JPS61117831A - 焦点合せ装置 - Google Patents
焦点合せ装置Info
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- JPS61117831A JPS61117831A JP59238348A JP23834884A JPS61117831A JP S61117831 A JPS61117831 A JP S61117831A JP 59238348 A JP59238348 A JP 59238348A JP 23834884 A JP23834884 A JP 23834884A JP S61117831 A JPS61117831 A JP S61117831A
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- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、レンズの焦点に試料面を合せる装置に係夛、
特に縮小投影露光装置の縮小レンズの焦点に試料面を合
せるための焦点合せ装置に関するＯ〔発明の背景〕 従来の焦点合せ装置としては、特開昭５６−４２２０５
号記載の装置がある。即ち、断面が細長い一本の光束を
試料面に斜めから照射し、この反射光を光電変換して信
号とし、試料面の焦点位置からのメレ量を検出するよう
な装置となっていたＯ この装置によると試料面上の小さい領域に一本の光束を
照射している九め、試料面上に凹・凸部があったシ、反
シやうねシ等があって、このうねｐ等に光束が照射する
と、これらの影響を受けて正確な焦点合せが難かしいと
いう問題かおった。
特に縮小投影露光装置の縮小レンズの焦点に試料面を合
せるための焦点合せ装置に関するＯ〔発明の背景〕 従来の焦点合せ装置としては、特開昭５６−４２２０５
号記載の装置がある。即ち、断面が細長い一本の光束を
試料面に斜めから照射し、この反射光を光電変換して信
号とし、試料面の焦点位置からのメレ量を検出するよう
な装置となっていたＯ この装置によると試料面上の小さい領域に一本の光束を
照射している九め、試料面上に凹・凸部があったシ、反
シやうねシ等があって、このうねｐ等に光束が照射する
と、これらの影響を受けて正確な焦点合せが難かしいと
いう問題かおった。
又、細長い光束を得るためにスリット像を試料面に投影
し、試料面からのこの反射偉を受光素子前面に設は几略
同形の検出スリットに結像させ、この検出スリットを相
対的に振動させることにより変論された光信号を位相検
波して焦点合せ用の検出信号を得ていた。
し、試料面からのこの反射偉を受光素子前面に設は几略
同形の検出スリットに結像させ、この検出スリットを相
対的に振動させることにより変論された光信号を位相検
波して焦点合せ用の検出信号を得ていた。
この装置によると、検出スリットを振動させる可動部が
あった）、位相検波部があったシして構成が複雑化し、
検出信号の精度が低く、迅速で高精度の焦点合せができ
ないという問題もあった。
あった）、位相検波部があったシして構成が複雑化し、
検出信号の精度が低く、迅速で高精度の焦点合せができ
ないという問題もあった。
本発明は、上記問題に鑑み創案されたものであり、その
目的線、試料面の表面形状にかかわらず高ａ度の焦点検
出、焦点合せを可能にした光学的な焦点合せ装置を提供
することにある。
目的線、試料面の表面形状にかかわらず高ａ度の焦点検
出、焦点合せを可能にした光学的な焦点合せ装置を提供
することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、露光用の縮小レ
ンズに対向して設けられたテーブルと、このテーブル上
に載置され九つェへ等の試料と、この試料面に斜めから
複数のスリット像をなす光束を照射する照射手段と、こ
れら光束の反射光を複数スリットを有するの検出スリッ
ト上に微小角傾けて結像させてモワレ縞を発生し、この
モワレ縞を受光し試料面の前記絢小レンズに対する距離
を検出する検出手段と、その検出信号に従い前記縮小レ
ンズと前記試料面との距離をｌ！ｌ！！整するｖＩ４整
手段とを設け、試料面が縮小レンズの焦点距離に位置し
たときの前記モワレ縞の結像を前記検出手段に記憶し、
該試料面が焦点距離から移動した場合、該検出手段によ
ル検出した検出信号が記憶された結像信号と一致するよ
うに前記調整手段により、該試料面を前記焦点距離に調
整するようＫした焦点合せ装置を特徴とし友ものである
。
ンズに対向して設けられたテーブルと、このテーブル上
に載置され九つェへ等の試料と、この試料面に斜めから
複数のスリット像をなす光束を照射する照射手段と、こ
れら光束の反射光を複数スリットを有するの検出スリッ
ト上に微小角傾けて結像させてモワレ縞を発生し、この
モワレ縞を受光し試料面の前記絢小レンズに対する距離
を検出する検出手段と、その検出信号に従い前記縮小レ
ンズと前記試料面との距離をｌ！ｌ！！整するｖＩ４整
手段とを設け、試料面が縮小レンズの焦点距離に位置し
たときの前記モワレ縞の結像を前記検出手段に記憶し、
該試料面が焦点距離から移動した場合、該検出手段によ
ル検出した検出信号が記憶された結像信号と一致するよ
うに前記調整手段により、該試料面を前記焦点距離に調
整するようＫした焦点合せ装置を特徴とし友ものである
。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明するＯ
まず、本実施例の概要を説明する〇
第１図に示すように１照射手段１００の光源６から出九
光束はスリット８を通り、ウエノ・等の試料面２に斜め
から照射し、この試料面２から反射する。検出手段１０
１はこの反射光束を検出スリット１５上に結像する。こ
の検出スリット１３を第２図に示すように、微小角Ｉｊ
ｅだけ傾けると同図に示すようなモワレ縞２０が生ずる
。このモワレ縞２０を第１図の対物レンズ１５１Ｃよ）
拡大し、受光素子１７例えばエリア形、又はリニア形光
センサに結像させ、とのモワレ縞２０の像を検出するよ
うにする■調整手段１０２は、検出され友信号に従い試
料２を載置するテーブル４の矢印り方向（縮小レンズ１
の軸方向）への移動量をｐｌ整するＯ 以上の構成によ〕、予め縮小レンズ１に対する試料面２
が焦点距離に保持され几とき、受光素子１７上のモワレ
縞２０のｇＲを記憶しておき、この位置から試料２がメ
したときテーブル４を移動させて焦点合せを行っている
◇従って高精度の焦点合せが可能となる〇 次に、本実施例を更に詳しく説明する。
光束はスリット８を通り、ウエノ・等の試料面２に斜め
から照射し、この試料面２から反射する。検出手段１０
１はこの反射光束を検出スリット１５上に結像する。こ
の検出スリット１３を第２図に示すように、微小角Ｉｊ
ｅだけ傾けると同図に示すようなモワレ縞２０が生ずる
。このモワレ縞２０を第１図の対物レンズ１５１Ｃよ）
拡大し、受光素子１７例えばエリア形、又はリニア形光
センサに結像させ、とのモワレ縞２０の像を検出するよ
うにする■調整手段１０２は、検出され友信号に従い試
料２を載置するテーブル４の矢印り方向（縮小レンズ１
の軸方向）への移動量をｐｌ整するＯ 以上の構成によ〕、予め縮小レンズ１に対する試料面２
が焦点距離に保持され几とき、受光素子１７上のモワレ
縞２０のｇＲを記憶しておき、この位置から試料２がメ
したときテーブル４を移動させて焦点合せを行っている
◇従って高精度の焦点合せが可能となる〇 次に、本実施例を更に詳しく説明する。
第１図に示すように、１は縮小露光装置の縮小レンズで
う夛、この縮小レンズ１に対向してウェハ等の試料２を
載置するテーブル４が設けられている。この試料２μ縮
小レンズ１０光軸に対して直交する平面上にあり、試料
２は公知のウェハチャック５を介してテーブル４上に保
持されている。
う夛、この縮小レンズ１に対向してウェハ等の試料２を
載置するテーブル４が設けられている。この試料２μ縮
小レンズ１０光軸に対して直交する平面上にあり、試料
２は公知のウェハチャック５を介してテーブル４上に保
持されている。
照射手段１００は、光源６から出る光束を拡大レンズ７
によ）拡大しスリット８に入射する。スリット８には第
２図に示すように開口部８ａ、＄ｊへい部８ｂがＷのピ
ッチで複数個平行に格子状に形成されている。このスリ
ット８ｔ−略垂直に通過した光束は格子像となってレン
ズ９ｔ−通シ、鏡１０から反射されて試料表？１０２（
ウェハ）上に斜めに照射される。一方テーブル４はモー
タ５により縮小レンズ１の方向に離隔接近可能になって
いる・試料２の表面から反射した格子像の光束は検出手
段１０１０入射用の鏡１１及びレンズ１２を通シ、検出
スリット１５に略垂直に投影される。この検出スリット
１３は第２図に示すように開ロ＄１３ａト遮へい部１５
ｂがＷのピッチで複数偽平行に形成されている。前記ス
リット８と同形の検出スリット１５は第２図に示すよう
に、スリット８の投影する格子像の光束の長平方向に対
して角度θだけ傾いている。従って、格子像の光束と検
出スリット１５の開口部１３ａとはモワレ縞２０’ｉ発
生させ、そのピッチＷはＷ＝ｗ／２５ｉｎ（＃／２）と
なｐ１−が充分小さい場合（Ｉはラジアン）Ｗ＝ｗ／１
の近似式が成立する。これはモワレ縞２ｏの間隔Ｗがこ
れらスリットのピッチＷを１／＃（＃＜＜１）倍したも
のに１′！ぼ等しい。
によ）拡大しスリット８に入射する。スリット８には第
２図に示すように開口部８ａ、＄ｊへい部８ｂがＷのピ
ッチで複数個平行に格子状に形成されている。このスリ
ット８ｔ−略垂直に通過した光束は格子像となってレン
ズ９ｔ−通シ、鏡１０から反射されて試料表？１０２（
ウェハ）上に斜めに照射される。一方テーブル４はモー
タ５により縮小レンズ１の方向に離隔接近可能になって
いる・試料２の表面から反射した格子像の光束は検出手
段１０１０入射用の鏡１１及びレンズ１２を通シ、検出
スリット１５に略垂直に投影される。この検出スリット
１３は第２図に示すように開ロ＄１３ａト遮へい部１５
ｂがＷのピッチで複数偽平行に形成されている。前記ス
リット８と同形の検出スリット１５は第２図に示すよう
に、スリット８の投影する格子像の光束の長平方向に対
して角度θだけ傾いている。従って、格子像の光束と検
出スリット１５の開口部１３ａとはモワレ縞２０’ｉ発
生させ、そのピッチＷはＷ＝ｗ／２５ｉｎ（＃／２）と
なｐ１−が充分小さい場合（Ｉはラジアン）Ｗ＝ｗ／１
の近似式が成立する。これはモワレ縞２ｏの間隔Ｗがこ
れらスリットのピッチＷを１／＃（＃＜＜１）倍したも
のに１′！ぼ等しい。
ここで鏡１０から試料表面２上に照射されろ光束は試料
表？ｉ］２とψの傾き角をなすので、試料表面２から、
反射する光束は纂２図に示すように横力向に格子像が拡
がる、その拡がシ量はＳｉｎ ２ψ／ｓｉｎψ倍となっ
ている。従って、同図に示すように試料表面２が距離ｌ
だけ縮小レンズ１から軸方向に移動すると、鏡１１から
出る反射格子像の光束はｂ Ｌ ＝（ａｉｎ ２ψ／ｓ
ｉｎψ）−／だけ横に移動する。ここでＬ＝Ｗとなると
モワレ縞２０は距離Ｗ移動する。
表？ｉ］２とψの傾き角をなすので、試料表面２から、
反射する光束は纂２図に示すように横力向に格子像が拡
がる、その拡がシ量はＳｉｎ ２ψ／ｓｉｎψ倍となっ
ている。従って、同図に示すように試料表面２が距離ｌ
だけ縮小レンズ１から軸方向に移動すると、鏡１１から
出る反射格子像の光束はｂ Ｌ ＝（ａｉｎ ２ψ／ｓ
ｉｎψ）−／だけ横に移動する。ここでＬ＝Ｗとなると
モワレ縞２０は距離Ｗ移動する。
次に１スリツト８の格子状の光束と検出スリット１５と
の作るモワレ縞２ｏの映像は検出スリット１３の膏後光
軸上に設けられた対物レンズ１５により拡大され、拡大
されたモワレ縞２ｏは受光素子１７に結像される。１４
は検出スリット１３と対物レンズ１５との中に介在する
圧縮用レンズであり、１６は受光素子１７前面に設けら
れた圧縮用レンズである◎受光素子１７はリニアセンサ
であるがエリアセンサを使用することもできる。
の作るモワレ縞２ｏの映像は検出スリット１３の膏後光
軸上に設けられた対物レンズ１５により拡大され、拡大
されたモワレ縞２ｏは受光素子１７に結像される。１４
は検出スリット１３と対物レンズ１５との中に介在する
圧縮用レンズであり、１６は受光素子１７前面に設けら
れた圧縮用レンズである◎受光素子１７はリニアセンサ
であるがエリアセンサを使用することもできる。
第３図に示すように、スリット８の形状を１８で示す範
囲だとすると、試料面２上では横方向に拡大されて１９
で示す広い範囲となる。次にこの反射光を検出スリット
１５に投射して作られるモワレ縞は２０で示す範囲とな
るが、この範囲２０は対物レンズ１５の視野よシ大きく
逸脱する光束ができるため、圧縮レンズ１４で縦方向に
縮小圧縮し２１で示す範囲として対物レンズ１５に入射
する。さらに対物レンズ１５で全方向に拡大され九モワ
レ縞はそのｔまでは受光素子１７としてのエリア形セン
サに入力きれないため、今度は圧縮用レンズ１６で横方
向に縮小圧縮して範囲２２として全光束を入射させる。
囲だとすると、試料面２上では横方向に拡大されて１９
で示す広い範囲となる。次にこの反射光を検出スリット
１５に投射して作られるモワレ縞は２０で示す範囲とな
るが、この範囲２０は対物レンズ１５の視野よシ大きく
逸脱する光束ができるため、圧縮レンズ１４で縦方向に
縮小圧縮し２１で示す範囲として対物レンズ１５に入射
する。さらに対物レンズ１５で全方向に拡大され九モワ
レ縞はそのｔまでは受光素子１７としてのエリア形セン
サに入力きれないため、今度は圧縮用レンズ１６で横方
向に縮小圧縮して範囲２２として全光束を入射させる。
次に、調整手段１０２は前記の受光素子１７と、この受
光素子から充電変換された映像信号を入力する検出器１
０５と、この検出器１０５からの差信号を入力しモータ
５に駆動信号を発生する指令器１０４とから構成されて
いる◇検出器１３内のメモリには、縮小レンズ１に対し
て試料面２が焦点位置にあるときの基準モワレ縞の映像
信号が記憶されている。
光素子から充電変換された映像信号を入力する検出器１
０５と、この検出器１０５からの差信号を入力しモータ
５に駆動信号を発生する指令器１０４とから構成されて
いる◇検出器１３内のメモリには、縮小レンズ１に対し
て試料面２が焦点位置にあるときの基準モワレ縞の映像
信号が記憶されている。
上記の構成により、スリット８を通過した格子儂の光束
はウェハ等の試料７ｉｌｉ２から反射し、試料面２が縮
小レンズＩＫ対する所定の焦点位置から移動すると、検
出スリット１３を出てモワレ縞Ｚを作った光束像は増大
されて移動する。ウェハ等の試料２を無光のため交換す
る場合にテーブル４を縮小レンズ１から離した後再度焦
点合せをするからである０又スリツト８と検出スリット
１３との作る明暗のモワレ縞２０は、一般に格子を作る
これらエリア）８，１３の相対移動に較べて大きく移動
する◇ この装置において扛スリッ）８．１３は固定となってい
るが反射面である試料面２の上下移動が前述したように
拡大されてスリット８の移動となって検出スリット１３
上に投射され移動し九モワレ縞２０が作られる。
はウェハ等の試料７ｉｌｉ２から反射し、試料面２が縮
小レンズＩＫ対する所定の焦点位置から移動すると、検
出スリット１３を出てモワレ縞Ｚを作った光束像は増大
されて移動する。ウェハ等の試料２を無光のため交換す
る場合にテーブル４を縮小レンズ１から離した後再度焦
点合せをするからである０又スリツト８と検出スリット
１３との作る明暗のモワレ縞２０は、一般に格子を作る
これらエリア）８，１３の相対移動に較べて大きく移動
する◇ この装置において扛スリッ）８．１３は固定となってい
るが反射面である試料面２の上下移動が前述したように
拡大されてスリット８の移動となって検出スリット１３
上に投射され移動し九モワレ縞２０が作られる。
従りて、検出器１０５に記憶され次基準モワレ縞２０の
映像信号と試料２交換後におけるモワレ縞の映像信号と
が検出器１０５により比較される。
映像信号と試料２交換後におけるモワレ縞の映像信号と
が検出器１０５により比較される。
もしこれらの映像信号が互いにズしてい九場合には、こ
の時ズレの方向性も判別されるので、指令器１０４によ
りモータ５が駆動されテーブル４を所定方向に移動する
。縮小レンズ１に対する試料面２が焦点位置に合うと、
前記モワレ縞２０の映像信号が一致し、七〜り５は停止
しテーブル４とともにウェハ等試料２も焦点位置に停止
され、縮小レンズ１によるウェハ上への縮小露光が行な
われる。
の時ズレの方向性も判別されるので、指令器１０４によ
りモータ５が駆動されテーブル４を所定方向に移動する
。縮小レンズ１に対する試料面２が焦点位置に合うと、
前記モワレ縞２０の映像信号が一致し、七〜り５は停止
しテーブル４とともにウェハ等試料２も焦点位置に停止
され、縮小レンズ１によるウェハ上への縮小露光が行な
われる。
第４図に示すよりに、２本以上の開口部を肩するスリッ
ト８の格子像の光束１９を面範囲として試料１ｌｋＩ２
上に投射し、これら格子像と検出スリット１３とにより
モワレ縞を作ることにより、試料面２が段差部を有する
場合（イ）もしくは反シの形状（ロ）でろっても、試料
面２に関する平均化し良熱点位置が設定できるため従来
の装置に較べて高装置の焦点合せが可能となる。
ト８の格子像の光束１９を面範囲として試料１ｌｋＩ２
上に投射し、これら格子像と検出スリット１３とにより
モワレ縞を作ることにより、試料面２が段差部を有する
場合（イ）もしくは反シの形状（ロ）でろっても、試料
面２に関する平均化し良熱点位置が設定できるため従来
の装置に較べて高装置の焦点合せが可能となる。
本実施例扛、上述のようにウェハ等の試料面に多数のス
リット（格子儂）を投影して、投影するスリットと同形
で微小角回動させ几他方の検出スリットに、反射格子儂
を投射しモワレ縞を発生させる。このモワレ縞の移動量
を検出するようにした焦点合せ装置とじ７を次め、ウェ
ハ等の表面形状を平均化して検出でき、ウェハ等の表面
形状Ｋかかわらず安定した高精度の検出、焦点位置合せ
か可能となる◎又従来のような振動源かなく電気的に動
作される比誤差発生要因が少なく、安定した焦点合せが
行われる。
リット（格子儂）を投影して、投影するスリットと同形
で微小角回動させ几他方の検出スリットに、反射格子儂
を投射しモワレ縞を発生させる。このモワレ縞の移動量
を検出するようにした焦点合せ装置とじ７を次め、ウェ
ハ等の表面形状を平均化して検出でき、ウェハ等の表面
形状Ｋかかわらず安定した高精度の検出、焦点位置合せ
か可能となる◎又従来のような振動源かなく電気的に動
作される比誤差発生要因が少なく、安定した焦点合せが
行われる。
なお、検出スリットの代わシに、格子蛍の結偉位置に２
次元固体アレイセンサを設置すれは、同様にモワレ縞を
発生させることができ同様な効果か得られる。
次元固体アレイセンサを設置すれは、同様にモワレ縞を
発生させることができ同様な効果か得られる。
以上の説明によって明らかのように、本発明によれは±
１２μｍ以下の高ｎ度の焦点合せが可能となシ、また、
ウェハ表面のパターンの形状に影４１ｔ−受けにくい焦
点合＜が司能となる。したがりて高屏像で歩留夛向上の
よい露光ができるという効果がある。
１２μｍ以下の高ｎ度の焦点合せが可能となシ、また、
ウェハ表面のパターンの形状に影４１ｔ−受けにくい焦
点合＜が司能となる。したがりて高屏像で歩留夛向上の
よい露光ができるという効果がある。
第１図は本発Ｆ！ＡＫ係る焦点合せ装置の構成図、第２
図はモワレ縞の発生原理−１第５図はスリット（格子）
像の各位置における大きさを示す構成図、第４図は多数
スリットが試料面に投射される説ＢＡ図である。 １・・・趣小レンズ ２・・・ウェハ（試料）４・
・・テーブル ５・・・モータ６・・・光源
８・・・スリット９．１２・・・レンズ １
０．１１・・・鏡１５・・・検出スリット １４．１６
・・・圧總用レンズ１５・・・対物レンズ １７・・
・受光素子２０・・・モワレ縞 １００・・・照射
手段１０１・・・検出手段 １０２・・・ｖＩ４整手
段。 第１図 ｚＸ ず３図 す４図 （イ）
図はモワレ縞の発生原理−１第５図はスリット（格子）
像の各位置における大きさを示す構成図、第４図は多数
スリットが試料面に投射される説ＢＡ図である。 １・・・趣小レンズ ２・・・ウェハ（試料）４・
・・テーブル ５・・・モータ６・・・光源
８・・・スリット９．１２・・・レンズ １
０．１１・・・鏡１５・・・検出スリット １４．１６
・・・圧總用レンズ１５・・・対物レンズ １７・・
・受光素子２０・・・モワレ縞 １００・・・照射
手段１０１・・・検出手段 １０２・・・ｖＩ４整手
段。 第１図 ｚＸ ず３図 す４図 （イ）
Claims (1)
- 露光用の縮小レンズに対向して設けられウェハ等の試
料が載置されるテーブルと、この試料面に斜めから複数
のスリット像をなす光束を照射する照射手段と、これら
光束の反射光が投射されてモワレ縞を発生させる複数の
スリットを有する検出スリットと、このモワレ縞を受光
し前記試料面の前記縮小レンズに対する距離を検出する
検出手段と、その検出信号に従い該距離を前記テーブル
を移動して調整する調整手段とを備え、前記試料面が前
記縮小レンズの焦点距離に位置したときの前記モワレ縞
の映像を前記検出手段に記憶し、前記試料面が該焦点距
離から移動した場合、前記検出手段により検出した検出
信号が該記憶された映像信号と一致するように前記調整
手段により、前記試料面を該焦点距離に調整するように
した焦点合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238348A JPS61117831A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 焦点合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238348A JPS61117831A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 焦点合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117831A true JPS61117831A (ja) | 1986-06-05 |
Family
ID=17028861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59238348A Pending JPS61117831A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 焦点合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117831A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997037267A1 (en) * | 1996-04-03 | 1997-10-09 | Mrs Technology, Inc. | Lens focus shift sensor |
| CN104965395A (zh) * | 2015-07-21 | 2015-10-07 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种用于光刻直写系统的混合调焦装置 |
| CN105466359A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-04-06 | 中国科学院微电子研究所 | 一种精密面型测量装置 |
| CN108106561A (zh) * | 2016-11-25 | 2018-06-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 线扫描表面形貌测量装置 |
-
1984
- 1984-11-14 JP JP59238348A patent/JPS61117831A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997037267A1 (en) * | 1996-04-03 | 1997-10-09 | Mrs Technology, Inc. | Lens focus shift sensor |
| US5991004A (en) * | 1996-04-03 | 1999-11-23 | Mrs Technology, Inc. | Lens focus shift sensor |
| CN104965395A (zh) * | 2015-07-21 | 2015-10-07 | 合肥芯硕半导体有限公司 | 一种用于光刻直写系统的混合调焦装置 |
| CN105466359A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-04-06 | 中国科学院微电子研究所 | 一种精密面型测量装置 |
| CN108106561A (zh) * | 2016-11-25 | 2018-06-01 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 线扫描表面形貌测量装置 |
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