JPS61163863A - Manufacture of head for ink jet printer - Google Patents

Manufacture of head for ink jet printer

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JPS61163863A
JPS61163863A JP424585A JP424585A JPS61163863A JP S61163863 A JPS61163863 A JP S61163863A JP 424585 A JP424585 A JP 424585A JP 424585 A JP424585 A JP 424585A JP S61163863 A JPS61163863 A JP S61163863A
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JP
Japan
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nozzle
plate
head
nozzle plate
face
Prior art date
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Application number
JP424585A
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Japanese (ja)
Inventor
Toyoji Shioda
潮田 豊司
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS61163863A publication Critical patent/JPS61163863A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm

Abstract

PURPOSE:To adhere a nozzle plate to a nozzle edge after correct positioning by pressing to a nozzle edge a nozzle plate fitted into a concave part which a convex part meets through a notched part, and bonding a nozzle diffusively to a jointing surface. CONSTITUTION:A nozzle plate 11 is held between the pressing surface of a pressure-contacting block 13 and the jointing surface 18, and a convex part 14a of a block 13 is fitted into a notched part 19a of the plate 11 and a concave part 15a of the nozzle body 12. Consequently, the plate 11 can easily and accurately be positioned to the jointing surface 18 of the nozzle body 12, thus eliminating a slippage of the position of the plate 11 to the jointing 18 of the nozzle body 12. A nozzle 11 is diffusively jointed to the jointing surface 18 by pressing the block 13 to contact the jointing surface 18 of the nozzle body 12 under a prearranged pressure.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、微小なインク粒子を噴射し、被記録物に文字
や図形などの画像を記録するインクジェットプリンタ用
ヘッドの製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method of manufacturing an inkjet printer head that records images such as characters and figures on a recording material by jetting minute ink particles.

〔従来技術とその問題点〕[Prior art and its problems]

オンデマンド型インクジェットヘッドは、第3図に示す
ようにインク粒子を噴射するノズル31とインクを一時
的に貯蔵するインク溜り32とこれらの間のインクに圧
力を発生させる圧力室33とから構成された1個または
複数個の噴射チャンネル系統からなるステンレス等の耐
蝕性のある基板30と、耐蝕性のある弾性板34を接合
し、その上に圧電素子35を圧力室33に対応した位置
に接着したものから構成されており、圧電素子35に電
圧を印加して弾性板34を内側に変形させ、圧力室33
内のインクに圧力波を発生させてノズル31よりインク
粒子36を噴射させるものである。このようなオンデマ
ンド型インクジェットヘッドは、多数のノズルを配置す
る構造となっているのが一般的である。第2図は、本願
発明者によって既に考案されているヘッドの一例の分解
斜視図である。このヘッドは、圧電素子の接着の際に位
置決めを行うための圧電素子位置決め孔20a。
As shown in FIG. 3, the on-demand inkjet head is composed of a nozzle 31 for ejecting ink particles, an ink reservoir 32 for temporarily storing ink, and a pressure chamber 33 for generating pressure in the ink between these. A corrosion-resistant substrate 30 made of stainless steel or the like comprising one or more injection channel systems is joined to a corrosion-resistant elastic plate 34, and a piezoelectric element 35 is bonded thereon at a position corresponding to the pressure chamber 33. By applying a voltage to the piezoelectric element 35, the elastic plate 34 is deformed inward, and the pressure chamber 33 is
Ink particles 36 are ejected from the nozzle 31 by generating pressure waves in the ink inside. Such on-demand inkjet heads generally have a structure in which a large number of nozzles are arranged. FIG. 2 is an exploded perspective view of an example of a head already devised by the inventor of the present application. This head has a piezoelectric element positioning hole 20a for positioning the piezoelectric element when bonding it.

20bをそれぞれ有するピエゾプレート21 a。Piezo plates 21a each having 20b.

21bと、弾性板に該当するエラスティスイティプレー
ト22a、22bと、ノズ/Lz25a、25b1圧力
室26a、26b、インク溜り27a。
21b, elasticity plates 22a, 22b corresponding to elastic plates, nozzles/Lz 25a, 25b1 pressure chambers 26a, 26b, and ink reservoir 27a.

27bを有するチャンバプレート23a、23bとを、
インク溜り27のみ有するリサーバプレート24の両側
から挟むような構成で積層したものである。これらの板
は、材料面を所定の加圧力によって密着させておいて母
材の再結晶温度あるいはそれ以上に比較的長時間加熱し
、母材の原子の拡散現象を利用して行う拡散接合法を用
いて同時に積層する。また、これらの板はケミカルエツ
チング等の手段により形状を形成するのでノズル群が非
常に高精度なピッチ間隔で得られるが、ケミカルエツチ
ングの性質上高精度なノズル断面が得られないという問
題があった。−例としてチャンバプレート23a、23
bの板厚が50μmの場合ノズル25a、25bの断面
の幅すなわちエツチング幅は板厚の2倍すなわち100
μm以上でないと均一な幅を持つノズルが得られない。
chamber plates 23a, 23b having 27b;
The reservoir plates 24 having only an ink reservoir 27 are stacked in such a manner that they are sandwiched from both sides. These plates are manufactured by diffusion bonding, which takes advantage of the diffusion phenomenon of atoms in the base material, by bringing the material surfaces into close contact with each other under a predetermined pressure and heating the base material to the recrystallization temperature or higher for a relatively long period of time. Laminate them at the same time using In addition, since the shape of these plates is formed by means such as chemical etching, nozzle groups can be obtained with extremely precise pitch intervals, but due to the nature of chemical etching, there is a problem that highly accurate nozzle cross sections cannot be obtained. Ta. - for example chamber plates 23a, 23;
When the plate thickness of b is 50 μm, the width of the cross section of the nozzles 25a and 25b, that is, the etching width is twice the plate thickness, that is, 100 μm.
If the width is less than μm, a nozzle with a uniform width cannot be obtained.

従って、マルチノズル化した場合各ノズルがら噴射され
るインク粒子の径も均一でな(、また飛翔速度にばらつ
きが生ずる。そのため、ノズルの断面の微細化に制限が
あり、高解像度を持つプリンタへの適用は困難であった
。また、ノズル端面を所定の面粗さく0.5 sRma
x以下)に仕上げないと、表面の不均一なぬれなどによ
るインク滴の飛翔方向性、安定性に影響を与える。その
ため、ノズル端面を研摩仕上げしなければならず、その
工程においてノズルにばりの発生や切粉の付着など製造
上並びにヘッドの性質上大きな問題があった。このよう
な問題を解決するためにヘッド本体のノズルの断面寸法
をケミカルエツチング可能な余裕を持った大きさにし、
そのノズル端面にさらに微細なノズル孔を有するノズル
プレートを貼り合わせる方法がとられる。しかし、この
従来の方法では顕微鏡などで目視1位置合わせしながら
接着材等で接合するものであり、作業時間の長大化1位
置ずれ、接着材によるノズル孔の目づまり等、新たな問
題が生じ、その歩留りの悪さがこのようなヘッドを高価
なものにしていた。
Therefore, when using multiple nozzles, the diameter of the ink droplets ejected from each nozzle is not uniform (and the flying speed varies. Therefore, there is a limit to the miniaturization of the cross section of the nozzle, and it is difficult to use a printer with high resolution. It was difficult to apply 0.5 sRma to the nozzle end surface.
x or less), the directionality and stability of ink droplet flight will be affected due to uneven wetting of the surface. Therefore, the end face of the nozzle must be polished and finished, and this process poses serious problems in manufacturing and in the properties of the head, such as the formation of burrs on the nozzle and the adhesion of chips. To solve this problem, the cross-sectional dimensions of the nozzle in the head body were made large enough to allow chemical etching.
A method is used in which a nozzle plate having even finer nozzle holes is bonded to the nozzle end face. However, this conventional method involves visually aligning the parts using a microscope, etc., and then joining them with an adhesive, which creates new problems such as increased work time, misalignment, and clogging of the nozzle hole due to the adhesive. , the poor yield made such heads expensive.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、接着材等を用いることなく、正確な位
置決め精度でノズルプレートをノズル端面に貼り合わせ
ることのできるインクジェットプリンタ用ヘッドの製造
方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an inkjet printer head that can bond a nozzle plate to a nozzle end face with accurate positioning accuracy without using an adhesive or the like.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

本発明は、研摩されたノズル端面の少なくとも2箇所以
上の位置に位置合わせ用の凹部を設けたインクジェット
プリンタ用ヘッドの前記ノズル端面に、前記凹部に対応
する位置合わせ用の切欠部を設けたノズル板を、前記凹
部とその凹部に対応している前記切欠部とに対応する凸
部を設けた圧接用ブロックを用い、前記凸部が前記対応
する切欠部を介して前記対応する凹部に嵌合するように
して、前記ノズル板を前記ヘッドのノズル端面に押圧し
、前記ノズル板を前記ノズル端面に拡散接合することを
特徴としている。
The present invention provides a nozzle in which a nozzle end face of an inkjet printer head is provided with positioning recesses at at least two positions on a polished nozzle end face, and positioning cutouts corresponding to the recesses are provided on the nozzle end face. The plate is fitted into the corresponding recess through the corresponding notch using a pressure welding block provided with a convex portion corresponding to the recess and the notch corresponding to the recess. In this way, the nozzle plate is pressed against the nozzle end face of the head, and the nozzle plate is diffusion bonded to the nozzle end face.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は、本発明の一実施例を説明するための図であり
、インクジェットプリンタ用ヘッドのノズル部の構成を
示す斜視図である。本実施例の製造方法においては、第
2図に示した構造のヘッド本体12のノズル端面にノズ
ルプレートを貼り合わせるが、予めヘッド本体のりサー
バプレート24のノズル端面の2箇所に位置合わせ用の
凹部15a、15bを設けておく。これら凹部は、積層
前のりサーバプレート24にエツチング等の手段で切欠
きを作ることにより容易に形成できる。このような位置
合わせ用の凹部を有し、かつケミカルエツチングによっ
て余裕を持った断面寸法に形成された流路(ノズル)2
5a、25bを含むノズル面を、平面になるように研摩
して接合面18を形成する。この場合、その面粗さは数
μm程度で良い。
FIG. 1 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention, and is a perspective view showing the configuration of a nozzle section of a head for an inkjet printer. In the manufacturing method of this embodiment, a nozzle plate is bonded to the nozzle end surface of the head body 12 having the structure shown in FIG. 15a and 15b are provided. These recesses can be easily formed by making notches in the glue server plate 24 before lamination by etching or other means. A flow path (nozzle) 2 that has such a recess for positioning and is formed with a generous cross-sectional dimension by chemical etching.
The nozzle surface including 5a and 25b is polished to a flat surface to form a joint surface 18. In this case, the surface roughness may be approximately several μm.

一方、ヘッド本体12の接合面18に貼り合わすべき所
定の板厚のノズルプレート11には、ノズル本体12の
流路25a、25bにそれぞれ位置対応するように、放
電加工、レーザ、電子ビーム加工、プレス加工などの手
段により直径数十μmのノズル孔16a、16bがあけ
られている。
On the other hand, the nozzle plate 11 of a predetermined thickness to be bonded to the joint surface 18 of the head body 12 is processed by electrical discharge machining, laser machining, electron beam machining, etc. so as to correspond to the flow paths 25a and 25b of the nozzle body 12, respectively. Nozzle holes 16a and 16b each having a diameter of several tens of micrometers are formed by means such as press working.

このノズルプレート11に、ノズル本体のノズル端面の
凹部15a、15bにそれぞれ対応し、かつこれら凹部
と同一の寸法形状を持った位置合わせ用の切欠部19a
、19bを、エツチング、プレス加工等の手段により形
成する。
This nozzle plate 11 has a notch 19a for positioning that corresponds to the recesses 15a and 15b on the nozzle end face of the nozzle body and has the same dimensions and shape as these recesses.
, 19b are formed by means such as etching and pressing.

本発明では、このようなノズルプレート11を、拡散接
合法を用いてノズル本体12の接合面18に接合する。
In the present invention, such a nozzle plate 11 is bonded to the bonding surface 18 of the nozzle body 12 using a diffusion bonding method.

接合に際し、一定の押圧力を加えるための圧接用ブロッ
ク13を用意する。この圧接用ブロック13の材料とし
ては、横系合金のように所定の硬度を持ち、表面に強靭
な酸化膜を形成しやすい材料を用いる。この酸化膜は、
拡散接合時にノズルプレート11と圧接用ブロック13
の材料の原子が互いに拡散しないようすなわち拡散現象
を妨害するためであり、接合防止膜の役目をはだすもの
である。また、圧接用ブロック13には第1図に示すよ
うに押圧面に、ノズル本体12の接合面18に設けられ
た凹部15a、15bおよびノズルプレート11に設け
られた切欠部19a、19bに対応する位置合わせ用の
凸部14a。
A pressure welding block 13 is prepared to apply a certain pressing force during joining. As the material of this pressure-welding block 13, a material having a predetermined hardness such as a horizontal alloy and easily forming a tough oxide film on the surface is used. This oxide film is
Nozzle plate 11 and pressure welding block 13 during diffusion bonding
This is to prevent the atoms of the materials from diffusing into each other, that is, to obstruct the diffusion phenomenon, and serves as a bonding prevention film. As shown in FIG. Convex portion 14a for positioning.

14bを設けてお(。14b (.

このような圧接用ブロック13を用いて、ノズルプレー
ト11をノズル本体12の接合面18に拡散接合する場
合には、ノズルプレート11をこの圧接用ブロック13
の押圧面とノズル本体12の接合面18との間に挟み、
圧接用ブロック13の凸部14aがノズルプレート11
の切欠部19aおよびノズル本体12の凹部15aには
め合い、圧接用ブロック13の凸部14bがノズルプレ
ート11の切欠部19bおよびノズル本体12の凹部1
5bにはめ合うようにする。このようにすることによっ
て、ノズルプレート11をノズル本体12の接合面18
に対して容易かつ正確に位置決めすることができるので
、ノズル本体12の接合面18に対するノズルプレート
11の位置ずれが生じない。そして、圧接用ブロック1
3をノズル      糞本体12の接合面18に対し
て所定の押圧力で圧接することによって、ノズル11を
ノズル本体12の接合面18に拡散接合させる。このと
き、圧接用ブロック13は表面に形成されている酸化膜
の効果によりノズルプレート11には拡散接合せず、し
たがって圧接後容易にノズルプレート11より取りはず
すことができる。このため、圧接用ブロック13は、こ
のような製造方法に繰り返し使用することができる。
When the nozzle plate 11 is diffusion bonded to the joint surface 18 of the nozzle body 12 using such a press block 13, the nozzle plate 11 is bonded to the press block 13.
sandwiched between the pressing surface of the nozzle body 12 and the joint surface 18 of the nozzle body 12,
The convex portion 14a of the press block 13 is connected to the nozzle plate 11.
The convex part 14b of the press block 13 fits into the notch 19a of the nozzle plate 11 and the concave part 15a of the nozzle body 12
Make sure it fits into 5b. By doing this, the nozzle plate 11 can be attached to the joint surface 18 of the nozzle body 12.
Since the nozzle plate 11 can be easily and accurately positioned with respect to the joint surface 18 of the nozzle body 12, no displacement occurs. And pressure welding block 1
3 is pressed against the joint surface 18 of the nozzle body 12 with a predetermined pressing force, the nozzle 11 is diffusion-bonded to the joint surface 18 of the nozzle body 12. At this time, the press block 13 is not diffusion bonded to the nozzle plate 11 due to the effect of the oxide film formed on its surface, and therefore can be easily removed from the nozzle plate 11 after press contact. Therefore, the press block 13 can be used repeatedly in such a manufacturing method.

以上本発明の一実施例を説明したが本発明はこの実施例
に限定されることなく本発明の範囲内で種々の変形、変
更が可能なことは勿論である。例えばヘッド本体の接合
面に形成される位置合わせ用の凹部は2個に限るもので
はなくそれ以上の個数であってもよい。この場合、これ
に対応してノズルプレートの切欠部および圧接用ブロッ
クの凸部を形成することになる。また、凹部、切欠部、
凸部の形状はこれらが互いに嵌合し得るものであればど
のような形状であってもよい。
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this embodiment, and it goes without saying that various modifications and changes can be made within the scope of the present invention. For example, the number of positioning recesses formed on the joint surface of the head body is not limited to two, and may be more than two. In this case, a notch in the nozzle plate and a convex part in the press block are formed correspondingly. In addition, recesses, notches,
The shape of the convex portions may be any shape as long as they can fit together.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、顕微鏡等で人間の目によって位置合わ
せすることなく、ノズルプレートのノズル孔とヘッド本
体の流路の対応位置精度良く、ノズルプレートをヘッド
本体の接合面に貼り合わせることができる。また、本発
明によれば、接着材等を使用せずに拡散接合によりノズ
ルプレートを接合するので、ノズル目づまりがなく、堅
固な接合力を持ったノズルプレートを有する量産性の高
い安価なインクジェットプリンタ用ヘッドを製造するこ
とが可能となる。
According to the present invention, the nozzle plate can be bonded to the bonding surface of the head body with high precision in the corresponding position of the nozzle hole of the nozzle plate and the flow path of the head body without having to perform alignment with the human eye using a microscope or the like. . Further, according to the present invention, since the nozzle plates are joined by diffusion bonding without using an adhesive or the like, there is no clogging of the nozzles, and the nozzle plate has a strong joining force, making it possible to use an inexpensive inkjet printer with high mass productivity. This makes it possible to manufacture heads for various purposes.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の一実施例を説明するためにインクジ
ェットプリンタ用ヘッドのノズル部の構成を示す図、 第2図は、インクジェットプリンタ用ヘッドの本体の構
成を示す図、 第3図は、インクジェットプリンタ用ヘッドの原理を説
明するための図である。 11・・・・・ノズルプレート 13・・・・・圧接用ブロック 14a、14b・・凸部 15a、15b・−凹部 19a、19b・・切欠部 21a、21b・・ピエゾプレート 22a、22b・・エラスティスイティプレート 23a、23b・・チャンバプレート 24・・・・・・・リサーバプレート j、俸 第1図 −第2図 it/υ 第3図
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a nozzle part of an inkjet printer head for explaining an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the main body of an inkjet printer head, and FIG. FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of an inkjet printer head. 11... Nozzle plate 13... Pressure welding blocks 14a, 14b... Convex portions 15a, 15b... - Concave portions 19a, 19b... Notches 21a, 21b... Piezo plates 22a, 22b... Eras Unity plates 23a, 23b...Chamber plate 24...Reservoir plate j, Fig. 1 - Fig. 2 it/υ Fig. 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)研摩されたノズル端面の少なくとも2箇所以上の
位置に位置合わせ用の凹部を設けたインクジェットプリ
ンタ用ヘッドの前記ノズル端面に、前記凹部に対応する
位置合わせ用の切欠部を設けたノズル板を、前記凹部と
その凹部に対応している前記切欠部とに対応する凸部を
設けた圧接用ブロックを用い、前記凸部が前記対応する
切欠部を介して前記対応する凹部に嵌合するようにして
、前記ノズル板を前記ヘッドのノズル端面に押圧し、前
記ノズル板を前記ノズル端面に拡散接合することを特徴
とするインクジェットプリンタ用ヘッドの製造方法。
(1) A nozzle plate in which the nozzle end face of an inkjet printer head is provided with positioning recesses at at least two positions on the polished nozzle end face, and positioning notches corresponding to the recesses are provided. using a pressure welding block provided with a convex portion corresponding to the concave portion and the notch portion corresponding to the concave portion, the convex portion fitting into the corresponding concave portion via the corresponding notch portion; A method of manufacturing an inkjet printer head, characterized in that the nozzle plate is pressed against the nozzle end face of the head, and the nozzle plate is diffusion bonded to the nozzle end face.
JP424585A 1985-01-14 1985-01-14 Manufacture of head for ink jet printer Pending JPS61163863A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0928692A2 (en) * 1998-01-08 1999-07-14 Xerox Corporation Method for bonding a nozzle plate to an ink jet printhead
JP2006123517A (en) * 2004-09-30 2006-05-18 Brother Ind Ltd Method of manufacturing layered body and method for manufacturing inkjet head

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