JPS6115395A - 半導体チツプ用モジユ−ル - Google Patents
半導体チツプ用モジユ−ルInfo
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- JPS6115395A JPS6115395A JP60079460A JP7946085A JPS6115395A JP S6115395 A JPS6115395 A JP S6115395A JP 60079460 A JP60079460 A JP 60079460A JP 7946085 A JP7946085 A JP 7946085A JP S6115395 A JPS6115395 A JP S6115395A
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- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/0287—Programmable, customizable or modifiable circuits having an universal lay-out, e.g. pad or land grid patterns or mesh patterns
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- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
A、産業上の利用分野
本発明は半導体チップ用モジュールに係り、更に具体的
に云えば、異なる各々の方向に延びる配線チャネルを有
する2組の隣接する内部配線プレーンを有している、半
導体チップ用モジュールに係る。
に云えば、異なる各々の方向に延びる配線チャネルを有
する2組の隣接する内部配線プレーンを有している、半
導体チップ用モジュールに係る。
B、開示の概要
本発明に於ては、モジュール上の配線回路網は、配線が
南北方向及び東西方向に配置されている−に方の組の配
線プレーンと、配線が対角線方向に配置されている下方
の組の配線プレーンとの2組の配線プレーンに分けられ
る。すべての貫通路が上方の組の配線プレーンを経てそ
れらの配線に接続されているが、下方の組の配線プレー
ンを経てそれらの配線に接続されている貫通路は上記貫
通路の半分しかない。従って、下方の組の配線プレーン
の貫通路の間隔は、上方の組の配線プレーンの貫通路の
間隔よりも大きく、下方の組の配線プレーンに於て、よ
り大きい配線チャネル密度が得られる。
南北方向及び東西方向に配置されている−に方の組の配
線プレーンと、配線が対角線方向に配置されている下方
の組の配線プレーンとの2組の配線プレーンに分けられ
る。すべての貫通路が上方の組の配線プレーンを経てそ
れらの配線に接続されているが、下方の組の配線プレー
ンを経てそれらの配線に接続されている貫通路は上記貫
通路の半分しかない。従って、下方の組の配線プレーン
の貫通路の間隔は、上方の組の配線プレーンの貫通路の
間隔よりも大きく、下方の組の配線プレーンに於て、よ
り大きい配線チャネル密度が得られる。
C1従来技術
従来、セラミック基板上に装着されるチップのための相
互接続配線を配置するために、種々の方法が用いられて
いる。基本的に、それらの方法は、2つの方法、即ち相
互接続路を直角方向に、即ちモジュールの縁端部に平行
に配置する方法と、モジュールの縁端部に関して対角線
方向に配置する方法とに分類される。最小限の長さの最
適な接続路は、既に存在する直角方向又は対角線方向の
配線路に関して相互に接続されるべき2つのチップ端子
の位置に応じて選択される。配線方向を例えば南北方向
から東西方向に変更させるために、貫通路が用いられる
。
互接続配線を配置するために、種々の方法が用いられて
いる。基本的に、それらの方法は、2つの方法、即ち相
互接続路を直角方向に、即ちモジュールの縁端部に平行
に配置する方法と、モジュールの縁端部に関して対角線
方向に配置する方法とに分類される。最小限の長さの最
適な接続路は、既に存在する直角方向又は対角線方向の
配線路に関して相互に接続されるべき2つのチップ端子
の位置に応じて選択される。配線方向を例えば南北方向
から東西方向に変更させるために、貫通路が用いられる
。
モジュールに於て直角方向又は対角線方向のチップ相互
接続路を選択する場合の問題が、IBMテクニカル・デ
ィスクロージャ・ブレティンの1981年6月、第73
0頁、及び1971年9月、第1316頁の文献に於て
論じられている。
接続路を選択する場合の問題が、IBMテクニカル・デ
ィスクロージャ・ブレティンの1981年6月、第73
0頁、及び1971年9月、第1316頁の文献に於て
論じられている。
前者の文献は、VLSIチップ・モジュールの要求を充
たすために対角線方向の相互接続路を用いることにより
相互接続路の長さを減少させる可能性を指摘している。
たすために対角線方向の相互接続路を用いることにより
相互接続路の長さを減少させる可能性を指摘している。
モジュール上のチップ相互接続路の長さを減少させるこ
とにより、抵抗損だけでなく、伝播の遅延も減少する。
とにより、抵抗損だけでなく、伝播の遅延も減少する。
後者の文献は、多レベルのボードに直角方向及び対角線
方向の両方の配線レベルを用いることを開示しており、
2つの異なる配線方向をボード全体に亘って交互のレベ
ルに用いている。ボード内に垂直方向に延びて、種々の
ボード・レベルの反対側に設けられている配線路に接触
している中間貫通路を経て、チップと、選択された直角
方向又は対角線方向の配線レベルとの間に、最短経路の
接続路が形成されている。
方向の両方の配線レベルを用いることを開示しており、
2つの異なる配線方向をボード全体に亘って交互のレベ
ルに用いている。ボード内に垂直方向に延びて、種々の
ボード・レベルの反対側に設けられている配線路に接触
している中間貫通路を経て、チップと、選択された直角
方向又は対角線方向の配線レベルとの間に、最短経路の
接続路が形成されている。
IBMテクニカル・ディスクロージャ・ブレティン、1
978年1月、第3092頁は、各レベルが相互に直角
方向の対の配線プレーンより成る、多レベル金属系を有
する、半導体パッケージ構造体を示している。ノイズの
結合を最小限にするために、隣接する対の配線プレ′−
ン(各プレーンには直角方向の配線路が設けられている
)が相互に対角線方向に配置されている。
978年1月、第3092頁は、各レベルが相互に直角
方向の対の配線プレーンより成る、多レベル金属系を有
する、半導体パッケージ構造体を示している。ノイズの
結合を最小限にするために、隣接する対の配線プレ′−
ン(各プレーンには直角方向の配線路が設けられている
)が相互に対角線方向に配置されている。
米国特許第4298770号明細書は、プリン1−回路
板に直角方向及び対角線方向の導電路を設けることを開
示している。この米国明細書に於ては、モジュール配線
の設計に於て45°の対角線方向だけを用いた場合より
も配線パターンの選択に於ける融通性を増すために、幾
つかの異なる対角線方向を用いることが提案されている
。
板に直角方向及び対角線方向の導電路を設けることを開
示している。この米国明細書に於ては、モジュール配線
の設計に於て45°の対角線方向だけを用いた場合より
も配線パターンの選択に於ける融通性を増すために、幾
つかの異なる対角線方向を用いることが提案されている
。
従来の配線技術に於て、相互接続したい点の間の配線路
の長さを減少させるために所与のレベルに配線を配置す
る場合の一般的な問題は取上げられているが、レベル上
の配線を、モジュールの深さの寸法に沿った貫通路によ
る相互接続配線とともに、全体として最適化することは
余り試みられていない。
の長さを減少させるために所与のレベルに配線を配置す
る場合の一般的な問題は取上げられているが、レベル上
の配線を、モジュールの深さの寸法に沿った貫通路によ
る相互接続配線とともに、全体として最適化することは
余り試みられていない。
D0発明が解決しようとする問題点
本発明の目的は、各々直角方向及び対角線方向に延びる
配線チャネルを有する2組の隣接する配線プレーンを有
し、有効な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの
設計に於てより融通のきく配線路の選択を可能にする、
高密度の半導体チップ用モジュールを提供す淋ことであ
る。
配線チャネルを有する2組の隣接する配線プレーンを有
し、有効な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの
設計に於てより融通のきく配線路の選択を可能にする、
高密度の半導体チップ用モジュールを提供す淋ことであ
る。
E0問題点を解決するための手段
本発明は、高密度の半導体チップ用モジュールに於て、
各々第1の数の貫通路を有して、第1の数の配線チャネ
ルが上記第1の数の貫通路の間に直角方向に延びること
を可能にする、複数の第1配線ブレーンと、 各々上記第1の数の貫通路に1つ置きに対応する、上記
第1の数の半数である第2の数の貫通路を有して、上記
第1の数よりも多い第2の数の配線チャネルが上記第2
の数の貫通路の間に対角線方向に延びることを可能にす
る、複数の第2配線プレーンとを有し、 上記第1配線プレーンは第1組に組立てられており、上
記第2配線プレーンは第2組に組立てられており、上記
第1組が上記チップと上記第2組との間に配置されてい
る、高密度の半導体チップ用モジュール、 を提供する。′ 本発明は、モジュールに於て配線レベルの深さが増すと
ともに、用いられている貫通路の数が減少することを利
用している。即ち、モジュールの最上部の配線レベルを
貫通する貫通路の殆どは、モジュール上に装着されてい
る半導体チップの間に相互接続路を設けるために用いら
れている。モジュールに於てより深い配線レベルに達す
るに従って、より少ない貫通路が用いられている。これ
は、プレーナ・パッケージ構造体に於ける当然の結果で
ある。
ルが上記第1の数の貫通路の間に直角方向に延びること
を可能にする、複数の第1配線ブレーンと、 各々上記第1の数の貫通路に1つ置きに対応する、上記
第1の数の半数である第2の数の貫通路を有して、上記
第1の数よりも多い第2の数の配線チャネルが上記第2
の数の貫通路の間に対角線方向に延びることを可能にす
る、複数の第2配線プレーンとを有し、 上記第1配線プレーンは第1組に組立てられており、上
記第2配線プレーンは第2組に組立てられており、上記
第1組が上記チップと上記第2組との間に配置されてい
る、高密度の半導体チップ用モジュール、 を提供する。′ 本発明は、モジュールに於て配線レベルの深さが増すと
ともに、用いられている貫通路の数が減少することを利
用している。即ち、モジュールの最上部の配線レベルを
貫通する貫通路の殆どは、モジュール上に装着されてい
る半導体チップの間に相互接続路を設けるために用いら
れている。モジュールに於てより深い配線レベルに達す
るに従って、より少ない貫通路が用いられている。これ
は、プレーナ・パッケージ構造体に於ける当然の結果で
ある。
本発明は、2組の配線レベルを用いることにより、その
当然の設計の傾向を利用している。第1組の配線レベル
は、直角方向に延びる配線を有し、第1の密度の貫通路
を有する。第2組の配線レベルは、対角線方向に延びる
配線を有し、第1の密度の半分である第2の密度の貫通
路を有する。即ち、第1組の配線レベルに於ける貫通路
の半分しか、上記第2組の配線レベル中に延びていない
。
当然の設計の傾向を利用している。第1組の配線レベル
は、直角方向に延びる配線を有し、第1の密度の貫通路
を有する。第2組の配線レベルは、対角線方向に延びる
配線を有し、第1の密度の半分である第2の密度の貫通
路を有する。即ち、第1組の配線レベルに於ける貫通路
の半分しか、上記第2組の配線レベル中に延びていない
。
上記第2組の配線レベルはすべて1組に組立てられて、
上記第1組の配線レベルの下に配置されている。第2組
の配線レベルの貫通路の密度が低いことにより、第1組
の配線レベルの貫通路の間に配置された、直角方向に延
びる配線の数よりも多い数の対角線方向に延びる配線を
、存在する貫通路の間に配置することができる。その結
果、従来技術の場合と比べて、必要とされる配線レベル
の数が減少し、正味の相互接続路の長さの平均が減少す
る。このような構造を充分に利用するためには、直角方
向の貫通路の一部を対角線方向の貫通路に再配置するこ
とが必要である。これは、直角方向の配線プレーン内で
自動再配置装置を用いて行われる。
上記第1組の配線レベルの下に配置されている。第2組
の配線レベルの貫通路の密度が低いことにより、第1組
の配線レベルの貫通路の間に配置された、直角方向に延
びる配線の数よりも多い数の対角線方向に延びる配線を
、存在する貫通路の間に配置することができる。その結
果、従来技術の場合と比べて、必要とされる配線レベル
の数が減少し、正味の相互接続路の長さの平均が減少す
る。このような構造を充分に利用するためには、直角方
向の貫通路の一部を対角線方向の貫通路に再配置するこ
とが必要である。これは、直角方向の配線プレーン内で
自動再配置装置を用いて行われる。
F、実施例
本発明は、モジュールに於て深さが増すとともに、用い
られている貫通路の数が減少することを利用している。
られている貫通路の数が減少することを利用している。
第1図に於て、最上部の配線プレーンの表面lに於ては
、殆どの貫通路が用いられている。(簡明にするために
、第1図には、2つの貫通路配線2及び3しか示してい
ない。)最底部の配線プレーンの表面4に於ては、僅か
な数の貫通路しか用いられていない。本発明は、このよ
うな用いられている貫通路の数の減少を利用して、有効
な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの設計に於
てより融通のきく配線路の選択を可能にする。
、殆どの貫通路が用いられている。(簡明にするために
、第1図には、2つの貫通路配線2及び3しか示してい
ない。)最底部の配線プレーンの表面4に於ては、僅か
な数の貫通路しか用いられていない。本発明は、このよ
うな用いられている貫通路の数の減少を利用して、有効
な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの設計に於
てより融通のきく配線路の選択を可能にする。
配線プレーン即ちレベルは、直角方向プレーン(1?プ
レーン)及び対角線方向プレーン(Dプレーン)の2組
に分けられる。Rプレーンのための従来の貫通路の格子
が第2A図に示されている。
レーン)及び対角線方向プレーン(Dプレーン)の2組
に分けられる。Rプレーンのための従来の貫通路の格子
が第2A図に示されている。
第2Δ図に於ける対角線方向の貫通路の行を1行置きに
除くと、第2B図に示されている貫通路の格子が残る。
除くと、第2B図に示されている貫通路の格子が残る。
これは、Dプレーンのための貫通路の格子である。、R
プレーンからの貫通路(点で示されている貫通路及びX
印で示されている貫通路の両方)は、Dブレーンからの
貫通路(×印で示されている貫通路のみ)と整列してい
る。
プレーンからの貫通路(点で示されている貫通路及びX
印で示されている貫通路の両方)は、Dブレーンからの
貫通路(×印で示されている貫通路のみ)と整列してい
る。
従って、RブIノーンの貫通路は、2つの型の貫通路、
即ぢ工くプIノーンだけに接続即ちアクセス可能なR貫
通路と、Rプレーン及びDプレーンの両方にアクセス可
能なり貫通路とを含む。Rプレーン及びDプレーンの両
方にアクセス可能であるという融通性を用いるためには
、配線のアルゴリズムは、R貫通路から0貫通路へのク
ロス・オーバを可能にすることにより、0貫通路を再使
用できなければならない。
即ぢ工くプIノーンだけに接続即ちアクセス可能なR貫
通路と、Rプレーン及びDプレーンの両方にアクセス可
能なり貫通路とを含む。Rプレーン及びDプレーンの両
方にアクセス可能であるという融通性を用いるためには
、配線のアルゴリズムは、R貫通路から0貫通路へのク
ロス・オーバを可能にすることにより、0貫通路を再使
用できなければならない。
0貫通路の格子を用いた場合には、現在のグラウンド・
ルールを何ら変更することなく、第3B図に示されてい
る如く、対角線方向の配線チャネル毎に2本の配線路を
設けることが可能である。
ルールを何ら変更することなく、第3B図に示されてい
る如く、対角線方向の配線チャネル毎に2本の配線路を
設けることが可能である。
図に示されている如く、例えば0.45mmの貫通路の
格子の設計の場合、チャネル密度は、Dプレーンに於け
る0、63mmの対角線方向のチャネル毎に2本である
(同一の処理の許容範囲)。これは、第3A図に示され
ている如く、Rプレーンに於ける0、45mmのチャネ
ル毎に1本のチャネル密度よりも40%亮いチャネル密
度である。
格子の設計の場合、チャネル密度は、Dプレーンに於け
る0、63mmの対角線方向のチャネル毎に2本である
(同一の処理の許容範囲)。これは、第3A図に示され
ている如く、Rプレーンに於ける0、45mmのチャネ
ル毎に1本のチャネル密度よりも40%亮いチャネル密
度である。
本発明によるモジュール配線技術の利点は、直角方向配
線チャネル及び対角線方向配線ヂャネルの両方が用いら
れることである。殆どが直角方向の配線方向を必要とす
る配線相互接続回路網をRプレーンに割当て、殆どが対
角線方向の配線方向を必要とする配線相互接続回路網を
Dプレーンに割当てることにより、回路網の長さの平均
を著しく減少させることができる。これは、必要とされ
るプレーン対の数が更に減少することを意味する。
線チャネル及び対角線方向配線ヂャネルの両方が用いら
れることである。殆どが直角方向の配線方向を必要とす
る配線相互接続回路網をRプレーンに割当て、殆どが対
角線方向の配線方向を必要とする配線相互接続回路網を
Dプレーンに割当てることにより、回路網の長さの平均
を著しく減少させることができる。これは、必要とされ
るプレーン対の数が更に減少することを意味する。
例えば、従来技術、即ちRプレーンだけを用いた場合に
20対のプレーンを必要とするモジュールについて考え
てみる。本発明を用いた場合には、10の直角方向配線
回路網を上部の10対のRプレーンに割当て、残りの対
角線方向配線回路網を残りのlO対のDプレーンに割当
てる。
20対のプレーンを必要とするモジュールについて考え
てみる。本発明を用いた場合には、10の直角方向配線
回路網を上部の10対のRプレーンに割当て、残りの対
角線方向配線回路網を残りのlO対のDプレーンに割当
てる。
Dプレーンの場合には、チャネル容量が40%大きいの
で、10対の直角方向プレーン上に設けられた配線を、
僅か7対のDプレーン上に設けることができる。この例
に於て必要とされるプレーン対の数は、Dプレーン上の
チャネル容量がより大きいので、20対から17対に減
少する。更に、対角線方向及び直角方向の配線チャネル
を用いることができることにより、回路網の長さの平均
が10%減少する。これは、必要とされるプレーン対の
数を更に2対だけ減少させる。従って、このモジュール
の設計に必要とされるプレーン対の総数は、本発明を用
いることにより、20対から15対に減少し、コストが
低下するだけでなく性能も増大する。
で、10対の直角方向プレーン上に設けられた配線を、
僅か7対のDプレーン上に設けることができる。この例
に於て必要とされるプレーン対の数は、Dプレーン上の
チャネル容量がより大きいので、20対から17対に減
少する。更に、対角線方向及び直角方向の配線チャネル
を用いることができることにより、回路網の長さの平均
が10%減少する。これは、必要とされるプレーン対の
数を更に2対だけ減少させる。従って、このモジュール
の設計に必要とされるプレーン対の総数は、本発明を用
いることにより、20対から15対に減少し、コストが
低下するだけでなく性能も増大する。
G6発明の効果
本発明により、各々直角方向及び対角線方向に延びる配
線チャネルを有する2組の隣接する配線プレーンを有し
、有効な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの設
計に於てより融通のきく配線路の選択を可能にする、高
密度の半導体チップ用モジュールが得られる。
線チャネルを有する2組の隣接する配線プレーンを有し
、有効な配線チャネル容量を増加させ、モジュールの設
計に於てより融通のきく配線路の選択を可能にする、高
密度の半導体チップ用モジュールが得られる。
第1図は本発明による2組の配線レベルを有する多レベ
ルのモジュールを簡単に示す断面図、第2A図は第1図
のモジュールに於ける上方の第1組の配線レベルの1つ
を示す平面図、第2B図は第1図のモジュールに於ける
下方の第2組の配線レベルの1つを示す平面図、第3A
図は貫通路間を直角方向に延びる配線を示す第2A図の
拡大図、第3B図は、貫通路間を対角線方向に延びる配
線を示す第2B図の拡大図である。。 l・・・・最上部の配線プレーンの表面、2.3・・・
・貫通路配線、4・・・・最底部の配線プレーンの表面
、5・・・・直角方向プレーン(Rプレーン)、6・・
・・対角線方向プレーン(Dプレーン)。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人 弁理士 山 本 仁 朗(外1名) Rプレンの貰i路 第2A図 pブレーンの貫誦J各 第2B図 RプL−レの配線2 第3A図
ルのモジュールを簡単に示す断面図、第2A図は第1図
のモジュールに於ける上方の第1組の配線レベルの1つ
を示す平面図、第2B図は第1図のモジュールに於ける
下方の第2組の配線レベルの1つを示す平面図、第3A
図は貫通路間を直角方向に延びる配線を示す第2A図の
拡大図、第3B図は、貫通路間を対角線方向に延びる配
線を示す第2B図の拡大図である。。 l・・・・最上部の配線プレーンの表面、2.3・・・
・貫通路配線、4・・・・最底部の配線プレーンの表面
、5・・・・直角方向プレーン(Rプレーン)、6・・
・・対角線方向プレーン(Dプレーン)。 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・
コーポレーション 代理人 弁理士 山 本 仁 朗(外1名) Rプレンの貰i路 第2A図 pブレーンの貫誦J各 第2B図 RプL−レの配線2 第3A図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 高密度の半導体チップ用モジュールに於て、各々第1の
数の貫通路を有して、第1の数の配線チャネルが上記第
1の数の貫通路の間に直角方向に延びることを可能にす
る、複数の第1配線プレーンと、 各々上記第1の数の貫通路に1つ置きに対応する、上記
第1の数の半数である第2の数の貫通路を有して、上記
第1の数よりも多い第2の数の配線チャネルが上記第2
の数の貫通路の間に対角線方向に延びることを可能にす
る、複数の第2配線プレーンとを有し、 上記第1配線プレーンは第1組に組立てられており、上
記第2配線プレーンは第2組に組立てられており、上記
第1組が上記チップと上記第2組との間に配置されてい
る、高密度の半導体チップ用モジュール。
Applications Claiming Priority (2)
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---|---|---|---|
US626359 | 1984-06-29 | ||
US06/626,359 US4535388A (en) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | High density wired module |
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JPH0139671B2 JPH0139671B2 (ja) | 1989-08-22 |
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