JPS61200419A - 測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、測定子と被測定物との相対移動による計測装
置からの信号データにより被測定物の形状、寸法等を測
定する例えば三次元の測定機にかかり、特に、２段駆動
、計測方式を採用した測定機に関し、測定精度の高度化
、測定作業の効率面上等に利用できるものである。

［背景技術とその問題点］ 測定子と被測定物とを相対移動せしめ、計測装応からの
出力信号データを所定処理することにより被４１１１産
物の形状、寸法等を測定する測定機が知られており、従
来のマイクロメータ、ノギス等に比へて高精度化、高速
測定さらには複雑形状測定ができる等の特徴を有するた
め各種産業の測定分野において広く普及しつつある。

第６図はかかる測定機である従来の三次元測定機を示す
、基台４１には載置盤４２が置かれ、被測定物を載置す
るためのこの載置盤４２には円型のＡｌ１１定子支持体
４３が載せられている。測定子支持体４３の構成部材で
ある横桁部材４４にはスライダ４５が８没けられ、スラ
イダ４５に垂直方向移動自在に取付けられたスピンドル
４６の下端に測定ｆ４７が設けられている。Ｉ１４定子
４７は測定子支持体４３が案内レール４８に沿って移動
することによりＹ軸方向へ変位し、またスライダ４５が
横桁部材４４に沿って移動することによりＸ軸方向へ変
位し、さらにスピンドル４６がスライダ４５Ｉこ対しＬ
下に移動することによりＸ軸方向へ変（※する。以１４
のａ置盤４２）測定子支持体４３、スライダ４５、スピ
ンドル４６等により測定子４７が被測定物に対し移動せ
しめられる移動機構が構成され、Ｙ軸、Ｘ軸、Ｚ軸の直
交三輪方向への移動量は計測装置４９，５０．５１で夫
々計測される。

前記移動機構により測定子４７を被測定物に対し移動せ
しめ、両者が一定の関係になったとき。

例えば測定子４７がタッチ信号式プローブの場合には測
定子４７が被測定物の被測定箇所に接触して信号を出力
したときの被測定物の被測定箇所に対する測定子４７の
移動変位量またはこの被測定箇所の原点からの座標が前
記計測装置４９，５０．５１で検出され、これらの計Ｉ
Ｊ４装置４９．５０．５１からの出力信号データが演算
処理装置で所定処理、例えば原点からの複数の被測定箇
所の平均座標を求めるための演算処理がなされて被測定
物の形状、寸法等が測定される。

測定子４７には前記タッチ信号式プローブの他にレーザ
ー光線等を使用する光学的非接触方式のものが含まれる
。また前記移動機構の作動方式には、操作者が測定子支
持体４３等を手押しする手動式と、測定子支持体４３等
にモーター等による駆動手段を設けて自動送りする自動
式とがある。

自動式によると被測定物の複数の被測定箇所をプログラ
ムによるコンピュータ制御で自動測定することが可能に
なる。さらに、第６図で示された三次元測定機は被測定
物を載置するｔ置盤４２に対し測定子４７が移動するタ
イプであったが、測定子を静止としｉｌ、置盤を移動さ
せるタイプもあり、また測定子、載置盤の両方を移動さ
せるタイプもある。

以１−の３１４定機の測定精度は前記計測装置の精度に
よって決定される。この計測装置は例えば微細な光透過
部と光非透過部とを交互に格子縞状に形成した長寸のス
ケールを測定方向に延設することによって構成され、測
定精度の高度化を達成するためにはこのスケールを全測
定ストロークに亘って細かく精密に形成することが必要
となる。しかし実際には長寸のスケールを累積等の誤差
をなくして作ることは技術的に難しく、またそのような
スケールができたとしても組立、調整作業等の外部的要
因により、使用段階において測定ストローク全長に亘っ
て均一な精度とすることが困難である：このような問題
は測定機が大型化するほど。

すなわち測定ストロークが大きくなるほど顕著となり、
高め得る測定精度には一定の限界があった。

また前述のようにコンピュータ制御で前記移動機構を作
動させ、この移動機構を計測装置からのフィードバック
信号により制御するように構成した場合、スケールの誤
差によって移動機構が測定子の許容変位ストロークを越
えて作動してしまったり、また測定子が所定位置に達す
る前に作動が停止してしまう等の問題が発生する。

さらに、移動機構が第６図で示された円型の測定子支持
体４３等のように大きな質量を有するもので構成されて
いる場合、測定子が被測定物の被測定箇所の近くにあっ
ても測定子支持体４３等の全体を移動させなければなら
ないため、測定子の位置付は制御のために移動機構の作
動速度を低速化せざるを得す、このような低速化は夫々
の被測定箇所毎に必要であり、従って作業能率が低下す
る。またそのような位置付は制御のための機能を測定機
に具備させなければならないため測定機が高価格化する
問題もある。

［発明の目的］ 本発明は、以上の従来の問題点が一つの方向におけるａ
範囲も狭小範囲も同じ計測装置によって計測され、測定
子は移動機構のみによって移動変位せしめられるために
発生していることに着目してなされたものである。

本発明の目的は、測定子と被測定物の被測定箇所との相
対移動変位量等を検出する計測装置のスケールを全測定
ストロークに亘って細かく精密に形成することを不要に
し、計測装置の制作が容易で且つ測定ストロークが大き
くても高度の測定精度を得られ、また、移動機構が大き
な質量を有するもので形成されていても、測定子と被測
定物の被測定箇所との距離が短い場合には測定子周辺の
質量の小さな部分のみを移動させれば足り、従って被測
定箇所までの測定子の相対移動速度を高速化でき、Δ＋
ｌ！定作業の効率面上等を図ることができる測定機を提
供するところにある。

［問題点を解決するだめの手段および作用］このため本
発明の構成は、測定子と被測定物とを相対移動させる移
動機構と、測定子と被測定物の被測定箇所との相対移動
変位量又は被測定箇所の座標を検出する計測装置と、測
定子と被測定物とが前記相対移動により一定の関係にな
ったときのこの計Ｊ１１装置の出力信号データを所定処
理して被測定物の形状１寸法等を求める演算処理装置と
を備えた測定機において、前記測定子を測定子支持部材
に前記計測装置の計測方向と同じ方向へ移動自在に支持
させるとともに、前記計測装置を前記移動機構による移
動量を計測する第１計測手段と、前記測定子支持部材に
対する前記測定子の変位量を計測し且つ第１計測手段よ
りも高分解能を有する第２計測手段とで構成し、前記演
算処理装置をこの第１及び第２の計測手段の出力信号デ
ータを加減算して測定子と被測定物の被測定箇所との相
対移動変位量又は被測定箇所の座標を求めた後に前記所
定処理を行うように構成し、前記移動機構による作動と
前記測定子支持部材に対する移動との２段方式で測定子
と被測定物とを相対移動させるとともに、前記計測装置
を粗範囲検出用の第１計測手段と狭小範囲検出用の第２
検出手段とによる第２計測方式の構成としたところに特
徴を有する。

［実施例］ 第１図は本実施例に係る測定機を示し、この測定機は測
定子が移動するタイプの三次元測定機である。

上面ＩＡに被測定物が載置される蔵置＃ｉ１の左右の側
面ＩＢ、ＩＣにはレール部材２が取付部材３で水平に取
付けられ、これらのレール部材２は載置盤１の長手方向
であるＹ軸方向へ延びている。測定子４を支持する測定
子支持体５は左右の支柱６，７と、これらの支柱６，７
の上部に横断架設された横桁部材８とからなる門型形状
で、支柱６，７の脚部６Ａ、７Ａの内部にはローラ等の
転動部材が配置され、この転動部材がレール部材２に転
勤自在に係合することにより測定子支持体５はレール部
材２で重量が支持されながらＹ軸方向へ移動できるよう
になっている。

前記横桁部材８にはスライダ９が摺動自在に取付けられ
、このスライダ９と一体化されているスピンドルケース
ｌＯにはスピンドル１１が垂直方向に移動自在に設けら
れ、スピンドル１１の下端に測定子支持部材１２．走行
部材１３を介して前記測定子４が設けられている。

測定子支持体５がレール部材２に沿って移動することに
より測定子４のＹ軸方向の移動がなされ、測定子４のＸ
軸方向移動はスライダ９が横桁部材８に沿って摺動する
ことにより、また測定子４のＸ軸方向移動はスピンドル
１１がスピンドルケース１０に対し上下に移動すること
により夫々なされる。

載置盤ｌの前記側面ＩＢにはレール部材２と平行にポー
ルねじによるねじ軸１４が設けられ、このね４じ軸１４
の両端は軸受部材１５．１６で回転自在に支持され、ね
じ軸１４の一端には載置盤ｌの側面ＩＢにブラケット１
７で取付けられた粗動用モーター１８の駆動軸１８Ａが
連結される。ねじ軸１４は前記支柱７の脚部７Ａを挿通
し、この脚部７Ａにはねじ軸１４に螺合するナツト部材
が配置されているため、ねじ軸１４が粗動用モーター１
８で回転せしめられると測定子支持体５はねじ軸１４の
ねじ送り作用によりＹ軸方向へ移動する。スライダ９の
横桁部材８に対するＸ軸方向移動及びスピンドル１１の
スピンドルケース１０に対するＸ軸方向移動もＹ軸方向
移動と同様にモーター竿の駆動手段により自動送りとし
てもよい。

以上のＪ！載置盤、１定子支持体５．スライダ９、スピ
ンドル１１、ねじ軸１４、粗動用モーター１８等テｉｌ
ｌ　１　（７）上面ＩＡに！置すレル被測定物に対し測
定子４をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交玉軸方向へ移動させる
移動機構１９が構成され。

載：ａ盤１等は移動機構１９の静止側を、測定子支持体
５等は可動側を夫々構成する。

第３図に示す通り前記スピンドル１１の下端には前記測
定子支持部材１２が固定され、この測定子支持部材１２
にはＹ軸方向への長さを有する案内溝１２Ａが形成され
、案内溝１２Ａに前記走行部材１３の突部１３Ａ、１３
Ｂが摺動自在に係合している。案内ｔ４１２Ａには突部
１３Ａ、１３Ｂに螺合するねじ軸２０が回転自在に配置
され、このねじ軸２０は測定子支持部材１２にブラケッ
ト２Ｌで取付けられた微動用モーター２２の駆動軸２２
Ａに連結されている。ねじ軸２０が微動用モーター２２
で回転せしめられると走行部材１３はねじ軸２０のねじ
送り作用で案内溝１２Ａに沿ってＹ軸方向へ走行せしめ
られる。このように、測定子４は測定子支持部材１２に
対し移動自在になっている。

以上の構成により、測定子４は前記粗動用モーター１８
の駆動による前記移動機構１９の作動と微動用モーター
２２の駆動による走行部材１３の移動とでＹ軸方向へ２
段式に移動せしめられる。

粗動用モーター１８の駆動による移動機構１９の作動具
体的には測定子支持体５の移動は粗動であり、微動用モ
ーター２２の駆動による走行部材１３の移動は微動であ
る。また本実施例では測定子４はタッチ信号式のプロー
ブであり、接触子４Ａが被測定物の被測定箇所に接触す
ることにより検出部４Ｂからタッチ信号が出力される。

第２図に示す通り粗動用モーター１８にはパルスジェネ
レーター２３が連結され、このパルスジェネレーター２
３は粗動用モーター１８の回転数に応じたパルスを発生
する。第５図の通りパルスジェネレーター２３は第１検
出器２４に接続され、第１検出器２４はパルスジェネレ
ーター２３で発生したパルス数をカウントして測定子支
持体５の大ストロークの移動を粗分解能で検出する機能
を有する。第１図の通り前記載置盤１の側面ｌＢにはＹ
軸方向の長さを有しかつ前記レール部材２）ねじ軸１４
と平行なスケール２５が設けられ、このスケール２５は
両端で保持体２６．２７により保持されている。このス
ケール２５は例えば長短２種類のブロックゲージを厚さ
方向に連結することにより構成され、第２図の通り一定
のピッチｔ（例えば２０ｍｍ）による垂直な接触面２５
ＡがＹ軸方向に並んで設けられる。

前記測定子支持体５の支柱７の脚部７Ａにはスケール２
５を挿通させるための連通溝２８が形成され、測定子支
持体５のＹ軸方向への移動が保障されているとともに、
第２図の通り脚部７Ａの内部には第２Ｊｐ出器２９が配
置されている。この第２検出器２９はスケール２５の接
触面２５Ａと接触するてこ式の接触子２９Ａを有する。

第５図の通りｒｌＩＪ２検出器２９は前記第Ｉ検出器２
４とともに演算処理装置３０に接続され、これらの第１
検出器２４、第２検出器２９．更にはスケール２５等を
含んで第１計測手段３１が構成される。

ｗＳ５図で示された駆動回路３２により前記粗動用モー
ター１８は駆動され、この駆動による測定子支持体５の
移動量がスケール２５のピッチｔのいくつの整数倍に相
当するかが前記第１検出器２４で検出されるが、測定子
支持体５の現実の移動量はピッチｔの整数倍に対しｌピ
ッチを以下の端数を有するため、この端数の移動量が第
２検出器２９で検出される。すなわち、第１検出器２４
が測定子支持体５の移動量を大目盛的に検出するのに対
し第２検出器２９は小目盛的に検出し、第２検出器２９
はスケール２５の前記接触面２５Ａを基準として測定子
支持体５の移動量を検出する。

また、スケール２５のビー２チｔが正確なピッチｔに対
し比較的小さな量ではあるが誤差を有する場合があるた
め、このような場合を考慮して基準点からの夫々の接触
面２５Ａの距離を予め精密に測定し、測定結果による誤
差を第５図で示した記憶装置３３に記憶させておく。

第３図に示す通り測定子支持部材１２には第２計測手段
３４が取付けられ、この第２計測手段３４は前記第２検
出器２９と同じ構造でてこ式の接触子３４Ａを有する。

この接触子３４Ａは前記走行部材１３に設けられた接触
面３５に常時接触する。この第２計測手段３４も第５図
の通り前記演算処理装置３０に接続される。前記第１計
測手段３１が前記移動機構１９の作動による測定子４の
粗動の粗範囲を検出するものであるのに対し、この第２
計測手段３４は測定子支持部材１２に対する測定子４の
微動の狭小範囲を検出するものである二従って測定子４
のＹ軸方向への変位量を検出する計測装置は第１計測手
段３１と第２計測手段３４とで構成される。第２計測手
段３４の測定範囲は前記スケール２５の接触面２５Ａの
ピッチｔと同じかこれよりも太き目に設定され、また第
２計測手段３４は第１計測手段３１の第１検出器２４よ
りも高度の分離能を有し、前記ピッチｔの長さを細分割
した微小単位により測定子４の微動変位量を計測する能
力を有する。

以上により、スケール２５は接触面２５Ａを一定のピッ
チｔで精密加工により形成すれば足り。

ピッチを以下の微小単位の目盛等を細かく正確に形成す
ることは不要で全測定ストロークに亘る細かい精密性は
要求されない、このため、測定ストロークが大きくなっ
てもこのストローク内に一定ピッチの区分を設ける作業
だけを行なえばよいため製作が容易になり、また累積等
の誤差の発生も防止され、測定精度の向上を図ることが
できる。

本実施例では前述の通り測定子４の粗動、微動による２
殿方式の駆動、計測はＹ軸方向のみについて行なわれて
いるが、これをＸ軸方向及びＸ軸方向について行なって
もよい、すなわち、測定子４を前記測定子支持部材１２
にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交三軸方向へ移動自在に支持さ
せるとともに、計測装置を構成する第１計測手段及び第
２計測手段を直交二軸と対応して３組設けてもよい。

第５図で示した駆動回路３２により粗動用モーター１８
が駆動せしめられるとねじ軸１４のねじ送り作用で前記
測定子支持体５は粗動し、この粗動はスケール２５のピ
ッチｔの整数倍に対しプラスマイナスαの端数をもって
行なわれ、測定子４は被測定物の被測定箇所に近づく、
なお、この粗動のときにスケール２５を下降させて第２
検出器２９の接触子２９Ａがスケール２５にぶつかるの
を回避するようにしてもよい、つまりスケール２５を保
持する前記保持体２６．２７にスケール２５を昇降動さ
せるｍｅ、を持たせ、１Ｍ定作業時のみにスケール２５
を上昇させて第２検出器２９の接触子２９Ａを接触面２
５Ａに接触させるようにしてもよい。

前記粗動のための粗動用モーター１８の駆動によりパル
スジェネレーター２３からはパルスが発生し、このパル
スの数が第５図で示された第１検出器２４で検出され、
測定子支持体５がスケール２５のピッチｔのいくつの整
数倍移動したかが検出される。この整数倍をｎＸｔとす
る。また、粗動前の前記第２検出器２９の指示値をＸｏ
とし、粗動後の指示値をｘｎとする。ｘｎ−ｘ、はｎＸ
ｔに対する測定子支持体５の移動端数、即ち前記移動機
構１９の１ピツチ以下の正確な作動量を示す、なお、こ
こで粗動の前後において第２検出器２９の接触子２９Ａ
が接触するスケール２５の２個の接触面２５Ａの間隔の
正確なｎＸｔに対する誤差をΔＪＬｎとする。

なお、例えば第２検出器２９を１ピツチｔの半分ずらし
て２個、没け、スケール２５を凸部２５Ｂ、四部２５Ｃ
が１ピツチｔの半分づつずれた２木とすることにより、
測定子支持体５の任意の停ｉＦ位置において第２検出泰
２９によるＭ一定が可能となる。またａｌｌｌｌ文子支
持体５動操作で移動できるように構成した場合には、タ
ッチ信号式プローブであるＪＩＨｊ’子４のオバースト
ロークを利用して第２検出器２９の接触子２９Ａがスケ
ール２５の四部２５Ｃと一致した位置で測定子支持体５
の移動を停止させるようにしてもよい。

相動終−ｒ後、ｉ５図で示された駆動回路３６により前
記微動用モーター２２が駆動せしめられ、第４図の通り
前記ねじ軸２０のねじ送り作用により測定子支持部材１
２に対し走行部材１３、測定子４が微動する。この微動
の結果、タッチ信号弐プａ−ブである測定子４の接触子
４Ａは被測定物の被測定箇所に接触し、この接触により
検出部４Ｂからタッチ信号から出力され、この出力信号
は第５図の通り駆動回路３６に入力されて微動用モータ
ー２２の駆動を停止させる。ここで、微動前における前
記：５２計測手段３４の指示値をｍ。

とじ、微動後における指示値をｍｌとする。ｍ＋−ｎｏ
は微動量を示３−０ 以上のようにこの三次元測定機においては円型の測定子
支持体５全体が最初から最後まで移動して測定子４が被
測定物の被測定箇所に接触するのではなく、測定子支持
体５は粗動時のみに移動し、以後は質量の小さな走行部
材１３及び測定子４のみが微動して被測定箇所に測定子
４が接触するため、従来のように測定子が被測定箇所に
近づいた時に測定子支持体の移動速度を低下させる必要
はなく、粗動後において測定子４が被測定箇所に接触す
るまでの移動速度を高速化することができ作業効率を向
上させることができる。

前述の通り被測定箇所への接触により測定子４の検出部
４Ｂからタッチ信号が出力されると、この出力信号は第
５図の通り前記演算処理装置３０にも入力される。この
入力信号は前記第１計測手段３１を構成する第１検出器
２４、第２検出器２９及び第２計測手段３４の出力測定
データを演算処理袋２１３０に入力させる指令信号とな
り、これらのデータの入力とともに前記記憶装置３３に
記憶されているデータに基づく前記Δ！；Ｌｎのデータ
も入力される。これにより演算処理装置３０において第
１検出器２４、第２検出器２９、第２計測り段３４及び
記憶装置３３からの出力信号データが加減算される。こ
の加減算の結果は前記粗動と微動の合計移動ｉＬを示し
。

Ｌ＝　（ｎＸｔ）＋　（ｘｎ−ｘ、）＋ΔＪ１ｎ＋（ｍ
、−ｍ、） 以りのようにしてこの三次元測定機においては被測定物
の被測定箇所に対する測定子４の移動変位祉または被Ａ
Ｍ定俯所の原点からの座標位とが求められ、次いで演算
処理装置ｉ！３０において例えば複数の被測定箇所の平
均座標位置や穴の中心位置を求めるための測定値の所定
処理が行なわれ、この処理結果が表示器３７に表示され
被測定物の形状、寸法等がａｌ１足される。

以」二において前記粗動用モーター１８、微動用モータ
ー２２を駆動させる駆動回路３２．３６は操作者のスイ
ッチ操作で作動するように構成することもできるが、プ
ログラムによる占ンビュータ制御で作動させるように構
成することもできる。

このようにコンピュータ制御を採用した場合には被測定
物に多数の被測定箇所が存在するとき、この被測定箇所
をプログラムに従った順序で迅速に測定できる等の利点
を有するようになり、また第１検出器２４′：Ｊの出力
信号データをフィードバックさせて移動機構１９の制御
等を行なえるようになる。

なお、スケール２５の任意の接触面２５Ａの前記基準点
からの誤差が無視できる微小量のときは記憶装置３３の
データが零になる場合がある。

以上説明した未実施例では第１計測手段３１の第１検出
器２４をパルスジェネレーター２３から発生するパルス
の数を計数するカウンタとしたが、この第１検出器は任
意な構成とすることができる。具体的には例えば測定ス
トロークに亘って一定ピッチで目盛等を付したスケール
を前記載置盤に設け、第１検出器をこの一定ピッチの目
盛等を光学的あるいは磁気的に読み取る機能を持ったも
のとしてもよい、つまり、スケールをこのような構成と
しても従来のように全測定ストロークに亘って細かく正
確なスケールを製作することを不要にできる。また、本
実施例では前記移動機構１９による粗動及び測定子支持
部材１２に対する測定子４の微動をねじ軸１４．２０の
ねじ送り作用を利用したものとしたが、これも任意な構
成を採用することができ１例えばシリンダのピストン連
動を利用したものとしてもよく、さらには操作者自身が
手押し操作で行なうように構成することもできる。

本実施例では測定子４はタッチ信号式プローブであった
が、測定子はこれに限らず例えばレーザー光線等による
光学的非接触方式のものを採用してもよく、要すれば測
定子と被測定物の被測定箇所とが一定の関係になったこ
とを検知できるものであればよい。

本発明は本実施例のように測定子が移動し被測定物が静
止の三次元測定機のみならず、測定子が静止で被測定物
が移動するタイプの測定機、あるいは測定子及び被測定
物の双方が移動するタイプの測定機にも適用でき、要す
ればΔ１１定子と被測定物とが相対移動する測定機に適
用でき、移動機構は測定子と被測定物とに相対移動を生
じさせるものであれば任意な構成としてよい、さらに本
発明は、三次元測定機だけではなく二次元測定機あるい
は測定子とＡｌｌ定物とが一軸方向のみに相対移動する
測定機にも適用できる。

［発明の効果］ 本発明によれば測定子と被測定物の被測定箇所との相対
移動変位量等を検出する計測装置のスケールを全測定ス
トロークに亘って細かく精密に形成することが不要とな
り、従って計測装置の製作が容易でかつ測定ストローク
が大きくなっても測定精度を高度にすることができ、ま
た移動機構が大きな質量を有するものであっても測定子
と被測定物の被測定箇所との距離が短くなった後は測定
子周辺の質量の小さな部分のみを移動させればよいため
、被測定箇所までの測定子の移動速度を高速化でき、測
定作業の能率向上を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例にかかわる三次元測定機の斜視図、第
２図は第１ｊ＋側手段の構成と移動機構による移動を示
す図、第３図は第２計測手段の構成と測定子支持部材に
よる測定子の支持構造を示す一部断面側面図、第４図は
第３図の測定子移動後を示す一部断面側面図、第５図は
計測手段や演算処理装置等の接続状態を示すブロック図
、第６図は従来例を示す斜視図である。 ■・・・載置盤、４・・・測定子、５・・・測定子支持
体、１２・・・測定子支持部材、１９・・・移動機構、
２４・・・、第１検出器、２９・・・第２検出器、３０
・・・演算処理装置、３１・・・第１計測手段、３４・
・・第２計測手段。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定子と被測定物とを相対移動させる移動機構と
   、測定子と被測定物の被測定箇所との相対移動変位量又
   は被測定箇所の座標を検出する計測装置と、測定子と被
   測定物とが前記相対移動により一定の関係になったとき
   のこの計測装置の出力信号データを所定処理して被測定
   物の形状、寸法等を求める演算処理装置とを備えた測定
   機において、前記測定子を測定子支持部材に前記計測装
   置の計測方向と同じ方向へ移動自在に支持させるととも
   に、前記計測装置を前記移動機構による移動量を計測す
   る第１計測手段と、前記測定子支持部材に対する前記測
   定子の変位量を計測し且つ第１計測手段よりも高分解能
   を有する第２計測手段とで構成し、前記演算処理装置を
   この第１及び第２の計測手段の出力信号データを加減算
   して測定子と被測定物の被測定箇所との相対移動変位量
   又は被測定箇所の座標を求めた後に前記所定処理を行う
   ように構成したことを特徴とする測定機。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、前記移動機構は
   Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の直交三軸方向への移動機能を有する
   とともに、前記測定子は前記測定子支持部材にこの直交
   三軸方向に移動自在に支持され、前記計測装置は前記Ｘ
   軸、Ｙ軸、Ｚ軸と対応して設けられた３組の前記第１及
   び第２の計測手段により構成されていることを特徴とす
   る測定機。