JPS6121938U - 光検査装置 - Google Patents

光検査装置

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Publication number
JPS6121938U
JPS6121938U JP10690584U JP10690584U JPS6121938U JP S6121938 U JPS6121938 U JP S6121938U JP 10690584 U JP10690584 U JP 10690584U JP 10690584 U JP10690584 U JP 10690584U JP S6121938 U JPS6121938 U JP S6121938U
Authority
JP
Japan
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photoelectric conversion
output
wavelength
conversion means
light
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Pending
Application number
JP10690584U
Other languages
English (en)
Inventor
孝之 辻井
Original Assignee
シャープ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
Priority to JP10690584U priority Critical patent/JPS6121938U/ja
Publication of JPS6121938U publication Critical patent/JPS6121938U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の光検査装置のブロック図、
第２図は光電変換手段の受光波長に対する受光効率を示
すグラフ、第３図は被検査物体からの光の波長と減算回
路ＳＵの出力を示すグラフ、第４図は制御回路ＣＯの動
作を示すグラフである。 ＰＤｌ・・・第１光電変換手段、ＰＤ２・・・第２光電
変換手段、ＬＡ ｌ・・・第１対数圧縮回路、ＬＡ２・
・・第２対数圧縮回路、ＳＵ・・・減算回路、ＡＭ・・
・増幅回路、ＣＯ・・・制御回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被検査物体からの光を受光し、受光波長が比較的短いと
    き、効率良く電気信号を導出し、受光波長に対する出力
    が対数的に変化する第１光電変換手段と、 第１光電変換手段からの出力を対数圧縮する第１対数圧
    縮手段と、 前記被検査物体からの前記光を第１光電変換手段と同時
    に受光し、受光波長が比較的長いとき、効率良く電気信
    号を導出し、受光波長に対する出力が対数的に変化する
    第２光電変換手段と、第２光電変換手段からの出力を対
    数圧縮する第２対数圧縮手段と、 前記第１対数圧縮手段の出力から第２対数圧縮手段の出
    力を減算する減算手段とを含むことを特徴とする光検査
    装置。
JP10690584U 1984-07-14 1984-07-14 光検査装置 Pending JPS6121938U (ja)

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JP10690584U JPS6121938U (ja) 1984-07-14 1984-07-14 光検査装置

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JPS6121938U true JPS6121938U (ja) 1986-02-08

Family

ID=30666179

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006049752A (ja) * 2004-08-09 2006-02-16 Sousei Denshi:Kk 反射型光センサ及び反射型光センサを用いる特性計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006049752A (ja) * 2004-08-09 2006-02-16 Sousei Denshi:Kk 反射型光センサ及び反射型光センサを用いる特性計測装置

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