JPS61139735A - 光フアイバ圧力計 - Google Patents
光フアイバ圧力計Info
- Publication number
- JPS61139735A JPS61139735A JP26172384A JP26172384A JPS61139735A JP S61139735 A JPS61139735 A JP S61139735A JP 26172384 A JP26172384 A JP 26172384A JP 26172384 A JP26172384 A JP 26172384A JP S61139735 A JPS61139735 A JP S61139735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- fiber bundle
- light
- optical fiber
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明はレーザ光源の光量変動と、7アイパ内で発生
する光量変動を取りのぞき、大電流・高電圧に伴う電磁
誘導雑音lこ強い圧力計1ご関する。
する光量変動を取りのぞき、大電流・高電圧に伴う電磁
誘導雑音lこ強い圧力計1ご関する。
従来の歪式圧力計齋こおいては工業プラント内の電力機
器、動力機械の大電流高電圧化1こ伴う電磁誘導雑音に
よるノイズが入り出力圧の誤差が発生し、この圧力を使
用しでいる制御機器1こ誤動作が起る。この電磁気的な
影響に強いものとして光ファ、イパ応用の圧力計が試作
されでいる。試作された圧力計を第2図に示す。これは
、圧力10を受けるダイヤフラム鏡11]こ光源用光フ
ァイバ12で感光素子15に投光し、電気信号1こ変換
し、ダイヤフラム鏡の歪)こよる反射光の変化から圧力
を測定するものである。この試作機の問題点は、光源の
光量変動が、みかけの圧力変動として現われることと、
振動、変形1こより発生するファイバ内の光量の透過量
の変動がみかけの圧力変動として現われることにある。
器、動力機械の大電流高電圧化1こ伴う電磁誘導雑音に
よるノイズが入り出力圧の誤差が発生し、この圧力を使
用しでいる制御機器1こ誤動作が起る。この電磁気的な
影響に強いものとして光ファ、イパ応用の圧力計が試作
されでいる。試作された圧力計を第2図に示す。これは
、圧力10を受けるダイヤフラム鏡11]こ光源用光フ
ァイバ12で感光素子15に投光し、電気信号1こ変換
し、ダイヤフラム鏡の歪)こよる反射光の変化から圧力
を測定するものである。この試作機の問題点は、光源の
光量変動が、みかけの圧力変動として現われることと、
振動、変形1こより発生するファイバ内の光量の透過量
の変動がみかけの圧力変動として現われることにある。
この発明は上述した従来装置の欠点を改良したもので、
光源の光量変動と、ファイバ内で発生する光量変動を取
りのぞき、大電流・高電圧に伴う電磁誘導雑音に強い光
ファイバ圧力計を提供することを目的とする。
光源の光量変動と、ファイバ内で発生する光量変動を取
りのぞき、大電流・高電圧に伴う電磁誘導雑音に強い光
ファイバ圧力計を提供することを目的とする。
圧力を受ける中心部が反射率が低く周辺lこ向って反射
率の上昇する金属性のダイヤフラム面に光源用光ファイ
バ・バンドルでレーザ光線を投光し、その反射光を受光
用ファイバ・バンドルで感光素子に投光し、電気信号(
こ変換する回路と、レーザ光源の光量変動と振動変形に
よって光源用光ファイバ・バンドルおよび受光用ファイ
バ・バンドル内で発生する光量変動を補正するための補
正用のレーザ光を、みちびくための補正用ファイバ・バ
ンドルと、補正用のレーザ光を感光素子1こ投光し電気
信号に変換する回路と、受光用のレーザ光を電気信号1
こ変換した回路からの電気信号と、補整用レーザ光を電
気信号1こ変換した回路からの電気信号を割り算して、
レーザ光源変動および振動変形によって発生する光源用
レーザ・バンドル内と受光用レーザ・バンドル内での光
量変動を補整する回路1こて、受圧ダイヤフラム面の歪
だけ1こよる反射光の変化から圧力を測定する光ファイ
バ圧力計である。
率の上昇する金属性のダイヤフラム面に光源用光ファイ
バ・バンドルでレーザ光線を投光し、その反射光を受光
用ファイバ・バンドルで感光素子に投光し、電気信号(
こ変換する回路と、レーザ光源の光量変動と振動変形に
よって光源用光ファイバ・バンドルおよび受光用ファイ
バ・バンドル内で発生する光量変動を補正するための補
正用のレーザ光を、みちびくための補正用ファイバ・バ
ンドルと、補正用のレーザ光を感光素子1こ投光し電気
信号に変換する回路と、受光用のレーザ光を電気信号1
こ変換した回路からの電気信号と、補整用レーザ光を電
気信号1こ変換した回路からの電気信号を割り算して、
レーザ光源変動および振動変形によって発生する光源用
レーザ・バンドル内と受光用レーザ・バンドル内での光
量変動を補整する回路1こて、受圧ダイヤフラム面の歪
だけ1こよる反射光の変化から圧力を測定する光ファイ
バ圧力計である。
レーザ光源の出力変動と、振動変形1こよって発生する
光源用ファイバ・バンドル内および受光用ファイバ・バ
ンドル内の光量変動によるみかけの圧力変動がなくなる
。
光源用ファイバ・バンドル内および受光用ファイバ・バ
ンドル内の光量変動によるみかけの圧力変動がなくなる
。
本発明の詳細をその実施例を示す第1図によって説明す
ると、レーザ光源1よりのレーザ光線2は、外部擾乱の
影響なし1こ光源用光ファイバ・バンドル3と、補正光
ファイバ・バンドル4蚤こ入光する。光源用光ファイバ
3と補正用光ファイバ4および受光用のファイバ6は、
同一の線内1こたばねられでおり、加圧、加振)こ上り
たばねられたファイバ線が、振動、変形しても、光源用
ファイバと受光用ファイバの光量透過率の変化と補正用
光ファイバの光量透過率の変化比は一定となる。光源用
光ファイバ・バンドル3によって、レーザ光2は、受圧
ダイヤフラム面5に照射される。受圧ダイヤフラム面5
は、中心部が反射率が低く周辺に向って反射率の上昇す
る金属製であり、圧力を受けると、ダイヤフラムが変動
し、レーザ光線の反射光量が変化する。反射レーザ光線
は、受光用ファイバ・バンドル6で集められ、感光素子
71こ導ひかれ、電気信号に変換される。出力調整器8
によって、感光素子よりの出力信号と圧力との直線関係
を作る。補正用光ファイバ・バンドル4に入光したレー
ザ光線2は、受圧ダイアフラム面に照射されず、そのま
ま感光素子71こ導びかれ電気信号に変換される。出力
調整器8によって、圧力を受けていない時の受光用ファ
イバ・バンドルで集められて感光素子7に導ひかれて電
気信号Iζ変換された電圧値と同じ電圧に調整される。
ると、レーザ光源1よりのレーザ光線2は、外部擾乱の
影響なし1こ光源用光ファイバ・バンドル3と、補正光
ファイバ・バンドル4蚤こ入光する。光源用光ファイバ
3と補正用光ファイバ4および受光用のファイバ6は、
同一の線内1こたばねられでおり、加圧、加振)こ上り
たばねられたファイバ線が、振動、変形しても、光源用
ファイバと受光用ファイバの光量透過率の変化と補正用
光ファイバの光量透過率の変化比は一定となる。光源用
光ファイバ・バンドル3によって、レーザ光2は、受圧
ダイヤフラム面5に照射される。受圧ダイヤフラム面5
は、中心部が反射率が低く周辺に向って反射率の上昇す
る金属製であり、圧力を受けると、ダイヤフラムが変動
し、レーザ光線の反射光量が変化する。反射レーザ光線
は、受光用ファイバ・バンドル6で集められ、感光素子
71こ導ひかれ、電気信号に変換される。出力調整器8
によって、感光素子よりの出力信号と圧力との直線関係
を作る。補正用光ファイバ・バンドル4に入光したレー
ザ光線2は、受圧ダイアフラム面に照射されず、そのま
ま感光素子71こ導びかれ電気信号に変換される。出力
調整器8によって、圧力を受けていない時の受光用ファ
イバ・バンドルで集められて感光素子7に導ひかれて電
気信号Iζ変換された電圧値と同じ電圧に調整される。
受光用ファイバ・バンドルから変換された電圧と、補正
用ファイバ・バンドルから変換された、おのおのの電気
信号は割り算器9によって、受圧ダイヤフラム面5の変
形(こよって変化した光量tこみ合う電気信号だけを出
力する。
用ファイバ・バンドルから変換された、おのおのの電気
信号は割り算器9によって、受圧ダイヤフラム面5の変
形(こよって変化した光量tこみ合う電気信号だけを出
力する。
第1図は本発明の光ファイバ圧力計の一実施例を示す断
面図、第2図は従来の光ファイバ圧力計の断面図である
。 1・・・レーザ光源 2・・・レーザ光線3.12
・・・光源用ファイバ・バンドル4・・・補正用ファイ
バ・バンドル 5・・・受圧ダイヤフラム
面図、第2図は従来の光ファイバ圧力計の断面図である
。 1・・・レーザ光源 2・・・レーザ光線3.12
・・・光源用ファイバ・バンドル4・・・補正用ファイ
バ・バンドル 5・・・受圧ダイヤフラム
Claims (1)
- レーザ光線を送出するレーザ光源と、レーザ光線を受圧
ダイヤフラム面に運ぶ光源用ファイバ・バンドルと、光
量変動補正用のレーザ光線を運ぶ補正用のファイバ・バ
ンドルと、中心部が反射率が低く周辺に向って反射率の
上昇する金属製受圧ダイヤフラムと、光源用、補正用の
光ファイバ・バンドルの回りに配置されており受圧ダイ
ヤフラム面より反射レーザ光線を感光素子に運ぶ受光用
光ファイバ・バンドルと、光の強弱を電気信号に変える
感光素子と、感光素子よりの出力信号と受圧力との直線
関係を作るための出力調整回路と、レーザ光源の光量変
動と振動、変形の影響により光源用および受圧用のファ
イバ・バンドル内で発生する光量変動を補正するための
割算回路を具備して成る光ファイバ圧力計。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26172384A JPS61139735A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 光フアイバ圧力計 |
US06/790,501 US4687927A (en) | 1984-12-13 | 1985-10-23 | Pressure measuring system |
EP85115062A EP0184721B1 (en) | 1984-12-13 | 1985-11-27 | Pressure measuring system |
DE8585115062T DE3586238T2 (de) | 1984-12-13 | 1985-11-27 | Druckmesssystem. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26172384A JPS61139735A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 光フアイバ圧力計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61139735A true JPS61139735A (ja) | 1986-06-27 |
JPH0533336B2 JPH0533336B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=17365810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26172384A Granted JPS61139735A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 光フアイバ圧力計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61139735A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1015855A1 (en) * | 1997-02-06 | 2000-07-05 | Optrand, Inc. | Fuel injectors with integral fiber optic pressure sensors and associated compensation and status monitoring devices |
-
1984
- 1984-12-13 JP JP26172384A patent/JPS61139735A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1015855A1 (en) * | 1997-02-06 | 2000-07-05 | Optrand, Inc. | Fuel injectors with integral fiber optic pressure sensors and associated compensation and status monitoring devices |
EP1015855A4 (en) * | 1997-02-06 | 2001-10-24 | Optrand Inc | FUEL INJECTION UNITS WITH INTEGRATED FIBER OPTICAL PRESSURE SENSORS AND RELATED COMPENSATION AND MONITORING DEVICES |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0533336B2 (ja) | 1993-05-19 |
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