JPS61162939U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61162939U JPS61162939U JP4623385U JP4623385U JPS61162939U JP S61162939 U JPS61162939 U JP S61162939U JP 4623385 U JP4623385 U JP 4623385U JP 4623385 U JP4623385 U JP 4623385U JP S61162939 U JPS61162939 U JP S61162939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- cooling
- stage
- stand
- sample stage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- 238000001073 sample cooling Methods 0.000 claims description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Description
添附図面は本考案の一実施例を示す平面断面図
である。 １：試料室、２：試料ステージ、３：試料室前
蓋、４ｘ，４ｙ：試料駆動機構、５：試料冷却保
持台、６：試料、７：試料ホルダー、８：冷却台
、９ａ，９ｂ：冷媒供給パイプ、１０：冷却供給
源、１１：可撓性熱伝導部材、１２：試料交換室
、１３：交換棒、１４：エアーロツク弁。
である。 １：試料室、２：試料ステージ、３：試料室前
蓋、４ｘ，４ｙ：試料駆動機構、５：試料冷却保
持台、６：試料、７：試料ホルダー、８：冷却台
、９ａ，９ｂ：冷媒供給パイプ、１０：冷却供給
源、１１：可撓性熱伝導部材、１２：試料交換室
、１３：交換棒、１４：エアーロツク弁。
Claims (1)
- 試料室内に移動可能に配置された試料ステージ
と、この試料ステージを任意方向に移動させる駆
動機構と、前記ステージの一部に熱的に絶縁して
取付けられた試料冷却保持台と、前記試料室内に
置かれ且つ前記試料ステージの近傍に固定された
冷却台と、その冷却台を低温に保持するための手
段と、前記試料ステージの冷却保持台と冷却台と
を熱的に接続する可撓性熱伝導部材と、試料を保
持した試料ホルダーと、その試料ホルダーを前記
冷去台から試料ステージの冷却台に移送する手段
からなる電子顕微鏡等用試料冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4623385U JPS61162939U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4623385U JPS61162939U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61162939U true JPS61162939U (ja) | 1986-10-08 |
Family
ID=30560441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4623385U Pending JPS61162939U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61162939U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5420657A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-16 | Hitachi Ltd | Sample processor for scanning electron microscope and its similar device |
| JPS59221955A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Internatl Precision Inc | 迅速クライオステ−ジによる試料観察方法 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP4623385U patent/JPS61162939U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5420657A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-16 | Hitachi Ltd | Sample processor for scanning electron microscope and its similar device |
| JPS59221955A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Internatl Precision Inc | 迅速クライオステ−ジによる試料観察方法 |
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