JPS6114339U - 差圧センサ− - Google Patents

差圧センサ−

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Publication number
JPS6114339U
JPS6114339U JP9697484U JP9697484U JPS6114339U JP S6114339 U JPS6114339 U JP S6114339U JP 9697484 U JP9697484 U JP 9697484U JP 9697484 U JP9697484 U JP 9697484U JP S6114339 U JPS6114339 U JP S6114339U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
differential pressure
chamber
gas
detected
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Pending
Application number
JP9697484U
Other languages
English (en)
Inventor
武雄 蒔田
義明 太斎
Original Assignee
株式会社 鷺宮製作所
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施徊についての説明図、第２図は
他の実施例に関連する冷凍装置の飽和蒸気圧曲線図、第
３図は差圧センサーの断面図、第４図は差圧センサーの
他例を示す断面図である。 ２．２’，２″・・・ピエゾ抵抗素子を有するダイヤフ
ラム、３，３’，３“・・・感温部、４．４’，４“・
・・被検知ガスの導入口、Ｒ・・・感温部を有する室、
Ｒ２・・・被検知ガスの導入口を有する室。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ピエゾ抵抗素子を有するダイヤフラム２，２′，２″に
    より感温部を有する室Ｒ１と被検知ガスの導入口を有す
    る室Ｒ２に区画し、感温部を有する室に被検知ガスと同
    じガスを封入して成ることを特徴とする差圧センサー。
JP9697484U 1984-06-29 1984-06-29 差圧センサ− Pending JPS6114339U (ja)

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JP9697484U JPS6114339U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 差圧センサ−

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JP9697484U JPS6114339U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 差圧センサ−

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JPS6114339U true JPS6114339U (ja) 1986-01-28

Family

ID=30656500

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JP9697484U Pending JPS6114339U (ja) 1984-06-29 1984-06-29 差圧センサ−

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS559488B2 (ja) * 1974-12-26 1980-03-10

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS559488B2 (ja) * 1974-12-26 1980-03-10

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