JPS61172085U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る半導体ウエハ
ー収納容器の概略斜視図、第２図は第１図の半導
体ウエハー収納容器の断面図である。 ２…ウエハー保持用枠体、３…柔軟部分、４…
本体部分、５…蓋部分、６…外囲容器体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 外部応力に対して剛性による形状保持力を
   有する合成樹脂材料より成り半導体ウエハーを保
   持収納するウエハー保持用枠体と、このウエハー
   保持用枠体を収容する一部あるいは全体が外部応
   力に対して順応性即ち変形性を有する柔軟部分を
   備えて成る外囲容器体とにより成ることを特徴と
   する半導体ウエハー収納容器。 (2) 外囲容器体が、外部応力対してある程度の
   形状保持力を有する材料より成る枠体部分と、外
   部応力に対して順応性即ち変形性を有する柔軟な
   膜状体により成ることを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項に記載の半導体ウエハー収納容
   器。 (3) 柔軟な膜状体部分がダイヤフラムであるこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項に
   記載の半導体ウエハー収納容器。 (4) 柔軟な膜状体部分がゴム等の如く伸張可能
   な材質より成ることを特徴とする実用新案登録請
   求範囲第２項に記載の半導体ウエハー収納容器。 (5) 膜状体部分が枠体部分の内側角部に取付け
   られていることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項乃至第４項の何れかに記載の半導体ウ
   エハー収納容器。