［この際・・・・・
・」との間に「ここに水分センサ（ａ）は水分に対して
優位に感応しくｂ）は水分に対して優位に感応しない。 すなわち、ＭＨ＞ＲＨであり、Ｒ）−１は無視する。」
を挿入する。 ６、　同頁下から第５〜４行のｒＭＨよりに−ＲＨ分だ
け少なくなるが、Ａ−に−Ｂ値については」を「ＭＩ−
１値、すなわち（Ａ−ｋ−Ｂ）値はＪと補正する。 ７、　同書第１７頁の第１表を下記のごとく補正する。 第１表 ８、　同書第１８頁第３行のｆ約３．０」を「約１／３
」と補正する。 ９、　同頁第６行の「２１４５Ｊをｆ　２０４８Ｊと補
正する。 １０、　　同頁第７行の「６８」をｊ　１４５Ｊと補正
する。 １７、　同頁第８行の「１９４１Ｊをｊ　１９９９．７
Ｊと補正する。 １２、　同頁第１２行の［１１９６，７Ｊをｊ　１０６
５，５Ｊと補正する。 １３、　同頁第１３行の［７５，５Ｊをｊ　２０６．５
Ｊと補正する。 １４、　同頁第１３行の「９７．０」をｊ　９９９．７
ｊと補正する。 １５、　同頁第１４行の「１４」をｒ　０．５ｄＪと補
正する。 １６、　同頁第１４行のｒＯ，５ｄＪを「１貸」と補正
する。 １７、　明細書第１９頁第１２行の「３倍」をｒｌ／３
Ｊと補正する。 １８、　同書第２０頁第６行のｒ（ｋは３）」をｒ（ｋ
は１／３）Ｊと補正する。 １９、　図面の第１図を別紙のごとく補正する。 特許請求の範囲 １．気体試料又は気化試料からなる試料ガスを、（ａ）
水分以外の共存成分にも感応するが水分に対して選択的
に優位な感応性を有する水分センサ、に接触させて水分
測定を行なうに際し、試料ガスを上記水分センサ（ａ）
に接触させると共に、市）水分以外の共存成分に感応し
水分に対して選択的に優位な感応性を有しない比較セン
サにも接触させ、水分センサ（ａ）の出力Ａと比較セン
サ＋ｂ＋の出力Ｂについて下式： 〔式中、ｋの値は、水分センサ（あの共存成分に対する
感度と比較センサ（ｂ）の共存成分に対する感度との強
度比率） の減算を行ない、この減算出力値に基づいて試料ガス中
の水分を定量することを特徴とする水分測定方法。 ２、水分センサ（ａ）が、親水性基が導入された高分子
膜からなる感湿膜を備えた水分センサであり、比較セン
サ化）が、親水性基が水分センサ（ａ）に比して減少さ
れ又は実質的に導入されていない高分子膜を備えたセン
サである特許請求の範囲第１項記載の水分測定方法。 ３、共存成分が単一もしくは混合の有機溶媒成分であり
、ｋ値が約１／３に設定される特許請求の範囲第２項に
記載の水分測定方法。 ４、有機溶媒成分中に存在する微量水分の測定に用いら
れる特許請求の範囲第１〜３項のいずれかに記載の水分
測定方法。 ５、試料ガス導入口及び排出口を備え内部に（ａ）水分
以外の共存成分にも感応するが水分に対して選択的に優
位な感応性を有する水分センサと（ｂ＋水分以外の共存
成分に感応し水分に対して選択的に優位な感応性を有さ
ない比較センサを設置してなる水分測定セルと、上記水
分測定セル内に試料ガスを供給しつる試料ガス流路と、
試料ガス供給時の上記水分センサ（ａ）の出力Ａと比較
センサ化）の出力Ｂについて下式： ％式％ 〔式中、ｋの値は、水分センサ（ａ）の共存成分に対す
る感度と比較センサ化）の共存成分に対する感度との強
度比率〕の演算を行ない、この演算出力値に水分濃度換
算値を乗じて水分濃度を算出・表示する演算部とを備え
てなる水分測定装置。 ６、水分センサ（ａ）及び比較センサ（ｂ＞のそれぞれ
について、変化分だけを出力信号として検出し易くする
ための対照センサ及びセルが付設されてなる特許請求の
範囲第５項に記載の水分測定装置。 ７、試料ガス流路に、液体試料気化器と、気化試料を水
分測定セル内に移送しうるキャリアーガス供給部が付設
されてなる特許請求の範囲第５項記載の水分測定装置。 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気体試料又は気化試料からなる試料ガスを、（ａ）
   水分以外の共存成分にも感応するが水分に対して選択的
   に優位な感応性を有する水分センサ、に接触させて水分
   測定を行なうに際し、 試料ガスを上記水分センサ（ａ）に接触させると共に、
   （ｂ）水分以外の共存成分に感応し水分に対して選択的
   に優位な感応性を有しない比較センサにも接触させ、水
   分センサ（ａ）の出力Ａと比較センサ（ｂ）の出力Ｂに
   ついて下式： Ａ−ｋ・Ｂ 〔式中、ｋの値は、水分センサ（ａ）の共存成分に対す
   る感度と比較センサ（ｂ）の共存成分に対する感度との
   強度比率〕 の減算を行ない、この減算出力値に基づいて試料ガス中
   の水分を定量することを特徴とする水分測定方法。 ２、水分センサ（ａ）が、親水性基が導入された高分子
   膜からなる感湿膜を備えた水分センサであり、比較セン
   サ（ｂ）が、親水性基が水分センサ（ａ）に比して減少
   され又は実質的に導入されていない高分子膜を備えたセ
   ンサである特許請求の範囲第１項記載の水分測定方法。 ３、共存成分が単一もしくは混合の有機溶媒成分であり
   、ｋ値が約３．０に設定される特許請求の範囲第２項に
   記載の水分測定方法。 ４、有機溶媒成分中に存在する微量水分の測定に用いら
   れる特許請求の範囲第１〜３項のいずれかに記載の水分
   測定方法。 ５、試料ガス導入口及び排出口を備え内部に（ａ）水分
   以外の共存成分にも感応するが水分に対して選択的に優
   位な感応性を有する水分センサと（ｂ）水分以外の共存
   成分に感応し水分に対して選択的に優位な感応性を有さ
   ない比較センサを設置してなる水分測定セルと、上記水
   分測定セル内に試料ガスを供給しうる試料ガス流路と、
   試料ガス供給時の上記水分センサ（ａ）の出力Ａと比較
   センサ（ｂ）の出力Ｂについて下式： Ａ−ｋ・Ｂ 〔式中、ｋの値は、水分センサ（ａ）の共存成分に対す
   る感度と比較センサ（ｂ）の共存成分に対する感度との
   強度比率〕の演算を行ない、この演算出力値に水分濃度
   換算値を乗じて水分濃度を算出・表示する演算部とを備
   えてなる水分測定装置。 ６、水分センサ（ａ）及び比較センサ（ｂ）のそれぞれ
   について、変化分だけを出力信号として検出し易くする
   ための対照センサ及びセルが付設されてなる特許請求の
   範囲第５項に記載の水分測定装置。 ７、試料ガス流路に、液体試料気化器と、気化試料を水
   分測定セル内に移送しうるキャリアーガス供給部が付設
   されてなる特許請求の範囲第５項記載の水分測定装置。