JPS61190872U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61190872U JPS61190872U JP7468885U JP7468885U JPS61190872U JP S61190872 U JPS61190872 U JP S61190872U JP 7468885 U JP7468885 U JP 7468885U JP 7468885 U JP7468885 U JP 7468885U JP S61190872 U JPS61190872 U JP S61190872U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- chamber
- intake
- burn
- damper
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すバーンイン装置
の斜視図、第２図は従来のバーンイン装置の斜視
図、第３図は第２図中のバーンインボードの斜視
図、第４図は第１図中のチヤンバユニツトの縦断
面図である。 ６……バーンインボード、８……半導体装置（
半導体ＩＣ）、１０―１〜１０―ｎ……チヤンバ
ユニツト、１１……ダクト、１２……制御装置、
２１……扉、２２……チヤンバ、３２……エアー
プロセツサ、３３……ヒータ、３４……ダンパ。
の斜視図、第２図は従来のバーンイン装置の斜視
図、第３図は第２図中のバーンインボードの斜視
図、第４図は第１図中のチヤンバユニツトの縦断
面図である。 ６……バーンインボード、８……半導体装置（
半導体ＩＣ）、１０―１〜１０―ｎ……チヤンバ
ユニツト、１１……ダクト、１２……制御装置、
２１……扉、２２……チヤンバ、３２……エアー
プロセツサ、３３……ヒータ、３４……ダンパ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 空気加熱用のヒータ３３、空気循環用のフアン
３２、吸気・排気切換え用のダンパ３４、及び半
導体装置８が搭載されたバーンインボード６を収
納するチエンバ２２を備えたチヤンバユニツト１
０―１〜１０―ｎを複数台連設し、 この各チヤンバユニツト１０―１〜１０―ｎを
前記各ダンパ３４を介して吸気用と排気用のダク
ト１１に連設し、 かつ前記各チヤンバユニツト１０―１〜１０―
ｎ内のヒータ３３、フアン３２、及びダンパ３４
の作動制御と半導体装置８への電源供給制御を行
なう制御装置１２を設けた半導体装置のバーンイ
ン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7468885U JPS61190872U (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7468885U JPS61190872U (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190872U true JPS61190872U (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=30615215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7468885U Pending JPS61190872U (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190872U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010025920A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-02-04 | Espec Corp | 環境試験装置 |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP7468885U patent/JPS61190872U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010025920A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-02-04 | Espec Corp | 環境試験装置 |