JPS61177786U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61177786U JPS61177786U JP5956585U JP5956585U JPS61177786U JP S61177786 U JPS61177786 U JP S61177786U JP 5956585 U JP5956585 U JP 5956585U JP 5956585 U JP5956585 U JP 5956585U JP S61177786 U JPS61177786 U JP S61177786U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- workpiece
- electron beam
- processing machine
- chamber body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例になる真空チヤン
バ本体を伸長した状態の概略断面図、第２図は同
縮小した状態の概略断面図、第３図ないし第６図
は他の実施例を示す説明図である。 １は真空チヤンバ本体、２はワーク。
バ本体を伸長した状態の概略断面図、第２図は同
縮小した状態の概略断面図、第３図ないし第６図
は他の実施例を示す説明図である。 １は真空チヤンバ本体、２はワーク。
Claims (1)
- 加工すべきワーク２を真空チヤンバ本体１内に
収容して、このワーク２に電子ビームを照射する
ことによりワーク２の加工を行う電子ビーム加工
機において、上記真空チヤンバ本体１を伸縮自在
に構成してなる電子ビーム加工機の真空チヤンバ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5956585U JPS61177786U (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5956585U JPS61177786U (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61177786U true JPS61177786U (ja) | 1986-11-06 |
Family
ID=30586109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5956585U Pending JPS61177786U (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61177786U (ja) |
-
1985
- 1985-04-23 JP JP5956585U patent/JPS61177786U/ja active Pending