JPS61166282U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは本発明の一実施例の斜視図とそ
のＡ―Ａ′断面図、第２図ａ，ｂは順方向と逆方
向の動作を説明するための断面図、第３図ａ〜ｇ
は本発明の実施例の弁素子の製造の工程図、第４
図ａ，ｂ，ｃは従来の弁素子の斜視図とその動作
図をそれぞれ示す。 図において、１０１……弁座、１０２……開孔
部、１０３……スリツト、１０４……弁、１０５
……ストツパー、１０６……平板状弁部材、２０
１……基板、２０２……剥離用金属体層、２０３
……フオトレジストパターン、２０４……第１の
めつき層、２０５……分離用金属体層、２０６…
…フイルム状フオトレジスト、２０７……第２の
めつき層、２０８……開孔部、２０９……ストツ
パー、２１０……第２のめつき層、２１１……弁
、３０１……弁座、３０２……開孔部、３０３…
…スリツト、３０４……ストツパー、３０５……
弁、３０６……平板状弁部材である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 平板状弁部材にスリツトを設けて形成した弁と
   、開孔部とストツパーを有する弁座からなる弁素
   子において、前記平板状弁部材に略々平行な二本
   の直線スリツトにより弁を形成し、前記弁座に弁
   と対応させて前記二本の直線スリツトの間に該ス
   リツトとほぼ平行にストツパーを形成すると共に
   前記二本のスリツトに対応させて開孔部を形成し
   、前記弁部材と弁座は一体化形成せしめたことを
   特徴とする弁素子。