JPS6118300A - Optical microphone - Google Patents

Optical microphone

Info

Publication number
JPS6118300A
JPS6118300A JP13843084A JP13843084A JPS6118300A JP S6118300 A JPS6118300 A JP S6118300A JP 13843084 A JP13843084 A JP 13843084A JP 13843084 A JP13843084 A JP 13843084A JP S6118300 A JPS6118300 A JP S6118300A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical
sound receiving
optical fiber
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13843084A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Matsumoto
松本 美治男
Katsunori Fujimura
藤村 勝典
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP13843084A priority Critical patent/JPS6118300A/en
Publication of JPS6118300A publication Critical patent/JPS6118300A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R23/00Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
    • H04R23/008Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00 using optical signals for detecting or generating sound

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To attain ease of setting of an optimum operating point of a repetitive reflection interference system of a sound receiving section by providing a photodetector coupled optically to a radiating end of a feedback light from a flat sound receiving plate propagated through an optical fiber of an optical branching device. CONSTITUTION:The light of single wavelength irradiated from a continuous wavelength variable light source 30 is led to the optical branching device 32 and divided into two; reference light (j) and measured light (k). The reference light (j) is subject to photoelectric conversion by a reference light detector 33. On the other hand, the measured light (k) is propagated inside of the optical fiber 35 and led to the inside of the repetitive reflection interference system formed with the flat sound receiving plate 36 and the end face of the optical fiber 35. The light is reflected repetitively and the light fed back to the optical fiber 35 through the repetitive reflection interference system is led to the signal light detector 37 via the branching device 32 and subject to photoelectric conversion. The outputs of the photodetectors 33, 37 are amplified differentially by a differential amplifier 38 and the result is extracted from the output terminal 39.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学的マイクロホンに関し、従って音圧の変
化によって光強度の変化を生じる音響−光変換器に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to optical microphones and therefore to acousto-optic converters that produce changes in light intensity due to changes in sound pressure.

従来例の構成とその問題点 近年、半導体レーザや光ファイバなどが実用期に入った
ことにより、。光固有の特性を音響信号の計測や伝送に
利用した種々の変換原理に基づく光学的マイクロホンの
提案がなされている。
Conventional configurations and their problemsIn recent years, semiconductor lasers and optical fibers have entered the practical stage. Optical microphones have been proposed based on various conversion principles that utilize the unique characteristics of light for measuring and transmitting acoustic signals.

一般に、このような゛光学的マイクロホンの特徴は、光
の耐電磁誘導性や高品質伝送性に着目すると、照明2周
囲装置、電力供給線などから発生する電磁誘導の高い環
境や、長い信号伝送路を必要とする環境において、例え
ば、放送局のスタジオ。
In general, such optical microphones are characterized by their resistance to electromagnetic induction of light and high-quality transmission. For example, in a broadcasting station studio.

工場などにおいて、高品質の収音・伝送が可能と・なる
ことである。又、光の耐環境性、小形・軽量性、安全性
などの特性に着目すると、例えば化学・石油プラント、
トンネル、炭鉱などの防災分野、又、血圧・心音測定な
どの医療分野においても有効となることである。
This makes it possible to collect and transmit high-quality sound in factories and other places. In addition, if we focus on the characteristics of light such as environmental resistance, compactness, light weight, and safety, we can find
It will also be effective in disaster prevention fields such as tunnels and coal mines, and in medical fields such as blood pressure and heart sound measurements.

以下に従来の光学的マイクロホンとして、受音部での繰
返反射干渉を利用した光学的マイクロホンについて説明
する。
As a conventional optical microphone, an optical microphone that utilizes repeated reflection interference at a sound receiving section will be described below.

まず、繰返反射干渉による音響−光変換の原理について
、第1図および第2図を用いて説明する。
First, the principle of acousto-optical conversion by repeated reflection interference will be explained using FIGS. 1 and 2.

第1図は繰返反射干渉系の構成図である。1は第1の媒
質、2は第1の媒質1に対して間隔βをおいて平行に配
置した第2の媒質で、第1の媒質1と第2の媒質2との
対向面は共に平面である。
FIG. 1 is a block diagram of a repetitive reflection interference system. 1 is a first medium, 2 is a second medium arranged parallel to the first medium 1 with an interval β, and the opposing surfaces of the first medium 1 and the second medium 2 are both flat. It is.

3は第1の媒質1と第2の媒質2との間の空気層である
。同図において、境界面A、境界面Bは各々第1の媒質
1と空気層3との境界面、第2の媒質2と空気層3との
境界面である。rAz rnは各々空気層3から媒質に
向って進行する光波に対する第1の媒質1および第2の
媒質2の振幅反射係数である。又、工iは第1の媒質1
がら空気層3への入射光、IRは空気層3内の繰返反射
光、工。
3 is an air layer between the first medium 1 and the second medium 2. In the figure, boundary surface A and boundary surface B are the boundary surfaces between the first medium 1 and the air layer 3, and the boundary surfaces between the second medium 2 and the air layer 3, respectively. rAz rn are the amplitude reflection coefficients of the first medium 1 and the second medium 2 for the light waves traveling from the air layer 3 toward the medium, respectively. In addition, engineering i is the first medium 1
The IR is the light incident on the air layer 3, and the IR is the repeatedly reflected light inside the air layer 3.

は空気層3から第1の媒質1への帰還光である。is the feedback light from the air layer 3 to the first medium 1.

以上のように構成した系は、繰返反射干渉系を形成する
ことが知られている。
It is known that the system configured as described above forms a repeating reflection interference system.

以上のように構成された繰返反射干渉系について以下そ
の動作について説明する。
The operation of the repeating reflection interference system configured as described above will be explained below.

入射光Ii  を、第1媒質1を介して、境界面Aに垂
直に空気層3に入射すると、入射光重、は境界面Aで一
部反射され、残部は透過して空気層3に入射する。空気
層3に入射した光は、境界面人と境界面Bで反射を繰り
返し、境界面ムと境界面Bは繰返反射干渉系を形成する
。その繰返反射干渉、は、反射を繰り返す毎に一部が透
過光となって繰返反射干渉系の外(出射される。帰還光
IOは繰返反射干渉系から第1の媒質1への透過光の合
成波である。入射光I主の波長をλ、全空気屈折率をn
とすると、繰返反射干渉系を1往復する光路差Δは、 Δ=2nd    ・・・・・・・・・・・・    
(1)で与えられる。又、その光路差による位相差δは
、で与えられる。このとき繰返反射干渉系から第1の媒
質1への透過光の合成波である帰還光重。の振幅反射係
数Rは、 で与えられる。したがって、その強度反射係数lR12
は、Hの絶対値を自乗す不ことにより、で与えられる。
When incident light Ii enters the air layer 3 perpendicularly to the boundary surface A through the first medium 1, a portion of the incident light beam Ii is reflected by the boundary surface A, and the remainder is transmitted and enters the air layer 3. do. The light incident on the air layer 3 is repeatedly reflected by the boundary surface and the boundary surface B, and the boundary surface M and the boundary surface B form a repeated reflection interference system. In the repeated reflection interference, a part of it becomes transmitted light each time it is reflected and is emitted out of the repeated reflection interference system.The feedback light IO is transmitted from the repeated reflection interference system to the first medium 1. It is a composite wave of transmitted light.The main wavelength of the incident light I is λ, and the total air refractive index is n.
Then, the optical path difference Δ in one round trip through the repeating reflection interference system is Δ=2nd ・・・・・・・・・・・・
It is given by (1). Further, the phase difference δ due to the optical path difference is given by: At this time, the feedback light beam is a composite wave of transmitted light from the repetitive reflection interference system to the first medium 1. The amplitude reflection coefficient R of is given by: Therefore, its intensity reflection coefficient lR12
is given by squaring the absolute value of H.

第2図は、(4)式を基に、rA=rB=rとし、rを
パラメータにして計算した繰返反射干渉系の強NrB 
の場合、強度反射係数lR12に零点が現われなくなる
が、それでも曲線の形はこれらに類似したものになる。
Figure 2 shows the strong NrB of the repeated reflection interference system calculated based on equation (4) with rA=rB=r and r as a parameter.
In the case of , the zero point no longer appears in the intensity reflection coefficient lR12, but the shape of the curve will still be similar to these.

強度反射係数lR12はnβに関し1の媒質1と第2の
媒質2との間隔βの変化Δlが波長λより十分率ならば
、実用上IRI  はΔβと直線関係にあるとしてよい
If the intensity reflection coefficient lR12 is nβ, and the change Δl in the interval β between the first medium 1 and the second medium 2 is a sufficient ratio than the wavelength λ, IRI may be practically assumed to have a linear relationship with Δβ.

以下に前述の繰返反射干渉を受音部に利用した従来の光
学的マイクロホンについて説明する。
A conventional optical microphone that utilizes the above-mentioned repeated reflection interference in its sound receiving section will be described below.

第3図は繰返反射干渉を受音部に利用した従来の光学的
マイクロホンのシステム構成図である。
FIG. 3 is a system configuration diagram of a conventional optical microphone that utilizes repeated reflection interference in its sound receiving section.

10は単一モード直線偏光で発振しているヘリウム・ネ
オンガスレーザである。11はレーザ出力光aを参照光
すと計測光Cとに2分割する第1のビームスプリッタ、
12は第1のビームスプリッタ11によって分割された
参照光すの出射側に配置されたグレイフィルタ、13は
グレイフィルタ12を透過した光を検出する参照光用光
電子増倍管、14は第1のビームスグリツタ11の計測
光Cの出射側に配置された偏光板、16は偏光板14の
出射側に配置された%波長板、16は%波長板16の出
射側に配置された第2のビームスプリッタ、17はビー
ム第2のスプリッタ16の透過光軸上に配置されたレン
ズ、18はレンズ17に光学的に結合された光ファイバ
、19は受音板、2Qは第2のビームスプリッタ16の
、受音板19からの帰還光dすなわち信号光eが回折出
射する側に配置されたマスク、21はマスク20を透過
した光を検出する信号光用光電子増倍管、22は参照光
用光電子増倍管13と信号光用光電子増倍管21に電気
的に接続された差動増幅器、23は差動増幅器22の出
力端子である。
10 is a helium-neon gas laser that oscillates with single mode linearly polarized light. 11 is a first beam splitter that splits the laser output light a into a reference light and a measurement light C;
12 is a gray filter disposed on the output side of the reference beam split by the first beam splitter 11; 13 is a photomultiplier tube for the reference beam that detects the light transmitted through the gray filter 12; and 14 is the first beam splitter. A polarizing plate 16 is placed on the output side of the measurement light C of the beam sinter 11, a % wavelength plate 16 is placed on the output side of the polarizing plate 14, and a second % wavelength plate 16 is placed on the output side of the % wavelength plate 16. Beam splitter, 17 is a lens arranged on the transmission optical axis of the second beam splitter 16, 18 is an optical fiber optically coupled to the lens 17, 19 is a sound receiving plate, 2Q is the second beam splitter 16 21 is a photomultiplier tube for signal light that detects the light transmitted through mask 20; 22 is for reference light; A differential amplifier 23 is electrically connected to the photomultiplier tube 13 and the signal light photomultiplier tube 21, and 23 is an output terminal of the differential amplifier 22.

第4図は第3図に示した光学的マイクロホンの受音部1
92Lの構造図である。24は光ファイバ18の端面と
受音板19との空気層、26は光ファイバ18の光フア
イバホルダ、26は受音板19と光ファイバ18の端面
を平行に固定するスペーサである。受音板19は可動部
直径が2ruIL、厚さ1571mの雲母薄板製受音板
である。光ファイバ18はコア直径60μm 、クラッ
ド外径160μmの光ファイバである。受音板19およ
び光ファイバ18の互いに対向する面は振幅反射率が0
.5になるようにアルミ蒸着されている。スペーサ26
は、中心に光ファイバ18のコア部に対応して小開口を
有し、受音板19からの反射光がクラッド部へ入射する
のを阻止している。空気層24は光フアイバホルダ26
と光ファイバ18との間の微小な空隙を介して外部に開
放されている。
Figure 4 shows the sound receiving section 1 of the optical microphone shown in Figure 3.
92L is a structural diagram. 24 is an air layer between the end face of the optical fiber 18 and the sound receiving plate 19; 26 is an optical fiber holder for the optical fiber 18; and 26 is a spacer for fixing the sound receiving plate 19 and the end face of the optical fiber 18 in parallel. The sound receiving plate 19 is a mica thin plate sound receiving plate having a movable part diameter of 2ruIL and a thickness of 1571 m. The optical fiber 18 has a core diameter of 60 μm and a cladding outer diameter of 160 μm. The mutually opposing surfaces of the sound receiving plate 19 and the optical fiber 18 have an amplitude reflectance of 0.
.. Aluminum is deposited to make it 5. Spacer 26
has a small opening at the center corresponding to the core portion of the optical fiber 18, and prevents reflected light from the sound receiving plate 19 from entering the cladding portion. The air layer 24 is an optical fiber holder 26
It is opened to the outside through a minute gap between the optical fiber 18 and the optical fiber 18 .

以上のように構成された従来の光学的マイクロホンにつ
いて以下その動作について説明する。
The operation of the conventional optical microphone configured as described above will be explained below.

まず、ヘリウム・ネオンガスレーザ1oから出射した光
ビームは、第1のビームスプリッタ11により参照光す
と計測光Cとに2分割され、参照光すはグレイフィルタ
12を経て、参照光用光電子増倍管13によって検出さ
れ光電変換されて差動増幅器22に入力する。一方、計
測光は偏光板14および狐波長板16を経て第2のビー
ムスプリッタ16に導かれる。第2のビームスグリツタ
16を透過した光はレンズ17によりモード整合されて
光ファイバ18に入射する。光ファイバ18を伝幡した
光は、受音板19に達し、受音板19と光ファイバ18
の端面間で繰返反射をおこなう。
First, the light beam emitted from the helium/neon gas laser 1o is split into two by a first beam splitter 11 into a reference beam and a measurement beam C, and the reference beam passes through a gray filter 12 and is then photoelectron multiplied for the reference beam. It is detected by the tube 13, photoelectrically converted, and input to the differential amplifier 22. On the other hand, the measurement light is guided to the second beam splitter 16 via the polarizing plate 14 and the fox wave plate 16. The light transmitted through the second beam sinter 16 is mode-matched by a lens 17 and enters an optical fiber 18 . The light transmitted through the optical fiber 18 reaches the sound receiving plate 19, and the sound receiving plate 19 and the optical fiber 18
Repeated reflections occur between the end faces of the

受音板19と光ファイバ18の端面で形成された繰返反
射干渉系を通過し光ファイバ18に帰還した帰還光dは
再び光ファイバ18を逆方向に伝幡して第2のビームス
プリッタ16を経て、さらにマスク20を通過して信号
光用光電子増倍管21に導かれ光電変換されて差動増幅
器22に入力する。差動増幅器22において、参照光用
光電子増倍管13の出力と信号光用光電子増倍管21の
出力とが差動増幅され、出力端子23から最終出力が取
り出される。受音板19に音圧が印加されると、受音板
19が変位し、受音板19と光ファイバ18の端面で形
成される繰返反射干渉系の間隔−が変化するため、(4
)式の関係式に従って帰還光dの強度が変化する。受音
板19の変位が入射光fの波長よりも十分率ならば、帰
還光の強度は受音板19の変位と直線関係にあるとして
よい。このようにして、受音板19の音圧に対する変位
は、出力端子23から取り出される。このような構成の
光学的マイクロホンは、光ファイバ18を長くすること
により、電気系を含まない光学系での遠隔測定が可能と
なり、耐電磁誘導性、高品質伝送性、耐環境性、小形・
軽量性、安全性の優れたマイクロホンを提供することが
できる。
The feedback light d that passes through the repeating reflection interference system formed by the sound receiving plate 19 and the end face of the optical fiber 18 and returns to the optical fiber 18 is propagated in the opposite direction through the optical fiber 18 again to the second beam splitter 16. The light then passes through a mask 20, is guided to a photomultiplier tube 21 for signal light, is photoelectrically converted, and is input to a differential amplifier 22. In the differential amplifier 22 , the output of the reference light photomultiplier tube 13 and the output of the signal light photomultiplier tube 21 are differentially amplified, and a final output is taken out from the output terminal 23 . When sound pressure is applied to the sound receiving plate 19, the sound receiving plate 19 is displaced and the distance between the repeated reflection interference system formed by the sound receiving plate 19 and the end face of the optical fiber 18 changes.
) The intensity of the feedback light d changes according to the relational expression. If the displacement of the sound receiving plate 19 is a tenth of the wavelength of the incident light f, the intensity of the feedback light may be considered to have a linear relationship with the displacement of the sound receiving plate 19. In this way, the displacement of the sound receiving plate 19 relative to the sound pressure is extracted from the output terminal 23. By making the optical fiber 18 long, the optical microphone with this configuration enables remote measurement using an optical system that does not include an electrical system, and has features such as electromagnetic induction resistance, high-quality transmission, environmental resistance, and small size.
It is possible to provide a microphone that is lightweight and has excellent safety.

しかしながら前記従来の構成では、光源にヘリウム・ネ
オンガスレーザを用いて波長を固定していたために、受
音部19aにおける繰返反射干渉系の最適動作点の設定
が困難であるという問題点を有していた。第6図は、受
音部191Lにおける繰返反射干渉系の動作点をパラメ
ータにして、入力波形すなわち受音板19の振動波形と
、出力波形すなわち帰還光dの強度変化との関係を示し
た繰返反射、干渉系の入出力変換図である。縦軸は帰撫
光dの強度反射係数IRI2.横軸は旦である。
However, in the conventional configuration, since a helium-neon gas laser is used as a light source and the wavelength is fixed, there is a problem in that it is difficult to set the optimum operating point of the repetitive reflection interference system in the sound receiving section 19a. was. FIG. 6 shows the relationship between the input waveform, that is, the vibration waveform of the sound receiving plate 19, and the output waveform, that is, the intensity change of the feedback light d, using the operating point of the repetitive reflection interference system in the sound receiving section 191L as a parameter. It is an input-output conversion diagram of a repeated reflection and interference system. The vertical axis is the intensity reflection coefficient IRI2 of the caressing light d. The horizontal axis is tan.

λ 受音板19および光ファイバ18の端面の振幅反射係数
を共にr=o、sとした場合である。p、 、 p2゜
P3 は各々動作点を示す。このように動作点の設定値
により出力波形が変化する。マイクロホンとしては、変
換効率が高くかつ歪の小さい最適動作点に設定すべく、
繰返反射干渉系の間隔lを調整しなければならない。そ
のためには、少くなくとも波長λの一程度の精度でスペ
ーサを製作しなければならない。その値は、例えばヘリ
ウム・ネオンガスレーザの場合、λ= 6328 A 
fxのテ約60人程度の精度を必要とし、極めて困難で
ある。
This is a case where the amplitude reflection coefficients of the end face of the λ sound receiving plate 19 and the optical fiber 18 are both r=o and s. p, , p2°P3 each indicate an operating point. In this way, the output waveform changes depending on the set value of the operating point. As a microphone, in order to set the optimum operating point with high conversion efficiency and low distortion,
The interval l of the repeating reflection interference system must be adjusted. For this purpose, the spacer must be manufactured with an accuracy of at least one wavelength λ. For example, in the case of a helium-neon gas laser, the value is λ = 6328 A
It requires about 60 degrees of accuracy compared to fx, and is extremely difficult.

又、変換効率を向上するには第2図から明らかなように
rを大きくすればよいが、その時さらにその困難度が増
すという問題点を有していた。
Further, in order to improve the conversion efficiency, as is clear from FIG. 2, it is possible to increase r, but this poses the problem of increasing the difficulty level.

発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解消するもので、受音部の
繰返反射干渉系の最適動作点を容易に設定することので
きる光学的マイクロホンを提供することを目的とする。
OBJECTS OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide an optical microphone that can easily set the optimal operating point of a repeating reflection interference system of a sound receiving section.

発明の構成 本発明は、単一波長でかつ連続して波長を変えることが
できる連続波長可変光源と、上記連続波長可変光源と光
学的に結合された光分岐器と、上記光分岐器の上記光源
からの入射光の出射端に光学的に結合された光ファイバ
と、上記光ファイバの出射端面との間で繰返反射干渉系
を形成する平面受音板と、上記光分岐器の、上記光ファ
イバを介して伝帳される上記平面受音からの帰還光の出
射端に光学的に結合された光検出器とを備えた光学的マ
イクロホンで、上記光源の波長を変化することにより、
受音部の繰返反射干渉系の最適動作点の設定を容易にす
ることができるものである。
Structure of the Invention The present invention provides a continuously variable wavelength light source capable of continuously changing the wavelength at a single wavelength, an optical splitter optically coupled to the continuously variable wavelength light source, and an optical fiber optically coupled to an output end of the incident light from the light source and a plane sound receiving plate forming a repeating reflection interference system between the output end face of the optical fiber; and the optical splitter. By changing the wavelength of the light source with an optical microphone equipped with a photodetector optically coupled to the output end of the return light from the plane sound receiver transmitted through the optical fiber,
This makes it possible to easily set the optimum operating point of the repeated reflection interference system of the sound receiving section.

実施例の説明 第6゛図は本発明の第1の実施例における光学的マイク
ロホンのシステム構成図である。30は連続波長可変光
源で連続波長可変レーザを用いている。31は連続波長
可変光源3oの出射側に配置した集光レンズ、32は集
光レンズ31の出射側に配置された光分岐器で、連続波
長可変光源30の出力光りを参照光、jと計測光にとに
2分割する。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS FIG. 6 is a system configuration diagram of an optical microphone according to a first embodiment of the present invention. 30 is a continuously variable wavelength light source that uses a continuously variable wavelength laser. 31 is a condensing lens placed on the output side of the continuously variable wavelength light source 3o, 32 is an optical splitter placed on the output side of the condensing lens 31, and the output light of the continuously variable wavelength light source 30 is measured as the reference light j. The light splits into two.

光にの出射側に配置された光フアイバ結合用レンズ、3
5は光フアイバ結合用レンズ34と光学的に結合された
光ファイバ、36は光ファイバ36の出射端に間隔Eを
おいて平行に配置された平面受音板で、可動部直径が2
B、厚さ2μmのニッケル製の金属薄膜を用いている。
an optical fiber coupling lens arranged on the light output side; 3;
5 is an optical fiber optically coupled with the optical fiber coupling lens 34; 36 is a flat sound receiving plate arranged parallel to the output end of the optical fiber 36 at a distance E; the movable part has a diameter of 2
B. A nickel metal thin film with a thickness of 2 μm is used.

37は光分岐器32の、平面受音板36からの帰還光m
すなわち信号光pが回折出射する側に配置された信号光
用光検出器、38は参照光用光検出器33および信号光
用光検出器37に電気的に接続された差動増幅器、39
は差動増幅器38の出力端子である。
37 is the feedback light m from the flat sound receiving plate 36 of the optical splitter 32;
That is, a signal light photodetector disposed on the side where the signal light p is diffracted and emitted; 38 is a differential amplifier electrically connected to the reference light photodetector 33 and the signal light photodetector 37; 39;
is the output terminal of the differential amplifier 38.

以上のように構成された本実施例の光学的マイクロホン
について以下その動作を説明するみまず、連続波長可変
光源30から出射された単一波長の光は、集光レンズ3
1を経て、光分岐器32に導かれ、そこで参照光jと計
測光にとに2分割される。参照光jは参照光用光検出器
33によりて光電変換される。一方、計測光には光7ア
イバ結合用レンズ34を経て、光ファイバ35の内部を
伝幡し、平面受音板36と光ファイバ36の端面とで形
成された繰返反射干渉系の内部に導かれる。そこで繰返
反射をおこない繰返反射干渉系を通過し光ファイバ36
に帰還した光は、再び光ファイバ36の内部を逆方向に
伝幡して、光フアイバ結合用レンズ34および光分岐器
32を経て、信号光用光検出器37に導かれ、そこで光
電変換される。参照光用光検出器33卦よび信号光用光
検出器37の出力は、差動増幅器38によって差動増幅
され、出力端子39から取り出される。
The operation of the optical microphone of this embodiment configured as described above will be explained below. First, the single wavelength light emitted from the continuously variable wavelength light source 30 is transmitted through the condenser lens 3.
1, the light is guided to a light splitter 32, where it is split into two, a reference light j and a measurement light. The reference light j is photoelectrically converted by the reference light photodetector 33. On the other hand, the measurement light passes through the optical fiber coupling lens 34, propagates inside the optical fiber 35, and enters the inside of the repeated reflection interference system formed by the flat sound receiving plate 36 and the end face of the optical fiber 36. be guided. There, the optical fiber 36 is repeatedly reflected and passed through a repeated reflection interference system.
The returned light propagates in the opposite direction inside the optical fiber 36 again, passes through the optical fiber coupling lens 34 and the optical splitter 32, is guided to the signal light photodetector 37, and is photoelectrically converted there. Ru. The outputs of the reference light photodetector 33 and the signal light photodetector 37 are differentially amplified by a differential amplifier 38 and taken out from an output terminal 39.

いま、音圧が平面受音板36に印加されると、平面受音
板36が変位し、平面受音板36と光ファイバ35の端
面で形成される繰返反射干渉系の間隔Eが変化するため
、(4)式の関係式に従って帰還光mの強度が変化する
。平面受音板36の変位が光源の波長よりも十分小なら
ば、帰還光mの強度は平面受音板36の変位と直線関係
にあるとしてよい。このようにして、平面受音板36の
音圧に対する変位は、出力端子39から取り出される。
Now, when sound pressure is applied to the flat sound receiving plate 36, the flat sound receiving plate 36 is displaced, and the interval E of the repeated reflection interference system formed by the flat sound receiving plate 36 and the end face of the optical fiber 35 changes. Therefore, the intensity of the feedback light m changes according to the relational expression (4). If the displacement of the flat sound receiving plate 36 is sufficiently smaller than the wavelength of the light source, it may be assumed that the intensity of the feedback light m has a linear relationship with the displacement of the flat sound receiving plate 36. In this way, the displacement of the flat sound receiving plate 36 relative to the sound pressure is extracted from the output terminal 39.

繰返反射干渉系の動作点は、第6図からも明らかなよう
に、nl の値゛で決定される。したがって、λ 繰返反射干渉系の間隔lが固定されていても、波長λを
変化することによシ、最適動作点の設定が可能となる。
As is clear from FIG. 6, the operating point of the repetitive reflection interference system is determined by the value of nl. Therefore, even if the interval l of the λ repeating reflection interference system is fixed, the optimum operating point can be set by changing the wavelength λ.

繰返反射干渉系の最適°動作点の設定は、一定周波数の
音圧を平面受音板36に印加し、出力端子39の出力波
形を観測しながら、その出力波形から変換効率が太きく
かつ歪が小さくなるように連続波長可変光源300波長
を調節する。
To set the optimum operating point of the repetitive reflection interference system, apply a sound pressure of a constant frequency to the flat sound receiving plate 36, and while observing the output waveform of the output terminal 39, determine whether the conversion efficiency is high and The wavelength of the continuously variable wavelength light source 300 is adjusted so that the distortion is reduced.

入力音圧を徐々に大きくしていき、上記操作を繰り返す
。以上のようにして、繰返反射干渉系の最適動作点の設
定が終了すると、連続波長可変光源30の波長を固定す
る。
Gradually increase the input sound pressure and repeat the above operation. As described above, when the optimum operating point of the repetitive reflection interference system is set, the wavelength of the continuously variable wavelength light source 30 is fixed.

以上のように本実施例によれば、単一波長でかつ連続し
て波長を変えることができる連続波長可変光源3Qと、
上記連続波長可変光源30と光学的に結合された光分岐
器32と、上記光分岐器32の上記連続波長可変光源3
0からの入射光の出射端に光学的に結合された光ファイ
バ35と、上記光ファイバ36の出射端面に対向して平
行に配置され上記光ファイバ35の出射端面との間で繰
返反射干渉系を形成する平面受音板36と、上記光分岐
器32の、上記光ファイバ36を介して伝幡される上記
平面受音板36からの帰還光にの出射端に光学的に結合
された光検出器37とを備えた力学的マイクロホンで、
上記連続波長可変光源の波長を変化することにより、受
音部の繰返反射干渉系の最適動作点の設定が容易となる
As described above, according to this embodiment, the continuously variable wavelength light source 3Q has a single wavelength and can continuously change the wavelength;
an optical splitter 32 optically coupled to the continuously variable wavelength light source 30; and the continuously variable wavelength light source 3 of the optical splitter 32.
Repeated reflection interference occurs between the optical fiber 35 that is optically coupled to the output end of the incident light from 0 and the output end face of the optical fiber 35 that is arranged parallel to and opposite to the output end face of the optical fiber 36. A flat sound receiving plate 36 forming a system is optically coupled to an output end of the optical splitter 32 for the return light from the flat sound receiving plate 36 that is transmitted via the optical fiber 36. A mechanical microphone equipped with a photodetector 37,
By changing the wavelength of the continuously variable wavelength light source, it becomes easy to set the optimum operating point of the repeating reflection interference system of the sound receiving section.

以下本発明の第2の実施例について図面を参照しながら
説明する。
A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第7図は本発明の第2の実施例を示す光学的マイクロホ
ンのシステム構成図である。
FIG. 7 is a system configuration diagram of an optical microphone showing a second embodiment of the present invention.

第7図において、31は集光レンズ、32は光分岐器、
33は参照光用光検出器、34は光フアイバ結合用レン
ズ、36は光ファイバ、36は平面受音板、37は信号
光用光検出器、38は差動増幅器、39は出力端子で、
以上は第6図の構成と同様なものである。第6図の構成
と異なるのは、第6図における連続波長可変光源3oを
連続スペクトル分布を有する光源40と、その平行ビー
ム形成レンズ41と、ファプリ・ペローのエタロン42
とで形成した点である。連続スペクトル分布を有する光
源4oは発光ダイオードを用いた。
In FIG. 7, 31 is a condenser lens, 32 is an optical splitter,
33 is a reference light photodetector, 34 is an optical fiber coupling lens, 36 is an optical fiber, 36 is a flat sound receiving plate, 37 is a signal light photodetector, 38 is a differential amplifier, 39 is an output terminal,
The above configuration is similar to the configuration shown in FIG. What is different from the configuration shown in FIG. 6 is that the continuously variable wavelength light source 3o in FIG.
This is the point formed by A light emitting diode was used as the light source 4o having a continuous spectral distribution.

以上のように構成された第2の実施例の光学的マイクロ
ホンについて以下その動作を説明する。
The operation of the optical microphone of the second embodiment configured as described above will be explained below.

まず、連続スペクトル分布を有する光源40から出射し
た光は平行ビーム形成レンズ41により平行ビームにさ
れ、ファベリ・ペローのエタロン42に導かれる。ファ
プリ・ペローのエタロン42に入射した光は、その共振
器長dで決まる特定の波長の光だけが波長選択されて出
射する。
First, light emitted from a light source 40 having a continuous spectral distribution is converted into a parallel beam by a parallel beam forming lens 41 and guided to a Fabery-Perot etalon 42 . Of the light incident on the Fabry-Perot etalon 42, only light with a specific wavelength determined by the resonator length d is selected and emitted.

第8図はファプリ・ペローのエタロン42のフィルタ効
果を示す図で、第8図(a)はエタロン42の入射光の
スペクトル分布図、第8図(b)はエタロンの構成図、
第8図(0)はエタロン42を通過した出射光のスペク
トル分布図である。ファプリ・ペローのエタロン42か
ら出射した光は、以下箱1の実施例と同様な動作をする
FIG. 8 is a diagram showing the filter effect of the Fapry-Perot etalon 42, FIG. 8(a) is a spectral distribution diagram of incident light on the etalon 42, FIG. 8(b) is a diagram of the configuration of the etalon,
FIG. 8(0) is a spectral distribution diagram of the emitted light that has passed through the etalon 42. The light emitted from the Fapry-Perot etalon 42 operates similarly to the embodiment in Box 1 below.

以上のように本実施例によれば、単一波長で連続波長の
連続波長光源を、連続スペクトル分布を有する光源と、
ファブリ・ペローのエタロンとで形成し、エタロンの共
振器を変化することにより、受音部の繰返反射干渉系の
最適動作点の設定に対して第1の実施例と同様な効果が
得られる。
As described above, according to this embodiment, a continuous wavelength light source having a single wavelength and continuous wavelength is used as a light source having a continuous spectral distribution.
By forming a Fabry-Perot etalon and changing the resonator of the etalon, the same effect as in the first embodiment can be obtained for setting the optimum operating point of the repeating reflection interference system in the sound receiving section. .

なお、第1の実施例において平面受音板36は金属薄膜
としたが、平面受音板36はポリニス系フィルムに金属
蒸着してなる受音板としてもよい。
In the first embodiment, the flat sound receiving plate 36 is made of a metal thin film, but the flat sound receiving plate 36 may be a sound receiving plate formed by metal vapor deposition on a polyvarnish film.

また、第2の実施例において連続スペクトル分布を有す
る光源40は発光ダイオードとしたが、連続スペクトル
分布を有する光源40はハロゲンランプとしてもよい。
Further, in the second embodiment, the light source 40 having a continuous spectral distribution is a light emitting diode, but the light source 40 having a continuous spectral distribution may be a halogen lamp.

また、第2の実施例において、ファプIL、・ペローの
エタロン42は、誘電体の多層膜コーティングをし、波
長領域を限定したエタロンとすることで高品質の単一波
長が得られ、上記光学的マイクロホンの歪を低減できる
In addition, in the second embodiment, the Fapp IL-Perot etalon 42 is coated with a dielectric multilayer film and is made into an etalon with a limited wavelength range, so that a high-quality single wavelength can be obtained, and the above-mentioned optical The distortion of the target microphone can be reduced.

また、第2の実施例において、ファブリ・ペローのエタ
ロン42は、エタロンを形成している可動ガラス板を圧
電セラミックで保持し、圧電セラムツクに電圧を印加し
エタロンの共振器長dを可変することにより、高精度で
共振器dの調整が可能となり、高精度で波長の調整すな
わち繰返反射干渉系の最適動作点の設定が可能となる。
In the second embodiment, the Fabry-Perot etalon 42 has a structure in which a movable glass plate forming the etalon is held by a piezoelectric ceramic, and a voltage is applied to the piezoelectric ceramic to vary the resonator length d of the etalon. Therefore, it is possible to adjust the resonator d with high precision, and it is also possible to adjust the wavelength with high precision, that is, to set the optimal operating point of the repetitive reflection interference system.

さらに、出力端坪39の出力の直流成分を圧電セラミッ
クに負帰還することにより、ファブリ・ペローのエタロ
ン42によって型成される波長の変動を抑制することが
できる。
Furthermore, by negatively feeding back the direct current component of the output from the output end 39 to the piezoelectric ceramic, fluctuations in the wavelength formed by the Fabry-Perot etalon 42 can be suppressed.

また、第1および第2の実施例において、平T受音圧板
36および光ファイバ35は、(4)式から明らかなよ
うにそれらが互に対向している面の振幅反射係数が同一
になるように、それぞれ誘電体の多層膜コーティングを
することにより、上記光学的マイクロホンのダイナミッ
クレンジを拡大することができる。
In addition, in the first and second embodiments, the flat T sound receiving pressure plate 36 and the optical fiber 35 have the same amplitude reflection coefficients on the surfaces where they face each other, as is clear from equation (4). By coating each of the microphones with a multilayer dielectric film, the dynamic range of the optical microphone can be expanded.

発明の効果 本発明は、音響信号の計測・伝送に光を用いたことによ
り、電気系を含まない光学系での遠隔測定が可能となり
、耐電磁誘導性、高質伝送性、耐環境性、小形・軽量性
、安全性が優れることに加多て、光源を連続波長可変に
したことにより、変1換器の最適動作点の設定を可能に
かつ容易にでき、したがって変換器を高感度・低歪率に
設定でき、さらに、同一の振幅反射係数を有する繰返反
射干渉系を形成することにより、変換器のダイナミック
レンジを拡大することができる優れた光学的マイクロホ
ンを実現できるものである。
Effects of the Invention By using light to measure and transmit acoustic signals, the present invention enables remote measurement using an optical system that does not include an electrical system, and has excellent electromagnetic induction resistance, high quality transmission, environmental resistance, In addition to being compact, lightweight, and safe, the continuous wavelength variable light source makes it possible and easy to set the converter's optimum operating point, making the converter highly sensitive and By forming a repeating reflection interference system that can be set to a low distortion factor and have the same amplitude reflection coefficient, it is possible to realize an excellent optical microphone that can expand the dynamic range of the converter.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は繰返反射干渉系の構成図、第2図は第との関係
図、第3図は従来の光学的マイクロホンのシステム構成
図、第4図は第3図の従来の光学的マイクロホンの受音
部の構造図、第5図は同受音部における繰返反射干渉系
の動作点をパラメータにした入出力変換図、第6図は本
発明の第1の実施例における光学的マイクロホンのシス
テム構成図、第7図は本発明の第2の実施例における光
学的マイクロホンのシステム構成図、第8図(2L)〜
(C)は第7図のエタロンのフィルタ効果を示す図であ
゛る。 3o・・・・・・連続波長可変光源、31・・・・・・
集光レンズ、32・・・・・・光分岐器、33・・・・
・・参照光用光検出器、34°°“・・・光ファイ、バ
結合用レンズ、36・・・・・・光ファイ′4・36−
°−パ平面受音板、37・・・・・・信号光用光検出器
、38・・・・・・差動増幅器、39・・・・・・出力
端子、4o・・・・・・連続スペクトル分布を有する光
源、41−=−・・・平行ビーム形成レンズ、42・・
・・・ファフリ自ペローのエタロン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 第3図 第5図 第6図 7図 第8図 (ill、ン            (b)    
        (C)、2
Figure 1 is a configuration diagram of the repetitive reflection interference system, Figure 2 is a diagram of its relationship with Figure 3, Figure 3 is a system configuration diagram of a conventional optical microphone, and Figure 4 is the conventional optical microphone shown in Figure 3. Fig. 5 is an input/output conversion diagram using the operating point of the repetitive reflection interference system in the sound receiving part as a parameter, and Fig. 6 is an optical microphone according to the first embodiment of the present invention. 7 is a system configuration diagram of the optical microphone in the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 (2L) to
(C) is a diagram showing the filter effect of the etalon in FIG. 7. 3o... Continuously variable wavelength light source, 31...
Condensing lens, 32... Optical splitter, 33...
...Photodetector for reference light, 34°°"...Optical fiber, lens for coupling, 36...Optical fiber '4, 36-
°-Pa plane sound receiving plate, 37... Signal light photodetector, 38... Differential amplifier, 39... Output terminal, 4o... Light source with continuous spectral distribution, 41-=-... Parallel beam forming lens, 42...
... Fahri's own Perrault's etalon. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
Figure 2 Figure 3 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8 (ill, n (b)
(C), 2

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)単一波長でかつ連続して波長を変えることができ
る連続波長可変光源と、上記連続波長可変光源と光学的
に結合された光分岐器と、上記光分岐器の、上記連続波
長可変光源からの入射光の出射端に光学的に結合された
光ファイバと、上記光ファイバの出射端面に対向して平
行に配置され上記光ファイバの出射端面との間で繰返反
射干渉系を形成する平面受音板と、上記光分岐器の上記
光ファイバを介して伝幡される上記平面受音板からの帰
還光の出射端に光学的に結合された光検出器とを備えた
ことを特徴とする光学的マイクロホン。
(1) a continuously variable wavelength light source capable of continuously changing the wavelength at a single wavelength; an optical splitter optically coupled to the continuous wavelength variable light source; and the continuously variable wavelength of the optical splitter. A repeating reflection interference system is formed between an optical fiber optically coupled to an output end of incident light from a light source and an output end face of the optical fiber that is arranged parallel to and opposite to the output end face of the optical fiber. and a photodetector optically coupled to an output end of the return light from the flat sound receiving plate transmitted via the optical fiber of the optical splitter. Features an optical microphone.
(2)連続波長可変光源は、連続スペクトル分布を有す
る光源と、共振器長を可変としたファブリ・ペローのエ
タロンとで形成した光源であることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の光学的マイクロホン。
(2) The continuously variable wavelength light source is a light source formed by a light source having a continuous spectral distribution and a Fabry-Perot etalon with a variable resonator length. optical microphone.
(3)連続波長可変光源は、連続波長可変レーザである
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学的マ
イクロホン。
(3) The optical microphone according to claim 1, wherein the continuously variable wavelength light source is a continuously variable wavelength laser.
(4)平面受音板は、金属薄膜からなる受音板であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学的マイ
クロホン。
(4) The optical microphone according to claim 1, wherein the flat sound receiving plate is a sound receiving plate made of a thin metal film.
(5)平面受音板は、ポリエステル系フィルムに金属蒸
着してなる受音板であることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の光学的マイクロホン。
(5) The optical microphone according to claim 1, wherein the flat sound receiving plate is a sound receiving plate formed by metal vapor deposition on a polyester film.
(6)平面受音板および光ファイバは、それらが互いに
対向している面の振幅反射係数が同一になるように、そ
れぞれ誘電体の多層膜コーティングしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の光学的マイクロホン。
(6) The plane sound receiving plate and the optical fiber are each coated with a dielectric multilayer film so that the amplitude reflection coefficients of the surfaces facing each other are the same. Optical microphone as described in section.
(7)連続スペクトル分布を有する光源はハロゲンラン
プであることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
光学的マイクロホン。
(7) The optical microphone according to claim 2, wherein the light source having a continuous spectral distribution is a halogen lamp.
(8)連続スペクトル分布を有する光源は発光ダイオー
ドであることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
光学的マイクロホン。
(8) The optical microphone according to claim 2, wherein the light source having a continuous spectral distribution is a light emitting diode.
(9)エタロンは、エタロンを形成している可動ガラス
板が圧電セラミックで保持され、圧電セラミックに電圧
を印加することによりエタロンの共振器長を可変にした
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の光学的マ
イクロホン。
(9) The etalon is characterized in that the movable glass plate forming the etalon is held by a piezoelectric ceramic, and the resonator length of the etalon is made variable by applying a voltage to the piezoelectric ceramic. The optical microphone according to item 2.
(10)エタロンは、誘電体の多層膜コーティングをし
波長領域を限定したエタロンであることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載の光学的マイクロホン。
(10) The optical microphone according to claim 2, wherein the etalon is an etalon coated with a dielectric multilayer film to limit the wavelength range.
JP13843084A 1984-07-04 1984-07-04 Optical microphone Pending JPS6118300A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13843084A JPS6118300A (en) 1984-07-04 1984-07-04 Optical microphone

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13843084A JPS6118300A (en) 1984-07-04 1984-07-04 Optical microphone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6118300A true JPS6118300A (en) 1986-01-27

Family

ID=15221784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13843084A Pending JPS6118300A (en) 1984-07-04 1984-07-04 Optical microphone

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6118300A (en)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6459110A (en) * 1987-08-31 1989-03-06 Japan Radio Co Ltd Angle of rotation measuring apparatus
JPS6459109A (en) * 1987-08-31 1989-03-06 Japan Radio Co Ltd Moving position measuring apparatus for moving object
JPH01231500A (en) * 1988-03-11 1989-09-14 Nikou Kogaku Kk Optical microphone
US6055080A (en) * 1996-06-13 2000-04-25 Deutsche Forschungsanstalt Fur Luft-Und Raumfahrt E.V. Optical microphone
CN100345020C (en) * 2002-05-29 2007-10-24 恩普乐股份有限公司 Wide-angle optical system for solid photographic component
JP2008008898A (en) * 2006-05-31 2008-01-17 Kansai Electric Power Co Inc:The Vibration detector
JP2010261890A (en) * 2009-05-11 2010-11-18 Canon Inc Light wave interference measuring device
JP2010261776A (en) * 2009-05-01 2010-11-18 Canon Inc Device for measuring optical interference
JP2011527755A (en) * 2008-07-10 2011-11-04 ノースロップ グラマン ガイダンス アンド エレクトロニクス カンパニー,インコーポレーテツド Push-pull dual-wavelength Fabry-Perot sensor for optical fiber acoustic sensor array
JP2012502576A (en) * 2008-09-12 2012-01-26 エヌエックスピー ビー ヴィ Converter system
JP2016024106A (en) * 2014-07-23 2016-02-08 俊幸 中宮 Sound wave detecting apparatus, sound field visualizing apparatus using the same, and sensor
EP3020738A2 (en) 2002-08-19 2016-05-18 Toho Titanium Co., Ltd. Catalyst and catalyst component thereof
EP3284070A4 (en) * 2015-04-13 2019-01-16 Dscg Solutions, Inc. Audio detection system and methods

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50108893A (en) * 1974-01-17 1975-08-27
JPS53125853A (en) * 1977-04-11 1978-11-02 Hitachi Ltd Production of optical fibers
JPS55162700A (en) * 1979-06-05 1980-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical microphone
JPS5723342A (en) * 1980-07-17 1982-02-06 Fujitsu Ltd Laser microphone
JPS5850899A (en) * 1981-09-18 1983-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Microphone device
JPS5895887A (en) * 1981-12-02 1983-06-07 Omron Tateisi Electronics Co Variable wavelength semiconductor laser

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50108893A (en) * 1974-01-17 1975-08-27
JPS53125853A (en) * 1977-04-11 1978-11-02 Hitachi Ltd Production of optical fibers
JPS55162700A (en) * 1979-06-05 1980-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical microphone
JPS5723342A (en) * 1980-07-17 1982-02-06 Fujitsu Ltd Laser microphone
JPS5850899A (en) * 1981-09-18 1983-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Microphone device
JPS5895887A (en) * 1981-12-02 1983-06-07 Omron Tateisi Electronics Co Variable wavelength semiconductor laser

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6459109A (en) * 1987-08-31 1989-03-06 Japan Radio Co Ltd Moving position measuring apparatus for moving object
JPS6459110A (en) * 1987-08-31 1989-03-06 Japan Radio Co Ltd Angle of rotation measuring apparatus
JPH01231500A (en) * 1988-03-11 1989-09-14 Nikou Kogaku Kk Optical microphone
US6055080A (en) * 1996-06-13 2000-04-25 Deutsche Forschungsanstalt Fur Luft-Und Raumfahrt E.V. Optical microphone
CN100345020C (en) * 2002-05-29 2007-10-24 恩普乐股份有限公司 Wide-angle optical system for solid photographic component
EP3020738A2 (en) 2002-08-19 2016-05-18 Toho Titanium Co., Ltd. Catalyst and catalyst component thereof
JP2008008898A (en) * 2006-05-31 2008-01-17 Kansai Electric Power Co Inc:The Vibration detector
JP2011527755A (en) * 2008-07-10 2011-11-04 ノースロップ グラマン ガイダンス アンド エレクトロニクス カンパニー,インコーポレーテツド Push-pull dual-wavelength Fabry-Perot sensor for optical fiber acoustic sensor array
JP2012502576A (en) * 2008-09-12 2012-01-26 エヌエックスピー ビー ヴィ Converter system
JP2010261776A (en) * 2009-05-01 2010-11-18 Canon Inc Device for measuring optical interference
JP2010261890A (en) * 2009-05-11 2010-11-18 Canon Inc Light wave interference measuring device
JP2016024106A (en) * 2014-07-23 2016-02-08 俊幸 中宮 Sound wave detecting apparatus, sound field visualizing apparatus using the same, and sensor
EP3284070A4 (en) * 2015-04-13 2019-01-16 Dscg Solutions, Inc. Audio detection system and methods
US10582311B2 (en) 2015-04-13 2020-03-03 DSCG Solutions, Inc. Audio detection system and methods

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2007190C (en) Laser optical ultrasound detection
US4966459A (en) Broadband optical detection of transient motion from a scattering surface
JP3037639B2 (en) Optical microphone
JPS6118300A (en) Optical microphone
US4446543A (en) Optical resonator single-mode fiber hydrophone
Bilaniuk Optical microphone transduction techniques
US4918492A (en) Michaelson optical fiber interferometer and its application in particular in the measurement of temperatures
JPS5882396A (en) Light transmission system
EP0331671A1 (en) Self-oscillating, optical resonant sensor
CN110806306B (en) Device and method for measuring temperature change of cavity of resonant cavity of multi-longitudinal-mode laser
CN111007525B (en) Arbitrary absolute distance measuring device based on single-flying-second optical frequency comb balance cross correlation
US5231611A (en) Wavelength multiplexed fiber optics resonant ring hydrophone array
Zhang et al. High sensitivity and high stability dual Fabry-Perot interferometric fiber-optic acoustic sensor based on sandwich-structure composite diaphragm
Onodera et al. Two-wavelength laser-diode interferometer with fractional fringe techniques
CN114175683B (en) Optical transducer and method for measuring displacement
JPH0345328B2 (en)
JPS6133451B2 (en)
JPH0251004A (en) Strain gage system
JPH0272335A (en) Dual balance type light receiving device
Xiao et al. All-fiber ultrasonic sensor based on ultrathin silica reflective diaphragm
JPS6127518A (en) Acousto-optic transducer
JPS61120925A (en) Compound sensor for vibration sound
JPS6281550A (en) Photoacoustic spectroscope
Kingsley et al. Use of optical fibers as instrumentation transducers
Xu et al. Research on acoustic detective sensitivity of optical fiber sensors