JPS61175296A - Electron beam welding apparatus - Google Patents

Electron beam welding apparatus

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JPS61175296A
JPS61175296A JP1453785A JP1453785A JPS61175296A JP S61175296 A JPS61175296 A JP S61175296A JP 1453785 A JP1453785 A JP 1453785A JP 1453785 A JP1453785 A JP 1453785A JP S61175296 A JPS61175296 A JP S61175296A
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JP
Japan
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booster pump
pole
mechanical booster
electron beam
welding
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JP1453785A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Nakamura
中村 正之
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To shorten the exhausting time by selectively switching a motor for driving a mechanical booster pump to specific number of pole as required thereby multiplying the exhaust capacity. CONSTITUTION:An object 1 to be welded is set on a rotary table 3 then a door 2 is closed to produce a signal for functioning a pneumatic vacuum valve 8 thus to communicate with first mechanical booster pump 19, then a timer is set (to T1) and to switch the drive motor for said booster pump 10 from 4-pole to 2-pole operation. Consequently, double speed operation is realized to double the exhaust capacity. Upon elapse of setting time (T1), the welding chamber 4 is evacuated by means of said booster pump 10 (2-pole), second mechanical booster pump 13 and a hydraulic rotary pump 15. Upon reaching to weldable vacuum, an electron beam is produced to execute specific welding. With such arrangement, insufficient power at start is compensated while the exhausting time is shortened.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、真空雰囲気中で、数10キロボルト前後の
高電圧で加速した電子線の衝撃熱を利用して溶接する電
子ビーム溶接装置に関するもので。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention relates to an electron beam welding device that performs welding in a vacuum atmosphere using the impact heat of an electron beam accelerated at a high voltage of around several tens of kilovolts. in.

特にこの発明は電子ビーム溶接を行女う溶接室の排気シ
ステムに関するものである。
In particular, the present invention relates to an exhaust system for a welding room in which electron beam welding is performed.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第4図および第5図はこの種電子ビーム溶接装置による
溶接を行なうための溶接室およびこの溶接室の排気シス
テムを示す断面図で、第4図は開閉し得る扉を閉止して
溶接中の真空排気状態を示す断面図、第5図は溶接が完
了して扉を開放した排気状態を示す断面図である。図に
おいて、(1)は開閉し得る扉(2)?有する溶接室(
4)内の回転テープル(3)上にセットされた被溶接物
、(5)は上記溶接室(4)の上部に設けられ、上記被
溶接物(1)に−U吊ビームを照射して溶接を行なう電
子銃、(6)、(9)は上記溶接室(4)に連接して設
けらn、リークバルブ(7)を有する排気管、(8)は
この両排気管(6)と(9)との間に設けられ、この両
排気管(6)と(9)との間を連通およびしゃ断する空
圧作動式真空バルブ、(]L03は上記排気管(9)と
油回転ポンプ(X→との間に直列接続された一対の第1
と第2のメカニカルブースタポンプで、この第1と第2
のメカニカルプースクポンプOQ、α埠には、それぞれ
誘導電動機からなる2極の駆動電動機C11)、 (l
ieが設けられている。0→、(]→は上記第1と第2
のメカニカルブースタ(1りと0→との間、および第2
のメカニカルブースタ(13と油回転ポンプ(1つとの
間を接続する排気管である。
Figures 4 and 5 are cross-sectional views showing a welding room for welding using this type of electron beam welding equipment and an exhaust system for this welding room. FIG. 5 is a sectional view showing the evacuation state when welding is completed and the door is opened. In the figure, is (1) a door (2) that can be opened and closed? Welding room with (
4) The object to be welded is set on the rotating table (3) in (5), which is installed at the upper part of the welding chamber (4), and the object to be welded (1) is irradiated with a -U hanging beam. Electron guns (6) and (9) for welding are connected to the welding chamber (4), and exhaust pipe (8) has a leak valve (7). A pneumatically operated vacuum valve is provided between the exhaust pipes (9) and (9) to communicate and cut off the communication between the two exhaust pipes (6) and (9). (A pair of first
and a second mechanical booster pump, this first and second
The mechanical push pumps OQ and α are equipped with two-pole drive motors C11) and (l) each consisting of an induction motor.
ie is provided. 0→, (]→ are the above first and second
Mechanical booster (between 1 and 0 → and 2nd
This is an exhaust pipe that connects the mechanical booster (13) and the oil rotary pump (13).

次に上述した第4図および第5図に示す排気システムの
構成図、および第6図に示すタイムチャートによって排
気システムの動作を説明すると次の通りである。
Next, the operation of the exhaust system will be explained with reference to the configuration diagrams of the exhaust system shown in FIGS. 4 and 5 and the time chart shown in FIG. 6.

才ず、”被溶接物(1〕ヲ溶接室(4)内の回転テーブ
ル(3)上にセットするために扉(2)を開いた場合の
空圧作動式真空バルブ(8)は、第5図に示すように、
第1と第2のメカニカルブースタポンプfli、 (1
+)および油回転ポンプq→に大気圧が流入して過負荷
運転になら々いように閉止されている。
When the door (2) is opened to set the workpiece (1) on the rotary table (3) in the welding chamber (4), the pneumatically operated vacuum valve (8) As shown in Figure 5,
first and second mechanical booster pump fli, (1
+) and oil rotary pump q→ to prevent atmospheric pressure from flowing into them and causing overload operation.

次に、第4図に示すように、沙溶接物(1)を溶接する
ために扉(2)が閉じられ、かつ空圧作動式真空バルブ
(8)が開放されたあと、溶接室(4)内の真空排気が
スタートしてその真空度が760(大気圧)Torrか
ら所定の圧力5 X 1 Q’Torr に到達(7た
ことが確認(この時間を一般に排気時間と呼ぶ)される
と、被溶接物(1〕が所定速度で回転され電子ビームに
よる溶接が開始される。そして、所定の溶接が完了する
と、空圧作動式真空バルブ(8) カ閉止され、さらに
リークバルブ(7)が開放され溶接室(4)内が大気圧
になると扉(2)を開き、被浴接物(1)を取り出して
溶接作業の1サイクルが完了するわけであるが、この1
ザイクル中、第1と第2のメカニカルブースタポンプ(
10)、(1→および油回転ポンプ0→は連続運転され
ており、さらにこの場合の第1のメカニカルブースタポ
ンプ00の駆動電動機01)け4極のものを用いている
ので、その排気特性は第2図に示すように真空度が76
0〜30Torr(破線−4極連続)において、排気時
間は「T3」秒かかつている。なお、上記第1のメカニ
カルブースタポンプα0あるいは第2のメカニカルブー
スタポンプα1ば、吸入側〉排気倶]の圧力差とその出
力は比例関係にある。すなわち、圧力差が太さいと出力
は犬となる関係を有し、また排気容量はポンプ内容積お
よび回転数に比例する。
Next, as shown in FIG. ) starts evacuation, and it is confirmed that the degree of vacuum has reached a predetermined pressure of 5 x 1 Q'Torr (760 Torr (atmospheric pressure)) (this time is generally called the evacuation time). , the object to be welded (1) is rotated at a predetermined speed and welding by the electron beam is started.When the predetermined welding is completed, the pneumatically operated vacuum valve (8) is closed, and the leak valve (7) is closed. When the welding chamber (4) is opened and the inside of the welding chamber (4) reaches atmospheric pressure, the door (2) is opened and the object to be bathed (1) is taken out, completing one cycle of welding work.
During the cycle, the first and second mechanical booster pumps (
10), (1→ and oil rotary pump 0→ are operated continuously, and the drive motor 01 of the first mechanical booster pump 00 in this case) is a four-pole type, so its exhaust characteristics are as follows. As shown in Figure 2, the degree of vacuum is 76
At 0 to 30 Torr (broken line - 4 poles continuous), the exhaust time takes "T3" seconds. Note that the pressure difference between the suction side and the exhaust side of the first mechanical booster pump α0 or the second mechanical booster pump α1 is proportional to its output. That is, when the pressure difference is large, the output has a negative relationship, and the exhaust capacity is proportional to the internal volume of the pump and the rotation speed.

また、上述した従来の排気システムは上述したように、
油回転ポンプ(1→とメカニカルブースタポンプO1る
いは油回転ポンプ(1→と、第1のメカニカルブースタ
ポンプ(10および第2のメカニカルブースタポンプ(
13とを組合せて構成されており、この場合油回転ポン
プ0→と、第1のメカニカルブースタポンプ(10と、
第2のメカニカルブースタポンプ(ハ)の排気容量は、
油回転ポンプa9よりも第1のメカニカルブースタポン
プα埠が多く、捷だこれよりも第2のメカニカルブース
タポンプocs 7)E 多イ、!:いうように例えば
1:2:5の割合に設定され8、効果的に仕事ができる
よう各々が接近した値を持た々いように構成されている
。また、上記両メカニカルブースタポンプ0りとα1と
を駆動する駆動電動機a1)、a+eとしてば4極の三
相誘導電動機が用いられている。
In addition, as mentioned above, the conventional exhaust system described above
Oil rotary pump (1→ and mechanical booster pump O1 or oil rotary pump (1→ and first mechanical booster pump (10) and second mechanical booster pump (
13, and in this case, the oil rotary pump 0→ and the first mechanical booster pump (10,
The exhaust capacity of the second mechanical booster pump (c) is:
There are more first mechanical booster pumps α than oil rotary pumps a9, and there are more second mechanical booster pumps than this. 7)E Many! For example, they are set at a ratio of 1:2:5, such as 8, and are configured so that they each have values close to each other so that work can be done effectively. Furthermore, four-pole three-phase induction motors are used as drive motors a1) and a+e for driving both the mechanical booster pumps 0 and α1.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来の電5子ビーム溶接装置における排気システムは第
4図の構成図に示すように、第1のメカニカルブースタ
ポンプα0の吸入側圧力と、排気(III圧力との差、
すなわち圧力差に駆動電動機の出力(トルク)が比例す
るため、同じ圧力差を得るためには出力を2倍以上にし
なければならない。このため、駆動電動機として2極の
ものを用いると、4極運転時のメカニカルブースタポン
プを用いて、2倍の排気容量を得ることができるが、一
般に各真空機器メーカから販売されているこの種メカニ
カルブースタポンプは100〜600 M’/Hr程度
の小容量のものばかりで、これらは第2のメカニカルブ
ースタポンプa1として使用し得る程度のものである。
As shown in the configuration diagram of FIG. 4, the exhaust system in a conventional pentagon beam welding device has a difference between the suction side pressure of the first mechanical booster pump α0 and the exhaust (III pressure).
That is, since the output (torque) of the drive motor is proportional to the pressure difference, the output must be more than doubled to obtain the same pressure difference. For this reason, if a two-pole drive motor is used, double the pumping capacity can be obtained by using a mechanical booster pump in four-pole operation. Most of the mechanical booster pumps have a small capacity of about 100 to 600 M'/Hr, and these can be used as the second mechanical booster pump a1.

これは排気容量が増加するに伴って、高速回転(360
0rpm )で長時間(8〜16Hr/dag)の連続
運転を行なうと、シールの寿命の短縮およびポンプと駆
動電動機の異常発熱などの悪影響を及ぼす欠点がある。
This increases as the exhaust capacity increases.
Continuous operation for a long time (8 to 16 Hr/dag) at 0 rpm) has the disadvantage of shortening the life of the seal and causing abnormal heat generation in the pump and drive motor.

特に2極運転における駆動電動機の発熱について説明す
ると、第4図に示す溶接室(4)の排気を行なう場合、
第6図の起動特性図に示すように、真空度が760(大
気圧) ’Iorrの駆動電動機(2極)運転可能圧力
1では、この2極駆動電動機は起動電流が流れた址まで
あり、上記運転可能圧力までの時間、例えば上記溶接室
(4)の内容積が大きい場合には第6図に示すようにT
4(秒)かかるため、この間に電動機保護のためのサー
マルが作動するように表されており、たとえば、内容積
150〜200t、2極駆動電動機、士85〜2.2k
wT4−4〜5SeCでサーマルが作動した例がある。
In particular, to explain the heat generation of the drive motor during two-pole operation, when exhausting the welding chamber (4) shown in Fig. 4,
As shown in the starting characteristic diagram in Figure 6, when the operating pressure of a drive motor (two poles) with a degree of vacuum of 760 (atmospheric pressure) 'Iorr is 1, this two pole drive motor has a starting current flowing through it. For example, when the internal volume of the welding chamber (4) is large, the time required to reach the operational pressure is T as shown in FIG.
It takes 4 (seconds), so the thermal to protect the motor is activated during this time.
There are examples of thermal activation at wT4-4 to 5SeC.

また、運転可能圧力を調査したところ、真空度が1〜Q
、 I T’□rrでも一ヒ記2極駆動電動機が運転不
能になるケースもあった。これは駆動電動機の起動負荷
が過大であるため、第4図に示す第1のメカニカルブー
スタポンプ(]Oの高速回転ができ々いからである。
In addition, when we investigated the operating pressure, we found that the degree of vacuum was 1 to Q.
, IT'□rr also had cases in which the two-pole drive motor described in 1.1 became inoperable. This is because the starting load on the drive motor is excessive, making it difficult for the first mechanical booster pump ( ]O shown in FIG. 4 to rotate at high speed).

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明に係る電子ビーム溶接装荷の排気システムハ、
(重用するメカニカルブースタボア )17) 、駆動
電動機として、その極数を選択的に切換えるようにした
ものである。
Exhaust system for electron beam welding loading according to this invention;
(Importantly used mechanical booster bore) 17) As a drive motor, the number of poles can be selectively switched.

〔作用〕[Effect]

この発明においては、メカニカルブースタポンプを駆動
する駆動電動機を必要に応じて所定の極数に選択的に切
換えるようにしたので、起動時のパワー不足を補ない、
しかも排気時間を短縮することができる。
In this invention, the drive motor that drives the mechanical booster pump is selectively switched to a predetermined number of poles as necessary, so power shortage during startup is compensated for.
Moreover, the exhaust time can be shortened.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

この発明の電子ビーム溶接装置の排気システムの構成は
上述した第4図に示す従来の排気システムとほぼ同一で
あるが、この発明は、この第4図における第1のメカニ
カルブースタポンプθ0を駆動する駆動電動機01)と
して、その極数をたとえば2極と4極に選択的に切換え
るようにしたもので、駆動電動機の回転数は、2極のも
のば4極のものと比較して2倍になることを利用し、メ
カニカルブースタポンプを駆動する4極の駆動電動機を
2極の駆動電動機に変換すると、回転数は2倍となり、
ポンプの排気容量を2倍にするようにしたものである。
The configuration of the exhaust system of the electron beam welding apparatus of this invention is almost the same as the conventional exhaust system shown in FIG. The number of poles of the drive motor 01) can be selectively switched between, for example, two poles and four poles, and the rotational speed of the drive motor is twice that of a two-pole motor or a four-pole motor. If you take advantage of this fact and convert the 4-pole drive motor that drives the mechanical booster pump to a 2-pole drive motor, the rotation speed will double,
This doubles the exhaust capacity of the pump.

この発明は第1図の動作タイムチャートに示すように、
4極の駆動電動機によって連続運転を行表わせ、途中に
おいて2極の駆動電動機が運転可能圧力に到達したとこ
ろで、2極に切換えて高速回転となし、その排気時間(
T2秒)を短縮するようにしたものである。力お、2極
運転が可能な理由は、その起動時にパワーのある4極運
転(1800rprn)をしているからである。
As shown in the operation time chart of FIG.
The 4-pole drive motor performs continuous operation, and when the 2-pole drive motor reaches the operating pressure midway, it switches to the 2-pole drive motor for high-speed rotation, and the exhaust time (
T2 seconds). The reason why two-pole operation is possible is because it performs powerful four-pole operation (1800 rprn) at startup.

この発明の電子ビーム溶接装置における排気システムは
上記のように構成されているので、第1図に示すタイム
チャートによってその動作を説明すると、従来の排気シ
ステムと同様に、第4図に示すように被溶接物(1)ヲ
回転テーブル(3)の所定位置にセットしたのち扉(2
)を閉じ、その信号で空圧作動式真空バルブ(8)を作
動させて溶接室(4)と第1のメカニカルブースタポン
プ(10とを連通させたのちタイマセット(時間T0秒
)し、第1のメカニカルブースタポンプ(]、0の駆動
電動機α1)を4極運転から2極運転に切換えると、1
800rprnから6600rpmに倍速運転と々す、
その排気容量を倍増させることができる。なお、タイマ
でセットする時間「TI」秒は第2図の特性比較図に示
すように、2極運転可能圧力と等しくなるように設定し
、これ以後は第1のメカニカルブースタポンプ(2極)
、第2のメカニカルブースタポンプ(1埠、および油回
転ポンプ0→によって溶接室(4)の真空排気が行なわ
れる。
Since the exhaust system in the electron beam welding apparatus of the present invention is configured as described above, its operation will be explained using the time chart shown in FIG. 1. As with the conventional exhaust system, as shown in FIG. After setting the workpiece (1) to the specified position on the rotary table (3), open the door (2).
), the pneumatically operated vacuum valve (8) is activated by the signal to establish communication between the welding chamber (4) and the first mechanical booster pump (10), and a timer is set (time T0 seconds). When the mechanical booster pump 1 (], drive motor α1 0) is switched from 4-pole operation to 2-pole operation, 1
Double speed operation from 800 rpm to 6600 rpm,
Its exhaust capacity can be doubled. As shown in the characteristic comparison diagram in Figure 2, the time "TI" seconds set by the timer is set to be equal to the pressure at which two-pole operation is possible, and from then on, the first mechanical booster pump (two-pole)
, the welding chamber (4) is evacuated by the second mechanical booster pump (1 port) and the oil rotary pump 0→.

そして、溶接可能圧力、すなわち真空度が5X10To
rrに到達すると、電子ビームを発生させ、所定の溶接
が行なわれるわけである。なお、第6図の動作タイムチ
ャートに示すように、第1のメカニカルブースタポンプ
αQを4極(駆動電動機α■で連続真空排気する場合と
、その排気時間を比較すると、必然的に第1図に示す時
間(’rs  T2)だけ2極駆動電動機で運転する場
合よりも優れており、この時間差は、容積が1501の
溶接室(4)によって実験を行なうと、数秒以」二ある
ことがわかった。
The welding pressure, that is, the degree of vacuum, is 5X10To
When rr is reached, an electron beam is generated and predetermined welding is performed. As shown in the operation time chart in Figure 6, if we compare the evacuation time with the case where the first mechanical booster pump αQ is continuously evacuated using a four-pole (drive motor α■), it is inevitable that the This is better than when operating with a two-pole drive motor by the time shown in ('rs T2), and this time difference was found to be more than a few seconds when conducted in an experiment using a welding chamber (4) with a volume of 150 mm. Ta.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたようにこの発明によれば、メカニカルブース
タポンプの駆動電動機を必要に応じて所定の極数に切換
えるようにしたので、起動時のパワー不足を補ない、し
かも溶接室(4)内を真空にするための排気時間を短縮
することができるばかりでなく、この発明によればポン
プ本体の大きさが4極と同一の排気容量を倍増すること
ができるため、その2倍となる排気容量と同一の4極の
ボンブザイズよりも小形に作ることができるから電子ビ
ーム溶接装置の排気システムとして安価に製作でき、し
かも据付は時の占有面積が小さくなる優れた効果を有す
るものでhる。
As described above, according to the present invention, the drive motor of the mechanical booster pump is switched to a predetermined number of poles as necessary, so that the lack of power at startup is compensated for, and the inside of the welding chamber (4) is Not only can the evacuation time to create a vacuum be shortened, but according to this invention, the pump main body size can double the same evacuation capacity as a 4-pole pump, so the evacuation capacity can be doubled. Since it can be made smaller than the same four-pole bomb size, it can be manufactured at low cost as an exhaust system for electron beam welding equipment, and has the excellent effect of reducing the installation area.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の電子ビーム溶接装置の排気システム
の動作夕1ムチヤード、第2図はこの発明の排気システ
ムと、従来の排気システムの排気特性比較図、第3図は
この発明と従来の排気システムの排気特性と駆動電動機
の起動特性比較図、第4図および第51図は溶接室の排
気システムを示す断面図で、第4図は溶接中の真空排気
状態を示し、壕だ第5図は溶接が完了して扉を開放した
排気状態を示している。第6図は従来の排気システムの
動作タイムチャートである。 図において、(4)は溶接室、(8)は空圧作動式真空
バルブ、OQは第1のメカニカルブースタポンプ、(1
:’el’im2ノメカニカルプースクポンプ、(11
) <sQは1駆動電動機、(1っは油回転ポンプであ
る。 なお1図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 −囚    ぐの9Q巴丑
Fig. 1 shows the operation diagram of the exhaust system of the electron beam welding device of the present invention. Fig. 2 is a comparison diagram of the exhaust characteristics of the exhaust system of the present invention and the conventional exhaust system. Fig. 3 shows the exhaust characteristics of the exhaust system of the present invention and the conventional exhaust system. A comparison diagram of the exhaust characteristics of the exhaust system and the starting characteristics of the drive motor. Figures 4 and 51 are cross-sectional views showing the exhaust system of the welding room. The figure shows the exhaust state with the door open after welding is completed. FIG. 6 is an operation time chart of a conventional exhaust system. In the figure, (4) is the welding chamber, (8) is the pneumatically operated vacuum valve, OQ is the first mechanical booster pump, (1
:'el'im2 mechanical pump, (11
) <sQ is 1 drive electric motor, (1 is an oil rotary pump. The same reference numerals in 1 figure indicate the same or corresponding parts. Agent: Patent attorney Sanro Kimura - Prisoner Guno 9Q Tomoe

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電子ビーム溶接を行なう溶接室の真空排気を油回
転ポンプおよびこの油回転ポンプと上記溶接室との間に
配置されたメカニカルブースタポンプとによつて行なう
ようにしたものにおいて、上記メカニカルブースタポン
プを駆動する駆動電動機の極数を必要に応じて選択的に
切換えるようにしたことを特徴とする電子ビーム溶接装
置。
(1) A welding chamber in which electron beam welding is performed is evacuated by an oil rotary pump and a mechanical booster pump disposed between the oil rotary pump and the welding chamber, wherein the mechanical booster pump An electron beam welding device characterized in that the number of poles of a drive motor that drives a pump is selectively switched as necessary.
(2)油回転ポンプと溶接室との間に配置されるメカニ
カルブースタポンプが複数であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の電子ビーム溶接装置。
(2) The electron beam welding apparatus according to claim 1, wherein a plurality of mechanical booster pumps are arranged between the oil rotary pump and the welding chamber.
(3)駆動電動機は三相誘導電動機であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の電子ビーム溶接装置。
(3) The electron beam welding apparatus according to claim 1, wherein the drive motor is a three-phase induction motor.
(4)駆動電動機は、その極数が2極と4極に選択的に
切換えるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の電子ビーム溶接装置。
(4) The electron beam welding apparatus according to claim 1, wherein the number of poles of the drive motor is selectively switched between two poles and four poles.
(5)溶接室とメカニカルブースタポンプとの間には空
圧作動式真空バルブが設けられていることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の電子ビーム溶接装置。
(5) The electron beam welding apparatus according to claim 1, wherein a pneumatically operated vacuum valve is provided between the welding chamber and the mechanical booster pump.
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Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5641192B2 (en) * 1978-08-11 1981-09-26
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