JPS61133572U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61133572U JPS61133572U JP1670985U JP1670985U JPS61133572U JP S61133572 U JPS61133572 U JP S61133572U JP 1670985 U JP1670985 U JP 1670985U JP 1670985 U JP1670985 U JP 1670985U JP S61133572 U JPS61133572 U JP S61133572U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell gear
- vapor phase
- phase growth
- growth apparatus
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 4
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の断面図、第2図は
従来例の断面図である。 12…石英ベルジヤ、15…サセプタ、16…
ウエハ、21…金属ベルジヤ、31…反射板。
従来例の断面図である。 12…石英ベルジヤ、15…サセプタ、16…
ウエハ、21…金属ベルジヤ、31…反射板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 サセプタを覆う石英ベルジヤと、同石英ベル
ジヤを覆う金属ベルジヤとを有する気相成長装置
において、前記金属ベルジヤの上部内面にサセプ
タに対する反射板を取付け、前記金属ベルジヤと
石英ベルジヤ上部との間に前記反射板を位置させ
るようにしたことを特徴とする気相成長装置。 2 反射板の下側面に反射効率の高い金属の膜を
設けたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第1項記載の気相成長装置。 3 反射板の曲率半径をサセプタ上面の中心C1
と反射板下面の中心C2との距離にほぼ等しいか
それ以上にしたことを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1670985U JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1670985U JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61133572U true JPS61133572U (ja) | 1986-08-20 |
JPH0345954Y2 JPH0345954Y2 (ja) | 1991-09-27 |
Family
ID=30503737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1670985U Expired JPH0345954Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0345954Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP1670985U patent/JPH0345954Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0345954Y2 (ja) | 1991-09-27 |
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